JPS6334871Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6334871Y2 JPS6334871Y2 JP1600285U JP1600285U JPS6334871Y2 JP S6334871 Y2 JPS6334871 Y2 JP S6334871Y2 JP 1600285 U JP1600285 U JP 1600285U JP 1600285 U JP1600285 U JP 1600285U JP S6334871 Y2 JPS6334871 Y2 JP S6334871Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- guide
- scanning means
- orthogonal coordinate
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は直交座標型ロボツトの改良に関する。
第３図は一般的な直交座標型ロボツト１を示す
もので、Ｘ方向への走査機能をもつ第１の走査手
段２とこの第１の走査手段２の固定体３に載架さ
れてＸ方向へ移動されかつＹ方向への走査機能を
もつ第２の走査手段４およびこの第２走査手段４
の固定体（図示せず）に載架されてＺ方向へ移動
されかつＺ方向への走査機能をもつ第３の手段５
より、互いに三次元方向に制御走査されるように
組合わされた構成体になつている。上記第３の走
査手段５には工具６が備えられ、この工具６をＺ
方向に移動するようになつている。ところで、こ
の種の直交座標型ロボツト１は周知のとおり、各
種部品の搬送や組立てに使われているものである
が、構造上、各固定体３が移動する走行部７は開
放されている。したがつて、上記制御走査中に各
走査手段における摺動部分より微少な塵埃が発生
するが、このような塵埃は搬送または組立られる
部品が歯車とか軸とかの一般的な機構部品あるい
はこれらに類するものであれば特に問題とならな
いが、クリーンルーム内での半導体装置の製造に
おいては上記のような塵埃も不良品の発生の原因
になる。このようなことから、上記走行部７を閉
塞するような構成にし上記塵埃に対処していた。
すなわち、第１の走査手段２を例にとつて示した
第４図にて説明すると、８は筐体、９ａ，９ｂは
筐体８内に平行に設けられたガイドレール、１０
はガイドレール９ａ，９ｂに沿つて移動される移
動体で一対の支持具１０ａを介して固定体３と連
絡している。走行部７には閉塞板１１ａ，１１ｂ
が配設され、さらに、筐体８の側方に排出管１２
を取り付け、第１の走査手段２内の空気を排出管
１２を通じて強制的にクリーンルーム外へ排出す
る構成になつていた。
もので、Ｘ方向への走査機能をもつ第１の走査手
段２とこの第１の走査手段２の固定体３に載架さ
れてＸ方向へ移動されかつＹ方向への走査機能を
もつ第２の走査手段４およびこの第２走査手段４
の固定体（図示せず）に載架されてＺ方向へ移動
されかつＺ方向への走査機能をもつ第３の手段５
より、互いに三次元方向に制御走査されるように
組合わされた構成体になつている。上記第３の走
査手段５には工具６が備えられ、この工具６をＺ
方向に移動するようになつている。ところで、こ
の種の直交座標型ロボツト１は周知のとおり、各
種部品の搬送や組立てに使われているものである
が、構造上、各固定体３が移動する走行部７は開
放されている。したがつて、上記制御走査中に各
走査手段における摺動部分より微少な塵埃が発生
するが、このような塵埃は搬送または組立られる
部品が歯車とか軸とかの一般的な機構部品あるい
はこれらに類するものであれば特に問題とならな
いが、クリーンルーム内での半導体装置の製造に
おいては上記のような塵埃も不良品の発生の原因
になる。このようなことから、上記走行部７を閉
塞するような構成にし上記塵埃に対処していた。
すなわち、第１の走査手段２を例にとつて示した
第４図にて説明すると、８は筐体、９ａ，９ｂは
筐体８内に平行に設けられたガイドレール、１０
はガイドレール９ａ，９ｂに沿つて移動される移
動体で一対の支持具１０ａを介して固定体３と連
絡している。走行部７には閉塞板１１ａ，１１ｂ
が配設され、さらに、筐体８の側方に排出管１２
を取り付け、第１の走査手段２内の空気を排出管
１２を通じて強制的にクリーンルーム外へ排出す
る構成になつていた。
閉塞板１１ａ，１１ｂと支持具１０ａとを密着
させることはできないため、両者間には若干の隙
間１３を開ける必要がある。筐体８内の空気を排
除しているにも拘らず、移動体１０のＸ方向への
移動中に起るポンプ作用によつて隙間１３から上
記塵埃を含んだ筐体８内の空気の一部が外部、す
なわちクリーンルーム内に漏れてしまう問題があ
つた。
させることはできないため、両者間には若干の隙
間１３を開ける必要がある。筐体８内の空気を排
除しているにも拘らず、移動体１０のＸ方向への
移動中に起るポンプ作用によつて隙間１３から上
記塵埃を含んだ筐体８内の空気の一部が外部、す
なわちクリーンルーム内に漏れてしまう問題があ
つた。
本考案は走行手段内の走行中発生した塵埃を含
む空気を外部に漏れないようにした直交座標型ロ
ボツトを提供することを目的とする。
む空気を外部に漏れないようにした直交座標型ロ
ボツトを提供することを目的とする。
移動体の移動する側になる両側部に排出手段に
よつて生じた気流に一構成体である走査手段内の
空気の一部を導く案内板を設けた構成にしたもの
である。
よつて生じた気流に一構成体である走査手段内の
空気の一部を導く案内板を設けた構成にしたもの
である。
以下、本考案を実施例を示す図面に基いて説明
する。なお、第３図および第４図に示すものと同
一の部分には同一符号が付してある。すなわち、
第１図および第２図は第１の走査手段２を例に挙
げた一実施例を示し、第４図に示した構成のもの
に移動体１０の移動方向になる両側部２０ａ，２
０ｂに同形状の案内体２１ａ，２１ｂを取り付け
た構成としたものである。上記の取り付けを詳述
すると、上記案内体２１ａ，２１ｂは案内面２２
ａ，２２ｂをもち、かつ直角三角形状の横断面を
