JPH0636321A - ピックアップ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ピックアップの組み立て工程における対物
レンズアクチュエータの傾き調整において、スポット検
査工程が自動的に行えるようにして、作業者の負担を軽
減すると共に、品質のバラつきを防止する。 【構成】 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌによって分
割される撮像素子上の２つの領域に存在する１次リング
のピークの個数を、それぞれａ，ｂとするとき、値（ａ
−ｂ）または値（ａ／ｂ）と、所定の値Ｈとの大小を比
較する手段を設けて、ピークの個数のアンバランスの有
無により、異常スポットを検出する。 【効果】 簡単な計算で、異常なスポットを正確に検知
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ピックアップの組
み立て工程における対物レンズアクチュエータの傾き調
整で使用する光ピックアップのスポット検査装置に係
り、特に、スポット検査工程が自動的に行えるようにし
て、作業者の負担を軽減すると共に、品質のバラつきを
防止した光ピックアップのスポット検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップの組み立て工程では、対
物レンズアクチュエータの傾き調整が必要である。従来
から、対物レンズアクチュエータの傾きの調整方法とし
ては、顕微鏡とカメラ、モニターを使用し、光ディスク
の代りに、同じ厚さを有するカバーガラスを基準面と平
行に設置して、対物レンズのスポットを顕微鏡で拡大し
て観察する光学ヘッド調整方法が用いられている（特開
昭６３−２５３５３８号公報）。

【０００３】図１６は、従来の光学ヘッド調整工程を行
う調整装置について、その要部構成の一例を示す図であ
る。図において、１は光ピックアップのハウジング、２
は偏向プリズム、３はアクチュエータ、４はネジ、５は
対物レンズ、６はカバーガラス、７は顕微鏡、８はカメ
ラコントローラ、９はＴＶモニター、ＬＢはレーザ光を
示す。

【０００４】この図１６に示すように、光ピックアップ
のハウジング１には、偏向プリズム２が設けられてい
る。また、ハウジング１の上部に、アクチュエータ３が
あり、その中に、対物レンズ５が設けられている。

【０００５】アクチュエータ３は、ネジ４によってハウ
ジング１に固定されているが、ネジ４の締め方を調整す
ることにより、アクチュエータ３の傾きを調整すること
ができる。また、光ディスクと同じ厚みを有するカバー
ガラス６が、アクチュエータ３の上部に、光ピックアッ
プのハウジング１と平行に設置されている。

【０００６】従来の対物レンズアクチュエータの傾きの
調整工程は、次のように行う。偏向プリズム２に、レー
ザ光ＬＢを入射し、対物レンズ５によって形成されるス
ポットを顕微鏡７で観察する。顕微鏡７には、図示され
ないカメラが接続されており、カメラコントローラ８を
通して、ＴＶモニター９の画面上にスポットが表示され
る。

【０００７】作業者は、このスポットの表示を見なが
ら、１次のサイドローブが対称となるように、アクチュ
エータ３の傾きを調整する。以上のような工程によっ
て、対物レンズアクチュエータの傾きの調整が行われ
る。

【０００８】この調整工程は、アクチュエータに組み込
まれている対物レンズの傾きを光ディスクと並行に調整
することにより、スポット形状を良好にする目的で行わ
れるものである。そのために、図１６に関連して説明し
たように、スポット像をＴＶモニターで観察しながら行
うが、この工程は、スポット形状を良好にすると同時
に、異常な形状のスポットを除去する工程（換言すれ
ば、スポットの形状を検査する工程）も兼ねている場合
が多い。

【０００９】このスポット検査工程は、通常、経験的な
許容限度見本を用いて、作業者の目視によって行われ
る。そのため、作業者の負担が大きいばかりでなく、そ
の主観が入りやすいので、品質にバラつきが生じる要因
にもなる、という不都合があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明では、従来の
光学的情報記録再生装置のスポット検査時に生じるこの
ような不都合を解決し、スポット検査工程が自動的に行
えるようにして、作業者の負担を軽減すると共に、品質
のバラつきを防止したピックアップ検査装置を提供する
ことを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明では、第１に、
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ、該素子上
の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，ｙ）を用いて演算
処理を行うピックアップ検査装置において、処理手段と
して、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘ
ｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通り、かつ、前記撮像素子上の複数の直線の上における
強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、前記各強度分布
Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピークを検出する手
段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌによって分
割される撮像素子上の２つの領域に存在する１次リング
のピークの個数を、それぞれａ，ｂとするとき、値（ａ
−ｂ）または値（ａ／ｂ）と、所定の値Ｈとの大小を比
較する手段、とを備えた構成である。

【００１２】第２に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）設定す
る手段と、前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像
素子上の２つの領域に存在する１次リングのピークの個
数を、それぞれａｉ，ｂｉとするとき、各Ｌｉに関し
て、値（ａｉ−ｂｉ）または値（ａｉ／ｂｉ）と、所定
の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えた構成であ
る。

【００１３】第３に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）設定す
る手段と、前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像
素子上の２つの領域に存在する１次リングのピークの個
数を、それぞれａｉ，ｂｉとするとき、

