JPH065204A

JPH065204A - プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法

Info

Publication number: JPH065204A
Application number: JP4187398A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Harayama; 雅俊原山
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1992-06-23
Filing date: 1992-06-23
Publication date: 1994-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】耐熱性に優れるとともに出ガスがなく、しか
も膜厚均一性、解像性、加工精度においても満足のいく
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルターを形成
する。【構成】カラーフィルターを形成すべきガラス等の基
板１上に感光性樹脂組成物２を塗布して乾燥させる塗布
工程と、カラーフィルターパターンのマスクＭを介して
の露光によりパターニング部分２ａを形成する露光工程
と、非パターン形成部分２ｂを現像によって除去する現
像工程と、耐熱性のある着色剤を分散もしくは溶解させ
た着色剤組成物をパターニング部分２ａに含浸させる含
浸工程と、焼成により有機分を焼失して基板上にフィル
ター部分を形成する焼成工程とによりカラーフィルター
を形成する。着色剤としては、耐熱性顔料、色ガラス、
基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオンと交換する
ような材料が使用できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネル（以下、ＰＤＰと略す）を構成するプラズマディ
スプレイ用基板のカラーフィルター形成方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図１は反射型蛍光面を有する従来のＤＣ
型ＰＤＰの一構成例を示すもので、ガラスからなる平板
状の前面板１１と背面板１２が互いに平行にかつ対向し
て配設され、両者はその間に設けられたセル障壁１３に
より一定の間隔に保持されている。また、前面板１１の
背面には互いに平行な複数のライン状の陽極１４が形成
されているとともに、背面板１２の前面側には互いに平
行な複数のライン状の陰極１５がこの陽極１４と直交し
て形成されている。さらにセル障壁１３の内面には蛍光
層１６が隣接して形成されており、この蛍光層１６には
各セル１７毎に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光色
の蛍光体が所定のパターンで振り分けて設けられてい
る。

【０００３】上記従来のＤＣ型ＰＤＰにおいては、陽極
１４と陰極１５の間に直流電源から所定の電圧を印加し
て電場を形成することにより、前面板１１と背面板１２
とセル障壁１３とで構成される表示要素しての各セル１
７の内部で放電が行われる。そして、この放電により生
じる紫外線が蛍光層１６を発光させ、前面板１１を透過
する光を観察者が視認するようになっている。

【０００４】また、図２は反射型蛍光面を有する従来の
ＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示すもので、このＡＣ型ＰＤ
Ｐにおいても先のＤＣ型ＰＤＰと同様に、ガラスからな
る平板状の前面板２１と背面板２２が互いに平行にかつ
対向して配設され、両者はその間に設けられたセル障壁
２３により一定の間隔に保持されている。そして、セル
障壁の下に書込み用の電極２４が形成されており、また
前面板２１の背面側にはセル２５に一対ずつ対応して電
極２６，２７が平行に形成され、さらにその背面側に誘
電体層２８及び保護層２９が形成されており、セル障壁
２３の内面及び背面板２２の前面側に蛍光層３０が形成
されている。

【０００５】上記従来のＡＣ型ＰＤＰにおいては、前面
板２１に形成された一対の電極２６，２７間に交流電源
から所定の電圧を印加して電場を形成することにより、
前面板２１と背面板２２とセル障壁２３との間の表示要
素しての各セル２５内で放電が行われる。そして、この
放電により生じる紫外線が蛍光層３０を発光させ、前面
板２１を透過する光を観察者が視認するようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如き
カラーＰＤＰでは今までに様々な改良がなされてきた。
しかしながら、ＰＤＰの輝度が十分でないためもあって
コントラストが十分とれていないのが現状である。

