JPH0646557B2 - Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法Info
- Publication number
- JPH0646557B2 JPH0646557B2 JP62094715A JP9471587A JPH0646557B2 JP H0646557 B2 JPH0646557 B2 JP H0646557B2 JP 62094715 A JP62094715 A JP 62094715A JP 9471587 A JP9471587 A JP 9471587A JP H0646557 B2 JPH0646557 B2 JP H0646557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- intensity value
- characteristic
- ray intensity
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は試料表面の各画素における各元素の特性Ｘ線強
度値データを取得し、試料を分析するＸ線マイクロアナ
ライザにおける試料分析方法に関する。
度値データを取得し、試料を分析するＸ線マイクロアナ
ライザにおける試料分析方法に関する。
Ｘ線マイクロアナライザにおいては、試料表面を多数の
画素に分割し、これら画素に電子線を順次照射し、各画
素（ｘ，ｙ）から発生した各元素１，２，…，ｎ（ｎ≧
２）の特性Ｘ線を検出することが行なわれている。この
ような装置においては、これら検出した各元素１，２，
…，ｎ（ｎ≧２）に関する特性Ｘ線強度値データを一旦
記憶装置に記憶した後、操作者の指示に基づいて任意の
元素ｉの特性Ｘ線強度値データを読み出し、表示装置上
に展開するようにしている。
画素に分割し、これら画素に電子線を順次照射し、各画
素（ｘ，ｙ）から発生した各元素１，２，…，ｎ（ｎ≧
２）の特性Ｘ線を検出することが行なわれている。この
ような装置においては、これら検出した各元素１，２，
…，ｎ（ｎ≧２）に関する特性Ｘ線強度値データを一旦
記憶装置に記憶した後、操作者の指示に基づいて任意の
元素ｉの特性Ｘ線強度値データを読み出し、表示装置上
に展開するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］ このような装置によって、ある元素ｉの特性Ｘ線強度値
をｎ値化してカラーマッピング像として観察している場
合には、観察画面中の任意の位置で任意の大きさの領域
における、カラーマッピング像として表示されている元
素以外の元素ｊの平均重量濃度を知ることができれば、
この部分についての知見を深める上で極めて有益であ
る。
をｎ値化してカラーマッピング像として観察している場
合には、観察画面中の任意の位置で任意の大きさの領域
における、カラーマッピング像として表示されている元
素以外の元素ｊの平均重量濃度を知ることができれば、
この部分についての知見を深める上で極めて有益であ
る。
本発明はこのような点は鑑みて成されたもので、その目
的は、カラーマッピング像中の注目する領域における、
マッピング像として表示されている元素以外の元素の重
量濃度値を求めて表示することのできるＸ線マイクロア
ナライザにおける試料分析方法を提供することにある。
的は、カラーマッピング像中の注目する領域における、
マッピング像として表示されている元素以外の元素の重
量濃度値を求めて表示することのできるＸ線マイクロア
ナライザにおける試料分析方法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ この目的を達成する本発明のＸ線マイクロアナライザに
おける試料分析方法は、試料に電子線を照射し、試料の
二次元平面上の各画素（ｘ，ｙ）に関する各元素１，
２，…，ｎ（ｎ≧２）の特性Ｘ線の強度値データＩ１
（ｘ，ｙ），Ｉ２（ｘ，ｙ），…，Ｉｎ（ｘ，ｙ）を
得、該得たデータを記憶し、該記憶されたデータの中か
ら任意の元素ｉ（ｉは１，２，…，ｎのいずれか）の特
性Ｘ線強度値データＩｉ（ｘ，ｙ）を読み出し、この読
み出されたデータ値に応じたカラーで元素ｉの分布像を
表示し、該分布像の任意の位置で任意の大きさの領域Ｓ
を指示し、前記元素ｉ以外の元素ｊ（ｊは１，２，…，
ｎのｉ以外のいずれか）について前記指示された領域Ｓ
に含まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求
め、該求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを元素
ｊの重量濃度値Ｗ（ｉ）ｓに変換し、該求められた重量
濃度値を表示することを特徴としている。
おける試料分析方法は、試料に電子線を照射し、試料の
二次元平面上の各画素（ｘ，ｙ）に関する各元素１，
２，…，ｎ（ｎ≧２）の特性Ｘ線の強度値データＩ１
（ｘ，ｙ），Ｉ２（ｘ，ｙ），…，Ｉｎ（ｘ，ｙ）を
