JPH0643168Y2 - 熱雰囲気作業ロボットの安全装置 - Google Patents
熱雰囲気作業ロボットの安全装置Info
- Publication number
- JPH0643168Y2 JPH0643168Y2 JP10758687U JP10758687U JPH0643168Y2 JP H0643168 Y2 JPH0643168 Y2 JP H0643168Y2 JP 10758687 U JP10758687 U JP 10758687U JP 10758687 U JP10758687 U JP 10758687U JP H0643168 Y2 JPH0643168 Y2 JP H0643168Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- safety device
- atmosphere
- hot
- work robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は熱雰囲気に出入するヘッド部を備えた作業ロボ
ットの安全装置に関する。
ットの安全装置に関する。
（従来技術） 進退可能なアームの先端に、ワークを保持するヘッド部
を備えた作業ロボットは、例えば特公昭52−36142号公
報によって知られているが、この作業ロボットを浸炭炉
のような熱雰囲気中でワークを過熱処理するのに用いる
場合、ヘッド部が浸炭炉内にあるときに非常事態が発生
して、この作業炉ロボットが停止すると、ヘッド部が熱
雰囲気中に放置されるため、このヘッド部およびアーム
の先端部が熱のために損傷するという問題があった。
を備えた作業ロボットは、例えば特公昭52−36142号公
報によって知られているが、この作業ロボットを浸炭炉
のような熱雰囲気中でワークを過熱処理するのに用いる
場合、ヘッド部が浸炭炉内にあるときに非常事態が発生
して、この作業炉ロボットが停止すると、ヘッド部が熱
雰囲気中に放置されるため、このヘッド部およびアーム
の先端部が熱のために損傷するという問題があった。
（考案の構成） そこで本考案は、非常事態発生時にはアームを直ちに後
退させて、熱雰囲気内にあるヘッド部を熱雰囲気外へ緊
急退避させるようにした熱雰囲気作業ロボットの安全装
置を提供することを目的とする。
退させて、熱雰囲気内にあるヘッド部を熱雰囲気外へ緊
急退避させるようにした熱雰囲気作業ロボットの安全装
置を提供することを目的とする。
（考案の構成） 本考案による熱雰囲気作業ロボットの安全装置において
は、主アクチュエータにより進退される移動台が台上に
設けられ、上記アームが、上記移動台上に設けられたア
ーム保持部材に保持されて、上記移動台の進退に伴って
進退され、上記台上に係止部材が固定されている。そし
て、上記移動台上に非常用アクチュエータが固定されて
おり、この非常用アクチュエータは、上記係止部材に係
合し得る係合手段を備え、非常事態発生時に該係合手段
を上記係止部材に係合させ、該係合状態で上記移動台を
後退させることにより直ちに上記アームを後退させて、
熱雰囲気内にある上記ヘッド部を熱雰囲気外へ緊急退避
させるように作動することを特徴とする。
は、主アクチュエータにより進退される移動台が台上に
設けられ、上記アームが、上記移動台上に設けられたア
ーム保持部材に保持されて、上記移動台の進退に伴って
進退され、上記台上に係止部材が固定されている。そし
て、上記移動台上に非常用アクチュエータが固定されて
おり、この非常用アクチュエータは、上記係止部材に係
合し得る係合手段を備え、非常事態発生時に該係合手段
を上記係止部材に係合させ、該係合状態で上記移動台を
後退させることにより直ちに上記アームを後退させて、
熱雰囲気内にある上記ヘッド部を熱雰囲気外へ緊急退避
させるように作動することを特徴とする。
（考案の効果） 本考案によれば、非常事態発生時には非常用アクチュエ
ータが直ちに作動してアームを後退させるから、ヘッド
部およびアームの先端部が熱によって損傷を受けるのを
防止することができる。
ータが直ちに作動してアームを後退させるから、ヘッド
部およびアームの先端部が熱によって損傷を受けるのを
防止することができる。
（実施例） 以下、本考案の一実施例について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本考案による安全装置を備えた熱雰囲気作業ロ
ボットの全体図を示し、台車１上に固定された円筒状の
本体２は、垂直方向に延びる軸線ｌのまわりで回転可能
な内筒３を備えており、この内筒３に、上下方向に延び
る２本のガイド柱４、４が立設されている。内筒３の回
転は、本体２に取付けられたθ軸サーボモータ５によっ
て制御される。ガイド柱４、４には、昇降台６が昇降可
能に取付けられており、この昇降台６の昇降は、ガイド
柱４、４の上端にエアシリンダよりなるエアバランサ７
とともに取付けられているＺ軸サーボモータ８によって
制御される。
ボットの全体図を示し、台車１上に固定された円筒状の
本体２は、垂直方向に延びる軸線ｌのまわりで回転可能
な内筒３を備えており、この内筒３に、上下方向に延び
る２本のガイド柱４、４が立設されている。内筒３の回
転は、本体２に取付けられたθ軸サーボモータ５によっ
て制御される。ガイド柱４、４には、昇降台６が昇降可
