JPH0639294Y2 - マスフロ−コントロ−ラ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造に使用される供給ガスの流量制御に
用いられるマスフローコントローラの改良に関する。

〔従来技術〕 従来より、半導体を製造する場合、拡散、気相成長、CV
D等の工程で各種の雰囲気ガスが供給されており、その
供給ガスの流量を正確に制御するために、第２図に要部
断面で示すような、マスフローコントローラ100が使用
されている。該マスフローコントローラ100は、マスフ
ローコントローラ本体100aと、該マスフローコントロー
ラ本体100aを覆うカバー100bとから構成されている。上
記マスフローコントローラ本体100aの一端には上記供給
ガスのガス入口２が設けられており、他端にはその供給
ガスのガス出口３が設けられている。また、上記ガス入
口２の近傍にはセンサー４と、該センサー４より大面積
のバイパス５が設けられている。そして、これらセンサ
ー４とバイパス５の二次側にはガス流量制御バルブ６が
備えられている。上記センサー４には例えばブリッジ回
路110に接続された自己発熱抵抗体4aが巻きつけられた
構造になっていて、このセンサー４内を流れるガスの流
量によって発生する温度差を検出してセンサー４内を流
れる供給ガスの流量を検出している。上記ブリッジ回路
110には増幅回路111が接続されており、その出力電圧が
比較制御回路112に送出されると、予め設定されてある
設定電圧と比較され流量制御バルブ６が制御され、ガス
出口３より排出されるガス流量が制御されるようになっ
ている。

また、上記のようなマスフローコントローラ本体100aで
は、HClガス等の腐食性の高い供給ガスによって、その
接ガス上部7aと接ガス下部7bが腐食されないように、耐
蝕性の良い材料が使用されている。そして、センサー４
やガス流量制御バルブ６の取りつけ部にはそれぞれ密封
性の良いＯリング8a、8b等やシール部9a、9b等でシール
されており、供給ガスの漏れ防止がはかられている。

このような構造のマスフローコントローラ100におい
て、ガス入口２からマスフローコントローラ本体100a内
に入った供給ガスは、一部がセンサー４を流れ、大部分
はバイパス５を流れそれぞれの二次側で再び合流する。
この時にガス入口２から流入する供給ガス流量が変化し
ても、前記センサー４とバイパス５を流れるガス流量比
は、前者の断面積比で決まる一定値であるため、センサ
ー４を流れるガス流量は、マスフローコントローラ100
に入り込むガス総流量と相関関係になる。このようなセ
ンサー４内に流れ込んだ供給ガスの流量に応じて発生す
る温度差が自己発熱抵抗体4aによって検出され、ブリッ
ジ回路110で微小電圧として増幅回路111に送出され、該
増幅回路111で増幅されて比較制御回路112に送出されて
いる。この比較制御回路112では増幅回路111からの出力
電圧を所望のガス流量に応じて予め設定された設定電圧
と比較され、その差異に応じて流量制御バルブ６が制御
されて所望の流量の供給ガスがガス出口３から送出され
ることになる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記のような構造のマスフローコントロ
ーラ100では、供給ガスが漏れないように密封性の良い
０リング8a、8b等やシール部9a、9b等でシールされてい
るにも係わらず、長期使用によって腐食等が発生して、
それぞれの接続間隙部ａ、ｂ、ｃ、ｄより上記供給ガス
が漏れることがある。このような状態で供給ガスが漏れ
てカバー100b内に溜まってくると、そのガスの種類によ
って爆発を起こしたり、また、猛毒性のガスであればそ
のガスが上記カバー100bより外部に漏れるととても危険
であり、人命に関わる大きな問題となってくる。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は上述したような問題点を解決するためになされ
たもので、供給ガス入口と、センサーと、バイパスと、
流量制御用バルブと供給ガス出口を備えたマスフローコ
ントローラ本体と、該マスフローコントローラ本体を覆
うカバーを有するマスフローコントローラにおいて、上
記カバーに検査ガス入口と検査ガス出口と、該検査ガス
出口より検査ガスに混じって排出される供給ガスを検知
するガス検知器を設けてあることを特徴とする。