得、該得たデータを記憶し、該記憶されたデータの中か
ら任意の元素ｉ（ｉは１，２，…，ｎのいずれか）の特
性Ｘ線強度値データＩｉ（ｘ，ｙ）を読み出し、この読
み出されたデータ値に応じたカラーで元素ｉの分布像を
表示し、該分布像の任意の位置で任意の大きさの領域Ｓ
を指示し、前記元素ｉ以外の元素ｊ（ｊは１，２，…，
ｎのｉ以外のいずれか）について前記指示された領域Ｓ
に含まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求
め、該求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを元素
ｊの重量濃度値Ｗ（ｉ）ｓに変換し、該求められた重量
濃度値を表示することを特徴としている。
［実施例］ 以下、本発明を図面を参照して詳説する。
第１図は本発明を実施するための装置の要部を示した
図、第２図は本発明を実施するための装置の全体を示す
システム構成図である。
図、第２図は本発明を実施するための装置の全体を示す
システム構成図である。
第２図において、１はＸ線マイクロアナライザ（以下Ｘ
ＭＡと略記する）であり、２は試料、ＥＢは電子線、Ｃ
１，Ｃ２，Ｃ３は分光結晶、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３はＸ線検
出器、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３はＸ線計数器、３はＣＰＵ、４
は記憶装置、５はカラーグラフィックディスプレイ、６
はデジタイザあるいはマウス等のポインティング装置、
７はキーボード、８はバスラインである。前記分光結晶
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３は各々元素１，２，３の特性Ｘ線を選
択できるように設定されている。又、前記ポインティン
グ装置６は操作者の指示に従って、カラーグラフィック
ディスプレイ５の画面中の任意の位置，大きさ及び形状
を有する領域を指示するためのものである。
ＭＡと略記する）であり、２は試料、ＥＢは電子線、Ｃ
１，Ｃ２，Ｃ３は分光結晶、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３はＸ線検
出器、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３はＸ線計数器、３はＣＰＵ、４
は記憶装置、５はカラーグラフィックディスプレイ、６
はデジタイザあるいはマウス等のポインティング装置、
７はキーボード、８はバスラインである。前記分光結晶
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３は各々元素１，２，３の特性Ｘ線を選
択できるように設定されている。又、前記ポインティン
グ装置６は操作者の指示に従って、カラーグラフィック
ディスプレイ５の画面中の任意の位置，大きさ及び形状
を有する領域を指示するためのものである。
第１図において、９はＸ線強度値データ記憶部、１０は
書き込み読み出し制御部、１１は領域指定部、１２は平
均強度値計算部、１３は濃度値への変換部、１４は表示
制御部、１５はレベル分け処理部、１６は色分け処理
部、１７はマッピング元素指定部、１８は平均濃度値算
出元素指定部である。前記記憶装置４には第１図に示す
ように、Ｘ線強度値データ記憶部９が設けられており、
このＸ線強度値データ記憶部には更に各元素１，２，３
に対応して１画面画像記憶領域Ａ１，Ａ２，Ａ３設けら
れている。各１画面画像記憶領域は前記電子線ＥＢによ
る試料走査領域中の各画素（ｘ，ｙ）の各々について所
定深さの記憶領域を有している。
書き込み読み出し制御部、１１は領域指定部、１２は平
均強度値計算部、１３は濃度値への変換部、１４は表示
制御部、１５はレベル分け処理部、１６は色分け処理
部、１７はマッピング元素指定部、１８は平均濃度値算
出元素指定部である。前記記憶装置４には第１図に示す
ように、Ｘ線強度値データ記憶部９が設けられており、
このＸ線強度値データ記憶部には更に各元素１，２，３
に対応して１画面画像記憶領域Ａ１，Ａ２，Ａ３設けら
れている。各１画面画像記憶領域は前記電子線ＥＢによ
る試料走査領域中の各画素（ｘ，ｙ）の各々について所
定深さの記憶領域を有している。
このような構成において、電子線ＥＢを試料に照射した
状態において、試料２の水平移動機構を稼働させて試料
２を二次元的に移動させる。その結果、試料２の各画素
（ｘ，ｙ）に電子線ＥＢが順次照射される。この電子線
ＥＢの照射によって試料２の各画素（ｘ，ｙ）から発生
した特性Ｘ線のうち、元素１，２，３の特性Ｘ線は各々
前記分光結晶Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を介してＸ線検出器Ｄ
１，Ｄ２，Ｄ３によって検出される。従って、Ｘ線計数
器Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３より、各画素（ｘ，ｙ）における各
元素１，２，３の特性Ｘ線の計数値信号がバスライン８
を介して記憶装置４に送られる。記憶装置４に送られた
各画素（ｘ，ｙ）の元素１に関する特性Ｘ線強度値デー
タは、前記Ｘ線強度値データ記憶部９の画像記憶領域Ａ
１の各画素（ｘ，ｙ）に対応した記憶領域に記憶され
る。同様に元素２の特性Ｘ線強度値データは画像記憶領
域Ａ２に、又、元素３の特性Ｘ線強度値データは画像記
憶領域Ａ３に記憶される。そこで、操作者がキーボード
７により、元素１の特性Ｘ線強度分布のカラーマッピン
グ表示を指示すると、マッピング元素指定部１７は書き
込み読み出し制御部１０に元素１の選択を指示する信号
を送るため、書き込み読み出し制御部１０はＸ線強度値
データ記憶部９の画像記憶領域のＡ１に記憶されている
全データを順次読み出し、レベル分け処理部１５に送
る。レベル分け処理部１５は送られてきたＸ線強度値デ
ータを複数の基準レベルと比較することにより量子化す
る。この基準レベルの個数は任意に選択でき、又基準レ
ベルの値も任意に設定できるようになっている。この実
施例の場合、４個の基準レベルを予め設定したとする
と、レベル分け処理部１５は送られて来たＸ線強度値デ
ータをこれら基準レベルと比較することにより各基準レ
ベルの内外に分類して５値化し、色分け処理部１６に送
る。色分け処理部１６においては、レベル分け処理部１
５より送られて来た５値化データに階層値に応じた色相
を割り当て、各々を割り当てられた色相で表示するため
の信号を表示制御部１４に送る。その結果、カラーグラ
フィックディスプレイ５には、第３図（ａ）に示すよう
に元素１の特性Ｘ線強度分布を示すカラーマッピング像
が表示される。同様に操作者が元素２の特性Ｘ線強度分
布像の表示を指示すると、画像記憶領域のＡ２に記憶さ
れているデータに基づいて第３図（ｂ）に示すような像
がディスプレイ５に表示され、更に操作者が元素３の特
性Ｘ線強度分布の表示を指示すると、第３図（ｃ）に示
すような像がディスプレイ５に表示される。このような
Ｘ線強度分布像のうち、例えば元素３の特性Ｘ線強度分
布像を観察している最中に、興味ある領域が見つかり、
この領域における任意の元素の平均存在濃度値を知ろう
とする際には、操作者はポインティング装置６を操作
し、領域指定部１１の制御に基づいてこの領域Ｓを第３
図（ｄ）に示すように輝線Ｆで囲む。このようにして領
域の指定が終了した後、キーボード７により指定した領
域における例えば元素２の平均重量濃度の表示を指示す
ると、平均濃度算出元素指定部１８より画像記憶領域Ａ
２のデータの選択を指示する信号が書き込み読み出し制
御部１０に送られる。このとき、領域指定部１１からは
指示された領域を表わす信号が書き込み読み出し制御部
読１０に送られる。そのため、書き込み読み出し制御部
１０は、画像記憶領域Ａ２に記憶されているデータのう
ち、前記領域Ｓに含まれる各画素（ｘ，ｙ）のＸ線強度
値データのみを読み出して平均強度値計算部１２に送
る。平均強度値計算部１２においては、送られてきたデ
ータから以下の式で与えられる指示領域Ｓに関する元素
２の平均強度値Ｍ（３）ｓを計算する。
状態において、試料２の水平移動機構を稼働させて試料
２を二次元的に移動させる。その結果、試料２の各画素
（ｘ，ｙ）に電子線ＥＢが順次照射される。この電子線
ＥＢの照射によって試料２の各画素（ｘ，ｙ）から発生
した特性Ｘ線のうち、元素１，２，３の特性Ｘ線は各々
前記分光結晶Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を介してＸ線検出器Ｄ
１，Ｄ２，Ｄ３によって検出される。従って、Ｘ線計数
器Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３より、各画素（ｘ，ｙ）における各
元素１，２，３の特性Ｘ線の計数値信号がバスライン８
を介して記憶装置４に送られる。記憶装置４に送られた
各画素（ｘ，ｙ）の元素１に関する特性Ｘ線強度値デー
タは、前記Ｘ線強度値データ記憶部９の画像記憶領域Ａ
１の各画素（ｘ，ｙ）に対応した記憶領域に記憶され
る。同様に元素２の特性Ｘ線強度値データは画像記憶領
域Ａ２に、又、元素３の特性Ｘ線強度値データは画像記
憶領域Ａ３に記憶される。そこで、操作者がキーボード
７により、元素１の特性Ｘ線強度分布のカラーマッピン
グ表示を指示すると、マッピング元素指定部１７は書き
込み読み出し制御部１０に元素１の選択を指示する信号
を送るため、書き込み読み出し制御部１０はＸ線強度値
データ記憶部９の画像記憶領域のＡ１に記憶されている
全データを順次読み出し、レベル分け処理部１５に送
る。レベル分け処理部１５は送られてきたＸ線強度値デ
ータを複数の基準レベルと比較することにより量子化す
る。この基準レベルの個数は任意に選択でき、又基準レ
ベルの値も任意に設定できるようになっている。この実
施例の場合、４個の基準レベルを予め設定したとする