能に取付けられており、この昇降台６の昇降は、ガイド
柱４、４の上端にエアシリンダよりなるエアバランサ７
とともに取付けられているＺ軸サーボモータ８によって
制御される。
昇降台６は、水平方向に伸縮するピストンロッド９を備
えた主アクチュエータとしてのエアシリンダ10と、後述
するアーム11の前後方向の動きを制御するＲ軸サーボモ
ータ12とを備えている。また昇降台６は水平かつ平坦な
頂面6aを有し、この頂面6a上に、エアシリンダ10のピス
トンロッド９の先端に連結されてこのピストンロッド９
の伸縮に伴って頂面6a上を水平方向に移動する移動台13
が設けられている。移動台13上には、２個のアーム保持
部材14、15がピストンロッド９の伸縮方向と平行なアー
ム11の進退方向に沿って所定の間隔をおいて立設され、
各アーム保持部材14、15には、円筒状のアーム11を摺動
可能に上下から挟持する鼓状のローラ16、16がそれぞれ
取付けられ、アーム11を進退可能に保持している。
えた主アクチュエータとしてのエアシリンダ10と、後述
するアーム11の前後方向の動きを制御するＲ軸サーボモ
ータ12とを備えている。また昇降台６は水平かつ平坦な
頂面6aを有し、この頂面6a上に、エアシリンダ10のピス
トンロッド９の先端に連結されてこのピストンロッド９
の伸縮に伴って頂面6a上を水平方向に移動する移動台13
が設けられている。移動台13上には、２個のアーム保持
部材14、15がピストンロッド９の伸縮方向と平行なアー
ム11の進退方向に沿って所定の間隔をおいて立設され、
各アーム保持部材14、15には、円筒状のアーム11を摺動
可能に上下から挟持する鼓状のローラ16、16がそれぞれ
取付けられ、アーム11を進退可能に保持している。
アーム11は、先端にワークＷを保持するヘッド部18を備
えており、さらにアーム11の後端部と中間部とにそれぞ
れ係止フランジ19、20が形成されている。これら係止フ
ランジ19、20は、後方のアーム保持部材15の後縁と前方
のアーム保持部材14の前縁とにそれぞれ当接することに
よって、アーム保持部材14、15に対するアーム11の移動
範囲を限定するために設けられているものである。
えており、さらにアーム11の後端部と中間部とにそれぞ
れ係止フランジ19、20が形成されている。これら係止フ
ランジ19、20は、後方のアーム保持部材15の後縁と前方
のアーム保持部材14の前縁とにそれぞれ当接することに
よって、アーム保持部材14、15に対するアーム11の移動
範囲を限定するために設けられているものである。
アーム保持部材14、15の上端には、非常用アクチュエー
タとしてのエアシリンダ21が主アクチュエータとしての
エアシリンダ10およびアーム11と平行に取付けられてお
り、したがって、エアシリンダ21は、アーム保持部材1
4、15を介して移動台13上に固定されている。このエア
シリンダ21は、エアシリンダ10のピストンロッド９とは
反対側に向って、すなわちアーム11の後退方向に向って
突出し、かつ先端に係合フランジ22を備えたピストンロ
ッド23を備えており、通常の状態では、第１図に示すよ
うにこのロボットの後方側に伸長された状態を保ってい
る。また、エアシリンダ21の後方側には、このエアシリ
ンダ10に近接した位置でピストンロッド23の先端の係合
フランジ22と係合しうる係止部座24が昇降台６に固定さ
れている。さらに台車１上には、このエアシリンダ21に
エアを供給するためのエアポンプ25が設けられており、
このエアポンプ25からエアシリンダ21に至るエア通路の
途中に切換弁26が設けられ、この切換弁26が作動される
と、ピストンロッド23が急速に収縮するように構成され
ている。
タとしてのエアシリンダ21が主アクチュエータとしての
エアシリンダ10およびアーム11と平行に取付けられてお
り、したがって、エアシリンダ21は、アーム保持部材1
4、15を介して移動台13上に固定されている。このエア
シリンダ21は、エアシリンダ10のピストンロッド９とは
反対側に向って、すなわちアーム11の後退方向に向って
突出し、かつ先端に係合フランジ22を備えたピストンロ
ッド23を備えており、通常の状態では、第１図に示すよ
うにこのロボットの後方側に伸長された状態を保ってい
る。また、エアシリンダ21の後方側には、このエアシリ
ンダ10に近接した位置でピストンロッド23の先端の係合
フランジ22と係合しうる係止部座24が昇降台６に固定さ
れている。さらに台車１上には、このエアシリンダ21に
エアを供給するためのエアポンプ25が設けられており、
このエアポンプ25からエアシリンダ21に至るエア通路の
途中に切換弁26が設けられ、この切換弁26が作動される
と、ピストンロッド23が急速に収縮するように構成され
ている。
以上が本考案による熱雰囲気作業ロボットの構成である
が、次にその動作について第２図および第３図を参照し
て説明する。
が、次にその動作について第２図および第３図を参照し
て説明する。
まず第１図に示す状態において、主アクチュエータとし
てのエアシリンダ10が作動されると、そのピストンロッ
ド９が伸長され、この伸長に伴ってピストンロッド９に
連結されている移動台13が昇降台６の上面6aをアーム保
持部材14、15とともに前方に移動する。そしてこの移動
に伴って、前方のアーム保持部材14の前縁がアーム11の
