JPH0646678B2 - 電磁波シ−ルドル−ムのシャッタ−装置 - Google Patents
電磁波シ−ルドル−ムのシャッタ−装置Info
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- JPH0646678B2 JPH0646678B2 JP17613087A JP17613087A JPH0646678B2 JP H0646678 B2 JPH0646678 B2 JP H0646678B2 JP 17613087 A JP17613087 A JP 17613087A JP 17613087 A JP17613087 A JP 17613087A JP H0646678 B2 JPH0646678 B2 JP H0646678B2
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Landscapes
- Operating, Guiding And Securing Of Roll- Type Closing Members (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電磁波シールドルームの出入口を開閉するシ
ャッター装置に関する。
ャッター装置に関する。
電子機器が発達し、ディジタル化すると共に、集積度が
増して電子機器が微小電流で動作するようになると、電
子機器自身が発生する電磁波や他の電子機器等からの妨
害電波によって信号が乱されることとなる。従って、電
子機器が障害電波を発生して周囲の電子機器に悪影響を
及ぼすことのないように、又、外部からの妨害電波に対
して電子機器が誤動作しないように電磁波を遮断するこ
と（電磁波シールド）が必要である。
増して電子機器が微小電流で動作するようになると、電
子機器自身が発生する電磁波や他の電子機器等からの妨
害電波によって信号が乱されることとなる。従って、電
子機器が障害電波を発生して周囲の電子機器に悪影響を
及ぼすことのないように、又、外部からの妨害電波に対
して電子機器が誤動作しないように電磁波を遮断するこ
と（電磁波シールド）が必要である。
そこで、半導体製造工場や病院等では、機器の誤動作を
防ぐためにクリーンルームや集中治療室の構築の際に、
これらをシールド材を用いて電磁波シールドルーム（以
下、「シールドルーム」という）として電磁波シールド
を図っているが、一般に、シールドルームを構築する場
合、ドアの開口部（シールドルームの出入口）での電気
的接続を保つことが重要であり、シールドルームに“電
気的な隙間”があると、特に高周波ではこの“隙間”か
らの電磁波の漏れ込みによって遮蔽効果が低下すること
となる。
防ぐためにクリーンルームや集中治療室の構築の際に、
これらをシールド材を用いて電磁波シールドルーム（以
下、「シールドルーム」という）として電磁波シールド
を図っているが、一般に、シールドルームを構築する場
合、ドアの開口部（シールドルームの出入口）での電気
的接続を保つことが重要であり、シールドルームに“電
気的な隙間”があると、特に高周波ではこの“隙間”か
らの電磁波の漏れ込みによって遮蔽効果が低下すること
となる。
而して、従来、シールドルームのシールドドアは蝶番式
の開閉構造となっており、電磁波シールド機能はシール
ドドアをシールドルームの出入口の壁体等に力学的に押
し付けることによって得られ、又、シールドドアの開閉
は人力によって行なわれていた。尚、シールドドアが蝶
番式の開閉構造となっている理由は、他の開閉構造では
電磁波シールド機能を十分に発揮させることが困難なた
めである。
の開閉構造となっており、電磁波シールド機能はシール
ドドアをシールドルームの出入口の壁体等に力学的に押
し付けることによって得られ、又、シールドドアの開閉
は人力によって行なわれていた。尚、シールドドアが蝶
番式の開閉構造となっている理由は、他の開閉構造では
電磁波シールド機能を十分に発揮させることが困難なた
めである。
然し乍ら、シールドドアと出入口の壁体等との圧接によ
って電磁波シールドを図る従来の電磁波シールド構造
は、出入口の床面にシールドドアを密着させるための受
け枠が必要であり、そして、機器や材料の搬出入の際に
はこの受け枠を跨がねばならないため、この受け枠が障
害となって機器や材料の搬出入の自動化が不可能であっ
た。
って電磁波シールドを図る従来の電磁波シールド構造
は、出入口の床面にシールドドアを密着させるための受
け枠が必要であり、そして、機器や材料の搬出入の際に
はこの受け枠を跨がねばならないため、この受け枠が障
害となって機器や材料の搬出入の自動化が不可能であっ
た。
又、特開昭５５−１０１６９１号公報には、シールドド
アの底面に導電性シールド刷毛を設けると共に、出入口
の床面に金属パイプを埋設して人や担架の通過を容易に