【数３】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えた構
成である。

【００１４】第４に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で
交わる２直線によって分割される撮像素子上の４つの領
域に存在する１次リングのピークの個数を左廻りにａ，
ｂ，ｃ，ｄとするとき、値｛（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）｝
または値｛（ａ＋ｃ）／（ｂ＋ｄ）｝と、所定の値Ｈと
の大小を比較する手段、とを備えた構成である。

【００１５】第５に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で
交わる２直線の組Ｍを複数個（Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍ
ｎ）設定する手段と、前記各々の直線Ｍｉによって分割
される撮像素子上の４つの領域に存在する１次リングの
ピークの個数を左廻りにａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉとする
とき、各Ｍｉに関して、値｛（ａｉ＋ｃｉ）−（ｂｉ＋
ｄｉ）｝または値｛（ａｉ＋ｃｉ）／（ｂｉ＋ｄｉ）｝
と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えた備
えた構成である。

【００１６】第６に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で
交わる２直線の組Ｍを複数個（Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍ
ｎ）設定する手段と、前記各々の２直線の組Ｍｉによっ
て分割される撮像素子上の４つの領域に存在する１次リ
ングのピークの個数を左廻りにａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉ
とするとき、

【数４】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えた構
成である。

【００１７】第７に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通る直線Ｌによって分割される撮像素子上の２つの領域
に存在する１次リングのピークの個数を、それぞれ計数
する手段、とを備えた構成である。

【００１８】第８に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で
交わる２直線によって分割される撮像素子上の４つの領
域に存在する１次リングのピークの個数を、それぞれ計
数する手段、とを備えた構成である。

【００１９】第９に、上記第１から第８の検査装置にお
いて、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）
がしきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘ
ｇ，ｙｇ）を用いて演算処理を行う手段を備えた構成で
ある。

【００２０】

【作用】この発明では、カメラコントローラからのスポ
ット画像を一旦フレームメモリに取り込み、この画像に
演算処理を行うことによって、スポットの良否が自動的
に判定できるようにしている。具体的にいえば、撮像素
子上のスポット画像がフレームメモリ上に投影されるた
め、撮像素子上の想定したｘ，ｙ座標を、フレームメモ
リのｘ，ｙ座標として取り扱うことが可能となり、スポ
ットの各部分の強度Ｉは、フレームメモリの座標（ｘ，
ｙ）の関数Ｉ（ｘ，ｙ）として処理することができる。

【００２１】スポットの正常異常の判断に際しては、あ
る１本の直線Ｌについて、その右側と左側との１次リン
グのピークの個数（ａ，ｂ等）に注目し、両側の個数の
間にアンバランスがあるとき、スポットを異常と判断す
る（請求項１から請求項３の発明）。また、ある点Ｐを
通る２本の直線の組合せＭにより、４つの領域に分割し
て、各領域における１次リングのピークの個数（ａ，ｂ
等）に注目し、４つの領域の個数の間にアンバランスが
あるとき、スポットを異常と判断する（請求項４から請
求項６の発明）。

【００２２】検査装置としての機能を拡張するために、
１本の直線Ｌの両側や、２本の直線の組合せＭで分割さ
れる４つの領域について、１次リングのピークの個数
（ａ，ｂ等）の計数を可能にしている（請求項７と請求
項８の発明）。スポットの強度が全体的に強くて、ピー
ク付近で飽和している場合には、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がし
きい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙ
ｇ）によって、スポットの正常／異常を判断する（請求
項９の発明）。

【００２３】

【実施例１】次に、この発明のピックアップ検査装置に
ついて、図面を参照しながら、その実施例を詳細に説明
する。この実施例は、主として、請求項１の発明に関連
しているが、ハード構成やスポットの正常異常の判断の
基本原理は、請求項２から請求項９の発明とも関連して
いる。

【００２４】図１は、この発明のピックアップ検査装置
について、その要部構成の一実施例を示す機能ブロック
図である。図における符号は図１６と同様であり、ま
た、１１はフレームメモリ、１２は９と同様なＴＶモニ
ター、１３はコンピュータ、１４はディスプレイを示
す。

【００２５】この図１で、光ピックアップのハウジング
１からカメラコントローラ８までの構成と動作は、先の
図１６と同様である。この図１に示すこの発明では、ス
ポットの像を、コンピュータ１３からのコマンドによっ
て、顕微鏡７，カメラコントローラ８を通して、フレー
ムメモリ１１に取り込み、その生画像をＴＶモニター１
２の画面上に表示する。

【００２６】一方、コンピュータ１３は、コマンドを出
力した後、フレームメモリ１１に蓄積された画像に、請
求項１から請求項９の処理を加え、その結果をディスプ
レイ１４に表示する。次に、アクチュエータに組み込ま
れている対物レンズの傾きが良好に調整された場合のス
ポットの強度分布について説明する。

【００２７】図２は、対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポットの強度分布の一例
を示す図である。図で、ｘ，ｙはそれぞれｘ軸とｙ軸、
Ｉはスポットの強度、Ｐは強度がピークとなる点、２１
はスポットの強度分布曲線、２２は直線を示す。