【０００７】ディスプレイを見やすくするには、反射率
を低減しコントラストを向上させることが効果があり、
これを実現するための手段としては、前面板にＮＤ（Neutral Dencity)フィルター特性を持
たせる。前面板にＮｄ₂Ｏ₃を入れ、発光体の主要スペクトル
以外のところで吸収特性を持たせる。蛍光層以外の場所を低反射材料で埋める。すなわち、
ブラックマトリクスを形成する。蛍光層に顔料を混合する。蛍光層の前に顔料層を形成する。赤，緑，青の各セルに対応して、発光スペクトル単一
波長だけ透過させるカラーフィルターを設ける。等が考えられるが、ＰＤＰはＣＲＴと異なり輝度にあま
り余裕がないため、輝度の減少を最低限に抑えてコント
ラストを上げるには、のブラックマトリクスとのカ
ラーフィルターが有効である。そして、カラーＰＤＰに
おいては、視野角の点から考えると、前面板の内側にこ
れらを設ける必要がある。しかし、このために基板作成
の工程上４５０〜６００℃程度、若しくはそれ以上の高
温に耐えるものであること及び出ガスがないことが要求
される。この点において、現在使用されている液晶表示
素子用のカラーフィルターをそのまま使用することはで
きない。

【０００８】一方、材料をペースト化してスクリーン印
刷によってカラーフィルターを形成する方法が知られて
いるが、膜厚均一性、解像性、加工精度において、特に
大型化を考えた場合に必ずしも満足のいくものではな
い。

【０００９】本発明は、上述のような背景に鑑みてなさ
れたものであり、耐熱性に優れるとともに出ガスがな
く、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満
足のいくカラーフィルターを形成できるプラズマディス
プレイ用基板のカラーフィルター形成方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のプラズマディスプレイ用基板のカラーフ
ィルター形成方法は、カラーフィルターを形成すべきガ
ラス基板上に感光性樹脂組成物を塗布して乾燥させる塗
布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを介して
の露光によりパターニング部分を形成する露光工程と、
非パターン形成部分を現像によって除去する現像工程
と、耐熱性のある着色剤を分散もしくは溶解した着色剤
組成物を前記パターニング部分に含浸させる含浸工程
と、焼成により有機分を焼失して基板上にフィルター部
分を形成する焼成工程とからなることを特徴としてい
る。

【００１１】そして、異なる透過波長をもつ部分からな
るカラーフィルターを形成する場合には、異なる透過波
長をもつ複数の着色剤をそれぞれ含有した各着色剤組成
物について、上記の塗布工程、露光工程、現像工程、含
浸工程を繰り返して行った後で焼成工程を行うことによ
り、基板上に選択的に各色が配列されたフィルター部分
を形成するようにすればよい。

【００１２】さらに、ブラックマトリクスを形成する場
合には、耐熱性の黒色着色剤を加えた着色剤組成物につ
いて同様の工程を加えるようにすればよいものである。

【００１３】なお、上記塗布工程をドクターブレードコ
ーティングにより行うことが好ましく、また上記露光工
程をガラス基板の塗布面と反対側の面から行うようにす
ることが好ましい。

【００１４】上記の形成方法において使用する着色剤と
しては、耐熱性顔料又は色ガラスを使用することがで
き、さらには基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオ
ンと交換するような材料も使用することができる。

【００１５】

【作用】上述の本発明のプラズマディスプレイ用基板の
カラーフィルター形成方法によれば、フォトリソ法によ
り形成された感光性樹脂組成物のパターニング部分に着
色剤組成物を含浸させるので、膜厚が均一で、解像性及
び加工精度に優れたカラーフィルターが形成される。ま
た、焼成工程により有機分が焼失せしめられ、出ガスの
ないカラーフィルターが形成される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。

【００１７】図３及び図４は本発明に係るプラズマディ
スプレイ用基板のカラーフィルター形成方法の工程図で
ある。

【００１８】まず、図３の（ａ）に示すように、ガラス
等からなる平面状の基板１を洗浄してフィルター形成面
を決定する。ここで、フロート方式で形成されたガラス
基板などを使用する時には、使用する着色剤に応じてガ
ラス面を錫面とするか又は非錫面とするかを選択する必
要がある。すなわち、錫面にすると、使用する着色剤の
種類によっては錫のイオンがガラス中に入って悪影響を
及ぼすことがあり、また着色剤として基板ガラス中のア
ルカリイオンを着色イオンと交換するような材料を使用
する場合には、錫面の方がイオン交換がしやすくて発色
がよくなる場合が少なくない。

【００１９】次に、図３の（ｂ）に示す工程では、基板
１上のカラーフィルターを形成すべき面に感光性樹脂組
成物２を全面塗布して乾燥させる。塗布方法としては、
スプレー法、スピンナー法、ディップ法、印刷法、ブレ
ードコーター法、ロールコーター法など任意のコーティ
ング方法を採用することができる。

