JPH0652198U - 基板位置決め用キャリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搭載した基板の脱落を防止した基板位置決め
用キャリアの提供。 【構成】 基板２に係合してこれを位置決めするための
位置決め部材５〜７と、基板２を該位置決め部材に向け
て付勢する付勢部材９、１０との少なくともいずれか一
方に、ベース３の搭載面３ａに対して垂直な方向への基
板２の移動を規制する規制部６ｃ、９ｂ、１０ｂを設
け、上記の効果を得た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ダイボンディングやワイヤボンディング等のボンディング処理を施 すべき基板を搬送するために該基板を位置決めして搭載する基板位置決め用キャ リアに関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣチップを基板上に接着剤等により実装するダイボンディング工程や、基板 に実装されているＩＣチップの電極部と該基板に形成されているリードとを導電 性細線（ワイヤ）を用いて接続するワイヤボンディング工程においてボンディン グを行う場合、ボンディングを施すべき基板を平板状のキャリア上に搭載してこ のキャリアを搬送することが多く行われる。

【０００３】 図３に、従来の基板位置決め用キャリアを扱うワイヤボンディング装置を示す 。当該ワイヤボンディング装置においては、ローダ側のマガジン２１内に配列収 容されているキャリア２２を順次取り出してボンディング手段２３によるボンデ ィング位置に移送し、このボンディング手段２３により各キャリア２上の基板２ ４に対してボンディングを行った後、アンローダ側のマガジン２５内に収容する 。なお、かかるワイヤボンディング装置は、実開昭５８−４７５号公報において 開示されている。

【０００４】 上記キャリア２２の詳細を図４に示す。図示のように、キャリア２２は、矩形 板状に形成されて基板４を搭載するベース２７と、該ベース２７上に設けられて 基板２４を該ベース２７の搭載面に平行な方向において位置決めするための３本 の位置決め部材２８、２９及び３０と、ベース２７上に設けられて基板２４をこ れら各位置決め部材２８、２９、３０に向けて付勢する付勢部材としての板ばね ３１及び３２とを備えている。すなわち、基板２４は、板ばね３１により短手方 向に押圧されて位置決め部材２８及び２９にて位置決めされると共に、他の板ば ね３２によって長手方向に押圧されて位置決め部材３０により位置決めされる。 なお、基板２４をキャリア２２に脱着させる際は、各板ばね３１及び３２を外側 に押してこれを行う。

【０００５】 かかるキャリア２２を用いることにより、基板２４は高精度に位置決めされた 状態で搬送され、ボンディングの品質及び生産性が向上するとされている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記した従来の基板位置決め用キャリアにおいては、ボンディ ング時の加熱によるベース２７及び基板２４の反りや搬送時の振動等によって、 基板２４がベース２７から脱落する懸念がある。

【０００７】 本考案は上記した点に鑑みてなされたものであって、基板の脱落を防止した基 板位置決め用キャリアを提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は、基板を搭載するベースと、該ベースに設けられ基板を該ベースの搭 載面に平行な方向において位置決めするための位置決め部材と、前記ベースに設 けられ基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢部材とを備えた基板位置決 め用キャリアにおいて、前記位置決め部材及び付勢部材の少なくともいずれか一 方に、前記搭載面に対して垂直な方向への基板の移動を規制する規制部を設ける ように構成したものである。

【０００９】

【実施例】

次に、本考案の実施例としての基板位置決め用キャリアを添付図面を参照しつ つ説明する。

【００１０】 図１及び図２に示すように、本考案に係るキャリアは、矩形板状に形成されて 基板２を搭載するベース３を有している。このベース３の一側部近傍には、基板 ２の長辺側の一辺２ａに係合して該基板２をベース３の搭載面３ａ（図２参照） に平行な１方向Ｘにおいて位置決めするための２つの位置決め部材５及び６が設 けられている。また、ベース３の長手方向における一端部近傍にも１本の位置決 め部材７が設けられており、基板２の短辺側の一辺２ｂに係合して該基板２をベ ース３の搭載面３ａに平行にして上記方向Ｘに対して垂直な他の方向Ｙにおいて 位置決めするようになされている。これらの位置決め部材５、６及び７は夫々同 様に構成されている故、１つの位置決め部材６についてその構成を詳述する。

【００１１】 図２から明らかなように、位置決め部材６は円筒状部６ａを有し、ベース３に 植設された支持ピン６ｂに該円筒状部６ａにて回転自在に取り付けられている。 円筒状部６ａの上端には円盤状の規制部６ｃが一体に形成されており、この規制 部６ｃによって、ベース３の搭載面３ａに対して垂直な方向（矢印Ｎにて示す） への基板２の移動が規制される。

