JPH0638448B2 - オリフラ合わせ方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、半導体処理工程で用いるオリフラ合わせ方
法及びその装置に関するもので、更に述べると、ウエハ
のオリフラを任意の位置に整列させることができるオリ
フラ合わせ方法及びその装置に関するものである。

従来の技術 ウエハ処理工程中、ウエハのオリエンテーションフラッ
ト（オリフラ）を整列させる作業、所謂オリフラ合わせ
が行われる。

従来、このオリフラ合わせには、二本の平行な駆動ロー
ラと、該ローラを上下せしめる手段とを備えたオリフラ
合わせ装置が用いられている。

そして、この装置でオリフラ合わせをする場合には、カ
セット台に、ウエハを収容したカセットをセットした
後、駆動ローラを上昇させて該ウエハの周縁に当接せし
めて回転させ、前記ウエハを回転させることによりオリ
フラを整列させている。

発明が解決しようとする問題点 従来のオリフラ合わせ装置では、二本の駆動ローラに夫
々別個の駆動源を設けているので、装置が複雑となり、
又、ウエハの嫌うゴミが発生し易い。

その上、ウエハのオリフラを任意の位置に整列させるこ
とができないので、オリフラの位置を上や横等に合わせ
たいという希望に応ずることは不可能である。

この発明は、上記事情に鑑み、構造が簡単でゴミの発生
の少ないオリフラ合わせ装置を提供することを目的とす
る。

又、他の目的は、任意の位置にオリフラを整列させるこ
とを目的とする。

問題点を解決するための手段 この発明は、ウエハの周縁部に垂直及び水平方向に可動
な単一の駆動ローラを当接せしめて回転させ、オリフラ
部を下向きに整列せしめる行程と；該駆動ローラを降下
させてオリフラ部から離間するとともに該駆動ローラを
水平方向に移動し、該ウエハの周縁部と対向させる行程
と；該駆動ローラを上昇させてウエハの周縁部に当接せ
しめる行程と；該駆動ローラを駆動してウエハを回転さ
せ、前記整列したオリフラ部を一括して所定位置に移動
させる行程と；を備えること、により前記目的を達成し
ようとするものである。

作用 カセット台に、ウエハを収容したカセットをセットし、
駆動ローラを上昇せしめてウエハの周縁部に当接させ
る。

次に、駆動ローラを回転させるとウエハは、該ローラと
逆方向に回転しながら、オリフラ部を整列させる。

オリフラ部整列後、駆動ローラをオリフラ部から離間
し、その状態で、水平方向に移動させると共に、該ロー
ラを上方に移動し、周縁部に当接させて回転せしめ、オ
リフラの整列状態を維持させながらウエハを回転させ、
所定位置までオリフラ部を移動する。

実施例 この発明の一実施例を、添付図面により説明するが、同
一図面符号は、その名称も機能も同一である。

支持台１に設けたステッピングモータ２と駆動ローラ３
とをタイミングベルト４を介して連結し、該支持台１を
基台５に載置する。この基台５の下面には、垂直方向移
動用エアシリンダ６が設けられ、又、その上面には、前
記基台５と連結した水平方向移動用エアシリンダ７が設
けられている。

駆動ローラ３は、片持ちであり、第２図に示す様に、プ
ーリを連結した軸８と、該軸８に嵌着する中空円筒体９
とから構成されている。

この中空円筒体９は、ピン１０により軸８に固定されて
おり、このピン１０を着脱することにより中空円筒体９
の着脱が用意に行われる。

カセット第１１にウエハＷを収容したカセット１２をセ
ットすると、図示しないセンサが作動して、垂直方向移
動用エアシリンダ６を駆動させ、駆動ローラ３を上昇せ
しめて、第３図の３ａの位置から３ｂの位置に移動さ
せ、ウエハＷの周縁部Ｗａに当接させる。

この時、駆動ローラ３は、ウエハＷを持ち上げているの
で、周縁部Ｗａは、カセット１２のウエハ溝１３の下端
部に接触しない。

ステッピングモータ２を駆動し、駆動ローラ３を矢印Ａ
３ｂ方向に回転させると、摩擦力によりウエハＷは矢印
ＡＷ方向に回転し、第４図の状態となり、オリフラ部Ｗ
ｂが整列する。