したドア装置が提案されている。然し、この先行技術は
床面に金属パイプが露出して床面は必ずしも平坦ではな
く、又、電磁波シールドを導電性シールド刷毛と金属パ
イプとの単なる接触で行なっているため電磁波シールド
が不十分であった。更に、シールドドアの開閉も依然と
して人力によるものである。
アの底面に導電性シールド刷毛を設けると共に、出入口
の床面に金属パイプを埋設して人や担架の通過を容易に
したドア装置が提案されている。然し、この先行技術は
床面に金属パイプが露出して床面は必ずしも平坦ではな
く、又、電磁波シールドを導電性シールド刷毛と金属パ
イプとの単なる接触で行なっているため電磁波シールド
が不十分であった。更に、シールドドアの開閉も依然と
して人力によるものである。
本発明は斯かる実情に鑑み案出されたもので、シールド
ルームの出入口の床面を平滑にして機器や材料の搬出入
の遠隔操作を可能にすると同時に、シールドスクリーン
の開放及びシールド機能の駆動も自動的に行ない、出入
口の閉鎖時に完全な電磁波シールドが図れるシールドル
ームのシャッター装置を提供することを目的とする。
ルームの出入口の床面を平滑にして機器や材料の搬出入
の遠隔操作を可能にすると同時に、シールドスクリーン
の開放及びシールド機能の駆動も自動的に行ない、出入
口の閉鎖時に完全な電磁波シールドが図れるシールドル
ームのシャッター装置を提供することを目的とする。
斯かる目的を達成するために、本発明に係るシールドル
ームのシャッター装置は、シールドルームの出入口の周
囲に設けた導電性の固定枠と、当該固定枠と所定の間隔
を開けて対峙して設けた可動枠と、当該可動枠を固定枠
に自動的に圧接させる圧接手段と、シールドルームの出
入口を開閉する曲げ性能の高い電磁シールド材と、当該
電磁シールド材を上記固定枠と可動枠との間に昇降させ
て出入口を自動的に開閉させる昇降装置とから成り、上
記電磁シールド材による出入口の閉鎖時に、可動枠によ
り電磁シールド材の周囲端部を固定枠に圧接させて電磁
シールド材と固定枠とを電気的に一体化させるようにし
たものである。
ームのシャッター装置は、シールドルームの出入口の周
囲に設けた導電性の固定枠と、当該固定枠と所定の間隔
を開けて対峙して設けた可動枠と、当該可動枠を固定枠
に自動的に圧接させる圧接手段と、シールドルームの出
入口を開閉する曲げ性能の高い電磁シールド材と、当該
電磁シールド材を上記固定枠と可動枠との間に昇降させ
て出入口を自動的に開閉させる昇降装置とから成り、上
記電磁シールド材による出入口の閉鎖時に、可動枠によ
り電磁シールド材の周囲端部を固定枠に圧接させて電磁
シールド材と固定枠とを電気的に一体化させるようにし
たものである。
本発明によれば、昇降装置によって電磁シールド材が昇
降して出入口を自動的に開閉する。そして、電磁シール
ド材が下降して出入口を閉鎖した時、圧接手段の稼働に
よって、可動枠が電磁シールド材の周囲端部を固定枠に
圧接させて電磁波シールドを行なう。
降して出入口を自動的に開閉する。そして、電磁シール
ド材が下降して出入口を閉鎖した時、圧接手段の稼働に
よって、可動枠が電磁シールド材の周囲端部を固定枠に
圧接させて電磁波シールドを行なう。
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
第１図に於て、符号１は導電性のシールド材で構築され
たシールドルーム、３は当該シールドルーム１の出入口
で、その出入口３の周囲には水平材５ａ，５ａ及び垂直
材５ｂ，５ｂから成る導電性の固定枠５が取り付けられ
ている。尚、この固定枠５の下側の水平材５ａは、その
上面５ａ′がシールド床７及び床９と同一平面を形成す
るように構造床１１の凹部１３内に配設されている。
又、上記出入口３の天井１５裏には、電磁シールド材と
してのシールドスクリーン１７を捲回した周知のシャッ
ター開閉機１９が装着されている。
たシールドルーム、３は当該シールドルーム１の出入口
で、その出入口３の周囲には水平材５ａ，５ａ及び垂直
材５ｂ，５ｂから成る導電性の固定枠５が取り付けられ
ている。尚、この固定枠５の下側の水平材５ａは、その
上面５ａ′がシールド床７及び床９と同一平面を形成す
るように構造床１１の凹部１３内に配設されている。
又、上記出入口３の天井１５裏には、電磁シールド材と
してのシールドスクリーン１７を捲回した周知のシャッ
ター開閉機１９が装着されている。
このシャッター開閉機１９は従来装置と同様、遠隔操作
によって自動的に開閉されるもので、機器や物品の搬出
入の際にシールドスクリーン１７を昇降させて出入口３
を開閉するようになっている。又、上記シールドスクリ
ーン１７は、第２図に示すように高分子エラストマー或
いは金属繊維織布からなるシート状の弾性体２１を銅等
の金属箔２３で被覆したもので、厚さは５mm以下で高い
