JPH064349Y2 - パターン板用１枚入り収納容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体集積回路等に用いられるフォトマス
ク、レチクル等のパターン板の保管、運搬用の１枚入り
収納容器に関する。

〔従来の技術〕

現在、フォトマスク、レチクル等のパターン板の保管、
運搬用に平置用１枚入り収納容器の需要が増大している
が、振動等により、塵が発生し汚れが生じることが知ら
れている。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来の平置用１枚入り容器では、そ
の構造上の制約からパターン板を固定するためのクッシ
ョン材を設けることができず、容器内でパターン板が振
動して、それによる発塵が問題となっている。また、パ
ターン板の面にクッション材を当てて固定するタイプも
あるが、パターン面を汚してしまうという問題があり、
高品質なパターン板を出荷できないのが現状である。

本考案は上記問題を解決するものであって、平置用１枚
入り容器においても、パターン面を汚すことなくクッシ
ョン材を配設可能にすることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕 そのために本考案のパターン板用１枚入り収納容器は、
ケース本体と蓋体からなり、これらケース本体と蓋体の
間に１枚のパターン板を収納する容器において、ケース
本体の底面に固定されるクッション材を有し、該クッシ
ョン材は蓋体により押圧されて横方向に変形可能であ
り、該クッション材によりパターン板の側面を固定する
ことを特徴とする。

〔作用〕

本考案においては、例えば第２図（ｂ）に示すように、
蓋体３３を閉めると、クッション材３６は蓋体３３によ
り押圧され横方向に変形し、パターン板３５の側面を４
箇所から押圧し、パターン板３５をケース本体３２に強
固に固定することができる。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面を参照しつつ説明する。第
１図および第２図は本考案のパターン板用１枚入り収納
容器の１実施例を示し、第１図はケース本体の平面図、
第２図（ａ）、（ｂ）は容器の断面図で、（ａ）図は蓋
体を閉めていない状態を、（ｂ）図は蓋体を閉めた状態
を示している。

パターン板用１枚入り収納容器３１は、ケース本体３２
と蓋体３３からなり、ケース本体３２と蓋体３３の間に
１枚のパターン板３５が収納される。ケース本体３２の
底面には、パターン板３５を支持するためのリブ３２ａ
が一体に形成されると共に、全周４箇所にクッション材
３６を固定するための一対のリブ３２ｂが一体に形成さ
れている。クッション材３６は中空円筒形で側面に係止
片３６ａが形成されており、該係止片３６ａを前記一対
のリブ３２ｂ間に嵌挿することにより、ケース本体３２
に固定している。

上記構成からなるパターン板用１枚入り収納容器の作用
について説明すると、第２図（ａ）に示すように、蓋体
３３を閉めていない状態では、クッション材３６は円筒
形を保持しており、パターン板３５はクッション材３６
に触れることなく、リブ３２ａ上に載せることができ
る。次いで、第２図（ｂ）に示すように、蓋体３３を閉
めると、クッション材３６は蓋体３３により押圧され横
方向に変形し、パターン板３５の側面を４箇所から押圧
し、パターン板３５をケース本体３２に強固に固定する
ことができる。

〔考案の効果〕

以上のように本考案によれば、平置用１枚入り容器にお
いても、パターン面を汚すことなくクッション材を配設
することができ、振動による発塵を防止することができ
る。従って、マスクメーカーが、パターン板を洗浄出荷
後において、運搬等における振動を防止でき、パターン
板の汚れを少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案のパターン板用１枚入り収
納容器の１実施例を示し、第１図はケース本体の平面
図、第２図（ａ）、（ｂ）は容器の断面図で、（ａ）図
は蓋体を閉めていない状態を、（ｂ）図は蓋体を閉めた
状態を示している。 ３１…パターン板用１枚入り収納容器、３２…ケース本
体、３２ａ、３２ｂ…リブ、３３…蓋体、３５…パター
ン板、３６…クッション材、３６ａ…係止片。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ケース本体と蓋体からなり、これらケース
   本体と蓋体の間に１枚のパターン板を収納する容器にお
   いて、ケース本体の底面に固定されるクッション材を有
   し、該クッション材は蓋体により押圧されて横方向に変
   形可能であり、該クッション材によりパターン板の側面
   を固定することを特徴とするパターン板用１枚入り収納
   容器。