JPH0653356B2 - クリ−ン式軸作動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、クリーンルームで使用するロボット等の軸
作動装置に関する。

＜従来の技術＞ 従来、クリーンルームで使用する直交座標系ロボットの
軸作動装置には第４図に示すようなものがある。すなわ
ち、この軸作動装置は、モータ４１によって回転される
送りネジ４２および上記送りネジに平行に配置された２
本のレール４３,４３を備え、また、上記レール４３,４
３に摺動自在に跨がって嵌合し、かつ上記送りネジ４２
に螺合している連結部材４４を備えている。したがっ
て、上記連結部材４４は上記送りネジ４２の回転に伴っ
て、軸方向にレールに沿って移動するようになってい
る。また、上記モータ４１，送りネジ４２，レール４
３，連結部材４４はフード４５内に収納され、内部に発
生した塵埃はクリーンルーム内に漏れないようにしてい
る。

上記フード４５の外側に配置する図示しないツール取付
台を、上記フード４５内に収納された連結部材４４に設
置するために、上記連結部材４４の表面２箇所に突出部
材４７,４７を固定している。そして、上記突出部材４
７,４７が上記フード４５に当たることなく軸方向に移
動可能ならしめるように、上記フード４５に突出部材４
７,４７の移動範囲に渡って一定間隔の隙間４６,４６を
あけている。したがって、上記突出部材４７,４７は上
記隙間４６,４６よりフード４５の外面に突出して、送
りネジ４２の回転に伴って軸方向に移動できる。

また、上記連結部材４４の送りネジ４２との螺合部やレ
ール４３との摺動部を通して上記連結部材４４内を真空
吸引し、吸引した空気は突出部材４７,４７を通り、穴４
８,４８よりクリーンルーム外に排気され、連結部材４
４内の塵埃がフード４５外、つまり、クリーンルーム内
に漏れないようにしている。

＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら、上記従来のクリーン式軸作動装置は、送
りネジ,レール４３を通過させる隙間を少なくし、連結
部材４４からの真空排気によりフード４５外に汚染空気
が漏れないようにしているが、上記送りネジ４２,レー
ル４３のような形状の複雑な部材との隙間を少なくする
ことは困難である。従って上記連結部材４４内を排気す
るためには絶えず多量の空気を連結部材４４内から排出
しなければならず、大容量の吸引装置が必要となる。

そこで、この発明の目的は、小容量の吸引装置を用いて
もフード外をクリーン状態に保つことができる、クリー
ン式軸作動装置を提供することにある。

＜問題点を解決するための手段＞ 上記目的を達成するために、この発明のクリーン式軸作
動装置は、第３図の概念図に例示するように、モータ１
と,軸受３,４によって支持されて上記モータ１で回転さ
れる送りネジ２と,軸方向に所定間隔をあけた軸受８・
９,１０・１１によって軸方向に移動可能に支持されて上
記送りネジ２に平行に配置された複数のガイドシャフト
５と，上記ガイドシャフト５に固定されると共に上記送
りネジ２に螺合したナット１２と,少なくとも上記モー
タ１・送りネジ２・ガイドシャフト５の一部およびナット
１２を内部に収納して上記ガイドシャフト５が貫通する
フード１８を有して,上記フード１８を真空引手段によ
って真空引するクリーン式軸作動装置であって、上記送
りネジ２およびガイドシャフト５を支持する総ての軸受
３・４,８・９,１０・１１は上記フード１８内に完全に収
納され、各ガイドシャフト５を支持する一つの軸受９
(１１)は上記フード１８における当該ガイドシャフト５
の貫通口近傍に設けられると共に、上記ガイドシャフト
５の先端に固定されて上記フード１８の外に位置する取
付台１６と、上記フード１８における上記ガイドシャフ
ト５の貫通口とこの貫通口の近傍に位置する軸受９(１
１)の開口部とに通ずる室２１,２２と、上記室２１,２
２内の空気を上記真空引手段に導く通気管２１a,２２a
を備えて、上記真空引手段によって上記通気管２１a,２
２aを介して上記室２１,２２内の空気を吸引することに
よって上記フード１８内を真空引することを特徴として
いる。

