JPH0642504B2 - インナーリードボンダー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、キャリアテープのインナーリードをチップの
端子にボンデイングするインナーリードボンダーに関す
るものである。

［従来の技術］ 従来、キャリアテープのインナーリードをチップの端子
にボンデイングするインナーリードボンダーは公知であ
る。

例えば、特開昭５８−１６５３３５号公報においては、
ボンデイングステージ上に載置されてボンデイング位置
に位置決めされるチップの上方からキャリアテープのイ
ンナーリードをボンデイングツールで押し付け、インナ
ーリードをチップの端子にボンデイングせしめるボンデ
イング装置と、供給リールを回転させてキャリアテープ
を送り出すテープ供給装置との間に、テープテンション
装置を配設すると共にボンデイング装置と、巻取リール
を回転させてボンデイングを終えたキャリアテープを巻
き取るテープ巻取装置との間にも、テープテンション装
置を配設したインナーリードボンダーが開示されてい
る。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、このボンダーは、キャリアテープを間歇移送し
てボンデイング位置にキャリアテープのインナーリード
を位置決めさせるテープ移送装置を、キャリアテープの
幅方向両端部にテープの全長にわたって一定ピッチに穿
設されている矩形穴に、駆動回転されるスプロケットホ
イールの爪を次々と係合させてキャリアテープを移送す
る所謂、スプロケットホイール方式に構成している為、
その移送中において、両テープテンション装置によって
所定の張力が付与せしめられているキャリアテープの矩
形穴部分に不必要若しくは過大な力が作用し、これに起
因してキャリアテープが変形、損傷あるいは伸長等した
りしてインナーリードをボンデイング位置に正確に位置
決めすることができなくなるといった欠点を有してい
た。

そこで、この欠点を解消する為に、かかるテープテンシ
ョン装置に代えて、例えば、特開昭６１−１０８１４４
号公報において開示されているように、キャリアテープ
の送り出し及び巻き取りに際し、キャリアテープをＵ字
状に懸垂せしめて一定長さを貯留するように供給リール
及び巻取リールを所定に回転制御すること等が行われる
ようになった。

しかし、この方法は、供給リールを介してのキャリアテ
ープの送り出し長さ（又は、巻取リール介してのキャリ
アテープの巻き取り長さ）と、テープ移送装置を介して
のキャリアテープの移送長さとのバランスが崩れると、
一定長さの懸垂貯留が困難となり、過大に懸垂せしめら
れて貯留された場合においては、キャリアテープが、そ
の周辺の部材に接触して損傷する恐れがあると共に、過
小に懸垂せしめられて貯留された場合においては、テー
プ移送装置によるキャリアテープの移送時に（又は、巻
取リール介してのキャリアテープの巻き取り時に）、か
かるテープに過大な張力を付与させる恐れがある。

その為、キャリアテープの送り出し又は巻き取りにより
変化する、供給リール又は巻取リールのテープ巻径を考
慮して回転数を決定し、それに基づいて所定長さを送り
出し又は巻き取るといったことの制御が必要とされ、従
って、供給リール及び巻取リールの回転制御を煩雑高度
化しなければならないといった欠点を有していた。

本発明は、このようなことに着目し、これを解決すべく
鋭意検討の結果、Ｕ字状に懸垂せしめられるキャリアテ
ープの下端下限位置及び下端上限位置を検出する一対の
テープ検出器を装着し、これらの検出器による検出の有
無に基づいて供給リール及び巻取リールを間歇的に回転
制御するようにすることにより、供給リール及び巻取リ
ールの両方を、常に一定数に回転させてキャリアテープ
の送り出し及び巻き取りを行なうことができ、従って、
供給リール及び巻取リールの回転制御の煩雑高度化を阻
止することができることを見出すると共に、それに加え
て、テープ移送装置を、把持器でキャリアテープの幅方
向両端部を把持して移送する型式に構成することによ
り、キャリアテープの変形あるいは伸長等が発生すると
いった諸問題を一挙に解決し得て、キャリアテープのイ
ンナーリードを、ボンデイング位置に正確に位置決めす
ることができることを見出したのである。