【００２０】続いて、図３の（ｃ）に示す工程では、カ
ラーフィルターパターンのマスクＭを介してパターン露
光し感光性樹脂組成物２のパターニング部分２ａを形成
する。この際、パターン形状がやや劣るものの、塗布膜
面とは反対側の面から露光すると密着性が向上するとと
もに膜厚均一性が向上する。

【００２１】次いで、図３の（ｄ）に示す工程では、現
像にかけて非パターン形成部分２ｂを除去した後、パタ
ーニング部分２ａを乾燥して硬膜化する。

【００２２】引き続き、図４の（ｅ）に示す工程では、
感光性樹脂組成物２に含浸可能な溶媒中に耐熱性のある
着色剤を分散もしくは溶解してなる着色剤組成物を、前
記パターニング部分２ａに含浸させ、乾燥して硬膜化さ
せることにより着色部分３を形成する。

【００２３】３色のカラーフィルターの場合は、赤，
緑，青の透過波長をもつ着色剤をそれぞれ分散もしくは
溶解した着色剤組成物について、図３（ｂ）の塗布工程
から図４（ｅ）の含浸工程までを繰り返すようにする。
さらに、ブラックマトリクスを入れる場合には、耐熱性
の黒色着色剤を加えた着色剤組成物について同様の工程
を加えるようにする。これにより、図４の（ｆ）に示す
ように、３色毎の着色部分３（Ｒ），３（Ｇ），３
（Ｂ）及び黒色の着色部分４が所望のパターンで配列さ
れた状態となる。

【００２４】最後に、基板１を焼成工程に移し、着色反
応に十分な温度で焼成し、着色部分に残留する有機分を
焼失せしめる。以上の工程により、ブラックマトリクス
を入れた３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のカラーフィルターの場合
には、基板１上に図４の（ｇ）に示すようなパターンの
フィルター部分５とブラックマトリクス６とからなるカ
ラーフィルターが形成される。

【００２５】上記のように、感光性樹脂組成物によりパ
ターニングを行い、このパターニング部分に耐熱性のあ
る着色剤を分散もしくは溶解させた着色剤組成物を含浸
させて焼成するようにしたことにより、均一性が高く、
解像性及び寸法精度に優れたカラーフィルターを形成で
きる。また、焼成工程を通すことにより、出ガスの原因
となる有機分を焼失することができるものである。この
際に、着色剤によっては密着性が高くなり着色反応を促
進することが期待できる。

【００２６】本発明で使用する着色剤としては、耐熱性
の顔料であればいずれも使用することができる。この場
合、基板の作製工程に依存するが４５０〜６００℃程度
の耐熱性があればよい。また、薄い膜厚で波長選択性が
確保できる色ガラス、基板ガラス中のアルカリイオンを
着色イオンと交換するような材料等も使用することがで
きる。また、発色とその安定性、耐熱性、密着性、表面
平滑性の向上のために低融点のガラスフリットを混合す
ることも有効である。

【００２７】耐熱性顔料の種類は多いが、代表的なもの
としては、鉄系（赤）、アルミン酸マンガン系（桃
色）、金系（桃色）、アンチモン−チタン−クロム系
（橙色）、鉄−クロム−亜鉛系（褐色）、鉄系（褐
色）、チタン−クロム系（黄褐色）、鉄−クロム−亜鉛
系（黄褐色）、鉄−アンチモン系（黄褐色）、アンチモ
ン−チタン−クロム系（黄色）、亜鉛−バナジウム系
（黄色）、ジルコニウム−バナジウム系（黄色）、クロ
ム系（緑色）、バナジウム−クロム系（緑色）、コバル
ト系（青色）、アルミン酸コバルト系（青色）、バナジ
ウム−ジルコニウム系（青色）、コバルト−クロム−鉄
系（黒色）等があり、これらを混合して色調を合わせる
ことも可能である。そして、粒径１μｍ以上の粒子が全
粒子の１０ｗｔ％以下であることが望ましい。すなわ
ち、粒径の大きな粒子が多いと透過度が低下して輝度の
低下をもたらすからである。さらに、粒径０．０１〜
０．７μｍの粒子が全粒子の２０ｗｔ％以上であること
が望ましい。