前方の係止フランジ20に係合するため、アーム11はアー
ム保持部材14、15とともに前進する。シリンダ10のピス
トンロッド９は最も伸長した位置で停止するから、アー
ム保持部材14、15も停止するが、アーム11のみはその慣
性によってローラ16を転動しながらさらに前進して、そ
の後端に形成されている係止フランジ19が後方のアーム
保持部材15の後縁に当接する位置まで移動して第２図に
示す状態となる。この状態では、アーム11の先端に取付
けられてワークＷを保持しているヘッド部18が浸炭炉27
内にあり、ここでワークＷが浸炭処理される。この場
合、非常用アクチュエータであるエアシリンダ21も、ア
ーム保持部材14、15とともに前方へ移動するため、その
ピストンロッド23の後端に設けられている係合フランジ
22が、昇降台６上に固定されている係止部材24に近接し
た位置に来るが、係止部材24とは係合せず、エアシリン
ダ21はそのピストンロッド23が伸長状態にあるときには
アーム11の動きには何等関与していない。ワークＷの浸
炭処理が終了して再びエアシリンダ10が作動されると、
そのピストンロッド９が収縮され、この収縮に伴って移
動台13がアーム保持部材14、15とともに後方へ移動す
る。そしてこの移動に伴って後方のアーム保持部材15の
後縁がアーム11の後端の係止フランジ19に係合するた
め、アーム11はアーム保持部材14、15とともに後退す
る。シリンダ10のピストンロッド９は最も収縮した位置
で停止するから、アーム保持部材14、15も停止するが、
アーム11のみはその慣性によってローラ16を転動しなが
らさらに後退して、第１図に示す状態に戻り、ヘッド部
18に把持されているワークＷは浸炭炉27から取出され
る。
てのエアシリンダ10が作動されると、そのピストンロッ
ド９が伸長され、この伸長に伴ってピストンロッド９に
連結されている移動台13が昇降台６の上面6aをアーム保
持部材14、15とともに前方に移動する。そしてこの移動
に伴って、前方のアーム保持部材14の前縁がアーム11の
前方の係止フランジ20に係合するため、アーム11はアー
ム保持部材14、15とともに前進する。シリンダ10のピス
トンロッド９は最も伸長した位置で停止するから、アー
ム保持部材14、15も停止するが、アーム11のみはその慣
性によってローラ16を転動しながらさらに前進して、そ
の後端に形成されている係止フランジ19が後方のアーム
保持部材15の後縁に当接する位置まで移動して第２図に
示す状態となる。この状態では、アーム11の先端に取付
けられてワークＷを保持しているヘッド部18が浸炭炉27
内にあり、ここでワークＷが浸炭処理される。この場
合、非常用アクチュエータであるエアシリンダ21も、ア
ーム保持部材14、15とともに前方へ移動するため、その
ピストンロッド23の後端に設けられている係合フランジ
22が、昇降台６上に固定されている係止部材24に近接し
た位置に来るが、係止部材24とは係合せず、エアシリン
ダ21はそのピストンロッド23が伸長状態にあるときには
アーム11の動きには何等関与していない。ワークＷの浸
炭処理が終了して再びエアシリンダ10が作動されると、
そのピストンロッド９が収縮され、この収縮に伴って移
動台13がアーム保持部材14、15とともに後方へ移動す
る。そしてこの移動に伴って後方のアーム保持部材15の
後縁がアーム11の後端の係止フランジ19に係合するた
め、アーム11はアーム保持部材14、15とともに後退す
る。シリンダ10のピストンロッド９は最も収縮した位置
で停止するから、アーム保持部材14、15も停止するが、
アーム11のみはその慣性によってローラ16を転動しなが
らさらに後退して、第１図に示す状態に戻り、ヘッド部
18に把持されているワークＷは浸炭炉27から取出され
る。
次に第２図の状態において、ロボット作業停止等の非常
事態が発生した場合を考える。この場合、切換弁26が作
動されるため、エアシリンダ21にエアポンプ25から切換
弁26を通じてエアが供給され、エアシリンダ21のピスト
ンロッド23は急速に収縮される。このときピストンロッ
ド23の先端の係合フランジ22が係止部材24によって係止
されるから、ピストンロッド23の収縮に伴ってアーム保
持部材14、15および移動台13がエアシリンダ10のピスト
ンロッド９を収縮しながら後方へ強制的に移動される。
そしてこの移動とともにアーム11も後退するから、第３
図に示すように、ヘッド部18は浸炭炉27外に緊急退避さ
せられる。なお、この場合、主アクチュエータであるエ
アシリンダ10が移動台13の後退に対し抵抗を与えないよ
うな配慮がなされていることは言うまでもない。
事態が発生した場合を考える。この場合、切換弁26が作
動されるため、エアシリンダ21にエアポンプ25から切換
弁26を通じてエアが供給され、エアシリンダ21のピスト
ンロッド23は急速に収縮される。このときピストンロッ
ド23の先端の係合フランジ22が係止部材24によって係止
されるから、ピストンロッド23の収縮に伴ってアーム保
持部材14、15および移動台13がエアシリンダ10のピスト
ンロッド９を収縮しながら後方へ強制的に移動される。
そしてこの移動とともにアーム11も後退するから、第３
図に示すように、ヘッド部18は浸炭炉27外に緊急退避さ