と、レベル分け処理部１５は送られて来たＸ線強度値デ
ータをこれら基準レベルと比較することにより各基準レ
ベルの内外に分類して５値化し、色分け処理部１６に送
る。色分け処理部１６においては、レベル分け処理部１
５より送られて来た５値化データに階層値に応じた色相
を割り当て、各々を割り当てられた色相で表示するため
の信号を表示制御部１４に送る。その結果、カラーグラ
フィックディスプレイ５には、第３図（ａ）に示すよう
に元素１の特性Ｘ線強度分布を示すカラーマッピング像
が表示される。同様に操作者が元素２の特性Ｘ線強度分
布像の表示を指示すると、画像記憶領域のＡ２に記憶さ
れているデータに基づいて第３図（ｂ）に示すような像
がディスプレイ５に表示され、更に操作者が元素３の特
性Ｘ線強度分布の表示を指示すると、第３図（ｃ）に示
すような像がディスプレイ５に表示される。このような
Ｘ線強度分布像のうち、例えば元素３の特性Ｘ線強度分
布像を観察している最中に、興味ある領域が見つかり、
この領域における任意の元素の平均存在濃度値を知ろう
とする際には、操作者はポインティング装置６を操作
し、領域指定部１１の制御に基づいてこの領域Ｓを第３
図（ｄ）に示すように輝線Ｆで囲む。このようにして領
域の指定が終了した後、キーボード７により指定した領
域における例えば元素２の平均重量濃度の表示を指示す
ると、平均濃度算出元素指定部１８より画像記憶領域Ａ
２のデータの選択を指示する信号が書き込み読み出し制
御部１０に送られる。このとき、領域指定部１１からは
指示された領域を表わす信号が書き込み読み出し制御部
読１０に送られる。そのため、書き込み読み出し制御部
１０は、画像記憶領域Ａ２に記憶されているデータのう
ち、前記領域Ｓに含まれる各画素（ｘ，ｙ）のＸ線強度
値データのみを読み出して平均強度値計算部１２に送
る。平均強度値計算部１２においては、送られてきたデ
ータから以下の式で与えられる指示領域Ｓに関する元素
２の平均強度値Ｍ（３）ｓを計算する。
このようにして領域Ｓに関する元素２の平均強度値Ｍ
（２）ｓが求められると、Ｍ（２）ｓを表わすデータは
濃度値への変換部１３に送られる。変換部１３は送られ
たＭ（２）ｓを表わすデータを検量線法を用いて元素２
の濃度値データＷ（２）ｓに変換する。変換部１３より
の濃度値データＷ（２）ｓには表示制御部１４に送ら
れ、表示制御部１４は濃度値データＷ（２）ｓをディス
プレイ５の表示画面の下部等に文字表示したり、プリン
タ等に打ち出す。
（２）ｓが求められると、Ｍ（２）ｓを表わすデータは
濃度値への変換部１３に送られる。変換部１３は送られ
たＭ（２）ｓを表わすデータを検量線法を用いて元素２
の濃度値データＷ（２）ｓに変換する。変換部１３より
の濃度値データＷ（２）ｓには表示制御部１４に送ら
れ、表示制御部１４は濃度値データＷ（２）ｓをディス
プレイ５の表示画面の下部等に文字表示したり、プリン
タ等に打ち出す。
そこで、次に操作者が元素１に関する領域Ｓの平均濃度
値を知ろうとする際には、キーボード７により元素１を
指示すれば、平均濃度値算出元素指定部１８より元素１
を指示する信号が新たに書き込み読み出し制御部１０に
送られるため、書き込み読み出し制御部は画像記憶領域
Ａ１の領域Ｓに含まれる画素の特性Ｘ線強度値データの
みを読み出して平均強度値計算部１２に送る。そのた
め、この場合には、ディスプレイ５上に領域Ｓに存在す
る元素１の平均濃度値を表示することができる。
値を知ろうとする際には、キーボード７により元素１を
指示すれば、平均濃度値算出元素指定部１８より元素１
を指示する信号が新たに書き込み読み出し制御部１０に
送られるため、書き込み読み出し制御部は画像記憶領域
Ａ１の領域Ｓに含まれる画素の特性Ｘ線強度値データの
みを読み出して平均強度値計算部１２に送る。そのた
め、この場合には、ディスプレイ５上に領域Ｓに存在す
る元素１の平均濃度値を表示することができる。
このように上述した装置によれば、任意の元素の特性Ｘ
線強度分布像を観察し、この像を観察することにより興
味のある領域を発見したら、この領域をポインティング
装置により指示すると、平均濃度値を算出しようとする
元素の特性Ｘ線強度値データのうち指示領域のデータの
みが読み出されてその平均強度値が求められ、この平均
強度値が重量濃度値に変換されるため、簡単でない濃度
値への変換を１回行なうだけで指示した元素の指示した
領域における平均濃度値を求めて表示することができ
る。
線強度分布像を観察し、この像を観察することにより興
味のある領域を発見したら、この領域をポインティング
装置により指示すると、平均濃度値を算出しようとする
元素の特性Ｘ線強度値データのうち指示領域のデータの
みが読み出されてその平均強度値が求められ、この平均
強度値が重量濃度値に変換されるため、簡単でない濃度
値への変換を１回行なうだけで指示した元素の指示した
領域における平均濃度値を求めて表示することができ
る。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発明は