もブロツク体になり、排出管１２に向う気流を形
成するように、上記案内面２２ａ，２２ｂを互い
に相反する方向に傾斜した面になつているととも
に、二つの案内体２１ａ、２１ｂおよび移動体１
０の閉塞板１１ａ，１１ｂに向く面が同一平面に
なるようにボルト２３によつて取り付けられてい
る。また、案内体２１ａ，２１ｂの傾斜面２２
ａ，２２ｂを含む部分にはガイドレール９ａ，９
ｂから逃げるため、切欠部２４が形成されてい
る。
する。なお、第３図および第４図に示すものと同
一の部分には同一符号が付してある。すなわち、
第１図および第２図は第１の走査手段２を例に挙
げた一実施例を示し、第４図に示した構成のもの
に移動体１０の移動方向になる両側部２０ａ，２
０ｂに同形状の案内体２１ａ，２１ｂを取り付け
た構成としたものである。上記の取り付けを詳述
すると、上記案内体２１ａ，２１ｂは案内面２２
ａ，２２ｂをもち、かつ直角三角形状の横断面を
もブロツク体になり、排出管１２に向う気流を形
成するように、上記案内面２２ａ，２２ｂを互い
に相反する方向に傾斜した面になつているととも
に、二つの案内体２１ａ、２１ｂおよび移動体１
０の閉塞板１１ａ，１１ｂに向く面が同一平面に
なるようにボルト２３によつて取り付けられてい
る。また、案内体２１ａ，２１ｂの傾斜面２２
ａ，２２ｂを含む部分にはガイドレール９ａ，９
ｂから逃げるため、切欠部２４が形成されてい
る。
以上の構成により、移動体１０が図面において
左右に移動されかつ排出管１２からの空気の排除
が行われると、第１の走査手段２における筐体８
および閉塞板１１ａ，１１ｂで囲われた空間内の
空気は排出管１２に向う気流が形成されるが、こ
の気流は案内板２１ａ，２１ｂにおける案内面２
２ａ，２２ｂでより効率的に排出管１２に向う流
れとなる。したがつて、移動体１０の移動中に起
るポンプ作用での圧縮されたような塵埃を含む空
気も案内面２２ａ，２２ｂに当つて排出管１２へ
向つて排出され、隙間１３からのクリーンルーム
の如き外部への塵埃の漏れはなくなつた。
左右に移動されかつ排出管１２からの空気の排除
が行われると、第１の走査手段２における筐体８
および閉塞板１１ａ，１１ｂで囲われた空間内の
空気は排出管１２に向う気流が形成されるが、こ
の気流は案内板２１ａ，２１ｂにおける案内面２
２ａ，２２ｂでより効率的に排出管１２に向う流
れとなる。したがつて、移動体１０の移動中に起
るポンプ作用での圧縮されたような塵埃を含む空
気も案内面２２ａ，２２ｂに当つて排出管１２へ
向つて排出され、隙間１３からのクリーンルーム
の如き外部への塵埃の漏れはなくなつた。
走査手段内に発生する塵埃が確実に空気ととも
に外部に排除されることができるようになつたの
で、厳しい環境条件を要求される作業場にても十
分に使用することのできる直交座標型ロボツトを
実現することができた。
に外部に排除されることができるようになつたの
で、厳しい環境条件を要求される作業場にても十
分に使用することのできる直交座標型ロボツトを
実現することができた。
第１図は本考案の一実施例を示す横断面図、第
２図は第１図−線における縦断面図、第３図
は一般的な直交座標型ロボツトの斜視図、第４図
は従来例を示す断面図である。 １０……移動体、９ａ，９ｂ……ガイドレー
ル、２１ａ，２１ｂ……案内体。
２図は第１図−線における縦断面図、第３図
は一般的な直交座標型ロボツトの斜視図、第４図
は従来例を示す断面図である。 １０……移動体、９ａ，９ｂ……ガイドレー
ル、２１ａ，２１ｂ……案内体。
Claims (1)
- 筐体内に収納されたガイド部に沿い上記筐体外
に一部を突出させて直線的に一方向に移動される
移動体をもつ一以上の走査手段を有しこれら走査
手段が少なくとも二次元方向に制御走査可能に組
合せられた構成体と、上記筐体に接続された排気
管を有しこの排気管を通じて上記構成体内に滞溜
する空気を外部に排出する排出手段とを備えた直
交座標型ロボツトにおいて、上記移動する方向に
対面する上記移動体の両側部に上記移動時上記筐
体内の空気の流れに当りこの流れを上記排出管に
向う流れに形成する案内面が形成された案内体を
それぞれ設けたことを特徴とする直交座標型ロボ
ツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1600285U JPS6334871Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1600285U JPS6334871Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134880U JPS61134880U (ja) | 1986-08-22 |
| JPS6334871Y2 true JPS6334871Y2 (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=30502364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1600285U Expired JPS6334871Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334871Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411033Y2 (ja) * | 1985-03-20 | 1992-03-18 | ||
| JPH0653356B2 (ja) * | 1986-09-05 | 1994-07-20 | ダイキン工業株式会社 | クリ−ン式軸作動装置 |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP1600285U patent/JPS6334871Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61134880U (ja) | 1986-08-22 |
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