JPH0651007Y2 - 外部ミラ−型ガスレ−ザ−装置 - Google Patents
外部ミラ−型ガスレ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPH0651007Y2 JPH0651007Y2 JP20173384U JP20173384U JPH0651007Y2 JP H0651007 Y2 JPH0651007 Y2 JP H0651007Y2 JP 20173384 U JP20173384 U JP 20173384U JP 20173384 U JP20173384 U JP 20173384U JP H0651007 Y2 JPH0651007 Y2 JP H0651007Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- optical element
- laser device
- type gas
- mirror type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、外部ミラー型ガスレーザー装置に関し、特に
ブリュースタ窓部が冷却される外部ミラー型ガスレーザ
ー装置に関する。
ブリュースタ窓部が冷却される外部ミラー型ガスレーザ
ー装置に関する。
（従来の技術） 一般に、外部ミラー型ガスレーザー装置は、共振器内の
レーザ媒質（ガス）の気密を保ち、光を通過させるため
のブリュスタ窓部を有するが、高出力のレーザでは、こ
のブリュスタ窓での光の損失による発熱が無視できなく
なり、光学素子の熱膨張による歪みなどによってレーザ
出力の安定度に悪影響を及ぼす。このため、ブリュスタ
窓の冷却をする必要が生ずる。
レーザ媒質（ガス）の気密を保ち、光を通過させるため
のブリュスタ窓部を有するが、高出力のレーザでは、こ
のブリュスタ窓での光の損失による発熱が無視できなく
なり、光学素子の熱膨張による歪みなどによってレーザ
出力の安定度に悪影響を及ぼす。このため、ブリュスタ
窓の冷却をする必要が生ずる。
第２図に従来の外部ミラー型ガスレーザー装置のブリュ
スタ窓の部分の断面図を示す。
スタ窓の部分の断面図を示す。
図において、光学素子１は光路孔２および光路孔２に対
して、ブリュスタ角度θBをなす面３を有するブロック
４上に、Ｏリング５および部品６によって気密を保つよ
う固定されている。ブロック４は冷却パイプ７により水
冷され、これによって光学素子１を冷却している。
して、ブリュスタ角度θBをなす面３を有するブロック
４上に、Ｏリング５および部品６によって気密を保つよ
う固定されている。ブロック４は冷却パイプ７により水
冷され、これによって光学素子１を冷却している。
（考案が解決しようとする問題点） 上述した従来の外部ミラー型ガスレーザー装置では、光
学素子１の冷却を冷却パイプ７ブロック4,面３光学
素子１間の熱伝導により行なっているが、熱抵抗が大き
く冷却効率が悪いため、高出力動作で出力が不安定とな
る上に、Ｏリング５のシール部でのグリースが光学素子
１を汚損するなどの欠点があった。
学素子１の冷却を冷却パイプ７ブロック4,面３光学
素子１間の熱伝導により行なっているが、熱抵抗が大き
く冷却効率が悪いため、高出力動作で出力が不安定とな
る上に、Ｏリング５のシール部でのグリースが光学素子
１を汚損するなどの欠点があった。
本考案は、上記欠点を解決するため、光学素子を２つの
ブロック間にはさみこんで、接着等により一体としたも
の全体を冷却することにより、ブリュスタ窓部の冷却効
率を向上できる外部ミラー型ガスレーザー装置を提供す
ることにある。
ブロック間にはさみこんで、接着等により一体としたも
の全体を冷却することにより、ブリュスタ窓部の冷却効
率を向上できる外部ミラー型ガスレーザー装置を提供す
ることにある。
（問題点を解決するための手段） 本考案の外部ミラー型ガスレーザー装置は、一端がレー
ザ管本体に接続されレーザの光路となる第１の光路孔を
有し他端が前記レーザの光路とブリュスタ角度をなす第
１の面である第１のパイプと、前記第１の光路孔の延長
上に位置する第２の光路孔を有し一端が前記第１の面と
向き合う前記レーザの光路とブリュスタ角をなす第２の
面である第２のパイプと、前記第１及び第２の光路孔の
境界に位置し周縁部が前記第１及び第２の面に気密に接
着された光学素子と、前記光学素子と共に接着により一
体化された前記第１及び第２のパイプの外周の少くとも
前記光学素子の周辺の部分を覆い内側に冷媒を流通させ
る冷却機構とを含んで構成される。
ザ管本体に接続されレーザの光路となる第１の光路孔を
有し他端が前記レーザの光路とブリュスタ角度をなす第
１の面である第１のパイプと、前記第１の光路孔の延長
上に位置する第２の光路孔を有し一端が前記第１の面と
向き合う前記レーザの光路とブリュスタ角をなす第２の
面である第２のパイプと、前記第１及び第２の光路孔の
境界に位置し周縁部が前記第１及び第２の面に気密に接
着された光学素子と、前記光学素子と共に接着により一
体化された前記第１及び第２のパイプの外周の少くとも
前記光学素子の周辺の部分を覆い内側に冷媒を流通させ
る冷却機構とを含んで構成される。
（実施例） 次に本考案について図面を参照して説明する。
第１図は、本考案の一実施例のブリュスタ窓の断面図で
ある。光学素子１は、２本のセラミックパイプ４′,4″
のブリュスタ角度を有する切り口にはさまれて接着によ
り気密に固定されている。セラミックパイプ４′の光学
素子１が接着される端の反対側の端はレーザ管本体11に
接続されている。光学素子１とセラミックパイプ４′,
4″の接合面３′及びすき間部分は、熱伝導のよい接着
剤10で充てんされ、光学素子１及びセラミックパイプ
４′,4″は全体として１本のパイプ状に仕上げられてい
る。８は、このパイプの外周を囲むように設けられたウ
ォータージャケットでＯリング５′,5″によりシールさ
れ、冷却水は、この内部を通って、直接セラミックパイ
プ４′,4″の外周を冷却している。９は、セラミックパ
イプ４′にろう付又は接着された金属部品であり、ブリ
ュスタ窓部全体を固定するのに使用される。
ある。光学素子１は、２本のセラミックパイプ４′,4″
のブリュスタ角度を有する切り口にはさまれて接着によ
り気密に固定されている。セラミックパイプ４′の光学
素子１が接着される端の反対側の端はレーザ管本体11に
接続されている。光学素子１とセラミックパイプ４′,
4″の接合面３′及びすき間部分は、熱伝導のよい接着
剤10で充てんされ、光学素子１及びセラミックパイプ
４′,4″は全体として１本のパイプ状に仕上げられてい
る。８は、このパイプの外周を囲むように設けられたウ
ォータージャケットでＯリング５′,5″によりシールさ
れ、冷却水は、この内部を通って、直接セラミックパイ
プ４′,4″の外周を冷却している。９は、セラミックパ
イプ４′にろう付又は接着された金属部品であり、ブリ
ュスタ窓部全体を固定するのに使用される。
この構造において、光学素子１の冷却は、冷却水セラ
ミックパイプ４′,4″接合面３′光学素子１の熱伝
導により行なわれるが、従来例と比較して、セラミック
パイプ４′,4″を直接水冷すること、かつセラミックパ
イプ４′,4″の冷却面積が広いこと、接合面３′の面積
が２倍になり密着性も高まること等により熱抵抗が小さ
くなる。従って、高出力の動作で安定性が確保される。
また、セラミックパイプ４″は、防塵カバーの役割も兼
ねており光学素子１の汚損を防止できる。
ミックパイプ４′,4″接合面３′光学素子１の熱伝
導により行なわれるが、従来例と比較して、セラミック
パイプ４′,4″を直接水冷すること、かつセラミックパ
イプ４′,4″の冷却面積が広いこと、接合面３′の面積
が２倍になり密着性も高まること等により熱抵抗が小さ
くなる。従って、高出力の動作で安定性が確保される。
また、セラミックパイプ４″は、防塵カバーの役割も兼
ねており光学素子１の汚損を防止できる。
なお、本実施例のほか、冷却媒質に油等を用いれば、セ
ラミックパイプの代わりに金属パイプを使用することも
できる。又、接合面を接着ではなくInなどでシールする
ことも可能でありより高効率の冷却を行なうことができ
る。
ラミックパイプの代わりに金属パイプを使用することも
できる。又、接合面を接着ではなくInなどでシールする
ことも可能でありより高効率の冷却を行なうことができ
る。
（考案の効果） 以上説明したように本考案の外部ミラー型ガスレーザー
装置は、ブリュスタ窓の冷却をより高効率で行なうこと
が可能となり、高出力でしかも出力安定度の高いレーザ
ー装置を実現できる効果がある。
装置は、ブリュスタ窓の冷却をより高効率で行なうこと
が可能となり、高出力でしかも出力安定度の高いレーザ
ー装置を実現できる効果がある。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は従来
の外部ミラー型ガスレーザー装置のブリュスタ窓部の構
造の一例を示す断面図である。 １……光学素子（ブリュスタ窓）、２……光路孔、3,
3′……接合面、４……ブロック、４′,4″……セラミ
ックパイプ、5,5′,5″……Ｏリング、７……水冷パイ
プ、８……ウォータージャケット、９……固定用金属部
品。
の外部ミラー型ガスレーザー装置のブリュスタ窓部の構
造の一例を示す断面図である。 １……光学素子（ブリュスタ窓）、２……光路孔、3,
3′……接合面、４……ブロック、４′,4″……セラミ
ックパイプ、5,5′,5″……Ｏリング、７……水冷パイ
プ、８……ウォータージャケット、９……固定用金属部
品。
Claims (1)
- 【請求項１】一端がレーザ管本体に接続されレーザの光
路となる第１の光路孔を有し他端が前記レーザの光路と
ブリュスタ角度をなす第１の面である第１のパイプと、
前記第１の光路孔の延長上に位置する第２の光路孔を有
し一端が前記第１の面と向き合う前記レーザの光路とブ
リュスタ角をなす第２の面である第２のパイプと、前記
第１及び第２の光路孔の境界に位置し周縁部が前記第１
及び第２の面に気密に接着された光学素子と、前記光学
素子と共に接着により一体化された前記第１及び第２の
パイプの外周の少くとも前記光学素子の周辺の部分を覆
い内側に冷媒を流通させる冷却機構とを含むことを特徴
とする外部ミラー型ガスレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20173384U JPH0651007Y2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 外部ミラ−型ガスレ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20173384U JPH0651007Y2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 外部ミラ−型ガスレ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61112671U JPS61112671U (ja) | 1986-07-16 |
| JPH0651007Y2 true JPH0651007Y2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=30763804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20173384U Expired - Lifetime JPH0651007Y2 (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 外部ミラ−型ガスレ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651007Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP20173384U patent/JPH0651007Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61112671U (ja) | 1986-07-16 |
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