【００２８】色ガラスは着色機構からも種類が非常に多
い。また同じ原料でも条件によって色が変わる。一例を
示すと、フリットは珪酸（ＳｉＯ₂）、酸化鉛（Ｐｂ
Ｏ）、酸化カリウム（Ｋ₂Ｏ₅）、硼酸（Ｂ₂Ｏ₃）、
フッ化アルミ（ＡｌＦ₃）、酸化砒素（Ａｓ₂Ｏ₃）等
を含むカリ鉛ガラスが主成分であり、原料としては、珪
石、鉛丹、黄色酸化鉛、鉛白、カリ硝石、硼酸、硼砂、
重炭酸ソーダ、フッ化物等が使用される。これに着色剤
として亜砒酸（白）、酸化錫（白）、酸化銅（緑）、酸
化コバルト（青）、重クロム酸カリ（黄色）、酸化アン
チモン（黄色）、酸化鉄（茶色）、二酸化マンガン（紫
色）、酸化ニッケル（紫色）、塩化金（赤）、ウラン酸
ソーダ（橙色）、セレン赤（朱赤色）等が組み合わされ
て混合される。そして、これらを混合し加熱溶融してガ
ラス化したものを冷却粉砕したものを使用する。

【００２９】基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオ
ンと交換するような材料の代表的なものとしては、赤
（硫酸銅５〜４０重量部、アルカリ金属塩４０〜９０重
量部、無機充填物５〜５５重量部）、緑（硫酸銅４０〜
９０重量部、アルカリ金属塩４０〜９０重量部、無機充
填物５〜２０重量部）、青（硫酸コバルト４０〜８０重
量部、アルカリ金属塩４０〜９０重量部、無機充填物５
〜２０重量部）等を使用できる。

【００３０】ここで、アルカリ金属塩は、アルカリ金属
硫酸塩として硫酸リチウム、硫酸ナトリウム、硫酸カリ
ウムを、アルカリ土類金属硫酸塩として硫酸亜鉛、硫酸
カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸バリウムを１種類
若しくは２種類以上混合して用いる。これらは主にガラ
ス表面で溶融してガラス基板表面への密着性を向上して
イオン交換を増進させる働きがあると思われる。

【００３１】無機充填物は、焼成時の溶融液の縮み防止
や呈色された色調の濃淡をコントロールする働きを兼ね
備えていると思われ、各種の耐熱性無機物を使用でき
る。例えば、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化チタン（Ｔ
ｉＯ₂）、ジルコン（ＺｒＯ₂）、珪酸ジルコニウム
（ＺｒＳｉＯ₂）、炭酸カルシウム（ＣａＯ₂）、酸化
鉄（Ｆｅ₂Ｏ₃）等が使用できる。また必要に応じて１
重量部以下の銀塩（ＡｇＮＯ₃，Ａｇ₂Ｏ，Ａｇ₂ＳＯ
₄，Ａｇ₂Ｓ）を加えることにより、着色の鮮明さや色
調に変化を与えられる場合があり、より多彩な色調を発
揮できる。この着色方法においては、無機充填物を着色
剤組成物に添加してもよいのは勿論のことであるが、感
光性樹脂組成物に添加すると形成面積が比較的大きい際
にパターニング形状は多少落ちるが抜けや形状の縮みは
改善される。

【００３２】そして、本発明では上記の着色剤を一種類
もしくは複数組み合わせて溶媒に分散もしくは溶解させ
てなる着色剤組成物を用いる。この場合、より分散安定
性を増すために、感光性樹脂組成物に使用される樹脂を
少量添加したり、界面活性剤などの従来公知の添加剤は
いずれも必要に応じて包含し得るものである。これらを
分散させる方法としては、例えばボールミル、サンドミ
ル、ロールミル、スピードラインミル等がいずれも使用
でき、本発明においてはボールミルが特に有用である。

【００３３】また、本発明で使用される感光性樹脂組成
物には、発色に影響を与えない、焼成時に焼失でき残さ
を殆ど残さない等の条件を満たすものであればどのよう
な感光性ポリマーを用いてもよく、また、どのような光
架橋剤を用いてもよい。特に、設備の簡便さ、経済性、
作業上の安全性を考慮すると、水溶性（水現像性）の感
光性樹脂組成物が扱いやすい。