【００２８】この図２に示すように、対物レンズの傾き
が良好に調整され、かつ、歪みがない場合、スポットの
強度分布は釣鐘状の形状２１になる。ここで、このスポ
ットの像が結ばれる撮像素子の面（一般に撮像素子は平
面状である）を想定して、この面上に、ｘ軸およびｙ軸
を取る。

【００２９】そして、撮像素子上の点（ｘ，ｙ）におけ
るスポットの強度をＩ（ｘ，ｙ），強度がピークとなる
点をＰ（ｘｐ，ｙｐ）とする。なお、この図２では、理
解を容易にするために、点Ｐと座標原点とを一致させて
図示している。次に、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をな
す直線２２上でのスポットの強度分布を考察すると、次
の図３に示すようになる。

【００３０】図３は、図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度
θ１をなす直線２２上でのスポットの強度分布の一例を
示す図である。図で、２３はスポットの強度分布曲線、
２４はその１次リング、２５と２６は１次リングのピー
ク、２７はメインローブを示す。

【００３１】先の図２のスポットの強度分布曲線２１
で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直線２２上での
スポットの強度分布は、この図３に２３で示すような曲
線になる。すなわち、メインローブ２７の両側に、それ
ぞれ、そのピーク２５，２６をもつ１次リング２４が生
じる。また、ＴＶモニター１２の画面上には、図２のス
ポットの生画像が次の図４のように表示される。

【００３２】図４は、ＴＶモニター１２の画面上に表示
されるスポットの生画像の一例を示す図である。図にお
ける符号は図３と同様であり、また、２８〜３０はそれ
ぞれある直線を示す。

【００３３】この図４に示すＴＶモニター１２の画面上
のスポットの生画像は、図２をＩ軸の正方向から眺めた
場合の画像例である。対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポット（正常なスポッ
ト）は、この図４に示すように、１次リング２４が、あ
る軸（この図４ではｘ軸）に対してほぼ対称な形状をな
している。

【００３４】したがって、２点鎖線で示す直線２８上で
の強度分布は、先の図３と同様になり、１次リング２４
のピークは、必ずペアで現われる。他方、別の２点鎖線
で示す直線２９上での強度分布は、次の図５に示すよう
になる。

【００３５】図５は、図４に２点鎖線で示した直線２９
上での強度分布について、その一例を示す図である。図
の横軸は図４の直線２９であり、縦軸はスポットの強度
を示す。

【００３６】この図５に示すように、図４に２点鎖線で
示した直線２９上では、１次リングのピークは、１つも
現われない。なお、２点鎖線の選択の仕方によっては、
この図５と異なる場合があり、例えば、図４の直線３０
の場合には、ピークが１つ現われる。

【００３７】この発明では、この点に着目して、図４に
示したような点Ｐを通る直線を複数本だけ想定し、各直
線上での強度分布に現われる１次リングのピークの個数
を考察して、ピークの個数によりスポットの正常異常を
検査する。この考察の結果によれば、正常なスポットの
場合、図４のような直線Ｌ（ここではｙ軸と一致する直
線）をとると、直線Ｌの左側と右側とで、１次リングの
ピークの個数がほぼ一致することが分る。

【００３８】この現象は、直線Ｌをｘ軸とした場合も、
同様である。他方、傾き調整が不十分だったり、歪みが
生じていたりするスポット（異常なスポット）において
は、非対称あるいは不規則な形状の１次リングが生じ
る。

【００３９】図６は、異常なスポットの一例であり、１
次リングが非対称の場合を示す図である。図における符
号は図４と同様であり、また、３１と３２は１次リン
グ、３３と３４はそれぞれある直線を示す。図７は、同
じく異常なスポットの各一例であり、(1) と(2) はそれ
ぞれ１次リングが不規則の場合を示す図である。図にお
ける符号は図６と同様であり、３５〜３７と４０〜４１
は１次リングを示し、３８〜３９と４２はそれぞれある
直線を示す。

【００４０】図６の場合には、直線Ｌ（ここではｙ軸と
一致する直線）をとると、直線Ｌの左側と右側とで、１
次リングのピークの個数にアンバランスが生じている。
図７(1) と(2) の場合についても、同様である。

【００４１】ここで、ある直線Ｌの右側にある１次リン
グのピークの個数をａ、左側にある１次リングのピーク
の個数をｂとすれば、値（ａ−ｂ）または値（ａ／ｂ）
が、所定の値Ｈを超えた場合に、異常なスポットであ
る、と判断する。このような判断は、次の〜の手順
で行う。

【００４２】 図１のフレームメモリ１１上にスポッ
ト画像を取り込む。 強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
ｐ）を求める。

【００４３】 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る複数の直線
ｌｎを設定し、各直線ｌｎ上での強度分布Ｉｎ（ｘ，
ｙ）を求める。ここで、直線ｌｎは、ｙ＝（tan θｎ）
×（ｘ−ｘｐ）＋ｙｐで表わすことができ、θｎは直線
ｌｎとｘ軸とのなす角である。

