JPH0637174A - 保管箱及びその位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 保管箱に段差部を設けないで汚染粒子の堆積
を排除できる保管箱を提供すること。 【構成】 内容物を収納する保管箱本体１１と該保管箱
本体１１の開口部を塞ぐキャップ１３を具備し該保管箱
本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を保管箱
本体１１の開口部に吸着して固定する保管箱１０であ
る。保管箱本体１１の開口部のキャップ閉止面１７と、
接続室への保管箱本体１１の接続面１９が同一平面とな
るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造その他にお
いて、ウエハ，ガラス基板，ディスク等を搬送，保管す
るときに使用される保管箱及び該保管箱の位置決め装置
に関するものである。

【０００２】

【従来技術】図４は特願平２−３１２８２５号において
本願出願人が先に提案した保管箱及びそのキャップ開閉
機構を示す図である。同図に示すように保管箱８０は保
管箱本体８１の開口部のキャップ閉止面８７にキャップ
８３を取り付け、該保管箱本体８１内部を真空にするこ
とで該キャップ８３を保管箱本体８１に吸着・固定せし
めて構成されている。またこの保管箱本体８１の開口部
の外周には、円周状の段差部８５を設けることで下記す
る接続室９０への接続面８９が設けられている。また前
記キャップ閉止面８７と接続面８９には溝が設けられて
おりそれぞれにＯリング８６，８８が取り付けられてい
る。なお保管箱本体８１内には図示しない内容物が収納
されて保管される。

【０００３】一方接続室９０は、接続室本体９１内に作
業室９２を設け、該作業室９２内にキャップ開閉装置９
５を収納して構成されている。このキャップ開閉装置９
５は駆動機構９３によって上下左右に駆動可能である。
またキャップ開閉装置９５内には電磁石９６，９７が埋
設されており、電源９８によって電流が流される。

【０００４】そしてこの保管箱８０からキャップ８３を
取り外すには、まず保管箱８０のキャップ８３を取り付
けた側の面を接続室９０の作業室９２の開口１０１に挿
入してこれを塞ぐ。このとき、保管箱本体８１に取り付
けたＯリング８８が該開口１０１の周囲の壁１０３に密
着して作業室９２を密閉する。

【０００５】次にキャップ開閉装置９５を移動してキャ
ップ８３に接触せしめ、電源９８から電磁石９６，９７
に電流を流して該キャップ開閉装置９５をキャップ８３
に吸着させる。

【０００６】次に装置本体９１に取り付けた切換バルブ
９４を真空側に切り換えて、作業室９２内を真空にす
る。これによって保管箱本体８１が作業室９２に吸引・
吸着されると同時に、作業室９２の内部圧力と保管箱８
０の内部圧力が同一となるので、キャップ８３は保管箱
本体８１に吸着しなくなる。

【０００７】次に駆動機構９３によってキャップ開閉装
置９５を後退，下降させ、下部室９９内に収納すると、
該キャップ開閉装置９５に吸着されたキャップ８３もこ
れとともに移動して保管箱本体８１から取り外され、下
部室９９内に収納される。そして切換バルブ９４によっ
て室９２と保管箱本体８１内を大気圧とした後に、扉１
００を開いて、保管箱本体８１からのウエハの取り出し
や収納作業を行う。

【０００８】そして扉１００を閉じた後、切換バルブ９
４によって作業室９２と保管箱本体８１内を再び真空と
し、キャップ開閉装置９５を上昇，前進させてキャップ
８３を保管箱本体８１のキャップ閉止面８７に密着して
押し付ける。そして切換バルブ９４によって作業室９２
内を大気圧とすれば、キャップ８３は保管箱本体８１に
吸着すると同時に、保管箱本体８１は作業室９２に吸着
しなくなる。これによって保管箱８０の取り外しが可能
となる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで上記保管箱８
０は、キャップ閉止面８７と接続面８９の間に段差部８
５を設け、この段差部８５を接続室９０への保管箱８０
の位置決め手段としている。