＜作用＞ モータ１が回転すると、軸受３,４で支持されて上記モ
ータ１に固定されている送りネジ２が回転し、上記送り
ネジ２の回転に伴って上記送りネジ２に螺合したナット
１２は軸方向に移動される。また、両端の軸受８,９;１
０,１１によって軸方向に移動自在に支持され、かつ送
りネジ２に平行に配置されたガイドシャフト５は、上記
ナット12に固定してあり、上記ナット１２と共に軸方向
に移動される。したがって、上記ガイドシャフト５の先
端に固定された取付台１６にたとえばツールを取付ける
ことにより各種作業ができる。

さらに、上記モータ１、送りネジ２、ガイドシャフト５
の一部、ナット１２、軸受３,４；８,９，１０,１１は
フード１８の内部に完全に収納されている。さらに、上
記フードにおける上記ガイドシャフト５の貫通口とこの
貫通口の近傍に位置する軸受９,１１の開口部とに通ず
る室２１,２２の空気が通気管２１ａ,２２ａを介して真
空引手段によって真空引される。

したがって、上記フード１８内部特に軸受８，９,１０,
１１のスライド部に発生する塵埃は、上記フード１８内
の空気と共に吸引されてクリーンルーム外に排気され
る。また、上記ガイドシャフト５がフード１８から進出
する際のポンプ作用によって上記貫通口からフード１８
外に出ようとする塵埃も完全に吸引される。すなわち、
上記フード１８外への発塵が完全に防止される。

さらに、上記フード１８を貫通するのは、ガイドシャフ
ト５だけであるので、上記真空吸引する装置の容量が小
さくても、フード内１８は十分な負圧に維持される。

＜実施例＞ 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図の平面図、第２図の側面図に示すように、モータ
１の軸に軸受３,４によって支持されている送りネジ２
を固定している。上記送りネジ２に平行に配置した２本
の管状のガイドシャフト５，５は、夫々軸方向に一定間
隔をあけた軸受８,９;１０,１１により軸方向に移動自
在に支持している。

上記送りネジ２にはナット１２が螺合し、そのナット１
２はさらに連結部材１３に嵌合して固定している。ま
た、上記連結部材１３の両端部には上記ガイドシャフト
５,５を貫通させる穴１３a,１３aを設け、この穴１３a,
１３aに貫通したガイドシャフト５,５を４本のネザ１
５,１５,１５,１５によって連結部材１３に固定してい
る。

また、上記モータ１，送りネジ２，ガイドシャフト５・
５の一部，軸受３・４・８・９・１０・１１，ナット１
２，連結部材１３はフード１８の内部に収納され、上記
軸受３,９,１１を嵌合している軸受保持部材１９によっ
て上記ガイドシャフト５,５を貫通させて密閉してい
る。上記軸受保持部材１９には上記軸受９,１１の図中
右側に空隙２１,２２を設け、この空隙２１,２２は上記
軸受保持部材１９に設けた２本の孔２１a(図示しない),
２２aによってモータ側に開放している。一方、上記軸
受４,８,１０を嵌合している軸受保持部材２９と、この
軸受保持部材２９に当接している部材３０とには２本の
孔３０a,３０aを貫通して設け、上記ガイドシャフト５,
５の図中下側には真空吸引する手段の一例である２本の
チューブ２５,２５を設置し、その一端は上記軸受保持
部材を１９に設けた孔２１a,２２aにチューブ継手２６,
２６で固定し、他端は上記軸受保持部材２９に設けた孔
３０a,３０aの一端にチューブ継手２７,２７で固定して
いる。また、上記部材３０に設けた３０a,３０aの他端
にはチューブ２６,２６をチューブ継手２８,２８で固定
している。