変形して実施することができる。
変形して実施することができる。
例えば上述した実施例においては、ポインティング装置
により任意の位置及び大きさを有するだけでなく、任意
の形状を有する領域を指示するようにしたが、ディスプ
レイ５の画面上に第４図においてＫ１，Ｋ２，Ｋ３で示
すように大きさがステップ状に変えられ、且つ位置が任
意に変えられる矩形を表示し、この矩形の位置及び大き
さを指示することにより前記領域を指定するようにして
も良い。
により任意の位置及び大きさを有するだけでなく、任意
の形状を有する領域を指示するようにしたが、ディスプ
レイ５の画面上に第４図においてＫ１，Ｋ２，Ｋ３で示
すように大きさがステップ状に変えられ、且つ位置が任
意に変えられる矩形を表示し、この矩形の位置及び大き
さを指示することにより前記領域を指定するようにして
も良い。
又、上述した実施例においては、説明を簡単にするた
め、３種類の元素の特性Ｘ線を検出する場合を示した
が、３種類に限らず、より多くの元素の特性Ｘ線を検出
して記憶装置に記憶させるようにしても良い。
め、３種類の元素の特性Ｘ線を検出する場合を示した
が、３種類に限らず、より多くの元素の特性Ｘ線を検出
して記憶装置に記憶させるようにしても良い。
又、上述した実施例においては、平均強度計算部よりの
データを濃度値に変換するため、検量線法を利用した
が、定量分析法のＺＡＦ法やＢ＆Ａ法等を利用して変換
するようにしても良い。
データを濃度値に変換するため、検量線法を利用した
が、定量分析法のＺＡＦ法やＢ＆Ａ法等を利用して変換
するようにしても良い。
又、非分散型Ｘ線分析器を用いて、各元素の特性Ｘ線強
度値データを取得する装置にも本発明は同様に適用でき
る。
度値データを取得する装置にも本発明は同様に適用でき
る。
更に又、上述した実施例においては、平均濃度値を算出
する元素を指示し、指示した元素の平均濃度値のみを表
示するようにしたが、１画面画像記憶領域Ａ１，Ａ２，
Ａ３…に記憶された元素の全てについて前記領域Ｓにお
ける平均濃度値を求めて表示するようにしても良い。
する元素を指示し、指示した元素の平均濃度値のみを表
示するようにしたが、１画面画像記憶領域Ａ１，Ａ２，
Ａ３…に記憶された元素の全てについて前記領域Ｓにお
ける平均濃度値を求めて表示するようにしても良い。
［発明の効果］ 本発明においては、マッピング像中の注目する領域にお
ける、マッピング像として表示させている元素以外の元
素の重量濃度値を表示させるので、マッピング像として
表示されている元素以外の元素の重量濃度値を知ること
ができ、その領域の知見を一層深めることができる。
ける、マッピング像として表示させている元素以外の元
素の重量濃度値を表示させるので、マッピング像として
表示されている元素以外の元素の重量濃度値を知ること
ができ、その領域の知見を一層深めることができる。
また、本発明においては、例えば表示画面上の元素ｊの
分布の場所的な変化が少ない場合、分布像のカラーが表
示画面上の全域にわたってほぼ同一となるため、注目す
る領域を指示することができず、注目する領域の元素ｊ
の重量濃度値を知るることができないという問題を解決
することができる。なぜなら、表示画面上で元素分布の
場所的な変化が大きい元素ｉのカラー分布像を表示さ
せ、その像を観察して注目する領域を指示し、その領域
における前記元素ｊの重量濃度値を表示させれば、注目
する領域における元素ｊの重量濃度値を知ることができ
るからである。
分布の場所的な変化が少ない場合、分布像のカラーが表
示画面上の全域にわたってほぼ同一となるため、注目す
る領域を指示することができず、注目する領域の元素ｊ
の重量濃度値を知るることができないという問題を解決
することができる。なぜなら、表示画面上で元素分布の
場所的な変化が大きい元素ｉのカラー分布像を表示さ
せ、その像を観察して注目する領域を指示し、その領域
における前記元素ｊの重量濃度値を表示させれば、注目
する領域における元素ｊの重量濃度値を知ることができ
るからである。
第１図は本発明を実施するための装置の要部を示した
図、第２図は本発明を実施するための装置のシステム構
成を示すための図、第３図はカラーグラフィックディス
プレイに表示された画面中における任意領域の指示を説
明するための図、第４図は本発明の他の一実施例を示す
ための図である。 １：Ｘ線マイクロアナライザ ２：試料、ＥＢ：電子線 Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３：分光結晶 Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３：Ｘ線検出器 Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３：Ｘ線計数器 ３：ＣＰＵ、４：記憶装置 ５：カラーグラフィックディスプレイ ６：ポインティング装置 ７：キーボード、８：バスライン ９：Ｘ線強度値データ記憶部 １０：書き込み読み出し制御部 １１：領域指定部 １２：平均強度値計算部 １３：濃度値への変換部 １４：表示制御部、１５：レベル分け処理部 １６：色分け処理部 １７：マッピング元素指定部 １８：平均濃度値算出元素指定部 Ａ１，Ａ２，Ａ３：１画面画像記憶領域