［課題を解決するための手段］ すなわち、本発明に係る第１の、インナーリードボンダ
ーは、キャリアテープを間歇移送してボンデイング位置
に前記キャリアテープのインナーリードを位置決めさせ
るテープ移送装置と、ボンデイングステージにより移動
されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチップの
上方から前記キャリアテープのインナーリードをボンデ
イングツールで押し付け、前記インナーリードを前記チ
ップの端子にボンデイングせしめるボンデイング装置
と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを送り
出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出され
る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留する
第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終えて
移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せし
めて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リールを
回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記キャ
リアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたインナ
ーリードボンダーにおいて、前記第１，２テープ弛緩貯
留装置を、前記供給リール及び前記巻取リール夫々に接
近されて配設された一対のテープガイドフリーローラ
と、Ｕ字状に懸垂せしめられる前記キャリアテープの下
端上限位置を検出する第１テープ検出器と、Ｕ字状に懸
垂せしめられる前記キャリアテープの下端下限位置を検
出する第２テープ検出器とで構成し、かつ、前記第１テ
ープ弛緩貯留装置の第１テープ検出器が、前記下端上限
位置を未検出のときに前記供給リールを回転させて前記
キャリアテープを送り出すと共に前記第１，２テープ検
出器が、前記下端上限位置及び下端下限位置を検出した
ときに前記供給リールの回転を停止させ、また、前記第
２テープ弛緩貯留装置の前記第１，２テープ検出器が、
前記下端上限位置及び下端下限位置を検出したときに前
記巻取リールを回転させて前記キャリアテープを巻き取
ると共に第１テープ検出器が、前記下端上限位置を未検
出のときに前記巻取リールの回転を停止させるようにし
たことを特徴とするものである。

また、本発明に係る第２の、インナーリードボンダー
は、キャリアテープを間歇移送してボンデイング位置に
前記キャリアテープのインナーリードを位置決めさせる
テープ移送装置と、ボンデイングステージにより移動さ
れて前記ボンデイング位置に位置決めされるチップの上
方から前記キャリアテープのインナーリードをボンデイ
ングツールで押し付け、前記インナーリードを前記チッ
プの端子にボンデイングせしめるボンデイング装置と、
供給リールを回転させて前記キャリアテープを送り出す
テープ供給装置と、前記供給リールから送り出される前
記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留する第１
テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終えて移送
されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて
貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リールを回転
させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記キャリア
テープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたインナーリ
ードボンダーにおいて、前記テープ移送装置を、ボンデ
イング位置より第１テープ弛緩貯留装置側に位置されて
いるキャリアテープの幅方向両端を把持する第１テープ
把持器と、ボンデイング位置より第２テープ弛緩貯留装
置側に位置されているキャリアテープの幅方向両端を把
持する第２テープ把持器と、前記第１，２テープ把持器
を一緒に往復動させる把持器移動装置と、前記第１，２
テープ把持器がキャリアテープの把持を解除してキャリ
アテープを把持する位置へリターンされる間中、キャリ
アテープを移動させないようにロックするテープロック
装置とで構成したことを特徴とするものである。

［作用］ テープ供給装置１の供給リール７の回転により送り出さ
れるキャリアテープ８が、第１テープ弛緩貯留装置５に
よりＵ字状に懸垂されて貯留され、そして、ここからテ
ープ移送装置４によりボンデイング位置Ａに間歇移送さ
れてボンデイング装置３によりインナーリードボンデイ
ングされる。その際、ボンデイングを終えて移送されて
来るキャリアテープ８が第２テープ弛緩貯留装置６によ
りＵ字状に懸垂されて貯留され、そして、テープ巻取装
置２の巻取リール９の回転により巻き取られる。