【００４４】 先ので求めた強度分布Ｉｎ（ｘ，
ｙ）における１次リングのピークを検出する。 （ａ−ｂ）＞Ｈ、または（ｂ−ａ）＞Ｈであれば、
スポットを異常と判断する。あるいは、（ａ／ｂ）＞
Ｈ、または（ｂ／ａ）＞Ｈのとき、スポットを異常と判
断してもよい。

【００４５】 先の以外のスポットは、正常と判断
する。 以上の手順〜の内、〜は、請求項１から請求項
９の発明と基本的に共通する手順であり、手順とが
異なる。

【００４６】図８は、この発明のピックアップ検査装置
において、スポット検査時の基本的な処理の流れを示す
フローチャートである。図において、＃１〜＃４はステ
ップを示す。

【００４７】ステップ＃１で、図１のフレームメモリ１
１上にスポット画像を取り込む。次のステップ＃２で、
強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
求める。

【００４８】ステップ＃３で、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通
る複数の直線ｌｎを設定し、各直線ｌｎ上での強度分布
Ｉｎ（ｘ，ｙ）を求める。ステップ＃４へ進み、先のス
テップ＃３で求めた強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１
次リングのピークを検出する。

【００４９】以上のステップ＃１〜＃４の処理は、先に
述べた手順〜の処理であり、この発明のピックアッ
プ検査装置に共通の処理であるが、ステップ＃４におけ
る１次リングのピークの検出の処理は、請求項１から請
求項４の発明と、請求項５から請求項９の発明とで、多
少異なる。以下の説明では、ステップ＃１〜＃４の処理
を、基本的な処理と呼ぶ。

【００５０】この実施例（請求項１の発明）では、その
後、先に述べた手順との処理を行う。図９は、この
発明のピックアップ検査装置において、スポット検査時
の主要な処理の流れを示すフローチャートである。図に
おいて、＃１１〜＃１４はステップを示す。

【００５１】ステップ＃１１で、先の図８のフローの処
理を行い、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する。ステップ＃１２で、（ａ−ｂ）＞
Ｈ、または（ｂ−ａ）＞Ｈであるかどうかチェックす
る。

【００５２】もし、（ａ−ｂ）＞Ｈ、または（ｂ−ａ）
＞Ｈであれば、次のステップ＃１３で、スポットを異常
と判断して、この図９のフローを終了する。また、（ａ
−ｂ）＞Ｈ、または（ｂ−ａ）＞Ｈでなければ、ステッ
プ＃１４へ進み、スポットは正常と判断して、この図９
のフローを終了する。

【００５３】なお、先の図８のフローのステップ＃４で
行う処理、すなわち、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における
１次リングのピークを検出する処理は、従来から公知で
あるが、ここで、そのフローを示す。図１０は、１次リ
ングのピーク検出時の主要な処理の流れを示すフローチ
ャートである。図において、＃２１〜＃２３はステップ
を示す。

【００５４】ステップ＃２１で、直線Ｌ上での強度分布
Ｉｎ（ｘ，ｙ）を平滑化する。ステップ＃２２で、点Ｐ
（ｘｐ，ｙｐ）からｘ座標の正の方向の極値を求め、最
大極値を与える点を１次リングのピークとする。

【００５５】ステップ＃２３で、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）か
らｘ座標の負の方向の極値を求め、最大極値を与える点
を１次リングのピークとする。以上のステップ＃２１〜
＃２３の処理によって、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）におけ
る１次リングのピークが検出される。

【００５６】

【実施例２】次に、第２の実施例を説明する。この実施
例は、請求項２の発明に対応している。先の第１の実施
例では、ある１本の直線Ｌについて、その右側と左側と
の１次リングのピークの個数ａ，ｂに注目し、（ａ−
ｂ）＞Ｈ、または（ｂ−ａ）＞Ｈであれば、スポットを
異常と判断した。あるいは、（ａ／ｂ）＞Ｈ、または
（ｂ／ａ）＞Ｈのときに、スポットを異常と判断した。

【００５７】しかし、このように、ある１本の直線Ｌに
ついてだけの判断では、直線Ｌの選択によって異なる場
合がある。例えば、図６の場合、ｙ軸を直線Ｌとする
と、ａ＜ｂであり、異常なスポットと判断されるが、ｘ
軸を直線Ｌとすると、ａ＝ｂであり、正常なスポットと
誤って判断される。

【００５８】この第２の実施例では、このような不都合
を解消するために、直線Ｌとして、複数を選択する。こ
のように、複数の直線Ｌを選択（設定）すれば、先のよ
うな誤った判断を行う恐れが少なくなる（請求項２の発
明）。

【００５９】この場合の判断方法としては、ある１本の
直線Ｌについて異常と判断された場合に、残りの直線Ｌ
については正常と判断されても、スポットとしては異常
と判断してもよいし、ある一定本数以上の直線について
異常と判断されたときのみ、スポットとして異常と判断
するようにしてもよい。このような判断基準は、スポッ
トに要求される品質の厳しさや測定の精度に応じて、任
意に設定することができる。

