JPH0640589Y2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH0640589Y2 JPH0640589Y2 JP1987178634U JP17863487U JPH0640589Y2 JP H0640589 Y2 JPH0640589 Y2 JP H0640589Y2 JP 1987178634 U JP1987178634 U JP 1987178634U JP 17863487 U JP17863487 U JP 17863487U JP H0640589 Y2 JPH0640589 Y2 JP H0640589Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- partition wall
- pressure
- packing
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Sealing Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本考案は真空蒸着装置に関し、より詳しくは、チャンバ
ー内を２室に分けた装置の必要部分を高真空状態に保つ
ことのできる真空蒸着装置に関する。
ー内を２室に分けた装置の必要部分を高真空状態に保つ
ことのできる真空蒸着装置に関する。
最近、金属等を減圧下で加熱、蒸発させて基材上に被着
させるための真空蒸着が広く行われている。 真空状態、厳密には減圧状態を得るにはチャンバーを外
気から遮断して、真空ポンプによりチャンバー内の空気
を排出して減圧状態を得るというのが一般的な方法であ
る。高い真空度が得られるか否かは真空ポンプの性能と
チャンバーを外気から遮断する技術の如何にかかってい
る。 チャンバー内と外気の遮断には通常ゴムなどの弾性部材
を板状又は丸棒状に加工したいわゆるパッキンをチャン
バーの要部に配置し、ネジ止めなどによって固定する
か、又はチャンバー内を減圧して行くことによってチャ
ンバー内外の気圧差を利用し、チャンバーとパッキンを
強い力で押しつけるなどの方法により気密性を保持して
いた。 ところで、真空蒸着作業においては、金属等を加熱、蒸
発させて基材上に被着させる工程は高い真空度が要求さ
れるが、帯状に長い基材を連続的に蒸着させて行く場合
は装置が大がかりになるため、装置全体を高真空に保つ
ことは技術的に困難であるし、コスト的にもメリットが
少ない。従って、チャンバーを２室に分け、帯状基材を
収納する室は低−中度の真空度とし、基材に金属等を蒸
着する室のみ高真空とする工夫がなされている。チャン
バーを２室に分ける隔壁はチャンバーの上下のほぼ中間
に着脱可能な状態に挿入されていて、チャンバーの壁面
への取付けは壁面側に板状の隔壁受けを設け、隔壁受け
の上に硬質ゴムなどの板状パッキンを配して気密性を確
保していた。
させるための真空蒸着が広く行われている。 真空状態、厳密には減圧状態を得るにはチャンバーを外
気から遮断して、真空ポンプによりチャンバー内の空気
を排出して減圧状態を得るというのが一般的な方法であ
る。高い真空度が得られるか否かは真空ポンプの性能と
チャンバーを外気から遮断する技術の如何にかかってい
る。 チャンバー内と外気の遮断には通常ゴムなどの弾性部材
を板状又は丸棒状に加工したいわゆるパッキンをチャン
バーの要部に配置し、ネジ止めなどによって固定する
か、又はチャンバー内を減圧して行くことによってチャ
ンバー内外の気圧差を利用し、チャンバーとパッキンを
強い力で押しつけるなどの方法により気密性を保持して
いた。 ところで、真空蒸着作業においては、金属等を加熱、蒸
発させて基材上に被着させる工程は高い真空度が要求さ
れるが、帯状に長い基材を連続的に蒸着させて行く場合
は装置が大がかりになるため、装置全体を高真空に保つ
ことは技術的に困難であるし、コスト的にもメリットが
少ない。従って、チャンバーを２室に分け、帯状基材を
収納する室は低−中度の真空度とし、基材に金属等を蒸
着する室のみ高真空とする工夫がなされている。チャン
バーを２室に分ける隔壁はチャンバーの上下のほぼ中間
に着脱可能な状態に挿入されていて、チャンバーの壁面
への取付けは壁面側に板状の隔壁受けを設け、隔壁受け
の上に硬質ゴムなどの板状パッキンを配して気密性を確
保していた。
しかしながら上記した板状隔壁受けの上にパッキンを配
し、この上に隔壁を設置する方法では、パッキンと隔壁
の下側に間隔がなければ隔壁を挿入できない。この隔壁
下面とパッキン間の僅かな間隔からチャンバー内を減圧
して行った時、空気の漏洩が起こり、蒸着作業を行う上
で高い真空度が要求される下側の室の真空度を高めるこ
とができないという問題があった。間隙とパッキン間の