図、第２図は本発明を実施するための装置のシステム構
成を示すための図、第３図はカラーグラフィックディス
プレイに表示された画面中における任意領域の指示を説
明するための図、第４図は本発明の他の一実施例を示す
ための図である。 １：Ｘ線マイクロアナライザ ２：試料、ＥＢ：電子線 Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３：分光結晶 Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３：Ｘ線検出器 Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３：Ｘ線計数器 ３：ＣＰＵ、４：記憶装置 ５：カラーグラフィックディスプレイ ６：ポインティング装置 ７：キーボード、８：バスライン ９：Ｘ線強度値データ記憶部 １０：書き込み読み出し制御部 １１：領域指定部 １２：平均強度値計算部 １３：濃度値への変換部 １４：表示制御部、１５：レベル分け処理部 １６：色分け処理部 １７：マッピング元素指定部 １８：平均濃度値算出元素指定部 Ａ１，Ａ２，Ａ３：１画面画像記憶領域
Claims (1)
- 【請求項１】試料に電子線を照射し、試料の二次元平面
上の各画素（ｘ，ｙ）に関する各元素１，２，…，ｎ
（ｎ≧２）の特性Ｘ線の強度値データＩ１（ｘ，ｙ），
Ｉ２（ｘ，ｙ），…，Ｉｎ（ｘ，ｙ）を得、該得たデー
タを記憶し、該記憶されたデータの中から任意の元素ｉ
（ｉは１，２，…，ｎのいずれか）の特性Ｘ線強度値デ
ータＩｉ（ｘ，ｙ）を読み出し、この読み出されたデー
タ値に応じたカラーで元素ｉの分布像を表示し、該分布
像の任意の位置で任意の大きさの領域Ｓを指示し、前記
元素ｉ以外の元素ｊ（ｊは１，２，…，ｎのｉ以外のい
ずれか）について前記指示された領域Ｓに含まれる各画
素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求め、該求められ
た平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを元素ｊの重量濃度値
Ｗ（ｉ）ｓに変換し、該求められた重量濃度値を表示す
ることを特徴とするＸ線マイクロアナライザにおける試
料分析方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094715A JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
| US07/180,891 US4857731A (en) | 1987-04-17 | 1988-04-13 | Instrument for analyzing specimen |
| FR888805037A FR2614103B1 (fr) | 1987-04-17 | 1988-04-15 | Instrument pour l'analyse d'un echantillon |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094715A JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259949A JPS63259949A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0646557B2 true JPH0646557B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=14117835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62094715A Expired - Lifetime JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646557B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2573052B2 (ja) * | 1989-03-23 | 1997-01-16 | 株式会社堀場製作所 | 微小部ｘ線分析における三元素化合物の分析方法 |
| JP2589575B2 (ja) * | 1989-07-21 | 1997-03-12 | 株式会社堀場製作所 | 微小部ｘ線分析における多元素化合物の分析方法 |
| JPH05126772A (ja) * | 1991-11-02 | 1993-05-21 | Horiba Ltd | 元素マツピング装置におけるマツピング像表示回路 |