【００６０】図１１は、この発明の第２の実施例につい
て、スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチ
ャートである。図において、＃３１〜＃３７はステップ
を示す。

【００６１】ステップ＃３１で、先の図８のフローの処
理を行い、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する。次のステップ＃３２で、ｉ＝１に
する。ステップ＃３３へ進み、ｉ≦ｎであるかどうかチ
ェックする。

【００６２】もし、ｉ≦ｎでなければ、ステップ＃３４
で、スポットは正常と判断して、この図１１のフローを
終了する。また、ｉ≦ｎであれば、ステップ＃３５へ進
み、（ａｉ−ｂｉ）＞Ｈ、または（ｂｉ−ａｉ）＞Ｈで
あるかどうかチェックする。

【００６３】もし、（ａｉ−ｂｉ）＞Ｈ、または（ｂｉ
−ａｉ）＞Ｈでなければ、ステップ＃３６で、ｉ＝ｉ＋
１にして、再び先のステップ＃３３へ戻り、以下同様の
処理を行う。また、ステップ＃３５で判断した結果、
（ａｉ−ｂｉ）＞Ｈ、または（ｂｉ−ａｉ）＞Ｈであれ
ば、ステップ＃３７へ進み、スポットは異常と判断し
て、この図１１のフローを終了する。

【００６４】以上のステップ＃３１〜＃３７の処理によ
って、複数本の直線Ｌｉについての右側と左側の１次リ
ングのピークの個数が、所定値Ｈと比較されるので、先
の第１の実施例に比べて、判断の精度が向上される。な
お、ステップ＃３５では、（ａｉ−ｂｉ）＞Ｈ、または
（ｂｉ−ａｉ）＞Ｈについて判断したが、代りに、（ａ
ｉ／ｂｉ）＞Ｈ、または（ｂｉ／ａｉ）＞Ｈについて判
断することもできる。

【００６５】

【実施例３】次に、第３の実施例を説明する。この実施
例は、請求項３の発明に対応している。先の第２の実施
例では、複数本の直線Ｌｉについて、その右側と左側と
の１次リングのピークの個数ａｉ，ｂｉに注目し、（ａ
ｉ−ｂｉ）＞Ｈ、または（ｂｉ−ａｉ）＞Ｈであれば、
スポットを異常と判断した。

【００６６】この第３の実施例でも、複数本の直線Ｌｉ
について、その右側と左側との１次リングのピークの個
数ａｉ，ｂｉに注目する点は共通であり、判断基準も類
似している。具体的には、１次リングのピークの個数の
アンバランスを、全ｎ本の直線Ｌｉに関する平均値で評
価する。

【００６７】この評価方法によれば、ある直線Ｌについ
てはアンバランスでも、他の直線Ｌについてはバランス
がとれている場合、全体の平均で良否を判断するので、
先の第２の実施例の評価方法よりも、ノイズに強い、と
いう利点がある。先の第１の実施例で述べた手順では、
とをｎ回繰り返えし、ｎ回の平均値について、手順
とを行うことに相当する。

【００６８】図１２は、この発明の第３の実施例につい
て、スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチ
ャートである。図において、＃４１〜＃４９はステップ
を示す。

【００６９】ステップ＃４１で、フレームメモリ１１上
にスポット画像を取り込む。次のステップ＃４２で、強
度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求
める。

【００７０】ステップ＃４３で、ｉ＝０，Ｓ＝０にす
る。ステップ＃４４で、Ｓ＝Ｓ＋（ａｉ−ｂｉ）にす
る。次のステップ＃４５へ進み、ｉ≦ｎであるかどうか
チェックする。

【００７１】もし、ｉ≦ｎであれば、ステップ＃４６へ
進み、ｉ＝ｉ＋１にして、再び先のステップ＃４４へ戻
り、以下同様の処理を繰り返えす。また、ステップ＃４
５で判断した結果、ｉ≦ｎでなければ、ステップ＃４７
へ進む。

【００７２】ステップ＃４７では、（Ｓ／ｎ）＞Ｈ、ま
たは（−Ｓ／ｎ）＞Ｈであるかどうかチェックする。も
し、（Ｓ／ｎ）＞Ｈ、または（−Ｓ／ｎ）＞Ｈでなけれ
ば、スポットは正常と判断して、この図１２のフローを
終了する。

【００７３】また、ステップ＃４７で判断した結果、
（Ｓ／ｎ）＞Ｈ、または（−Ｓ／ｎ）＞Ｈであれば、ス
テップ＃４９へ進み、スポットは異常と判断して、この
図１２のフローを終了する。以上のステップ＃４１〜＃
４９の処理によって、１次リングのピークの個数のアン
バランスが、全ｎ本の直線Ｌｉに関する平均値で評価さ
れるので、ノイズに強い判断が実現される。