間隔をなくして無理矢理押し込む方法もあるが、パッキ
ンがすぐに損傷し、却って気密性を損なう問題点があっ
た。 尚、隔壁をチャンバー内に着脱可能に取り付けるのはチ
ャンバー内に設置する被蒸着基材、プロセスドラム、蒸
着設備などの調整を行う上で隔壁を固定していたのでは
不便であるためである。
し、この上に隔壁を設置する方法では、パッキンと隔壁
の下側に間隔がなければ隔壁を挿入できない。この隔壁
下面とパッキン間の僅かな間隔からチャンバー内を減圧
して行った時、空気の漏洩が起こり、蒸着作業を行う上
で高い真空度が要求される下側の室の真空度を高めるこ
とができないという問題があった。間隙とパッキン間の
間隔をなくして無理矢理押し込む方法もあるが、パッキ
ンがすぐに損傷し、却って気密性を損なう問題点があっ
た。 尚、隔壁をチャンバー内に着脱可能に取り付けるのはチ
ャンバー内に設置する被蒸着基材、プロセスドラム、蒸
着設備などの調整を行う上で隔壁を固定していたのでは
不便であるためである。
本考案は上記した従来技術の問題点を考慮してなされた
もので、 減圧下で使用されるチャンバー内が隔壁によって帯状基
材を搬出入する室と、前記帯状基材に金属等を加熱、蒸
発させて被着する蒸着室との２室に区画された真空蒸着
装置において、前記隔壁とチャンバー内壁に沿って形成
した隔壁取着部との間に、常圧下で装置駆動時のチャン
バー内圧力を越える圧力で気体が密封され、且つ常圧下
で遊挿可能な弾性体からなる中空状自己膨張パッキンを
挿設したことを特徴とする真空蒸着装置である。
もので、 減圧下で使用されるチャンバー内が隔壁によって帯状基
材を搬出入する室と、前記帯状基材に金属等を加熱、蒸
発させて被着する蒸着室との２室に区画された真空蒸着
装置において、前記隔壁とチャンバー内壁に沿って形成
した隔壁取着部との間に、常圧下で装置駆動時のチャン
バー内圧力を越える圧力で気体が密封され、且つ常圧下
で遊挿可能な弾性体からなる中空状自己膨張パッキンを
挿設したことを特徴とする真空蒸着装置である。
隔壁取着部と隔壁との間に挿設した、弾性体からなる中
空自己膨張パッキンは、周囲の気圧が低下すると膨張
し、上昇すると収縮するので、装着の駆動時などチャン
バー内の圧力が下がると膨張して隔壁と隔壁取着部との
隙間を塞ぎ、気密性が高まり、チャンバーの蓋を開ける
などしてチャンバー内が大気圧となったときには、減圧
時より収縮して隔壁と隔壁取着部との間に隙間が生じ、
隔壁を着脱する作業が容易となる。 つぎに図面に基づいて本考案を具体的に説明する。
空自己膨張パッキンは、周囲の気圧が低下すると膨張
し、上昇すると収縮するので、装着の駆動時などチャン
バー内の圧力が下がると膨張して隔壁と隔壁取着部との
隙間を塞ぎ、気密性が高まり、チャンバーの蓋を開ける
などしてチャンバー内が大気圧となったときには、減圧
時より収縮して隔壁と隔壁取着部との間に隙間が生じ、
隔壁を着脱する作業が容易となる。 つぎに図面に基づいて本考案を具体的に説明する。
第１図において１は本考案で使用する自己膨張パッキン
の一例であって、弾性部材である合成ゴム２の中空部３
に空気を常圧下で1.1気圧に充填し、密封しているもの
である。 第２図は自己膨張パッキン１を適用した真空蒸着装置の
チャンバー４の概念図であって、チャンバー４は縦断面
が円筒状のもので、チャンバー４の内部にチャンバーを
Ａ、Ｂの上下２室に分ける隔壁があり、上の室Ａには帯
状の被蒸着基材６が巻き送りロール７、巻き取りロール
７′に巻かれて設置されている。下の室Ｂにはプロセス
ドラム８があって、巻き送りロール７から出た帯状基材
６を受けて巻き取りロール７′に送る途中、該ドラム８
の下部で真空蒸着を行うものである。 隔壁５は、第１図に示す自己膨張パッキン１を上面に張
り付けた板状の隔壁受け９の上に、例えばガイドローラ
（図示せず）などによって手前より挿入されて、チャン
バー内を２分して取り付けられる。隔壁５の下面と自己
膨張パッキン１の上面との間には、チャンバー４の図示
しない蓋が開けられるなどしてチャンバー内が１気圧に
なった時に、隔壁５の挿入／取り外しに支障のない、例
えば2mm程度の間隙がある。尚、隔壁５の下面と自己膨
張パッキン１の上面との離間距離は、隔壁５の着脱に用
いるガイドローラなどを上下動可能に設けることで、調
整可能である。 チャンバー４内のＡ、Ｂ室は各々真空ポンプ（図示せ
ず）に連結されていて空気が排出され、減圧状態にする
ことが可能な構造となっている。 最初はチャンバー４の内部が１気圧であるため、上記し
た様に隔壁５の下面と自己膨張パッキン１の間に間隔が
あるが、チャンバー４内の気圧が低下するにつれ、自己
膨張パッキン１は合成ゴム１の外側の気圧より内側の気
圧の方が高くなり、合成ゴム２が伸び、パッキン全体が