【００１２】 一方、ベース３上には、上記各位置決め部材５、６及び７との間に基板２を挟 む位置に、付勢部材としての２枚の板ばね９及び１０が設けられており、夫々基 板２の長辺側、短辺側の一辺２ｃ、２ｄに係合するようになされている。基板２ はこれら板ばね９、１０によって各位置決め部材５、６及び７に向けて付勢され 、高精度に位置決めされる。各板ばね９及び１０は互いに同様に構成されており 、一方の板ばね９とその取り付け状態について詳述する。

【００１３】 図１に示すように、板ばね９は一端部近傍がＵ字状に屈曲して形成され、ベー ス３上に固設された固定ピン１１にこの屈曲部にて取り付けられ、端部が回り止 めピン１２に係止されている。そして、自由端部９ａが湾曲せられ、該湾曲部の 凸部分にて基板２を押圧する。

【００１４】 図２にも示すように、板ばね９の自由端部９ａの上辺部には、ベース３の搭載 面３ａに対して垂直な方向への基板２の移動を規制する舌片状の規制部９ｂが一 体に形成されている。なお、図１において、他の板ばね１０に形成された規制部 について参照符合１０ｂを付して示している。この規制部９ｂ、１０ｂを設けた ことにより、基板２のベース３上からの脱落が防止されている。

【００１５】 上記した構成のキャリア１に対して基板２を脱着させる場合、各板ばね９及び １０をこれらの付勢力Ｐ、Ｑの方向とは逆方向に撓ませて行なえばよい。

【００１６】 なお、図１において参照符合１ａは、キャリア１の一側部に多数並設された孔 を示す。これらの孔１ａは、基板２をボンディングに供すべくキャリア１を搬送 路に沿って搬送する際、該キャリア１に搬送力を付与したりキャリア１をボンデ ィング位置に位置決めするために用いられるものである。

【００１７】 ところで、本実施例においては、参照符合５乃至７にて示す位置決め部材が基 板２の長辺側の一辺２ａに沿って２本、短辺側の一辺２ｂに対応して１本設けら れているが、位置決め部材の数は適宜定めることができる。また、位置決め部材 の形状についてもこのように略円筒状のものの他、例えばＬ字状に形成してその 両辺部を基板２の１つの角部において基板２の両辺２ａ、２ｂの各々に係合させ るなど、種々の変更が可能である。

【００１８】 更に、本実施例では、基板２を付勢する板ばねとして一端部がＵ字状に屈曲さ れた形状のものが採用されているが、ばねの構造、形状は適宜自由に選択するこ とができる。また、板ばねに代えて、ゴムやスポンジ等を付勢部材として利用す ることも可能である。

【００１９】 また、本実施例においては、基板２の脱落を防止するための規制部が位置決め 部材５乃至７並びに板ばね９、１０の両者に設けられているが、該両者のいずれ か一方にのみ該規制部を設ける構成としてもよい。

【００２０】 また、図２に示すように、位置決め部材６（５、７も同様）及び板ばね９（１ ０も同様）の各規制部６ｃ、７ｂと基板２の上面との間には僅かな隙間ｅが設け られており、これにより基板２の反りを吸収することができる。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案においては、位置決め部材及び付勢部材の少なく ともいずれか一方に、ベースの搭載面に対して垂直な方向への基板の移動を規制 する規制部が設けられているから、ボンディング時の加熱によるベースや基板の 反り、あるいは搬送時の振動によっても、基板がベースから脱落することがなく 、確実にボンディング作業を行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本考案の実施例としての基板位置決め
用キャリアの平面図である。

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ断面図である。

【図３】図３は、従来の基板位置決め用キャリアを扱う
ワイヤボンディング装置の概略を示す平面図である。

【図４】図４は、従来の基板位置決め用キャリアの平面
図である。

【符合の説明】

１ キャリア ２ 基板 ３ ベース ３ａ 搭載面 ５、６、７ 位置決め部材 ６ｃ 規制部 ９、１０ 板ばね（付勢部材） ９ｂ、１０ｂ 規制部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を搭載するベースと、該ベースに設
   けられ基板を該ベースの搭載面に平行な方向において位
   置決めするための位置決め部材と、前記ベースに設けら
   れ基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢部材と
   を備えた基板位置決め用キャリアであって、前記位置決
   め部材及び付勢部材の少なくともいずれか一方には、前
   記搭載面に対して垂直な方向への基板の移動を規制する
   規制部が設けられていることを特徴とする基板位置決め
   用キャリア。