【００７４】

【実施例４】次に、第４の実施例を説明する。この実施
例は、請求項４の発明に対応している。先に説明した第
１から第３の実施例では、直線の両側に存在する１次リ
ングのピークの個数のアンバランスによって、スポット
の正常異常を判断した。

【００７５】この第４から第６の実施例では、領域の境
界線を単一の直線でなく、２本の直線で分割される４つ
の領域における１次リングのピークの個数によって、ス
ポットの正常異常を判断するようにしている。具体的に
いえば、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で交わる２直線の組合せを
Ｍとすれば、４つの領域に存在する１次リングのピーク
の個数を左廻りにａ，ｂ，ｃ，ｄとするとき、値｛（ａ
＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）｝または値｛（ａ＋ｃ）／（ｂ＋
ｄ）｝が、所定の値Ｈを超えたとき、異常なスポットと
判断することによって、より正確にスポットの異常が判
定できるようにしている。

【００７６】理解を容易にするために、２直線Ｍをｘ軸
とｙ軸とすれば、先の図７(2) に示したような不規則に
歪んだスポットの場合に、特に顕著な効果が得られる。
この第４の実施例は、２直線Ｍによる４つの領域に分割
する点を除けば、先の第１の実施例に相当する場合であ
る。

【００７７】図１３は、この発明の第４の実施例につい
て、スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチ
ャートである。図において、＃５１〜＃５４はステップ
を示す。

【００７８】この図１３のフローは、第１の実施例で説
明した先の図９のフローの処理と基本的に同様であり、
ステップ＃１２の判断の代りに、ステップ＃５２で、
（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）＞Ｈ、または（ｂ＋ｄ）−（ａ
＋ｃ）＞Ｈであるかどうかチェックする点が異なってい
る。

【００７９】

【実施例５】次に、第５の実施例を説明する。この実施
例は、請求項５の発明に対応している。この第５の実施
例は、２直線Ｍによる４つの領域に分割する点を除け
ば、先の第２の実施例に相当する場合である。

【００８０】この第５の実施例では、交わった２直線Ｍ
も、先の第２の実施例と同様に、１通りではなく、複数
の場合を想定している。したがって、先の第４の実施例
よりも、さらに正確にスポットの異常を判断することが
できる。なお、フローチャートも、図１１のステップ＃
３５の判断の代りに、先の図１３のステップ＃５２と同
様に、（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）＞Ｈ、または（ｂ＋ｄ）
−（ａ＋ｃ）＞Ｈであるかどうかチェックればよい。

【００８１】

【実施例６】次に、第６の実施例を説明する。この実施
例は、請求項６の発明に対応している。この第６の実施
例も、２直線Ｍによる４つの領域に分割する点を除け
ば、先の第３の実施例に相当する場合である。

【００８２】この第６の実施例でも、先の第３の実施例
と類似の判断基準として、１次リングのピークの個数の
アンバランスを、全ｎ本の直線Ｍに関する平均値で評価
するようにしている。したがって、先の第５の実施例よ
りも、ノイズに強い評価が可能になる。なお、フローチ
ャートも、図１２のステップ＃４７の判断基準を変更す
るだけでよい。

【００８３】

【実施例７】次に、第７の実施例を説明する。この実施
例は、請求項７と請求項８の発明に対応している。以上
の第１から第６の実施例では、評価のための判断式とし
て、（ａ−ｂ）や（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）等を採用し
た。

【００８４】しかし、実際上は、スポット形状の傾向の
違いや、異常とみなす判断基準の違い、測定精度等によ
って、異なる判断式を採用する方が良い場合が存在する
可能性がある。このような場合のために、１次リングの
ピーク値ａ，ｂ（さらに、ｃ，ｄ）の各値を別個に計数
しておく手段を設けておく。

【００８５】このように、各種の値ａ，ｂ，ｃ，ｄ等を
計数する手段を備えることにより、検査装置としての用
途を広くすることが可能になる。図１４は、この発明の
第７の実施例について、スポット検査時の主要な処理の
流れを示すフローチャートである。図において、＃６１
〜＃６３はステップを示す。

【００８６】ステップ＃６１で、先の図８のフローの処
理を行い、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リング
のピークを検出する。次のステップ＃６２で、値ａｉ，
ｂｉを計数し、ステップ＃６３へ進み、次の処理を行
う。

【００８７】なお、請求項８の発明では、ステップ＃６
２で、値ａｉ，ｂｉだけでなく、値ｃｉ，ｄｉも計数す
る。以上のステップ＃６１〜＃６３の処理に得られる計
数値により、必要に応じてスポットの他の状態に関する
検査が可能になる。

【００８８】

【実施例８】次に、第８の実施例を説明する。この実施
例は、請求項９の発明に対応しているが、請求項１から
請求項８の発明にも関連する。以上に説明した第１から
第７の実施例は、常に、スポットの強度がピークとなる
点Ｐを中心にして検査する場合である。

【００８９】しかし、スポットの強度が全体的に強く、
カメラからの出力がピーク付近で飽和している場合に
は、強度がピークとなる点Ｐを検知することができな
い。図１５は、カメラからの出力がピーク付近で飽和し
ている場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。図の４３は飽和部分を示す。