電磁波シールド性能と曲げ性能を有するものである。
尚、シールドスクリーン１７の下端部は、第１図に示す
ように固定枠５の水平材５ａと床９との隙間を介して凹
部１３内迄下降するように設定されている。従って、出
入口３の床面には斯様に薄いシールドスクリーン１７が
入る隙間が設けられているだけであり、機器等の搬送に
何等支障を来すことのない平滑な面となっている。
によって自動的に開閉されるもので、機器や物品の搬出
入の際にシールドスクリーン１７を昇降させて出入口３
を開閉するようになっている。又、上記シールドスクリ
ーン１７は、第２図に示すように高分子エラストマー或
いは金属繊維織布からなるシート状の弾性体２１を銅等
の金属箔２３で被覆したもので、厚さは５mm以下で高い
電磁波シールド性能と曲げ性能を有するものである。
尚、シールドスクリーン１７の下端部は、第１図に示す
ように固定枠５の水平材５ａと床９との隙間を介して凹
部１３内迄下降するように設定されている。従って、出
入口３の床面には斯様に薄いシールドスクリーン１７が
入る隙間が設けられているだけであり、機器等の搬送に
何等支障を来すことのない平滑な面となっている。
更に、上記出入口３には、第３図に示すようにシールド
壁２５にヒンジ結合された複数の支持アーム２７を介し
て可動枠２９が固定枠５と対峙して取り付けられてお
り、上述したシールドスクリーン１７は固定枠５とこの
可動枠２９との間を昇降するようになっている。尚、第
４図は第３図のＩ−Ｉ線断面図で、図中、２９ａ，２９
ｂは可動枠２９を形成する水平枠と垂直枠、３１は支持
アーム２７と可動枠２９を結合するヒンジ、そして、３
３は当該可動枠２９と固定枠５との間に所定の間隔を保
持するスプリングである。
壁２５にヒンジ結合された複数の支持アーム２７を介し
て可動枠２９が固定枠５と対峙して取り付けられてお
り、上述したシールドスクリーン１７は固定枠５とこの
可動枠２９との間を昇降するようになっている。尚、第
４図は第３図のＩ−Ｉ線断面図で、図中、２９ａ，２９
ｂは可動枠２９を形成する水平枠と垂直枠、３１は支持
アーム２７と可動枠２９を結合するヒンジ、そして、３
３は当該可動枠２９と固定枠５との間に所定の間隔を保
持するスプリングである。
又、上記支持アーム２７近傍のシールド壁２５には、遠
隔操作によって駆動するジャッキ３５が各支持アーム２
７に対応して取り付けられており、第５図に示すように
当該ジャッキ３５を駆動して楔状シリンダ３７を支持ア
ーム２７の後端２７ａとシールド壁２５との間に挿入す
ると、支持アーム２７は第６図の如くスプリング３３の
ばね力に抗して矢印Ａ方向に移動し乍ら可動枠２９を固
定枠５に圧接させるようになっている。従って、シール
ドスクリーン１７が上記固定枠５と可動枠２９との間を
下降して出入口３を閉鎖した際に、上記ジャッキ３５を
遠隔操作して支持アーム２７を矢印Ａ方向に移動して可
動枠２９を固定枠５に圧接させると、シールドスクリー
ン１７の周囲端部は固定枠５と可動枠２９に挾持され、
因って、固定枠５とシールドスクリーン１７が電気的に
一体化されることをなる。
隔操作によって駆動するジャッキ３５が各支持アーム２
７に対応して取り付けられており、第５図に示すように
当該ジャッキ３５を駆動して楔状シリンダ３７を支持ア
ーム２７の後端２７ａとシールド壁２５との間に挿入す
ると、支持アーム２７は第６図の如くスプリング３３の
ばね力に抗して矢印Ａ方向に移動し乍ら可動枠２９を固
定枠５に圧接させるようになっている。従って、シール
ドスクリーン１７が上記固定枠５と可動枠２９との間を
下降して出入口３を閉鎖した際に、上記ジャッキ３５を
遠隔操作して支持アーム２７を矢印Ａ方向に移動して可
動枠２９を固定枠５に圧接させると、シールドスクリー
ン１７の周囲端部は固定枠５と可動枠２９に挾持され、
因って、固定枠５とシールドスクリーン１７が電気的に
一体化されることをなる。
本実施例はこのように構成されているから、シールドル
ーム１への機器や材料の搬出入を行なうには、遠隔操作
によってシールドスクリーン１７をシャッター開閉機１
９によって巻き上げて出入口３を開放すればよく、機器
や材料の搬出入作業の終了後、シャッター開閉機１９に
よってシールドスクリーン１７を下降させれば、出入口
３はシールドスクリーン１７で閉鎖される。そして、出
入口３がシールドスクリーン１７によって閉鎖された状
態でジャッキ３５を駆動して楔状シリンダ３７を支持ア
ーム２７の後端２７ａとシールド壁２５との間に挿入さ
せれば、支持アーム２７は第６図の如くスプリング３３
のばね力に抗して矢印Ａ方向に移動し乍ら可動枠２９で
シールドスクリーン１７の周囲端部を固定枠５に圧接し
て、固定枠５とシールドスクリーン１７とを電気的に一
体化する。このように、固定枠５と電気的に一体化され