〔考案の作用〕

かかる構成とすれば、カバーに設けられた検査ガス入口
から、供給ガスと種類の異なる種類の検査ガスが供給さ
れ、該検査ガスは検査ガス出口から排出させることがで
きる。そのため、もし供給ガスがカバー内に漏れたとし
ても検査ガスに混じって上記検査ガス出口３から排出さ
せることができる。そしてこの排出ガスは供給ガスに反
応するガス検知器に流れ込むため、上記排出ガスに供給
ガスが混じっているとすぐに検知することができる。そ
のため、供給ガスの漏れを確実に検知でき、爆発や猛毒
性のガスのカバー外への漏れによる危険が回避できる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。

第１図は本考案によるマスフローコントローラ１の要部
を断面図で示したものである。図において、カバー10に
設けられている検査ガス入口10aと検査ガス出口10bを除
いては第２図と同様な構造であるため同一部分に同一符
号を付してその説明は省略する。さて、図に示すよう
に、カバー10の側壁のほぼ中央に設けられた検査ガス入
口10aには検査ガスを供給する例えばパイプ11aを接続す
るための継手11が嵌着されている。さらに、上記検査ガ
ス入口10aに好ましくは対向するような側壁のほぼ中央
には検査ガス出口10bが設けられている。該検査ガス出
口10bには検査ガス入口10aより供給された検査ガスを排
出するための例えばパイプ12aが接続されている継手12
が嵌着されている。そして、パイプ12aには、ガス検知
器13が接続されている。このガス検知器13は供給ガス入
口２より供給されるガスに反応するもので、排出された
検査ガスの中にマスフローコントローラ本体100aの間隙
部ａ、ｂ、ｃ、ｄ等より流れ出た供給ガスが含まれてい
ると、簡単に検知できるようになっている。上記ガス検
知器13では供給ガス入口２より供給されたガスを検知す
ると、例えば、音や光を発生して警告するような構成の
ものを使用することが好ましい。

このような構成のマスフローコントローラ１では、供給
ガス入口２から供給される供給ガスが、それぞれの接続
間隙部ａ、ｂ、ｃ、ｄよりマスフローコントローラ本体
カバー10内に漏れると、その漏れた供給ガスが検査ガス
に混ざって検査ガス出口10bより排出されることになる
ので、ガス検知器13によってガスの漏れを確実に検知す
ることができる。ここで、ガス検知器13はパイプ12aを
介して接続されているが、継手12に直接取り付けると、
より好ましくなる。

〔考案の効果〕

以上の説明から明らかなように、本考案のマスフローコ
ントローラによれば、供給ガスがカバー内に漏れてもす
ぐにガス検知器で検知することができるので供給ガスの
漏れガスによる爆発や、猛毒性ガスのカバー外部への漏
れによる危険も未然にふせげる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例のマスフローコントローラの
要部を断面図、第２図は従来のマスフローコントローラ
の要部断面図である。 （符号の説明） １……マスフローコントローラ、 100a……マスフローコントローラ本体、 ２……供給ガス入口 ３……供給ガス出口 ４……センサー、 ５……バイパス、 ６……流量制御用バルブ、 10……カバー、 10a……検査ガス入口、 10b……検査ガス出口、 13……ガス検知器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】供給ガス入口と、センサーと、バイパス
   と、流量制御用バルブと供給ガス出口を備えたマスフロ
   ーコントローラ本体と、該マスフローコントローラ本体
   を覆うカバーを有するマスフローコントローラにおい
   て、 上記カバーに検査ガス入口と検査ガス出口と、該検査ガ
   ス出口より検査ガスに混じって排出される供給ガスを検
   知するガス検知器を設けてあることを特徴とするマスフ
   ローコントローラ。