この状態では、周縁部Ｗａが、ウエハ溝１３の下端部に
接触し支持されるので、駆動ローラ３は、空転する。

オリフラ部Ｗｂが整列すると、垂直方向移動用エアシリ
ンダ６が駆動し、駆動ローラ３を下降させて、元の位置
３ａに戻す。

駆動ローラ３が、元の位置３ａに戻ると、エアシリンダ
６が停止すると共に、エアシリンダ７が駆動し、第５図
に示す様に、駆動ローラ３を３Ｃの位置まで移動させ
る。

駆動ローラ３が３Ｃの位置になると、エアシリンダ７が
停止すると共にエアシリンダ６が駆動し、該ローラ３を
３ｄの位置まで移動させ、周縁部Ｗａに当接せしめる。

該ローラ３が、３ｄの位置まで移動すると、ステッピン
グモータ２が駆動し、駆動ローラ３を矢印Ａ３ｄ方向に
回転し、オリフラ部Ｗｂの整列しているウエハＷを矢印
ＡＷ方向に回転させ、第６図に示す様に上合わせ、即
ち、オリフラ部Ｗｂがウエハ上部になった時、モータ２
を停止させると共に前記と逆の要領で駆動ローラ３を３
ａの位置に戻す。

なお、ステッピングモータ２の回転時間や、エアシリン
ダ６、７の作動時間は全て、タイマ（図示せず）により
コントロールされている。

この発明の実施例は、上記に限定されるものではなく、
第５図の３ｄの位置にある駆動ローラ３の回転時間を変
化させることにより、オリフラ部Ｗｂを任意の位置、例
えば、第７図に示す様な下合わせ、即ち、ウエハ下部に
したり、横合わせ、即ち、ウエハ側部にすることができ
る。

又、中空円筒体９の表面にローレット目入り等をする
と、ウエハ周縁との摩擦力が増大し計算通り確実にウエ
ハが回転するので、より完全なオリフラ合わせができ
る。

なお、駆動ローラ３の洗浄などのため中空円筒体９を交
換する際には、第２図に示す様にピン１０を抜き、中空
円筒体９を矢印Ａ９方向に引き抜くと共に新しい中空円
筒体９を軸８に嵌着し、ピン１０で止めればよいので、
交換作業は極めて容易である。

発明の効果 この発明は、以上のように構成したので確実に任意の位
置にオリフラを合わせることができる。

又、単一の駆動ローラを用いるので従来例に比し、構造
が簡単となり、かつゴミの発生も減少するので、ウエハ
処理に用いるオリフラ合わせ装置として最適なものとな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の実施例を示す斜視図、第２図〜第
６図は、使用状態を示す図で、駆動ローラとウエハの関
係を示す図、第７図は、他の実施例を示す図でオリフラ
下合わせを示す図である。 ３……駆動ローラ ６、７……エアシリンダ Ｗａ……ウエハの周縁部 Ｗｂ……ウエハのオリフラ部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハの周縁部に、垂直及び水平方向に可
   動な単一の駆動ローラを当接せしめて回転させ、オリフ
   ラ部を下向きに整列せしめる行程と；該駆動ローラを降
   下させてオリフラ部から離間させるとともに該駆動ロー
   ラを水平方向に移動し、該ウエハの周縁部と対向させる
   行程と；該駆動ローラを上昇させてウエハの周縁部に当
   接せしめる行程と；該駆動ローラを駆動してウエハを回
   転させ、前記整列したオリフラ部を一括して所定位置に
   移動させる行程と；を備えていることを特徴とするオリ
   フラ合わせ方法。
2. 【請求項２】ウエハのオリフラ部を合わせた後該オリフ
   ラ部を所定位置に一括変位させる片持ちの単一の駆動ロ
   ーラを備えたオリフラ合わせ装置であって、該単一の駆
   動ローラをウエハの周縁に接離せしめる垂直移動機構
   と；該ローラをウエハから離間した状態で水平方向に移
   動せしめる水平移動機構と；を備えていることを特徴と
   するオリフラ合わせ装置。