なお、供給リール７は、第１テープ弛緩貯留装置５の第
１，２テープ検出器１１ａ，１１ｂを介してのテープ検
出の有無により、また、巻取リール９は、第２テープ弛
緩貯留装置６の第１，２テープ検出器１３ａ，１３ｂを
介してのテープ検出の有無により夫々回転制御され、更
に、テープ移送装置４は、把持器移動装置３２によって
一緒に移動される第１，２テープ把持器３０，３１（第
４，５図参照）でキャリアテープ８の幅方向両端を把持
して移送する。

［実施例］ 以下、本発明に係る実施例について述べると、インナー
リードボンダーの正面図である第１図において、このボ
ンダーは、テープ供給装置１とテープ巻取装置２との間
にボンデイング装置３やテープ移送装置４等を配設する
と共にテープ供給装置１側に第１テープ弛緩貯留装置５
を、また、テープ巻取装置２側に第２テープ弛緩貯留装
置６を配設して構成されている。

なお、テープ供給装置１は、図示されていない電動機
（パルスモータ若しくは同期電動機）により回転される
供給リール７を備え、このリール７からボンデイングし
ようとするキャリアテープ８を送り出す。一方、テープ
巻取装置２は、図示されていない電動機（パルスモータ
若しくは同期電動機）により回転される巻取リール９を
備え、このリール９にボンデイングを終えたキャリアテ
ープ８を巻き取る。なお、供給リール７及び巻取リール
９の回転数は常に一定に保たれる。

次に、第１テープ弛緩貯留装置５は、供給リール７に接
近されて同一レベルに配設された一対のテープガイドフ
リーローラ１０ａ，１０ｂと、第１，２テープ検出器１
１ａ，１１ｂとを備え、供給リール７から送出されるキ
ャリアテープ８をＵ字状に懸垂せしめて貯留する。な
お、この貯留長さは一定の範囲に保たれる。

すなわち、キャリアテープ８の送り出し長さが増加する
に従って、テープガイドフリーローラ１０ａ，１０ｂを
介してＵ字状に懸垂せしめられるキャリアテープ８の下
端が次第に下方へ移動され、それが上限位置に達すると
第１テープ検出器１１ａで検出され、更に、下方へ移動
されて下限位置に達すると第２テープ検出器１１ｂで検
出される。すると供給リール７の回転が停止される。

そして、このようにして所定長さに懸垂貯留されたキャ
リアテープ８が、後述するテープ移送装置４によりボン
デイング装置３側へ移送されると、その移送長さが増加
するに従って、Ｕ字状に懸垂せしめられているキャリア
テープ８の下端が次第に上方へ移動される。

その為、第２テープ検出器１１ｂによる検出が解除され
ると共に、その後、第１テープ検出器１１ａによる検出
が解除される。すると、供給リール７が回転され、それ
からキャリアテープ８が送出される。

なお、第１，２テープ検出器１１ａ，１１ｂは、光電管
型検出器等、周知のものが用いられ、また、Ｕ字状に懸
垂せしめられているキャリアテープ８の下端上限位置を
検出する第１テープ検出器１１ａは、テープガイドフリ
ーローラ１０ａ，１０ｂより少し下方に位置させて配設
することもできるが、これでは、Ｕ字状に懸垂貯留する
テープ長さが十分に得られないから、可能な限りそれよ
りも下方に位置せしめられて配設されている。

一般には、テープ移送装置４が１回の間歇移送によりボ
ンデイング装置３側へ移送し得るテープ長さの数倍以上
を常にＵ字状に懸垂貯留し得るようにテープ検出器１１
ａを所定レベルに配設すればよい。加えて、他の第２テ
ープ検出器１１ｂは、Ｕ字状に懸垂せしめられるキャリ
アテープ８が過大に懸垂されて、その周辺の部材に接触
するのを防止するに適した位置に配設される。