膨張して隔壁５との間隔を完全に塞ぐ。この結果、Ａ、
Ｂ両室は、チャンバー内壁に沿って長い境界部シールさ
れ、互いに気密性が保たれることになる。 Ａ室の容積が６m3、Ｂ室が４m3のチャンバーにおいて、
Ａ室を223m3/min、Ｂ室を32,000l/secの排気能力を持つ
真空ポンプで排気したところ、僅か25分でＡ室は１×10
-2Torr、Ｂ室は５×10-4Torrの真空度に達した。これは
従来のパッキンを使用した場合に比べ10分の短縮であっ
た。 隔壁５の取着部としては、第２図に示す他にも第３図、
第４図に示すように、コ字型の隔壁受け９′上下に自己
膨張パッキン１を配置し、この間に隔壁５をガイドロー
ラなどによって着脱する構造とすることも可能である。
この場合、常圧下では第３図の様に隔壁５と自己膨張パ
ッキン１の間には上下とも間隙があるが、減圧下では第
４図の様に膨張したパッキン１で上下とも隔壁５との間
隔が塞がれる。
の一例であって、弾性部材である合成ゴム２の中空部３
に空気を常圧下で1.1気圧に充填し、密封しているもの
である。 第２図は自己膨張パッキン１を適用した真空蒸着装置の
チャンバー４の概念図であって、チャンバー４は縦断面
が円筒状のもので、チャンバー４の内部にチャンバーを
Ａ、Ｂの上下２室に分ける隔壁があり、上の室Ａには帯
状の被蒸着基材６が巻き送りロール７、巻き取りロール
７′に巻かれて設置されている。下の室Ｂにはプロセス
ドラム８があって、巻き送りロール７から出た帯状基材
６を受けて巻き取りロール７′に送る途中、該ドラム８
の下部で真空蒸着を行うものである。 隔壁５は、第１図に示す自己膨張パッキン１を上面に張
り付けた板状の隔壁受け９の上に、例えばガイドローラ
（図示せず）などによって手前より挿入されて、チャン
バー内を２分して取り付けられる。隔壁５の下面と自己
膨張パッキン１の上面との間には、チャンバー４の図示
しない蓋が開けられるなどしてチャンバー内が１気圧に
なった時に、隔壁５の挿入／取り外しに支障のない、例
えば2mm程度の間隙がある。尚、隔壁５の下面と自己膨
張パッキン１の上面との離間距離は、隔壁５の着脱に用
いるガイドローラなどを上下動可能に設けることで、調
整可能である。 チャンバー４内のＡ、Ｂ室は各々真空ポンプ（図示せ
ず）に連結されていて空気が排出され、減圧状態にする
ことが可能な構造となっている。 最初はチャンバー４の内部が１気圧であるため、上記し
た様に隔壁５の下面と自己膨張パッキン１の間に間隔が
あるが、チャンバー４内の気圧が低下するにつれ、自己
膨張パッキン１は合成ゴム１の外側の気圧より内側の気
圧の方が高くなり、合成ゴム２が伸び、パッキン全体が
膨張して隔壁５との間隔を完全に塞ぐ。この結果、Ａ、
Ｂ両室は、チャンバー内壁に沿って長い境界部シールさ
れ、互いに気密性が保たれることになる。 Ａ室の容積が６m3、Ｂ室が４m3のチャンバーにおいて、
Ａ室を223m3/min、Ｂ室を32,000l/secの排気能力を持つ
真空ポンプで排気したところ、僅か25分でＡ室は１×10
-2Torr、Ｂ室は５×10-4Torrの真空度に達した。これは
従来のパッキンを使用した場合に比べ10分の短縮であっ
た。 隔壁５の取着部としては、第２図に示す他にも第３図、
第４図に示すように、コ字型の隔壁受け９′上下に自己
膨張パッキン１を配置し、この間に隔壁５をガイドロー
ラなどによって着脱する構造とすることも可能である。
この場合、常圧下では第３図の様に隔壁５と自己膨張パ
ッキン１の間には上下とも間隙があるが、減圧下では第
４図の様に膨張したパッキン１で上下とも隔壁５との間
隔が塞がれる。
以上説明したように本考案の真空蒸着装置は、隔壁とチ
ャンバー内壁に沿って形成した隔壁取着部との間に、常
圧下で装置駆動時のチャンバー内圧力を越える圧力で気
体が密封され、且つ常圧下で遊挿可能な弾性体からなる
中空自己膨張パッキンを挿設したので、１気圧の常圧下
で行う隔壁の着脱は隔壁とパッキンの間に十分な間隔が
あるため極めて容易であり、装置駆動時においては雰囲
気の減圧につれパッキンが膨張して当初開いていた隔壁
とパッキン間の間隔を完全に塞ぐために高い気密性が確
保される。 従って、本考案によれば隔壁の着脱を容易にするため
に、隔壁とパッキン間の間隔を設けてチャンバー内の
Ａ、Ｂ両室の気密性を損なうとか、気密性を高めるため
に隔壁とパッキンの間隔を少なくしたために、隔壁着脱
時にパッキンを損傷して却って気密性を損なうといった
従来技術の問題を全て解消することができた。
ャンバー内壁に沿って形成した隔壁取着部との間に、常
圧下で装置駆動時のチャンバー内圧力を越える圧力で気
体が密封され、且つ常圧下で遊挿可能な弾性体からなる
中空自己膨張パッキンを挿設したので、１気圧の常圧下
で行う隔壁の着脱は隔壁とパッキンの間に十分な間隔が