【００３４】感光性ポリマーとしては、ポリアクリルア
ミド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルメチルエーテ
ル、ポリビニルアセタール、ゼラチン、カゼイン、グリ
ュー、ポリエチレンオキシド等の単独重合体、或いはア
クリルアミド−ジアセトアミドの共重合体、マレイン酸
−メチルビニルエーテル共重合体、アクリルアミド−ビ
ニルアルコール共重合体、ポリイソプレン、ポリケイ皮
酸ビニル、ポリビニルアルコール、天然ゴム等が好まし
く用いられる。一方、光架橋剤としては、ジアゾ化合
物、アジド化合物等の有機硬化剤が好ましいが、市販の
レジストを活用してもよいことは言うまでもない。

【００３５】本発明で使用する感光性樹脂組成物は、上
記の成分を必須成分とするが、その他従来公知の添加剤
はいずれも必要に応じて包含し得るものである。また、
使用する溶媒の量は、使用する感光性ポリマーの種類や
着色剤の濃度、塗布方法によって変化するが、一般には
５０〜９８ｗｔ％になる範囲が良好である。

【００３６】上記の感光性樹脂組成物を所望のガラス基
板上に塗布する方法としては、ドクターブレードコーテ
ィング、ミヤアバーコーティング、ロールコーティン
グ、スクリーンコーティング、スクリーン印刷、スピン
ナーコーティング等公知のコーティング方法はいずれも
使用できるが、気泡の抱き込み、着色剤の沈降等の防
止、気泡の混入、塗布量の均一性などの点からドクター
ブレードコーティングが最も適している。

【００３７】以上の如くして形成するコーティング膜
は、材料によって膜厚は異なるが、一般的には乾燥時で
０．５〜３０μｍ程度が好ましい。コーティング膜の乾
燥、パターニング露光による硬化、未露光部分の溶出に
よる現像、さらには焼成などの各工程及びそれらの条件
は、既に述べた通りまた後述する具体例で例示する如く
特に限定はなく従来技術におけるのと同様でよい。

【００３８】［具体例］各色の着色剤組成物を次のよう
にして作製した。

【００３９】「赤色フィルター用着色剤組成物」硫酸銅（７．４ｗｔ％）、硫酸ナトリウム（１４．７ｗ
ｔ％）、アルミナ（７．４ｗｔ％）、ポリビニールアル
コール（０．３ｗｔ％）、純水（７０．２ｗｔ％）を混
合しボールミルにて分散する。

【００４０】「緑色フィルター用着色剤組成物」硫酸銅（０．９ｗｔ％）、酸化コバルト（０．９ｗｔ
％）、酸化クロム（０．６ｗｔ％）、ガラスフリット
（２７．１ｗｔ％）、ポリビニールアルコール（０．３
ｗｔ％）、純水（７０．２ｗｔ％）を混合しボールミル
にて分散する。

【００４１】「青色フィルター用着色剤組成物」コバルト系顔料（４．４ｗｔ％）、ガラスフリット（２
５．１ｗｔ％）、ポリビニールアルコール（０．３ｗｔ
％）、純水（７０．２ｗｔ％）を混合しボールミルにて
分散する。

【００４２】「ブラックマトリクス用着色剤組成物」コバルト−クロム−鉄系耐熱黒色顔料４．４ｗｔ％、ガ
ラスフリット２５．１ｗｔ％、ポリビニールアルコール
（０．３ｗｔ％）、純水（７０．２ｗｔ％）を混合しボ
ールミルにて分散する。

【００４３】また、感光性樹脂組成物として、ポリビニ
ールアルコール（クラレ２２４）の４．５ｗｔ％水溶液
を作製した。これは、使用時に全量の１．０２ｗｔ％の
ｐ−ジアゾフェニルアミンのホルムアルデヒド縮合物
（シンコー技研株式会社製のＤ−０１４）を混合して使
用する。

【００４４】そして、パターン形成は次の手順で行っ
た。

【００４５】まず、ガラスからなる基板１上に上記感光
性樹脂組成物２をブレードコーターにより塗布し室温に
て乾燥させた後、マスクＭを介して３５０ｎｍ付近に最
大波長をもつ紫外線を６２ｍＪ／ｃｍ²露光してパター
ニング部分２ａを形成した。次いで、温水（３５℃）に
よるスプレー現像を行って未露光部分２ｂを除去し１０
０℃にて乾燥させた。次に、上記ブラックマトリクス用
着色剤組成物の中に浸漬し、１０分後に水でゆすいだ
後、１６０℃にてパターニング部分２ａの乾燥及び硬膜
化を行って着色部分３を形成した。