一方、第２テープ弛緩貯留装置６は、巻取リール９に接
近されて同一レベルに配設された一対のテープガイドフ
リーローラ１２ａ，１２ｂと、第１，２テープ検出器１
３ａ，１３ｂとを備え、テープ移送装置４によりボンデ
イング装置３側から移送されて来るボンデイングを終え
たキャリアテープ８をＵ字状に懸垂せしめて貯留する。
なお、この貯留長さは一定の範囲に保たれる。

すなわち、ボンデイング装置３側から移送されて来るキ
ャリアテープ８の長さが増加するに従って、テープガイ
ドフリーローラ１２ａ，１２ｂを介してＵ字状に懸垂せ
しめられるキャリアテープ８の下端が次第に下方へ移動
され、それが上限位置に達すると第１テープ検出器１３
ａで検出され、更に、下方へ移動されて下限位置に達す
ると第２テープ検出器１３ｂで検出される。すると、テ
ープ巻取装置２の巻取リール９が回転され、キャリアテ
ープ８が巻き取られる。

そして、かかる巻き取り長さが増加するに従って、Ｕ字
状に懸垂せしめられているキャリアテープ８の下端が次
第に上方へ移動される。その為、第２テープ検出器１３
ｂによる検出が解除されると共に、その後、第１テープ
検出器１３ａによる検出が解除される。すると、巻取リ
ール７の回転が停止され、キャリアテープ８の巻き取り
が停止される。

なお、第１，２検出器１３ａ，１３ｂも、光電管型検出
器等、周知のものが用いられ、また、Ｕ字状に懸垂せし
められているキャリアテープ８の下端上限位置を検出す
る第１テープ検出器１３ａは、テープガイドフリーロー
ラ１３ａ，１３ｂより少し下方に位置させて配設するこ
ともできるが、これでは、Ｕ字状に懸垂貯留するテープ
長さが十分に得られないから、可能な限りそれよりも下
方に位置せしめられて配設されている。

一般には、テープ移送装置４の一回の移送動作によりボ
ンデイング装置３側から移送されて来るテープ長さの数
倍以上を常にＵ字状に懸垂貯留し得るように第１テープ
検出器１３ａを所定レベルに配設すればよい。加えて、
他の第２テープ検出器１３ｂは、Ｕ字状に懸垂せしめら
れるキャリアテープ８が過大に懸垂されて、その周辺の
部材に接触するのを防止するに適した位置に配設されて
いる。

このように、テープ供給装置１側に配設される第１テー
プ弛緩貯留装置５及びテープ巻取装置２側に配設される
第２テープ弛緩貯留装置６は共に、Ｕ字状に懸垂せしめ
られて貯留されるキャリアテープ８の下端上限位置及び
下端下限位置を検出して供給リール７又は巻取リール９
の回転制御を行なうことができるように構成されてい
る。

その為、キャリアテープ８の送り出し及び巻き取りを行
うことにより変化する、供給リール７及び巻取リール９
のテープ巻径を考慮して回転数を決定し、それに基づい
て所定長さを送り出し及び巻き取るといったことの制御
をしなくても、常に一定の回転数でキャリアテープ８の
送り出し及び巻き取りを行なって、その懸垂貯留長さを
一定の範囲に保つことができ、従って、供給リール及び
巻取リールの回転制御の煩雑高度化を阻止することがで
きる。

次に、ボンデイング装置３は、ボンデイングステージ１
６と、位置検出器（カメラ）１８と、ボンデイングツー
ル１９と、チップ供給装置２０と、ボンデイング用テー
プロック器２１とを備え、これらを機台１５上、又は適
当なブラケット１７等を介して装置フレーム２２に装着
している。

なお、チップ供給装置２０は、トレー若しくはコンベア
上のチップを、ボンデイングステージ１６の小さな矩形
のワーク受けステージ（最上段のステージ）に移載し得
るように構成され、また、ボンデイングステージ１６は
ＸＹテーブル等を備え、多方向へ移動し得るように構成
されている。