【００１０】しかしながら上記構造の保管箱８０におい
ては以下のような問題点があった。 図面の上ではコンパクトに見えるが、実際にこの保管
箱８０を製作する場合、保管箱本体８１の段差部８５に
よって生じる肉厚の薄い開口側の部分の強度を確保する
ために、全体の肉厚を必要以上に厚くする必要があり、
保管箱８０の重量が重くなってしまう。

【００１１】段差部８５を接続室９０へのはめ合いに
使用すると、該段差部８５と接続室９０の間の隙間ａに
汚染粒子が堆積してしまい悪影響を及ぼす。この欠点を
解決するため、本願出願人は特願平３−７１６４８号に
おいて、該隙間ａに堆積する汚染粒子を除去する発明を
提案した。しかしながらこの発明においても、狭い隙間
ａに堆積する汚染粒子を完全に除去することは困難であ
った。

【００１２】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、汚染粒子の堆積を排除でき、且つ該
保管箱の接続室９０への位置決めを容易に行うことがで
きる保管箱及びその位置決め装置を提供することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、図１乃至図３に示すように、内容物を収納
する保管箱本体１１と該保管箱本体１１の開口部を塞ぐ
キャップ１３を具備し該保管箱本体１１の内部を真空に
して前記キャップ１３を保管箱本体１１の開口部に吸着
して固定する保管箱１０において、前記保管箱本体１１
の開口部のキャップ閉止面１７と、キャップ１３を開閉
せしめるキャップ開閉装置５３を設けた接続室３０への
保管箱本体１１の接続面１９を実質的に同一な平面に構
成した。

【００１４】また本発明は、前記保管箱１０の前記接続
室３０への接続時の位置決めを、該保管箱１０を前記接
続室３０に押し付け且つ引き離す保管箱ロード・アンロ
ード装置６０に設けた位置決め機構によって行うように
構成した。

【００１５】

【作用】保管箱１０には何ら段差部は設けられておら
ず、このため各部の肉厚はいずれも強度及び実用上の限
界肉厚を設定でき、無駄に肉厚を厚くする部分はなくな
る。

【００１６】また保管箱本体１１のキャップ１３を取り
付けるキャップ閉止面１７と、接続室３０へ取り付ける
接続面１９を実質的に同一な平面としたので、この保管
箱１０を接続室３０に接続した際に何ら狭い隙間が生じ
ず、汚染粒子の堆積が全くなくなる。

【００１７】また保管箱ロード・アンロード装置６０に
位置決め機構を設けたので、保管箱１０の接続室３０に
対する位置決めが容易に行える。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は本発明の１実施例にかかる保管箱
を示す側断面図である。同図に示すようにこの保管箱１
０は、内容物１２０を収納する保管箱本体１１と、該保
管箱本体１１の開口部を塞ぐキャップ１３を具備し、該
保管箱本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を
保管箱本体１１の開口部に吸着・固定せしめて構成され
ている。

【００１９】ここで保管箱本体１１は断面略コ字状に形
成され、その開口部側の端部にはつば部１５が設けられ
ている。このつば部１５のキャップ１３を吸着せしめる
側の面は１つの平面で構成されており、且つ該つば部１
５の外形はキャップ１３の外形よりも大きく構成されて
いる。そして該つば部１５のキャップ１３を取り付ける
部分をキャップ閉止面１７とし、その外側の部分を下記
する接続室３０への接続面１９とする。つまり本発明に
おいては、キャップ閉止面１７と接続面１９が実質的に
同一な平面上に設けられている。

【００２０】次にキャップ１３は略平板状に構成され、
保管箱本体１１に接続する側の面の外周近傍には、Ｏリ
ング２１が取り付けられている。

【００２１】次に図２は前記保管箱１０のキャップ１３
の取り付け・取り外しを行なって内容物１２０の出し入
れを行うときに用いる接続室３０と、保管箱ロード・ア
ンロード装置６０を示す概略断面図である。