ることによって、シールドスクリーン１７は出入口３の
電磁波シールドを行なうこととなる。
ーム１への機器や材料の搬出入を行なうには、遠隔操作
によってシールドスクリーン１７をシャッター開閉機１
９によって巻き上げて出入口３を開放すればよく、機器
や材料の搬出入作業の終了後、シャッター開閉機１９に
よってシールドスクリーン１７を下降させれば、出入口
３はシールドスクリーン１７で閉鎖される。そして、出
入口３がシールドスクリーン１７によって閉鎖された状
態でジャッキ３５を駆動して楔状シリンダ３７を支持ア
ーム２７の後端２７ａとシールド壁２５との間に挿入さ
せれば、支持アーム２７は第６図の如くスプリング３３
のばね力に抗して矢印Ａ方向に移動し乍ら可動枠２９で
シールドスクリーン１７の周囲端部を固定枠５に圧接し
て、固定枠５とシールドスクリーン１７とを電気的に一
体化する。このように、固定枠５と電気的に一体化され
ることによって、シールドスクリーン１７は出入口３の
電磁波シールドを行なうこととなる。
而して、斯様にシールドスクリーン１７によって電磁波
シールドされているシールドルーム１に再度機器等の搬
出入を行なうには、ジャッキ３５を駆動して楔状シリン
ダ３７を支持アーム２７の後端２７ａとシールド壁２５
の間から後退させればよく、支持アーム２７はスプリン
グ３３の復元力によってヒンジ３１を支点として矢印Ｂ
方向に回動し、可動枠２９によるシールドスクリーン１
７と固定枠５との接触を解除する。しかる後に、シャッ
ター開閉機１９を操作してシールドスクリーン１７を巻
き上げて出入口３を開放すればよい。
シールドされているシールドルーム１に再度機器等の搬
出入を行なうには、ジャッキ３５を駆動して楔状シリン
ダ３７を支持アーム２７の後端２７ａとシールド壁２５
の間から後退させればよく、支持アーム２７はスプリン
グ３３の復元力によってヒンジ３１を支点として矢印Ｂ
方向に回動し、可動枠２９によるシールドスクリーン１
７と固定枠５との接触を解除する。しかる後に、シャッ
ター開閉機１９を操作してシールドスクリーン１７を巻
き上げて出入口３を開放すればよい。
このように、本実施例は、シールドルーム１の出入口３
の開閉機構を自動化した上で出入口３の床面を平坦なも
のとし、然も、可動枠２９によってシールドスクリーン
１７を固定枠５に自動的に圧接させることによって良好
な電磁波シールドを図るようにしたので、本実施例によ
れば、シールドルーム１への機器や材料の搬出入を機械
的に自動化することが可能となり、大幅な省力化と効率
化を図ることが可能となった。そして、シールドルーム
１の出入口３の開閉機構の自動化によって、出入口３の
開閉を入力によっていた従来に比し、その開閉に際に不
必要な塵埃の発生を防止できる利点も有する。
の開閉機構を自動化した上で出入口３の床面を平坦なも
のとし、然も、可動枠２９によってシールドスクリーン
１７を固定枠５に自動的に圧接させることによって良好
な電磁波シールドを図るようにしたので、本実施例によ
れば、シールドルーム１への機器や材料の搬出入を機械
的に自動化することが可能となり、大幅な省力化と効率
化を図ることが可能となった。そして、シールドルーム
１の出入口３の開閉機構の自動化によって、出入口３の
開閉を入力によっていた従来に比し、その開閉に際に不
必要な塵埃の発生を防止できる利点も有する。
尚、上記実施例にあっては、シャッター開閉機１９やジ
ャッキ３５を遠隔操作によって駆動する構造としたが、
出入口３に周知の赤外線感知機を取り付け、この赤外線
感知器からの信号が入力される制御手段によって自動的
に駆動するようにしてもよい。又、シールドスクリーン
１７の材質も上記実施例に限定されるものではない。
ャッキ３５を遠隔操作によって駆動する構造としたが、
出入口３に周知の赤外線感知機を取り付け、この赤外線
感知器からの信号が入力される制御手段によって自動的
に駆動するようにしてもよい。又、シールドスクリーン
１７の材質も上記実施例に限定されるものではない。
以上述べたように、本発明によれば、シールドルームの
出入口の確実な電磁波シールドを図りつつシールドルー
ムへの機器や材料の搬出入を機械的に自動化することが
できるため、大幅な省力化と効率化が可能となった。
出入口の確実な電磁波シールドを図りつつシールドルー
ムへの機器や材料の搬出入を機械的に自動化することが
できるため、大幅な省力化と効率化が可能となった。
第１図は本発明の実施例に係るシャッター装置の垂直断
面図、第２図はシールドスクリーンの部分断面図、第３
図は上記実施例に係るシャッター装置の正面図、第４図
は第３図のＩ−Ｉ線断面図、第５図及び第６図は上記実
施例に於ける電磁波シールド機構の構造並びにその機能
を示す説明図である。 １……シールドルーム、３……出入口、５……固定枠、
１７……シールドスクリーン、１９……シャッター開閉
機、２５……シールド壁、２７……支持アーム、２９…
…可動枠、３１……ヒンジ、３３……スプリング、３５
……ジャッキ、３７……楔状シリンダ。
面図、第２図はシールドスクリーンの部分断面図、第３
図は上記実施例に係るシャッター装置の正面図、第４図
は第３図のＩ−Ｉ線断面図、第５図及び第６図は上記実
施例に於ける電磁波シールド機構の構造並びにその機能
を示す説明図である。 １……シールドルーム、３……出入口、５……固定枠、
１７……シールドスクリーン、１９……シャッター開閉
機、２５……シールド壁、２７……支持アーム、２９…
…可動枠、３１……ヒンジ、３３……スプリング、３５
……ジャッキ、３７……楔状シリンダ。
Claims (2)
- 【請求項１】電磁波シールドルームの出入口の周囲に設
けた導電性の固定枠と、当該固定枠と所定の間隔を開け
て対峙して設けた可動枠と、当該可動枠を固定枠に自動
的に圧接させる圧接手段と、電磁波シールドルームの出
入口を開閉する曲げ性能の高い電磁シールド材と、当該
電磁シールド材を上記固定枠と可動枠との間に昇降させ
て出入口を自動的に開閉させる昇降装置とから成り、上
記電磁シールド材による出入口の閉鎖時に、可動枠によ
り電磁シールド材の周囲端部を固定枠に圧接させて電磁
シールド材と固定枠とを電気的に一体化させるようにし
たことを特徴とする電磁波シールドルームのシャッター
装置。 - 【請求項２】電磁シールド材は、高分子エラストマー或
いは金属繊維織布からなるシート状の弾性体を金属箔で
被覆したものであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の電磁波シールドルームのシャッター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17613087A JPH0646678B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 電磁波シ−ルドル−ムのシャッタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17613087A JPH0646678B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 電磁波シ−ルドル−ムのシャッタ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6419798A JPS6419798A (en) | 1989-01-23 |
| JPH0646678B2 true JPH0646678B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=16008185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17613087A Expired - Lifetime JPH0646678B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | 電磁波シ−ルドル−ムのシャッタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646678B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03257976A (ja) * | 1990-03-08 | 1991-11-18 | Fujitsu Ltd | 超伝導装置 |
| JP2002155675A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Maeda Corp | シャッターの電磁シールド機構 |
| JP2007111207A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Taisei Corp | 遮熱シートによる防火区画形成装置 |
| JP4746994B2 (ja) * | 2006-01-25 | 2011-08-10 | 東京計器株式会社 | 電磁波シールドシャッター |
| JP4776015B2 (ja) * | 2006-02-06 | 2011-09-21 | 株式会社日立メディコ | 電磁波シールド装置 |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP17613087A patent/JPH0646678B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6419798A (en) | 1989-01-23 |
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