JPS6368389A

JPS6368389A - クリ−ン式軸作動装置

Info

Publication number: JPS6368389A
Application number: JP20922586A
Authority: JP
Inventors: 誠吾山本
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1986-09-05
Filing date: 1986-09-05
Publication date: 1988-03-28
Anticipated expiration: 2009-07-20
Also published as: JPH0653356B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、クリーンルームて使用するロボット等の軸
作動装置に関する。

〈従来の技術〉従来、クリーンルームで使用する直交座標系ロボットの
軸作動装置には第４図（ご示すようなものがある。すな
わち、この軸作動装置は、モータ４１によって回転され
る送りネジ４２および上記送りネジに平行に配置された
２本のレール４３．４３を備え、また、上記レール４３
．４３に摺動自在に跨がって嵌合し、かつ上記送りネジ
＝１２に螺合している連結部材４４を備えている。した
がって、上記連結部材４４は上記送りネジ４２の回転に
伴って、軸方向にレールに沿って移動するようになって
いる。また、上記モータ４１．送りネジ４２゜レール４
３．連結部材４４はフード４５内に収納され、内部に発
生した塵埃はクリーンルーム内に漏れないようにしてい
る。

」二足フード４５の外側に配置する図示しないツール取
付台を、上記フード４５内に収納された連結部材４・１
に設置するために、上記連結部［第４４の表面２箇所に
突出部材４７．４７を固定している。

そして、上記突出部材４７．４７が上記フード４５に当
たることなく軸方向に移動可能ならしめるように、上記
フード４５に突出部材４７．４７の移動範囲に渡って一
定間隔の隙間４６．４６をあけている。したがって、上
記突出部材４７．４７は上記隙間４６．４６よりフード
４５の外面に突出して、送りネジ４２の回転に伴って軸
方向に移動できる。

また、上記連結部材４４の送りネジ４２との螺合部やレ
ール４３との摺動部を通して上記連結部材４４内を真空
吸引し、吸引した空気は突出部材４７．４７を通り、穴
４８．４８よりクリーンルーム外に排気され、連結部材
４４内の塵埃がフード４５外、つまり、クリーンルーム
内に漏れないようにしている。

〈発明が解決しようとする問題点〉しかしながら、上記従来のクリーン式軸作動装置は、送
りネジ４２．レール４３を通過させる隙間を少なくし、
連結部材４４からの真空排気によりフード４５外に汚染
空気が漏れないようにしているが、上記送りネジ４２．
レール４３のような形状の複雑な部材との隙間を少なく
することは困難である。従って上記連結部材４４内を排
気するためには絶えず多量の空気を連結部材４４内から
排出しなければならず、大容量の吸引装置が必要となる
。

そこで、この発明の目的は、小容量の吸引装置を用いて
もフード外をクリーン状態に保つことができる、クリー
ン式軸作動装置を提供することにある。

く問題点を解決するための手段〉上記目的を達成するために、この発明のクリーン式軸作
動装置は、第３図の概念図に例示するように、モータｌ
と、上記モータｌにより回転させられ、軸受３，４によ
って支持される送りネジ２と、上記送りネジ２に平行に
配置され、かつ軸方向に一定間隔をあけた軸受８，９．
１０．１１によって軸方向に移動自在に支持された複数
のガイドシャフト５と、上記ガイドシャフト５に固定さ
れ、かつ上記送りネジ２に螺合して送りネジ２の回転に
伴って軸方向に移動するナツト１２と、上記モータ１．
送りネジ２．ナツト１２．全ての軸受、ガイドシャフト
５の一部を内部に収納し、上記ガイドシャフト５が貫通
するフード１３と、上記ガイドシャフト５の先端に固定
した取付台１６と、上記フード１８内を真空吸引ずろ手
段２１ａ、２２ａとを備えたことを特徴としている。

〈作用〉モータｌが回転すると、軸受３，４で支持されて上記モ
ータｌに固定されている送りネジ２が回転し、上記送り
ネジ２の回転に伴って上記送りネジ２に螺合したナツト
１２は軸方向に移動される。

また、両端の軸受８．９．１０．１１によって軸方向に
移動自在に支持され、かつ送りネジ２に平行に配置され
たガイドシャフト５は、上記ナツト１２に固定してあり
、上記ナツト１２と共に軸方向に移動される。したがっ
て、上記ガイドシャフト５の先端に固定された取付台１
６にたとえばツールを取付けることにより各種作業がで
きる。

さら１こ、トス−モータ１．送りネジ２、ガイドシャフ
ト５の一部、ナツト１２、軸受３，４　．８，９゜ｔｏ
、１１はフード１８の内部に収納されていて、上記フー
ド１８内部特に軸受８．９，１０．１１のスライド部に
発生する塵埃は、上記フード１８内を真空吸引１”る手
段２１ａ、２２ａより空気と共に吸引されてクリーンル
ーム外に排気されるので、上記フード１８外への発塵が
防止される。上記フードを貫通するのは、ガイドシャフ
トだけであるので、上記真空吸引する装置の容量が小さ
くても、フード内１８は十分な負圧に維持される。