【００２２】同図に示すように接続室３０は、接続室本
体３１内に作業室３３を設けるとともに、該作業室３３
内にキャップ開閉装置５３を収納して構成されている。
ここで接続室本体３１には、保管箱１０を取り付ける装
着口３５を設けるとともに、ゲートバルブ７１に連通す
る開口３７を設け、またキャップ開閉装置５３を挿入す
る穴３９が設けられ、さらに配管４１が取り付けられて
いる。

【００２３】この配管４１には図示しない真空バルブと
リークバルブが接続され、リークバルブを閉じて真空バ
ルブを開くと作業室３３内は真空となり、真空バルブを
閉じてリークバルブを開くと作業室３３内は大気圧とな
る。また接続室本体３１の装着口３５の外側外周には、
Ｏリング４３が取り付けられている。

【００２４】一方保管箱ロード・アンロード装置６０
は、保管箱１０を載置してこれを前記接続室３０の装着
口３５に装着する装置であり、搬送台６１上に保管箱１
０を載置する保管箱載置台６３を取り付けて構成されて
いる。該保管箱載置台６３はネジ式の伝達ロッド６５を
介してモータ６７に連結されており、該モータ６７を駆
動することにより矢印Ａ方向に移動できるように構成さ
れている。

【００２５】ここで図３は前記保管箱ロード・アンロー
ド装置６０の両側に取り付けられる位置決め機構の要部
の概略図である（図２に示す保管箱ロード・アンロード
装置６０を上側から見ている。なおこの位置決め機構は
図２には示されていない。）。

【００２６】同図に示すようにこの位置決め機構は、保
管箱本体１１をその両側から押圧するプッシャ７３，７
５と、ギャップセンサー６９を具備している。ここでプ
ッシャ７３，７５は、図示しないエアシリンダによって
駆動されて前進・後退を行う。一方ギャップセンサー６
９は該ギャップセンサー６９から保管箱本体１１の側面
までの距離を測定するものである。

【００２７】次に前記保管箱ロード・アンロード装置６
０と前記キャップ開閉装置５３の動作を説明する。まず
図２に示すように、保管箱ロード・アンロード装置６０
の保管箱載置台６３上に、保管箱１０を載置する。この
とき図３（ａ）に示すギャップセンサー６９が該ギャッ
プセンサー６９と保管箱本体１１間の距離を測定し、も
し保管箱１０の位置が横方向にずれていたら、図３
（ｂ）に示すように、両プッシャ７３，７５を押し出し
て、保管箱本体１１を挟持し、これによって該保管箱１
０の横方向の位置決めを行う。なお保管箱１０の上下方
向の位置決めは、該保管箱１０が保管箱載置台６３上に
載置されているので必要ない。このように本発明におい
ては保管箱ロード・アンロード装置６０に位置決め機構
を設けたので、図４に示す従来の保管箱８０のように保
管箱本体８１に段差部８５を設けなくても、接続室３０
の装着口３５への位置決めが正確に行える。

【００２８】そして図２に示すように、モータ６７を駆
動して保管箱載置台６３を前進させ、保管箱１０のつば
部１５の接続面１９（図１参照）を、接続室３０の装着
口３５の外側の周囲に、Ｏリング４３を潰すように当接
させ押し付ける。このときキャップ１３は装着口３５内
に位置する。

【００２９】次にキャップ開閉装置５３をキャップ１３
に掛け、図示しない磁石手段等によって該キャップ１３
をキャップ開閉装置５３に吸着させる。次に配管４１に
接続された図示しない真空バルブを開いて作業室３３内
を真空にする（なおこのときゲートバルブ７１は閉じら
れている）。これによって保管箱本体１１は外部の大気
圧に押されて機構本体３１に強く吸着され、一方保管箱
本体１１内の圧力と作業室３３内の圧力は同一（真空）
となるのでキャップ１３は保管箱本体１１に吸着しなく
なる。

【００３０】そしてキャップ１１を吸着したキャップ開
閉装置５３を同図に示す矢印Ｆ方向に後退・下降せしめ
ることで保管箱本体１１からキャップ１３を取り外して
退避し、次にゲートバルブ７１を開いて保管箱内容物収
納取出装置７７内に収納されている図示しないロボット
のアームによって前記保管箱本体１１内に収納した内容
物１２０を取り出し、ゲートバルブ７１を介して処理室
内に移送する。

