JPH0645669A - 端面励起型固体レーザ - Google Patents

端面励起型固体レーザ

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JPH0645669A
JPH0645669A JP4310591A JP4310591A JPH0645669A JP H0645669 A JPH0645669 A JP H0645669A JP 4310591 A JP4310591 A JP 4310591A JP 4310591 A JP4310591 A JP 4310591A JP H0645669 A JPH0645669 A JP H0645669A
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JP
Japan
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solid
state laser
crystal
laser
optical fiber
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JP4310591A
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English (en)
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Minoru Sumiya
実 角谷
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NEC Corp
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】端面励起型固体レーザの部品数を減らして小型
化にし、光学アライメントを容易にする。 【構成】固体レーザ結晶の光ファイバ側の面と出力ミラ
ーによりレーザ共振器を構成している。このレーザ共振
器の光軸と、光ファイバの光軸が一致するように、光フ
ァイバの端面を固体レーザ結晶に密着、あるいは近接さ
せる。光ファイバの反対側の端面より励起光を結合、導
波させ、固体レーザを励起することによって出力を得て
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ装置に関し、特
に半導体レーザを励起光源とする端面励起型固体レーザ
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の端面励起型固体レーザでは、図6
に示すように、半導体レーザ10などの励起光源から放
射される励起光をレンズ9で集光し、固体レーザの固体
レーザ結晶2に照射する事によって励起していた。ある
いは、励起光源から放射されるレーザ光をレンズで光フ
ァイバに結合し光ファイバを導波させ、光ファイバ端面
から放射されるレーザ光を再びレンズで集光してから励
起に用いていた。半導体レーザ励起固体レーザに関して
は、「レーザ研究,Vol.17,No.10(198
9),pp.695−705」に詳しい記述がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この種の固体レーザの
励起光源としては、比較的小型で、光出力がかなり大き
い半導体レーザがよく利用される。半導体レーザから放
射されるレーザ光をレンズで集光して固体レーザの励起
に用いる場合、固体レーザの共振器と半導体レーザを一
体化しなければならない。一般に固体レーザを励起する
ための半導体レーザは出力が大きく、消費電力が多いた
めに、それに伴って生じる発熱を無視できない。したが
って冷却のために放熱板,空冷ファン,ペルエチェ素子
等の放熱手段を用いなければならず、固体レーザの発光
部の寸法が大きくなってしまう。また、この種のレーザ
を構成するためには少なくとも半導体レーザ,レンズ,
固体レーザ結晶,出力ミラーの4個の素子が必要で、そ
れらの光学的なアライメントに高度な技術と時間を要し
た。
【0004】半導体レーザから放射されるレーザ光をレ
ンズで光ファイバに結合し光ファイバを導波させ、光フ
ァイバ端面から放射されるレーザ光を再びレンズで集光
してから励起に用いる方法により、前者の問題は解決で
きる。しかし、後者の問題は依然として残る。
【0005】本発明の目的は、光学的アライメントが従
来に比べ容易になり、発光部もより小型になる、端面励
起型固体レーザを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の端面励起型固体
レーザは、レーザ共振器に固体レーザ結晶を含み、前記
固体レーザ結晶の少なくとも1面によって前記レーザ共
振器のミラーを構成し、レーザ共振器の光軸にそって前
記レーザ共振器の前記固体レーザ側の外部から励起光を