せられる。なお、この場合、主アクチュエータであるエ
アシリンダ10が移動台13の後退に対し抵抗を与えないよ
うな配慮がなされていることは言うまでもない。
このように、本実施例においては、非常事態発生時に切
換弁26を作動するだけで、ヘッド部18が直ちに浸炭炉27
内から炉外へ退避することができるようになつているか
ら、熱雰囲気作業ロボットの安全装置として好適なもの
である。
換弁26を作動するだけで、ヘッド部18が直ちに浸炭炉27
内から炉外へ退避することができるようになつているか
ら、熱雰囲気作業ロボットの安全装置として好適なもの
である。
第１図は本考案による安全装置を備えた熱雰囲気作業ロ
ボットの全体図、第２図および第３図はその動作を示す
説明図である。 ２……本体、６……昇降台 ９……ピストンロッド、10……エアシリンダ 11……アーム、13……移動台 14、15……アーム保持部材 16……ローラ、18……ヘッド部 19、20……係止フランジ 21……エアシリンダ、22……係合フランジ 23……ピストンロッド、24……係止部材 25……エアポンプ、26……切換弁 27……浸炭炉
ボットの全体図、第２図および第３図はその動作を示す
説明図である。 ２……本体、６……昇降台 ９……ピストンロッド、10……エアシリンダ 11……アーム、13……移動台 14、15……アーム保持部材 16……ローラ、18……ヘッド部 19、20……係止フランジ 21……エアシリンダ、22……係合フランジ 23……ピストンロッド、24……係止部材 25……エアポンプ、26……切換弁 27……浸炭炉
Claims (1)
- 【請求項１】先端にヘッド部（18）を備えたアーム（1
1）が、主アクチュエータ（10）により進退されて上記
ヘッド部（18）を熱雰囲気に出入させるように構成され
た熱雰囲気作業ロボットの安全装置であって、 上記主アクチュエータ（10）により進退される移動台
（13）が台（６）上に設けられ、 上記アーム（11）が、上記移動台（13）上に設けられた
アーム保持部材（14、15）に保持されて、上記移動台
（13）の進退に伴って進退され、 上記台（６）上に係止部材（24）が固定され、 上記移動台（13）上に固定され、かつ上記係止部材（2
4）に係合し得る係合手段（22）を備え、非常事態発生
時に該係合手段（22）を上記係止部材（24）に係合さ
せ、該係合状態で上記移動台（13）を後退させることに
より直ちに上記アーム（11）を後退させて、熱雰囲気内
にある上記ヘッド部（18）を熱雰囲気外へ緊急退避させ
るように作動する非常用アクチュエータ（21）を具備す
ることを特徴とする熱雰囲気作業ロボットの安全装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10758687U JPH0643168Y2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 熱雰囲気作業ロボットの安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10758687U JPH0643168Y2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 熱雰囲気作業ロボットの安全装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412791U JPS6412791U (ja) | 1989-01-23 |
| JPH0643168Y2 true JPH0643168Y2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=31342131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10758687U Expired - Lifetime JPH0643168Y2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 熱雰囲気作業ロボットの安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643168Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5236142B2 (ja) | 2000-06-16 | 2013-07-17 | 東京エレクトロン株式会社 | コントローラ間の接続状態を検出する半導体製造装置 |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP10758687U patent/JPH0643168Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5236142B2 (ja) | 2000-06-16 | 2013-07-17 | 東京エレクトロン株式会社 | コントローラ間の接続状態を検出する半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412791U (ja) | 1989-01-23 |
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