【００４６】引き続き、緑色フィルター用着色剤組成
物、青色フィルター用着色剤組成物、赤色フィルター用
着色剤組成物についても、塗布から硬膜化までの工程を
同様に繰り返して行った後、約５８０℃で３０分間焼成
することによりスラリー中の樹脂分（ポリビニールアル
コール）及び硬化剤（ｐ−ジアゾジフェニルアミンのホ
ルムアルデヒド縮合物）等の有機分を焼失せしめるとと
もに、着色反応を促進し、基板上に赤、緑、青に塗り分
けられたカラーフィルターを形成した。

【００４７】このようにして形成したカラーフィルター
の上から電極その他を形成し、図４及び図５に示すよう
なＤＣ型カラーＰＤＰ、ＡＣ型カラーＰＤＰを形成し
た。これにより、コントラストの高いＰＤＰを得ること
ができた。なお、図４及び図５ではフィルター以外の各
部分については図１及び図２のものと同じ符号を付して
いる。

【００４８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、耐熱性のある着色剤を分散又は溶解させた着
色剤組成物を、フォトリソ法により形成された感光性樹
脂組成物のパターニング部分に含浸させ、さらに焼成を
通して有機分を焼失させるとともに着色反応を促進して
着色剤を基板に密着させるようにしたので、耐熱性に優
れ、出ガスのない、膜厚均一性、解像性、加工精度にお
いても満足のいくプラズマディスプレイ用基板のカラー
フィルターを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のＤＣ型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。

【図２】従来のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。

【図３】本発明に係るプラズマディスプレイ用基板のカ
ラーフィルター形成方法の工程図である。

【図４】図３に続く工程図である。

【図５】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたＤＣ型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。

【図６】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。

【符号の説明】

１基板２感光性樹脂組成物２ａパターニング部分２ｂ非パターン形成部分３着色部分４（黒色の）着色部分５フィルター部分６ブラックマトリクスＭマスク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カラーフィルターを形成すべきガラス基
板上に感光性樹脂組成物を塗布して乾燥させる塗布工程
と、カラーフィルターパターンのマスクを介しての露光
によりパターニング部分を形成する露光工程と、非パタ
ーン形成部分を現像によって除去する現像工程と、耐熱
性のある着色剤を分散もしくは溶解した着色剤組成物を
前記パターニング部分に含浸させる含浸工程と、焼成に
より有機分を焼失して基板上にフィルター部分を形成す
る焼成工程とからなることを特徴とするプラズマディス
プレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
【請求項２】請求項１記載のプラズマディスプレイ用
基板のカラーフィルター形成方法において、異なる透過
波長をもつ複数の着色剤をそれぞれ含有した各着色剤組
成物について、前記の塗布工程、露光工程、現像工程、
含浸工程を繰り返して行った後で焼成工程を行うことに
より、基板上に選択的に各色が配列されたフィルター部
分を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用
基板のカラーフィルター形成方法。
【請求項３】請求項１又は２記載のプラズマディスプ
レイ用基板のカラーフィルター形成方法において、耐熱
性の黒色着色剤を加えた着色剤組成物について同様の工
程を加えることによりブラックマトリクスを形成するこ
とを特徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフ
ィルター形成方法。
【請求項４】前記塗布工程をドクターブレードコーテ
ィングにより行うことを特徴とする請求項１，２又は３
記載のプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター
形成方法。
【請求項５】前記露光工程をガラス基板の塗布面と反
対側の面から行うことを特徴とする請求項１，２，３又
は４記載のプラズマディスプレイ用基板のカラーフィル
ター形成方法。
【請求項６】前記着色剤として耐熱性顔料を使用する
ことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載のプ
ラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方
法。
【請求項７】前記着色剤として色ガラスを使用するこ
とを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載のプラ
ズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
【請求項８】前記着色剤として基板ガラス中のアルカ
リイオンを着色イオンと交換するような材料を使用する
ことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載のプ
ラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方
法。