照射し固体レーザを励起する端面励起型固体レーザにお
いて、励起光を導波させる光ファイバを設け、前記光フ
ァイバの出力側の端面を固体レーザ結晶に密着させるか
少なくとも近接させ、前記端面より放射させる励起光に
より固体レーザを励起することを特徴とする。
【0007】また、前記端面励起固体レーザにおいて、
その共振器内に高周波発生のための2次の非線形光学結
晶を設けることを特徴とする。
【0008】また、前記レーザ共振器の構成から決定さ
れる前記固体レーザ結晶の位置におけるビームスポット
半径をW0 、前記固体レーザ結晶の屈折率をn1 、励起
光の波長における吸収係数をα、前記光ファイバのコア
径が2rC 、開口数がNAであり、前記固体レーザ結晶
と前記光ファイバの間の距離をd0 とするとき、 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 <W0 かつ rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +(2/α)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2 >W0 を満たすことを特徴とする。
【0009】さらに、前記端面励起固体レーザにおい
て、前記固体レーザ結晶としてa軸カットのNd:YV
4 を用い、前記レーザ共振器の構成から決定される前
記Nd:YVO4 結晶の位置におけるビームスポット半
径をW0 、前記Nd:YVO4結晶の屈折率をn1 、前
記光ファイバのコア径が2rC 、開口数がNAであり、
前記Nd:YVO4 結晶と前記光ファイバの間の距離を
0 とするとき、 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 <W0 かつ rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +1(mm)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2 >W0 を満たすことを特徴とする。
【0010】
【作用】端面励起型の固体レーザを励起する場合、固体
レーザ結晶中の発振領域内で励起光を吸収させると発振
効率がよくなる。この固体レーザ結晶中でのビーム半径
は、出力ミラーの曲率半径や、共振器長によって変化す
る。図4に、一方のミラーを平面とし、もう一方のミラ
ーが曲率を持っている光共振器における、共振器長と平
面ミラーの位置でのビームスポット半径の関係を示す。
光の波長は1064nmとした。曲率半径rをパラメー
タとし、rの値を10mmから1000mmまで変えて
ある。端面励起型の固体レーザでは共振器長は10mm
〜100mm程度となり、この範囲で平面ミラーの位置
におけるビームスポット半径はおおよそ50〜300μ
mとなる。従来は、半導体レーザからの光を、直接、あ
るいは一度、光ファイバを導波してから、いずれも光を
レンズで集光し、固体レーザを励起していた。
【0011】光ファイバを用いた場合、その端面を固体
レーザ結晶に近接させるだけで励起することが可能であ
る。図3に光ファイバを固体レーザ結晶2に近接させた
ときの様子を示す。光ファイバ1のコア半径がrC 、開
口数がNAであるとする。固体レーザ結晶の屈折率をn
1 とする。また、光ファイバ1の端面と固体レーザ結晶
の間の距離をd0 、結晶端面における励起光のビームス
ポット半径をW1 とする。固体レーザの発振の固体レー
ザ結晶内でのビームスポット半径がW0 であるとし、固
体レーザの発振領域を破線で示した。この発振領域にお
いて、励起光の大部分が吸収されると、励起効率がよく
なる。光ファイバを導波した励起光は一般に10°以上
の放射角をもって端面から放射される。よって光ファイ
バを固体レーザ結晶に密着あるいは近接させて励起する
場合、励起光が広がってしまう前の固体レーザ結晶の端
面に近い短い領域で励起光を吸収する必要がある。吸収
率の低い固体レーザ結晶を用いると、発振領域で充分に
吸収されず、発振に寄与しない部分で吸収されてしま
う。しかし、吸収率の高い固体レーザ結晶を用いると、
発振領域内で大部分のエネルギーを吸収させることが可
能である。
【0012】図5に結晶長と吸収率の関係を吸収係数α
をパラメータとして示した。固体レーザ結晶として従来
からよく用いられてきたNd:YAGは、通常用いられ
ているNd濃度が1atom.%程度の場合に、810
nm近傍での吸収係数がおよそ0.4mm-1であり、励
起光を80%以上吸収するためには結晶長が4mm以上
必要となるために、本発明のレーザに用いるのには適し
ていない。Nd:YVO4 の810nm近傍での吸収係
数は、通常用いられているNd濃度が1atom.%程
度の場合に、励起光の電界とNd:YVO4 のc軸が平
行であるときおよそ3mm-1で、約0.5mmの結晶長