上記構成のクリーン式軸作動装置は、上記モータ１が回
転すると、上記送りネジ２が回転して、この送りネジ２
に螺合したナット１２に固定されている連結部材１３が
軸方向に移動し、それに伴って上記連結部材１３に固定
したガイドシャフト５,５は想像線１４に示すように軸
方向に移動する。そして、上記ガイドシャフト５,５の
軸受３側の先端部にボルト１７,１７によって固定され
た、ツールの取付台１６は軸方向に移動する。

また、このとき、上記モータ１やナット１２の螺合部や
軸受８,９,１０,１１等で発生し上記フード１８内に浮
遊する塵埃は空気と共に吸引され、上記空隙２１,２２、
孔２１a,２２a、チューブ２５,２５、孔３０a,３０a、チ
ューブ２６,２６を通して吸引され、これらは集めて排
気口３１より外部へ排気される。この吸引に際して、フ
ード１８内とフード１８外との可動シール部は軸受保持
部材１９を貫通するガイドシャフト５,５の周りの部分
だけであるので、フード１８内を真空吸引する真空装置
の容量が小さくてもフード１８内をフード１８外に対し
て十分低い圧力に維持できる。

＜発明の効果＞ 以上より明らかなように、この発明のクリーン式軸作動
装置は、モータ，送りネジ，ナット，全ての軸受，ガイ
ドシャフトの一部を完全に内部に収納して上記ガイドシ
ャフト一部のみを貫通させるようにしたフードと、上記
フード内を真空吸引する真空引手段を備えているので、
露出している摺動部すなわち可動シール部を少なくで
き、摺動部のシールが容易で小容量の吸引装置で十分上
記フード内を負圧状態に保つことができて、エネルギー
の節約に効果がある。

また、この発明のクリーン式軸作動装置は、上記フード
におけるガイドシャフトの貫通口とこの貫通口近傍に位
置する軸受の開口部とに通ずる室と、この室内の空気を
上記真空引手段に導く通気管を備えているので、上記ガ
イドシャフトがフードから進出する際のポンプ作用によ
って貫通口から外へ出ようとする塵埃もを完全に吸引で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のクリーン式軸作動装置の平面図、第
２図はこの発明のクリーン式軸作動装置の側面図、第３
図はこの発明の実施例の概念図、第４図は従来のクリー
ンルーム用軸作動装置。 １……モータ、２……送りネジ、５……ガイドシャフ
ト、８,９,１０,１１……軸受、１２……ナット、１８
……フード、２１a,２２a,３０a……吸引用の孔、２５,
２６……チューブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】モータと、軸受によって支持されて上記モ
   ータで回転される送りネジと、軸方向に所定間隔をあけ
   た軸受によって軸方向に移動可能に支持されて上記送り
   ネジに平行に配置された複数のガイドシャフトと、上記
   ガイドシャフトに固定されると共に上記送りネジに螺合
   したナットと、少なくとも上記モータ,送りネジ,ガイド
   シャフトの一部およびナットを内部に収納して上記ガイ
   ドシャフトが貫通するフードを有して、上記フード内を
   真空引手段によって真空引するクリーン式軸作動装置で
   あって、 上記送りネジおよびガイドシャフトを支持する総ての軸
   受は上記フード内に完全に収納され、 各ガイドシャフトを支持する一つの軸受は上記フードに
   おける当該ガイドシャフトの貫通口近傍に設けられると
   共に、 上記ガイドシャフトの先端に固定されて上記フードの外
   に位置する取付台と、 上記フードにおける上記ガイドシャフトの貫通口とこの
   貫通口の近傍に位置する軸受の開口部とに通ずる室と、 上記室内の空気を上記真空引手段に導く通気管を備え
   て、 上記真空引手段によって上記通気管を介して上記室内の
   空気を吸引することによって上記フード内を真空引する
   ことを特徴とするクリーン式軸作動装置。