その為、かかる移動制御により、チップ供給装置２０よ
りチップを受け取る位置（平面視においてキャリアテー
プ８の幅方向の側方位置）からキャリアテープ８の下方
位置へ移動することができると共に、それに引き続い
て、前記ワーク受けステージに載置されているチップの
端子を、ボンデイング位置Ａに位置決めされてボンデイ
ング用テープロック器２１によりロックされているキャ
リアテープ８のインナーリードに対して精密に位置決め
させることできる。

また、ボンデイングツール１９はヒータを内蔵し、か
つ、垂直に上下動し得るように装着され、キャリアテー
プ８のインナーリードを、チップの端子に押し付けて加
熱圧着し得るように構成されている。

更に、ボンデイング用テープロック器２１は、第１図の
部分拡大図である第２図において示されているように、
装置フレーム２２に適当なブラケットを介して装着され
たシリンダー２３と、このシリンダー２３のピストンロ
ッドに装着された上チャック爪板２４と、シリンダー２
３の本体に装着された下チャック爪板２５とで構成され
ている。

なお、ピストンロッドを突出させた姿を、その側方向か
ら見た場合、上チャツク爪板２４とピストンロッドと下
チャック爪板２５とでコの字を形成し、しかも、上チャ
ック爪板２４と下チャック爪板２５とで、第３図におい
て示されている後述の第１テープ把持器３０の左右のニ
ップ部４３ａ，４３ｂと同様の左ニップ部及び右ニップ
部を形成することができるように設けられている。従っ
て、かかる上チャック爪板２４と下チャック爪板２５と
を接近させることにより、キャリアテープ８の幅方向両
端を把持してロックすることができる。

なお、上チャック爪板２４に、ボンデイングツール１９
の下端を挿入する為の正四角形穴を貫通させていると共
に下チャック爪板２５に、ボンデイングステージ１６の
小さな矩形のワーク受けステージ（最上段のステージ）
を挿入することができる矩形穴を貫通させている。その
為、後述するテープ移送装置４によって移送されて来
て、キャリアテープ８のインナーリードがボンデイング
位置Ａに位置決めされると、かかるテープ８を、このロ
ック器２１でロックし、次いで、この状態において、ボ
ンデイングツール１９を下方へ移動させて、その下端を
上チャック爪板２４の前記穴に挿入させてボンデイング
することができる。

その際、ボンデイングに先行して、ロックされているキ
ャリアテープ８のインナーリードに対し、ボンデイング
ステージ１６の移動制御により、チップの端子が精密位
置決めされる。すなわち、ロックされたキャリアテープ
８のインナーリードの位置が位置検出器（カメラ）１８
で読み取られ、その位置にチップの端子を位置させるよ
うにボンデイングステージ１６の移動制御が行われる。

次に、テープ移送装置４は、第１，２図において示され
ているように、ボンデイング位置Ａより第１テープ弛緩
貯留装置５側に位置されている第１テープ把持器３０
と、ボンデイング位置Ａより第２テープ弛緩貯留装置６
側に位置されている第２テープ把持器３１と、第１，２
把持器３０，３１を一緒に往復動させる把持器移動装置
３２と、テープロック装置３３とを備えている。

なお、第１テープ把持器３０は、第２図のＺ−Ｚ矢視図
である第３図及び第２図のＹ−Ｙ矢視図である第４図に
おいて示されているように、アーム３４の一端に固着さ
れた一対のガイドピン３５ａ，３５ｂと、これらのピン
３５ａ，３５ｂに嵌装されると共に、その右側突起部が
アーム３４の貫通穴３６に挿入された凹形のチャックブ
ラケット３７と、このブラケット３７の上端にボルト３
８により装着された上チャック爪板３９と、アーム３４
に装着されたシリンダーブラケット４０と、ピストンロ
ッド４１をチャックブラケット３７に螺結し、かつ、シ
リンダーブラケット４０に装着されたシリンダー４２と
で構成されている。