で励起光の80%程度を吸収することが可能である。し
たがって、コア径や開口数NAの適当な光ファイバや、
曲率半径の適当な出力ミラーを使用するか、共振器長を
調整することによって、発振領域に有効に光を吸収させ
ることが可能である。
【0013】励起効率を上げるためには、結晶端面にお
ける励起光のビームスポット半径W1 が固体レーザ発振
のビームスポット半径W0 より小さい必要がある。これ
を式で表わすと rC +d0 tanθ0 <W0 (1) となる。励起光の吸収が固体レーザの発振領域に比べて
中央に集中し過ぎると、固体レーザの横モードに影響を
与えるばかりではなく、出力そのものの低下を引き起こ
す。そのために、励起光の吸収が{1−exp(−
2)}×100%(約86%)となるための結晶長をd
1 とし、その位置における励起光のビームスポットをW
2 としたときに、少なくともW2 がW0 より大きくなる
必要がある。それを式で表わすと rC + d0 tanθ0 +d1 tanθ1 ≦W0 (2) となる。d1 とαの間には
【0014】exp(−αd1 )=exp(−2) の関係を成り立たせる必要があり、また、 NA=sinθ0 sinθ0 =n1 sinθ1 の関係があるので、式(1)及び式(2)は次の様に表
現できる。
【0015】 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 <W0 (3) rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +(2/α)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2
>W0 (4) 式(3),式(4)を満たすこ
とによってより高い発振効率を得ることが可能となる。
【0016】固体レーザ結晶としてa軸カットのNd:
YVO4 を用いた場合を考える。光ファイバは一般に偏
波を保存せず、光ファイバを導波したレーザ光は無偏光
となる。c軸と平行な電界をもつ励起光に対しては吸収
係数が約3mm-1で、c軸と垂直な電界をもつ励起光に
対しては吸収係数が約1.5mm-1である。よって励起
光を約83%吸収するための結晶長d1 は約1mmとな
る。よって、式(4)の条件は次のように表現できる。
【0017】 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +1(mm)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2 >W0 (5) よって、本発明においてa軸カットのNd:YVO4
用いた場合、式(3)及び式(5)の条件を満たすこと
によって、発振効率が高くなる。
【0018】また、本発明によれば、従来固体レーザ結
晶の前で集光のために用いていたレンズ等の結合光学系
が不要となり、部品点数が減るので、光学的アライメン
トが従来に比べ容易になる。
【0019】
【実施例】以下図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。
【0020】図1に本発明の第1の実施例を示す。出力
ミラー3には、固体レーザの発振波長に対して80%〜
98%程度の高反射率になるようにコーティングを施し
てある。固体レーザ結晶2は向かい合う2面を平行に研
磨し、固体レーザの発振波長に対し、出力ミラー3の側
が低反射率に、反対側が100%に近い反射率になるよ
うにコーティングを施してある。固体レーザ結晶2の高
反射面と出力ミラー3によりレーザ共振器を構成してい
る。このレーザ共振器の光軸と光ファイバ1の光軸が一
致するように、光ファイバ1の片側端面を固体レーザ結
晶2に密着させてある。光ファイバ1の反対側の端面か
ら半導体レーザなどの励起光源からの光4を結合し導波
させ、固体レーザを励起している。固体レーザ結晶には
Nd:YVO4 やLNP(LiNd(PO3 4 )など
の吸収率の高い結晶を用いている。
【0021】図2に本発明の第2の実施例を示す。第1
の実施例と大きな違いはレーザ共振器内に波長変換用の
2次の非線形光学結晶6を設けていることである。非線
形光学結晶6は、KTP(KTiOPO4 )、BBO
(β−BaB2 4 )、KNbO3 など、固体レーザの
発振光を基本波として第2高調波発生など、波長変換の
ための位相整合が可能なものであればよい。第1の実施
例とのもう1つの違いは、出力ミラー3の反射率を、発
振波長に対して100%に近くし、その第2高調波に対
して低反射率となるようにしていることである。こうす
ることによって、波長変換における基本波となる、固体
レーザの発振光をレーザ共振器内に閉じこめて、レーザ
共振器内部におけるパワー密度を増加させ、波長変換効
率を高めている。
【0022】本実施例では、レーザ共振器を構成するミ
ラーの内、一方を固体レーザ結晶の片側の端面をコーテ