【００９０】この図１５に示すように、スポットの強度
が全体的に強く、カメラからの出力がピーク付近で飽和
している場合には、点Ｐにおける強度Ｉ（ｘ，ｙ）は、
しきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，
ｙｇ）で代用する。この場合の強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）の
重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）は、次に示す式(1)と(2) で定義
される。

【００９１】

【数５】

【００９２】ここで、総和は、Ｉ（ｉ，ｊ）≧Ｉth以上
である全ての（ｉ，ｊ）について演算する。

【００９３】このような演算によって得られるの重心Ｇ
（ｘｇ，ｙｇ）を用いれば、ピーク付近の飽和を気にす
る必要なしに、スポットの強度を上げて、その正常／異
常の判断を行うことができる。また、このように、全体
の強度を上げた場合には、リング部分の強度も上がるの
で、１次リングのピークが検出し易くなる、という利点
も生じる。

【００９４】この第８の実施例では、先の説明した各実
施例で、点Ｐ（ｘ，ｙ）を、先の式(1) と(2) に示した
点Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）に置き換えればよい。したがって、
請求項１から請求項８の各発明に適用することができ
る。

【００９５】

【発明の効果】請求項１の発明は、各強度分布Ｉ（ｘ，
ｙ）における１次リングのピークを検出する手段と、点
Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌによって分割される撮像
素子上の２つの領域に存在する１次リングのピークの個
数を、それぞれａ，ｂとするとき、値（ａ−ｂ）または
値（ａ／ｂ）と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、
とを有している。したがって、簡単な計算で、異常なス
ポットを検知することができる。

【００９６】請求項２の発明は、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）設定す
る手段と、前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像
素子上の２つの領域に存在する１次リングのピークの個
数を、それぞれａｉ，ｂｉとするとき、各Ｌｉに関し
て、値（ａｉ−ｂｉ）または値（ａｉ／ｂｉ）と、所定
の値Ｈとの大小を比較する手段、とを有している。した
がって、簡単な計算で、より正確に異常なスポットを検
知することができる。

【００９７】請求項３の発明は、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，Ｌ２，……，Ｌｎ）設定す
る手段と、前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像
素子上の２つの領域に存在する１次リングのピークの個
数を、それぞれａｉ，ｂｉとするとき、

【数６】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを有してい
る。したがって、簡単な計算で、より正確に異常なスポ
ットを検知することができる。

【００９８】請求項４の発明は、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で
交わる２直線によって分割される撮像素子上の４つの領
域に存在する１次リングのピークの個数を左廻りにａ，
ｂ，ｃ，ｄとするとき、値｛（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）｝
または値｛（ａ＋ｃ）／（ｂ＋ｄ）｝と、所定の値Ｈと
の大小を比較する手段、を有している。したがって、簡
単な計算で、より正確に異常なスポットを検知すること
ができる上、特に、不規則に歪んだスポットの検出に有
効である。

【００９９】請求項５の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
で交わる２直線の組Ｍを複数個（Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍ
ｎ）設定する手段と、前記各々の直線Ｍｉによって分割
される撮像素子上の４つの領域に存在する１次リングの
ピークの個数を左廻りにａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉとする
とき、各Ｍｉに関して、値｛（ａｉ＋ｃｉ）−（ｂｉ＋
ｄｉ）｝または値｛（ａｉ＋ｃｉ）／（ｂｉ＋ｄｉ）｝
と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを有してい
る。したがって、簡単な計算で、より正確に異常なスポ
ットを検知することができる上、特に、不規則に歪んだ
スポットの検出に有効である。

【０１００】請求項６の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
で交わる２直線の組Ｍを複数個（Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍ
ｎ）設定する手段と、前記各々の２直線の組Ｍｉによっ
て分割される撮像素子上の４つの領域に存在する１次リ
ングのピークの個数を左廻りにａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉ
とするとき、

【数７】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを有してい
る。したがって、簡単な計算で、より正確に異常なスポ
ットを検知することができる上、特に、不規則に歪んだ
スポットの検出に有効である。

【０１０１】請求項７の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
を通る直線Ｌによって分割される撮像素子上の２つの領
域に存在する１次リングのピークの個数を、それぞれ計
数する手段、を有している。したがって、多様な判断基
準に即して、スポットの異常を検知することができる。

【０１０２】請求項８の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
で交わる２直線によって分割される撮像素子上の４つの
領域に存在する１次リングのピークの個数を、それぞれ
計数する手段、を有している。したがって、多様な判断
基準に即して、スポットの異常を検知することができ
る。

【０１０３】請求項９の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしきい値Ｉth以上である
点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）を用いて演算処理
を行う手段、を有している。したがって、ピーク付近の
飽和を気にする必要なしに、スポットの強度を上げて、
その正常／異常の判断を行うことができる。また、全体
の強度を上げた場合には、リング部分の強度も上がるの
で、１次リングのピークが検出し易くなる、という利点
も有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のピックアップ検査装置について、そ
の要部構成の一実施例を示す機能ブロック図である。