その為、シリンダー４２のピストンロッド４１を出没さ
せることにより、上チャック爪板３９とチャックブラケ
ット３７とを一緒に上下動させることができるが、その
際、アーム３４の左端部の上面と上チャック爪板３９の
下面とで左右のニップ部４３ａ，４３ｂを形成すること
ができる。

従って、シリンダー４２のピストンロッド４１を没する
ことにより、空間部４４に位置されるキャリアテープ８
の幅方向両端を把持することができる。また、把持して
いる状態からシリンダー４２のピストンロッド４１を突
出することにより、かかる把持を解除することができ
る。

なお、第２テープ把持器３１も、第２図のＸ−Ｘ矢視図
である第５図において示されているように、第１テープ
把持器３０と同一に構成されている。また、第１テープ
把持器３０のアーム３４と第２テープ把持器３１のアー
ム４５とが、連結バー４６に所定間隔に装着され、そし
て、アーム３４は、装置フレーム２２に装着されている
レール４７で案内されて水平に移動し得るように装着さ
れていると共にアーム４５も、装置フレーム２２に装着
されているレール４８で案内されて水平に移動し得るよ
うに装着されている。

次に、把持器移動装置３２は、装置フレーム２２に装着
されている電動機５０（パルスモータ若しくは同期電動
機）と、これの出力軸とカップリング５１を介して連結
され、かつ、装置フレーム２２に装着された軸受５２，
５３により回転し得るように支持された螺子軸５４と、
この螺子軸５４と螺結されると共にアーム４５の下端に
装着されたナット５５と、装置フレーム２２に装着され
ているブラケット５６，５７で回転し得ないように支持
されたバー５８と、このバー５８の所定位置に装着され
た検出器５９，６０，６１と、ナット５５に装着された
検出片６２と、カップリング５１に装着された多孔円板
６３と、装置フレーム２２に装着されたパルス検出器６
４とで構成されている。

而して、電動機５０（パパルスモータ若しくは同期電動
機）を運転して螺子軸５４を回転させることにより、ナ
ット５５及びアーム４５を、レール４８で案内して移動
させることができ、従って、これと連結バー４６で一体
化されているアーム３４もレール４７で案内して移動さ
せることができる。すなわち、第１テープ把持器３０と
第２テープ把持器３１とを一定の間隔を保ちながら一緒
に移動させることができる。

その際、電動機５０（パルスモータ若しくは同期電動
機）の回転方向を所定方向に制御することにより、第２
テープ把持器３１をボンデイング位置Ａに接近させた
り、あるいは、遠ざけたりすることができる。そして、
かかる移動距離は、パルス検出器６４によるパルスカウ
ントに基づく電動機５０の回転制御により行われる。な
お、検出器６０は検出片６２と関係されて検出信号を得
るが、これによりナット５５の移動基準点を検出する。
また、他の検出器５９，６１はオーバーラン防止の為に
装着されている。

次に、テープロック装置３３は、第２図において、装置
フレーム２２の左端に装着されたリターン用第１テープ
ロック器７０ａと、装置フレーム２２の右端に装着され
たリターン用第２テープロック器７０ｂとを備えてい
る。なお、両テープロック器７０ａ，７０ｂは、第２図
のＷ−Ｗ矢視図である第６図において示されているよう
に、装置フレーム２２に装着されたアーム７１に装着さ
れ、かつ、上述の第１テープ把持器３０と同一に構成さ
れている。

その為、把持器移動装置３２により、第１，２テープ把
持器３０，３１が一緒に、第２において（イ）の方向へ
一定距離移動された後、（ロ）の方向へ移動して元の位
置にリターンされる際、リターン用第１，２テープロッ
ク器７０ａ，７０ｂで、キャリアテープ８の幅方向両端
を把持してロックし、キャリアテープ８の移動を阻止す
ることができる。