あるため極めて容易であり、装置駆動時においては雰囲
気の減圧につれパッキンが膨張して当初開いていた隔壁
とパッキン間の間隔を完全に塞ぐために高い気密性が確
保される。 従って、本考案によれば隔壁の着脱を容易にするため
に、隔壁とパッキン間の間隔を設けてチャンバー内の
Ａ、Ｂ両室の気密性を損なうとか、気密性を高めるため
に隔壁とパッキンの間隔を少なくしたために、隔壁着脱
時にパッキンを損傷して却って気密性を損なうといった
従来技術の問題を全て解消することができた。
第１図は本考案で使用する自己膨張パッキンの一部を断
面で示した斜視図、第２図は本考案の真空蒸着装置のチ
ャンバーの一例を示す縦断面図、第３図、第４図は隔壁
取り付け部の他の例を示すものである。 １……自己膨張パッキン ２……ゴム ３……中空部 ４……チャンバー ５……隔壁 ６……帯状基材 ７……巻き送りロール ７′……巻き取りロール ８……プロセスドラム 9,9′……隔壁受け
面で示した斜視図、第２図は本考案の真空蒸着装置のチ
ャンバーの一例を示す縦断面図、第３図、第４図は隔壁
取り付け部の他の例を示すものである。 １……自己膨張パッキン ２……ゴム ３……中空部 ４……チャンバー ５……隔壁 ６……帯状基材 ７……巻き送りロール ７′……巻き取りロール ８……プロセスドラム 9,9′……隔壁受け
Claims (1)
- 【請求項１】減圧下で使用されるチャンバー内が隔壁に
よって帯状基材を搬出入する室と、前記帯状基材に金属
等を加熱、蒸発させて被着する蒸着室との２室に区画さ
れた真空蒸着装置において、前記隔壁とチャンバー内壁
に沿って形成した隔壁取着部との間に、常圧下で装置駆
動時のチャンバー内圧力を越える圧力で気体が密封さ
れ、且つ常圧下で遊挿可能な弾性体からなる中空状自己
膨張パッキンを挿設したことを特徴とする真空蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178634U JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178634U JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0182376U JPH0182376U (ja) | 1989-06-01 |
| JPH0640589Y2 true JPH0640589Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31470243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987178634U Expired - Lifetime JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640589Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0798992B2 (ja) * | 1990-06-11 | 1995-10-25 | 株式会社シンクロン | 真空槽内における基板の固定および解除方法 |
| JP2000133693A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-05-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 真空装置用駆動機構および真空装置 |
| JP2010018828A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 真空蒸着装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191435A (ja) * | 1984-03-10 | 1985-09-28 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体製造装置 |
| JPS6330959Y2 (ja) * | 1985-07-30 | 1988-08-18 | ||
| JPH0220211Y2 (ja) * | 1985-09-19 | 1990-06-01 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987178634U patent/JPH0640589Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0182376U (ja) | 1989-06-01 |
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