【図２】対物レンズの傾きが良好に調整され、かつ、歪
みがない場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図３】図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直
線２２上でのスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図４】ＴＶモニター１２の画面上に表示されるスポッ
トの生画像の一例を示す図である。

【図５】図４に２点鎖線で示した直線２９上での強度分
布について、その一例を示す図である。

【図６】異常なスポットの一例であり、１次リングが非
対称の場合を示す図である。

【図７】同じく異常なスポットの各一例であり、(1) と
(2) はそれぞれ１次リングが不規則の場合を示す図であ
る。

【図８】この発明のピックアップ検査装置において、ス
ポット検査時の基本的な処理の流れを示すフローチャー
トである。

【図９】この発明のピックアップ検査装置において、ス
ポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチャート
である。

【図１０】１次リングのピーク検出時の主要な処理の流
れを示すフローチャートである。

【図１１】この発明の第２の実施例について、スポット
検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１２】この発明の第３の実施例について、スポット
検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１３】この発明の第４の実施例について、スポット
検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１４】この発明の第７の実施例について、スポット
検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１５】カメラからの出力がピーク付近で飽和してい
る場合のスポットの強度分布の一例を示す図である。

【図１６】従来の光学ヘッド調整工程を行う調整装置に
ついて、その要部構成の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ 光ピックアップのハウジング ２ 偏向プリズム ３ アクチュエータ ４ ネジ ５ 対物レンズ ６ カバーガラス ７ 顕微鏡 １１ フレームメモリ １２ ９と同様なＴＶモニター １３ コンピュータ １４ ディスプレイ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌによって分割され
   る撮像素子上の２つの領域に存在する１次リングのピー
   クの個数を、それぞれａ，ｂとするとき、 値（ａ−ｂ）または値（ａ／ｂ）と、所定の値Ｈとの大
   小を比較する手段、とを備えたことを特徴とする光ピッ
   クアップのスポット検査装置。
2. 【請求項２】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，
   Ｌ２，……，Ｌｎ）設定する手段と、 前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像素子上の２
   つの領域に存在する１次リングのピークの個数を、それ
   ぞれａｉ，ｂｉとするとき、 各Ｌｉに関して、値（ａｉ−ｂｉ）または値（ａｉ／ｂ
   ｉ）と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備え
   たことを特徴とする光ピックアップのスポット検査装
   置。
3. 【請求項３】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌを複数個（Ｌ１，
   Ｌ２，……，Ｌｎ）設定する手段と、 前記各々の直線Ｌｉによって分割される撮像素子上の２
   つの領域に存在する１次リングのピークの個数を、それ
   ぞれａｉ，ｂｉとするとき、 【数１】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えたこ
   とを特徴とする光ピックアップのスポット検査装置。
4. 【請求項４】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で交わる２直線によって分割さ
   れる撮像素子上の４つの領域に存在する１次リングのピ
   ークの個数を左廻りにａ，ｂ，ｃ，ｄとするとき、 値｛（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）｝または値｛（ａ＋ｃ）／
   （ｂ＋ｄ）｝と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、 とを備えたことを特徴とする光ピックアップのスポット
   検査装置。
5. 【請求項５】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で交わる２直線の組Ｍを複数個
   （Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍｎ）設定する手段と、 前記各々の直線Ｍｉによって分割される撮像素子上の４
   つの領域に存在する１次リングのピークの個数を左廻り
   にａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉとするとき、 各Ｍｉに関して、値｛（ａｉ＋ｃｉ）−（ｂｉ＋ｄ
   ｉ）｝または値｛（ａｉ＋ｃｉ）／（ｂｉ＋ｄｉ）｝
   と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えたこ
   とを特徴とする光ピックアップのスポット検査装置。
6. 【請求項６】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で交わる２直線の組Ｍを複数個
   （Ｍ１，Ｍ２，……，Ｍｎ）設定する手段と、 前記各々の２直線の組Ｍｉによって分割される撮像素子
   上の４つの領域に存在する１次リングのピークの個数を
   左廻りにａｉ，ｂｉ，ｃｉ，ｄｉとするとき、 【数２】 と、所定の値Ｈとの大小を比較する手段、とを備えたこ
   とを特徴とする光ピックアップのスポット検査装置。
7. 【請求項７】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る直線Ｌによって分割され
   る撮像素子上の２つの領域に存在する１次リングのピー
   クの個数を、それぞれ計数する手段、とを備えたことを
   特徴とする光ピックアップのスポット検査装置。
8. 【請求項８】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記各強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）における１次リングのピー
   クを検出する手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）で交わる２直線によって分割さ
   れる撮像素子上の４つの領域に存在する１次リングのピ
   ークの個数を、それぞれ計数する手段、とを備えたこと
   を特徴とする光ピックアップのスポット検査装置。
9. 【請求項９】 請求項１から請求項８の検査装置におい
   て、 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしき
   い値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙ
   ｇ）を用いて演算処理を行う手段を備えたことを特徴と
   する光ピックアップのスポット検査装置。