〈実施例〉以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図の平面図、第２図の側面図に示すように、モータ
ｌの軸に軸受３，４によって支持されている送りネジ２
を固定している。上記送りネジ２に平行に配置した２本
の管状のカイトシャフト５゜５：よ、夫々軸方向に一定
間隔をあけた軸受８，９：１０．１１により軸方向に移
動自在に支持している。

上記送りネジ２にはナツト１２が螺合し、そのナツト１
２はさらに連結部材１３に嵌合して固定している。また
、上記連結部材１３の両端部には上記ガイドシャフト５
．５を貫通させる穴１３ａ。

１３ａを設け、この穴１３ａ、１３ａに貫通したガイド
シャフト５．５を４本のネジｌ　５，１５，１５．１５
によって連結部材１３に固定している。

また、上記モータ１．送りネジ２．ガイドシャフト５・
５の一部、軸受３・４・８・９・ｌＯ・１１、ナツト１
２．連結部材１３はフード１８の内部に収納され、上記
軸受３，９．１１を嵌合している軸受保持部材１９によ
って上記ガイドシャフト５．５を貫通させて密閉してい
る。上記軸受保持部材１９には上記軸受９．１１の図中
右側に空隙２１．２２を設け、この空隙２１．２２は上
記軸受保持部材１９に設けた２本の孔２１ａ（図示しな
い）、２２ａによってモータ側に開放している。一方、
上記軸受４，８．１０を嵌合している軸受保持部材２９
と、この軸受保持部材２９に当接している部材３０とに
は２本の孔３０ａ、３０ａを貫通して設け、上記ガイド
シャフト５．５の図中下側には真空吸引する手段の一例
である２本のチューブ２５．２５を設置し、その一端は
上記軸受保持部材を１９に設けた孔２１ａ、２２ａにチ
ューブ継手２６．２６で固定し、他端は上記軸受保持部
材２９に設けた孔３０ａ、３０ａの一端にチューブ継手
９！７゜２７で固定している。また、上記印材３０に設
けた３０ａ、３０ａの他端にはチューブ２６．２６をチ
ューブ継手２８．２８で固定している。

上記構成のクリーン式軸作動装置は、上記モータｌが回
転すると、上記送りネジ２が回転して、この送りネジ２
に螺合したナツト１２に固定されている連結部材１３が
軸方向に移動し、それに伴って上記連結部材１３に固定
したガイドシャフト５゜５は想像線１　＝１に示すよう
に軸方向に移動する。

そして、上記ガイドシャフト５．５の軸受３側の先端部
にボルト１７．１７によって固定された、ツールの取付
台１６は軸方向に移動する。

また、このとき、上記モータｌやナツト１２の螺合部や
軸受８，９，１０．１１等で発生し上記フード１８内に
浮遊する塵埃は空気と共に吸引され、上記空隙２１，２
２、孔２１ａ、２２ａ、チューブ２５゜２５、孔３０ａ
、３０ａ１チューブ２６．２６を通して吸引され、これ
らは集めて排気口３１上り外部へ排気される。この吸引
に際して、フード１８内とフード１８外との可動シール
部は軸受保持部材１９を貫通するガイドシャフト５．５
の周りの部分だけであるので、フード１８内を真空吸引
する真空装置の容量が小さくでもフード１８内をフード
１８外に対して十分低い圧力に維持できる。

〈発明の効果〉以上より明らかなように、この発明のクリーン式軸作動
装置は、モータ、送りネジ、ナツト、全ての軸受、ガイ
ドシャフトの一部を内部に収納し、上記ガイドシャフト
一部のみを貫通させるようにしたフードと、上記フード
内を真空吸引する手段を備えているので、露出している
摺動部すなわち可動シール部を少なくでき、摺動部のソ
ールが容易で小容量の吸引装置で十分上記フード内を負
王状態に保つことができて、エネルギーの節約に効果が
ある。

また、この発明のクリーン式軸作動装置はガイドシャフ
トを軸方向に一定間隔をあけた軸受で軸方向に移動自在
に支持しているので、ガイドシャフトの支持スパンを大
きく取ることができ軸受負荷を小さくすることかできる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のクリーン式軸作動装置の平面図、第
２図はこの発明のクリーン式軸作動装置の側面図、第３
図はこの発明の実施例の概念図、第４図は従来のクリー
ンルーム用軸作動装置。１・・・モータ、２・・・送りネジ、５・・・ガイドシ
ャフト、８．９，１０．１１　・・軸受、　　１２・・
ナツト、１８−・・フード、　２１ａ、２２ａ、３０ａ
−吸引用の孔、２５．２６・・・チューブ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）モータと、上記モータにより回転させられ、軸受
によって支持される送りネジと、上記送りネジに平行に
配置され、かつ軸方向に一定間隔をあけた軸受によって
軸方向に移動自在に支持された複数のガイドシャフトと
、上記ガイドシャフトに固定され、かつ上記送りネジに
螺合して送りネジの回転に伴って軸方向に移動するナッ
トと、上記モータ、送りネジ、ナット、全ての軸受、ガ
イドシャフトの一部を内部に収納し、上記ガイドシャフ
トが貫通するフードと、上記ガイドシャフトの先端に固
定した取付台と、上記フード内を真空吸引する手段とを
備えたことを特徴とするクリーン式軸作動装置。