すなわち、第１，２テープ把持器３０，３１は、図２に
おいて示されている位置（基準位置）においてキャリア
テープ８を把持し、そのままの状態で（イ）の方向へ一
定距離移動される。これにより、キャリアテープ８がボ
ンデイング位置Ａに位置決めされる。

すると、リターン用第１，２テープロック器７０ａ，７
０ｂがキャリアテープ８を把持してロックし、次いで、
第１，２テープ把持器３０，３１がキャリアテープ８の
把持を解除して（ロ）の方向へ移動されて元の位置（基
準位置）にリターンされる。

そして、続いて、ボンデイング用テープロック器２１
が、キャリアテープ８を把持してロックすると、リター
ン用第１，２テープロック器７０ａ，７０ｂがキャリア
テープ８のロックを解除し、ボンデイング装置３がボン
デイングを開始する。

以下、上述のようにしてボンデイングを終えると、第
１，２テープ把持器３０，３１がキャリアテープ８を把
持し、次いで、ボンデイング用テープロック器２１がキ
ャリアテープ８のロックを解除し、把持器移動装置３２
により、第１，２テープ把持器３０，３１が一緒に
（イ）の方向へ一定距離移動される。このようにして、
次々と、キャリアテープ８のインナーリードをチップの
端子にボンデイングすることができる。なお、これと並
行して、第１，２テープ弛緩貯留装置５，６が、キャリ
アテープ８の懸垂貯留長さを常に一定の範囲に保つよう
に制御される。

よって、第１，２テープ弛緩貯留装置５，６により、Ｕ
字状に懸垂せしめられ貯留されているキャリアテープ８
を、テープ把持器３０，３１で把持して移送することが
できるから、キャリアテープ８に過大な張力を付与させ
ずに移送することができ、従って、キャリアテープ８の
変形あるいは伸長等の発生を防止し得て、キャリアテー
プ８のインナーリードを、ボンデイング位置に常に正確
に位置決めすることができる。

なお、ボンデイングステージ１６は、ボンデイングを終
えると、所定に移動制御されてチップ供給装置２０より
チップを受け取る位置にリターンされると共にボンデイ
グツール１９は、上方の元の位置へ移動される。

［発明の効果］ 上述の如く、本願に係る第１の発明によると、キャリア
テープの送り出し側及び巻き取り側にテープ弛緩貯留装
置を配設したインナーリードボンダーに関し、供給リー
ル及び巻取リールの両方を、常に一定数に回転させてキ
ャリアテープの送り出し及び巻き取りを行なうことがで
き、従って、供給リール及び巻取リールの回転制御の煩
雑高度化を阻止することができる。