ィングによって形成し、出力ミラーは独立に設けている
が、第1の実施例において固体レーザ結晶の両端面によ
ってコーティングして共振器を構成したり、第2の実施
例において固体レーザ結晶の一方の端面と非線形光学結
晶の一方の端面にコーティングすることによって共振器
を構成することも可能であることは言うまでもない。
【0023】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
光学的アライメントが従来に比べ容易になり、発光部が
より小型になる端面励起型固体レーザの提供することが
できる。また、使用するレンズの数を削減できるのでコ
ストダウンにもなり産業上、非常に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を説明するための斜視図であ
る。
【図2】本発明の第2の実施例を説明するための斜視図
である。
【図3】本発明の作用を説明するための光ファイバを固
体レーザ結晶に近接させ励起しているところを示す図で
ある。
【図4】平面鏡及び凹面鏡からなる光共振器の共振器長
とビーム半径の関係を示す図である。
【図5】結晶長と吸収率の関係を示す図である。
【図6】従来の端面励起型固体レーザの例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 光ファイバ 2 固体レーザ結晶 3 出力ミラー 4 励起光 6 非線形光学結晶 9 レンズ 10 半導体レーザ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ共振器内に固体レーザ結晶を含
    み、前記固体レーザ結晶の少なくとも1面によって前記
    レーザ共振器のミラーを構成し、レーザ共振器の光軸に
    そって前記レーザ共振器の前記固体レーザ側の外部から
    励起光を照射し固体レーザを励起する端面励起型固体レ
    ーザにおいて、 励起光を導波させる光ファイバを設け、前記光ファイバ
    の出力側の端面を固体レーザ結晶に密着させるか少なく
    とも近接させ、前記端面より放射される励起光により固
    体レーザを励起することを特徴とする端面励起型固体レ
    ーザ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の端面励起型固体レーザに
    おいて、前記レーザ共振器の構成から決定される前記固
    体レーザ結晶の位置におけるビームスポット半径を
    0 、前記固体レーザ結晶の屈折率をn1 、励起光の波
    長における吸収係数をα、前記光ファイバのコア径が2
    C 、開口数がNAであり、前記固体レーザ結晶と前記
    光ファイバの間の距離をd0 とするとき、 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 <W0 かつ rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +(2/α)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2 >W0 を満たすことを特徴とする端面励起型固体レーザ。
  3. 【請求項3】 請求項1及び請求項2記載の端面励起型
    固体レーザにおいて、前記固体レーザ結晶としてa軸カ
    ットのNd:YVO4 を用い、前記レーザ共振器の構成
    から決定される前記Nd:YVO4 結晶の位置における
    ビームスポット半径をW0 、前記Nd:YVO4 結晶の
    屈折率をn1 、前記光ファイバのコア径が2rC 、開口
    数がNAであり、前記Nd:YVO4 結晶と前記光ファ
    イバの間の距離をd0 とするとき、 rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 <W0 かつ rC +d0 (NA)/{1−(NA)2 1/2 +1(mm)×(NA)/{n1 2 −(NA)2 1/2 >W0 を満たすことを特徴とする端面励起型固体レーザ。
JP4310591A 1991-03-08 1991-03-08 端面励起型固体レーザ Pending JPH0645669A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997021259A1 (en) * 1995-12-06 1997-06-12 Hitachi Metals, Ltd. Laser resonator, laser device, device applying laser, and method for oscillation of laser beam
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