【００３１】一方処理が終了した内容物１２０は、保管
箱内容物収納取出装置７７の図示しないロボットのアー
ムによって該処理室内からゲートバルブ７１，接続室３
０を介して前記保管箱本体１１内に移送・収納される。
その後、ゲートバルブ７１が閉じられ、次にキャップ開
閉装置５３を上昇・前進させて該キャップ開閉装置５３
に吸着したキャップ１３を保管箱本体１１の開口部に被
せる。

【００３２】そして配管４１に接続された図示しない真
空バルブを閉じて同時にリークバルブを開き、作業室３
３内を大気圧にする。これによって、キャップ１３は保
管箱本体１１に強く吸着されるとともに、保管箱本体１
１自体は接続室３０に吸着されなくなる。そしてモータ
６７を駆動して保管箱載置台６３を後退させれば、保管
箱１０は接続室３０から取り外せるのである。

【００３３】ところで本発明においては、上記実施例か
らもわかるように、保管箱本体１１のキャップ閉止面１
７と接続面１９（図１参照）を実質的に同一な平面とし
たので、前記図４に示す保管箱８０のような段差部８５
がなく、このため段差部８５があることによって生じる
汚染粒子の堆積が全くなくなる。

【００３４】以上、本発明の１実施例を説明したが、本
発明はこの実施例に限られず、例えば以下のような変形
が可能である。 図２に示す保管箱ロード・アンロード装置６０の保管
箱載置台６３の駆動はモータ６７でなく、他の手段、例
えばエアシリンダ等で行っても良い。

【００３５】図３に示すギャップセンサ６９を省略
し、保管箱１０を保管箱載置台６３に載せるたびに、プ
ッシャ７３，７５を動かして位置決めしても良い。

【００３６】図３に示すギャップセンサ６９とプッシ
ャ７３，７５を省略し、他の位置決め手段を用いても良
い。例えば、ガイドプレート，ピン，キー等で位置決め
を行っても構わない。

【００３７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる保管箱及びその位置決め装置によれば、以下のよう
な優れた効果を有する。 保管箱の各部の肉厚は、いずれも強度及び実用上の限
界肉厚を設定でき、無駄に肉厚を厚くする部分はないの
で、保管箱の重量軽減が図れる。

【００３８】保管箱本体のキャップを取り付けるキャ
ップ閉止面と、接続室へ取り付ける接続面を実質的に同
一な平面としたので、この保管箱を接続室に接続した際
に何ら狭い隙間が生じず、汚染粒子の堆積が全くなくな
る。

【００３９】保管箱ロード・アンロード装置に位置決
め機構を取り付けたので、保管箱の接続室への位置決め
を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例にかかる保管箱を示す側断面
図である。

【図２】接続室３０と保管箱ロード・アンロード装置６
０を示す概略断面図である。

【図３】保管箱ロード・アンロード装置６０の両側に取
り付けられる位置決め機構の要部の概略図である。

【図４】本願出願人が先に提案した保管箱及びそのキャ
ップ開閉機構を示す図である。

【符号の説明】

１０ 保管箱 １１ 保管箱本体 １３ キャップ １７ キャップ閉止面 １９ 接続面 ３０ 接続室 ６０ 保管箱ロード・アンロード装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内容物を収納する保管箱本体と該保管箱
   本体の開口部を塞ぐキャップを具備し該保管箱本体の内
   部を真空にして前記キャップを保管箱本体の開口部に吸
   着して固定する保管箱において、 前記保管箱本体の開口部のキャップ閉止面と、キャップ
   を開閉せしめるキャップ開閉装置を設けた接続室への保
   管箱本体の接続面を、実質的に同一な平面としたことを
   特徴とする保管箱。
2. 【請求項２】 前記保管箱の前記接続室への接続時の位
   置決めを、該保管箱を前記接続室に押し付け且つ引き離
   す保管箱ロード・アンロード装置に設けた位置決め機構
   で行うことを特徴とする請求項１記載の保管箱の位置決
   め装置。