また、本願に係る第２の発明によると、キャリアテープ
の送り出し側及び巻き取り側にテープ弛緩貯留装置を配
設したインナーリードボンダーに関し、キャリアテープ
の変形あるいは伸長等の発生を防止し得て、キャリアテ
ープのインナーリードを、ボンデイング位置に正確に位
置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】 第１図はインナーリードボンダーの正面図、第２図は第
１図の一部を拡大した図、第３図は第２図のＺ−Ｚ矢視
図、第４図は第２図のＹ−Ｙ矢視図、第５図は第２図の
Ｘ−Ｘ矢視図、第６図は第２図のＷ−Ｗ矢視図である。 １…テープ供給装置 ２…テープ巻取装置 ３…ボンデイング装置 ４…テープ移送装置 ５…第１テープ弛緩貯留装置 ６…第２テープ弛緩貯留装置 ７…供給リール ８…キャリアテープ ９…巻取リール １０ａ，１０ｂ…テープガイドフリーローラ １１ａ，１３ａ…第１テープ検出器 １１ｂ，１３ｂ…第２テープ検出器 １２ａ，１２ｂ…テープガイドフリーローラ １６…ボンデイングステージ １９…ボンデイングツール ３０…第１テープ把持器 ３１…第２テープ把持器 ３２…把持器移動装置 ３３…テープロック装置 ７０ａ…リターン用第１テープロック器 ７０ｂ…リターン用第２テープロック器 Ａ…ボンデイング位置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアテープを間歇移送してボンデイン
   グ位置に前記キャリアテープのインナーリードを位置決
   めさせるテープ移送装置と、ボンデイングステージによ
   り移動されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチ
   ップの上方から前記キャリアテープのインナーリードを
   ボンデイングツールで押し付け、前記インナーリードを
   前記チップの端子にボンデイングせしめるボンデイング
   装置と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを
   送り出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出
   される前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留
   する第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終
   えて移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂
   せしめて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リー
   ルを回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記
   キャリアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたイ
   ンナーリードボンダーにおいて、前記第１，２テープ弛
   緩貯留装置を、前記供給リール及び前記巻取リール夫々
   に接近されて配設された一対のテープガイドフリーロー
   ラと、Ｕ字状に懸垂せしめられる前記キャリアテープの
   下端上限位置を検出する第１テープ検出器と、Ｕ字状に
   懸垂せしめられる前記キャリアテープの下端下限位置を
   検出する第２テープ検出器とで構成し、かつ、前記第１
   テープ弛緩貯留装置の前記第１テープ検出器が、前記下
   端上限位置を未検出のときに前記供給リールを回転させ
   て前記キャリアテープを送り出すと共に前記第１，２テ
   ープ検出器が、前記下端上限位置及び前記下端下限位置
   を検出したときに前記供給リールの回転を停止させ、ま
   た、前記第２テープ弛緩貯留装置の前記第１，２テープ
   検出器が、前記下端上限位置及び前記下端下限位置を検
   出したときに前記巻取リールを回転させて前記キャリア
   テープを巻き取ると共に前記第１テープ検出器が、前記
   下端上限位置を未検出のときに前記巻取リールの回転を
   停止させるようにしたことを特徴とするインナーリード
   ボンダー。
2. 【請求項２】キャリアテープを間歇移送してボンデイン
   グ位置に前記キャリアテープのインナーリードを位置決
   めさせるテープ移送装置と、ボンデイングステージによ
   り移動されて前記ボンデイング位置に位置決めされるチ
   ップの上方から前記キャリアテープのインナーリードを
   ボンデイングツールで押し付け、前記インナーリードを
   前記チップの端子にボンデイングせしめるボンデイング
   装置と、供給リールを回転させて前記キャリアテープを
   送り出すテープ供給装置と、前記供給リールから送り出
   される前記キャリアテープをＵ字状に懸垂せしめて貯留
   する第１テープ弛緩貯留装置と、前記ボンデイングを終
   えて移送されて来る前記キャリアテープをＵ字状に懸垂
   せしめて貯留する第２テープ弛緩貯留装置と、巻取リー
   ルを回転させてＵ字状に懸垂されて貯留されている前記
   キャリアテープを巻き取るテープ巻取装置とを備えたイ
   ンナーリードボンダーにおいて、前記テープ移送装置
   を、ボンデイング位置より第１テープ弛緩貯留装置側に
   位置されているキャリアテープの幅方向両端を把持する
   第１テープ把持器と、ボンデイング位置より第２テープ
   弛緩貯留装置側に位置されているキャリアテープの幅方
   向両端を把持する第２テープ把持器と、前記第１，２テ
   ープ把持器を一緒に往復動させる把持器移動装置と、前
   記第１，２テープ把持器がキャリアテープの把持を解除
   してキャリアテープを把持する位置へリターンされる間
   中、キャリアテープを移動させないようにロックするテ
   ープロック装置とで構成したことを特徴とするインナー
   リードボンダー。