| JP2009250867A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線分光器を備えるｘ線分析装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196446A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ−を用いた分析方法 |
| JPH0721466B2 (ja) * | 1984-07-18 | 1995-03-08 | 新日本製鐵株式会社 | 自動多機能分析装置 |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP62094715A patent/JPH0646557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63259949A (ja) | 1988-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104995690B (zh) | 多能量x射线显微镜数据采集及图像重建系统及方法 | |
| US4253154A (en) | Line scan and X-ray map enhancement of SEM X-ray data | |
| US5293326A (en) | Ultrasonic inspection and imaging instrument | |
| EP0011892B1 (en) | Automatic energy dispersive x-ray fluorescence analysing apparatus | |
| US4857731A (en) | Instrument for analyzing specimen | |
| JPS63259949A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| JPH0646558B2 (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| JPH06231717A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| JP3143297B2 (ja) | 画像処理装置 | |
| JP2900086B2 (ja) | 螢光ｘ線分析装置 | |
| JPH01147619A (ja) | グラフ表示装置とその可視性を改善する方法 | |
| JP3634955B2 (ja) | 電子プローブマイクロアナライザ | |
| JP2000046768A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| Cole et al. | Recent advances in automatic image analysis using a television system | |
| US5745595A (en) | Surface analysis instrument and method of displaying images using information obtained by surface analysis | |
| JP3503124B2 (ja) | 表面分析画像表示方法 | |
| Sinha et al. | Development and characterization of a neutron tomography system based on image intensifier/CCD system | |
| Ledley et al. | SPIDAC: specimen input to digital automatic computer | |
| Bjørnerud et al. | Image analysis in structural geology using NIH Image | |
| Herbst et al. | An experimental laboratory for pattern recognition and signal processing | |
| WO2018159053A1 (ja) | 画像表示制御装置、ｘ線ｃｔ装置及び画像表示方法 | |
| JPH0153416B2 (ja) | ||
| Roehrig et al. | Software for CRT image quality evaluation | |
| JPH0721466B2 (ja) | 自動多機能分析装置 | |
| Liu | Design and implementation of real time image acquisition and processing systems |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |