JPH0653806A

JPH0653806A - 変位検出センサ

Info

Publication number: JPH0653806A
Application number: JP22500492A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Hatada; 光男畠田; Toshiki Kitani; 敏樹木谷; Hidetomo Ootsuki; 秀智大槻; Akimitsu Ogata; 昭光小形
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1992-07-31
Filing date: 1992-07-31
Publication date: 1994-02-25

Abstract

(57)【要約】【目的】変位検出センサにおいて、発振コイルや温度
センサのばらつきの影響がなく、物体の変位を検出する
と共にその誤差を表示できるようにすること。【構成】発振コイル３を有する発振回路４と温度セン
サであるサーミスタ５とをセンサ部１に設ける。サーミ
スタ５にはＣＲ発振回路６を接続する。又この発振回路
４，６の周波数を測定するカウンタ９，１０を設ける。
そしてあらかじめ各温度に対するカウンタ９，１０の出
力を補正するための補正テーブルメモリ１３を設けてお
く。そしてこのテーブルメモリの生成時に用いた基準位
置からの変位が大きくなるにつれて誤差も大きくなるた
め、検出された変位を判別することによって誤差を表示
できるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被検出物体の接近による
変位を非接触で検知するための変位検出センサに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来高周波発振型の近接スイッチでは発
振コイルを設けた発振回路を有し、一定周波数で発振さ
せており、金属体の接近により発振の振幅や周波数が変
化することに基づいて物体を検出するようにしている。
例えば図１１に示す近接スイッチでは、発振回路１０１
に発振コイル１０２を設け一定の周波数で発振させてお
り、その出力は検波回路１０３に与えられる。検波回路
１０３ではその出力を検波して直流レベルの信号に変換
し、リニアライザ１０４によって直線化して距離に対応
した信号を得ている。そして比較回路１０５においてこ
の信号を使用者が設定した設定値で弁別することによっ
て、特定の距離までに物体が近接した場合に出力するよ
うにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の近接スイッチでは、物体の到来による発振コイ
ル１０２のコンダクタンスの変化よりも温度変化による
ものの方が大きい。従って温度による影響をなくすため
に、発振回路１０１の帰還回路部にサーミスタ等の温度
補償素子１０７を接続し、温度補償を行うようにしてい
る。しかし発振コイル１０２のコンダクタンスの温度特
性のばらつきや、サーミスタの定数のばらつきが影響す
るため、温度に対して高精度に補償された近接スイッチ
を得ることは難しいという欠点があった。

【０００４】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであって、発振コイルの温度特性のばら
つきやサーミスタの温度のばらつき等の影響がなく、高
精度で物体の変位を検知すると共に、その精度を表示す
ることができる変位センサを提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、発振コイルを
有し該発振コイルへの被検出物体の接近によって発振周
波数が変化する第１の発振回路と、第１の発振回路の温
度の変化によって発振周波数が変化する第２の発振回路
と、第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、使用温度範囲での第１の発振回
路の各温度に対応した第２の計数手段より得られるべき
演算値を算出して第１の計数テーブルを生成し、使用温
度範囲での第１の発振回路の各温度に対応して第１，第
２の計数手段より得られる計数値を夫々第２，第３の計
数テーブルとして生成し、第２及び第３の計数テーブル
のデータを比例配分することによって第１のテーブルの
各温度での演算値に対応した第１の計数手段より得られ
るべき演算値を算出し、各演算値から第１の計数手段の
基準計数値Ｎ_Rを減算し、各温度での補正値ΔＮの第４
の計数テーブルを算出することにより、得られた第１，
第４の計数テーブルを補正テーブルデータとする補正テ
ーブルメモリと、補正テーブルによって第２の計数手段
の計数値Ｍ_Tに対応する補正値ΔＮを比例配分によって
算出する温度補正処理部と、温度補正処理部より得られ
る補正値ΔＮと基準値Ｎ_Rとを加算する加算手段と、第
１の計数手段の計数値Ｎｓから加算手段の加算値（ΔＮ
＋Ｎ_R）を減算する減算手段と、減算手段より得られる
距離データＮｄに基づいて基準位置Ｎ_Rからの絶対値の
レベルに対応した測定精度を表示する表示手段と、を具
備することを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】このような特徴を有する本願の請求項１，２の
発明によれば、第２の計数手段より得られるべき演算値
をまず演算によって算出して第１の計数テーブルを生成
している。そして第１の発振回路の温度を使用範囲内で
連続して変化させ、各温度に対応して第１，第２の計数
手段から得られる計数値を第２，第３の計数テーブルと
している。そして第２，第３の計数テーブルのデータの
比例配分によって、第１の計数テーブルの各温度での計
数値に対応した第１の計数手段より得られるべき演算値
を算出し、基準計数値Ｎ_Rを減算することによって補正
値ΔＮの第４のテーブルを得ている。このΔＮの第４の
計数テーブルと第１の計数テーブルとを補正テーブルデ
ータとして補正テーブルを生成している。そしてこの補
正テーブルを用い、第２の計数手段から得られる計数値
Ｍ_Tによりそのときの温度に対応した補正値ΔＮを得て
いる。そして基準値Ｎ_Rと加算し第１の計数手段からの
計数値Ｎ_Sより減算することによって温度に依存しない
距離情報Ｎｄを得ている。更にこのデータＮｄの出力に
基づいて基準位置からの変位に対応した変位検出センサ
の精度を判別して、その判別結果を表示手段によって表
示している。

【０００７】

【実施例】図１は本発明の一実施例による変位検出セン
サの全体構成を示すブロック図である。本図においてこ
の変位検出センサはセンサ部１とその他の電子回路部２
から構成される。センサ部１には図示のように発振コイ
ル３を有する第１の発振回路４と温度検出素子、例えば
サーミスタ５が設けられる。ここでセンサ部１はその前
面に発振コイル３を有しており、物体が近接したときに
物体までの距離によって発振周波数ｆ_Sが変化するもの
とする。

【０００８】さて電子回路部２にはサーミスタ５を１つ
の抵抗とする第２のＣＲ発振回路６が設けられている。
このＣＲ発振回路６の発振周波数をｆ_Tとする。これら
の発振回路４及びＣＲ発振回路６の出力は夫々分周回路
７，８に与えられる。分周回路７，８は夫々発振周波数
を１／Ｋｓ、１／Ｋｔ分周するもので、この分周値Ｋ
ｓ，Ｋｔは設定できるものとする。そして分周出力は夫
々カウンタ９及び１０に与えられる。又電子回路部２内
には、一定の周波数、例えば１０ＭHz及び4000Hzのクロ
ック周波数を有する基準クロック発振器１１を有してお
り、夫々のクロック信号はカウンタ９及び１０に与えら
れる。カウンタ９及び１０は分周出力をゲート信号とし
てこの基準クロック発振器１１のクロック数を計数する
カウンタであり、分周回路７，８及び基準クロック発振
器１１と共に夫々第１，第２の計数手段を構成してい
る。ここでカウンタ９の計数値をＮ_Sとし、カウンタ１
０の計数値をＮ_Tとし、これらの出力はマイクロコンピ
ュータ１２に与えられる。マイクロコンピュータ１２に
は後述する補正用のテーブルである温度補正テーブルメ
モリ１３，リニア補正テーブルメモリ１４が接続され
る。これらのメモリ１３，１４は例えばＥ²ＰＲＯＭに
よって構成される。マイクロコンピュータ１２はこの温
度補正用テーブルによって温度補正処理を行い、変位デ
ータに変換すると共に、リニア補正テーブルによってこ
れを直線化する。そして設定部１５によって設定された
位置データとの比較を行い、表示部１６によって表示す
ると共に出力部１７より出力するものである。

【０００９】次にマイクロコンピュータ１２内の詳細な
機能ブロックについて図２を参照しつつ説明する。マイ
クロコンピュータ１２内には、カウンタ１０からの計数
値Ｍ_Tを補正する温度補正テーブルメモリ１３に基づい
て、基準温度に対する現在の温度のパルス数での補正値
ΔＮを算出する温度補正処理部２１が設けられる。又パ
ルス数の基準値Ｎ_Rを出力する基準値出力部２２が設け
られている。この基準値Ｎ_Rは本実施例では 25600とす
る。このΔＮとパルス数の基準値Ｎ_Rとは加算手段２３
に与えられる。加算手段２３はこれらを加算するもので
あって、その出力は減算手段２４に与えられる。減算手
段２４はカウンタ９の計数値Ｎ_Sから加算値Ｎ_R＋ΔＮ
を減算するものであって、Ｎｄ（＝Ｎ_S−（Ｎ_R＋Δ
Ｎ））が算出される。そしてこのＮｄが変位情報として
変位算出処理部２５に与えられる。変位算出処理部２５
はこれを直線化するものであって、基準位置からの変位
情報±Δｄが得られる。この変位情報は減算手段２６及
び比較部２７に与えられる。比較部２７には後述するよ
うに、Δｄが基準位置の所定の幅内か否かを判別するた
めの閾値が設定されており、この変位検出センサの精度
を判別するものである。そしてその判別出力は表示部１
６に与えられる。又設定部１５には使用者が設定する基
準位置の位置情報がＩＮ１として設定される。減算手段
２６はこの±Δｄの変位情報から設定部１５で設定され
た設定値ＩＮ１を減算する減算手段である。こうすれば
設定位置からの変位情報に変換されることとなって、こ
の値が表示部１６に表示される。又この設定位置からの
変位が入力値ＩＮ２と比較部２８によって比較され、比
較出力が出力部１７に与えられる。

【００１０】次に温度補正処理部２１での処理について
詳細に説明する。本実施例ではまずセンサ部１の温度
は、センサ部１内のサーミスタ５によって検出される。
ＣＲ発振回路６はサーミスタ５の抵抗Ｒに対応した発振
周波数で発振することとなる。従って発振周波数からセ
ンサ部１の温度情報を得ることができる。さてサーミス
タ５の任意の温度Ｔでの抵抗値Ｒは、次式によって定ま
る。Ｒ＝Ｒ₀expＢ（１／Ｔ−１／Ｔ₀）・・・（１）Ｔ：任意の温度（°Ｋ）Ｒ：温度Ｔでの抵抗値Ｔ₀：基準温度（°Ｋ）Ｒ₀：基準温度Ｔ₀における抵抗値Ｂ：Ｂ定数

【００１１】ここで温度補正処理に用いる温度補正テー
ブルの作成について説明する。ＣＲ発振回路６の発振周
波数はサーミスタ５の抵抗値Ｒ、即ち温度及び固有のＢ
定数によって変化する。本実施例ではサーミスタ５の個
別のデータ及び発振コイル３の固有のばらつきによるカ
ウンタ９の計数値をデータとして取込み、これに基づい
て補正を行っている。図３はこれらの個別の素子のデー
タに基づいて温度補正テーブル１３を作成するための補
正テーブル生成装置３０を示すブロック図である。本図
において図１と同一符号の各ブロックは図１と同一のも
のであって、各変位センサ毎に固有の発振コイル３，サ
ーミスタ５を有するセンサ部１自体を恒温槽３１に入れ
る。恒温槽３１の温度は制御部３２によって制御されて
いる。そして所定の温度での発振周波数ｆ_S，ｆ_Tに夫
々対応したカウンタ９，１０の計数値Ｎ_S及びＮ_Tを求
める。そしてカウンタ９，１０からの出力をデータ書込
部３３を介してデータメモリ３４に書込む。データメモ
リ３４はＥ²ＰＲＯＭによって構成されている。

【００１２】さて恒温槽３１で正確に規定できる温度を
例えば−１０℃及び＋６０℃とすると、Ｍ_Tテーブル算
出部３５はこの温度での発振周波数からサーミスタ５の
抵抗値を算出し、これによってＢ定数を算出する。こう
すれば任意の温度でのサーミスタ５の抵抗値を計算によ
って求めることができる。

【００１３】次にこの変位センサが使用可能な全ての温
度、本実施例では−３０℃〜７８℃までの温度につい
て、例えば２℃刻みでのサーミスタの温度に対する抵抗
値を求める。そして各抵抗値からＣＲ発振回路６の発振
周波数及びこの発振周波数に対応したカウンタ１０の計
数値Ｍ_Tを計算によって算出する。そして各温度でのＭ
_T値をデータメモリ３６内のＭ_Tテーブルエリアに書込
む。図４（ａ）はこうして演算によって求められたＭ_T
値の変化を示す第１の計数テーブルである。ここでＭ_T
テーブル算出部３５は第２の計数手段から得られる各温
度での演算値を算出する第１の計数テーブル算出手段で
ある。

【００１４】さて図３に示すように恒温槽３１にセンサ
部１を実際に入れて制御部３２を動作させ、温度を変化
させる。図６は物体までの距離ｄに対するカウンタ９の
計数値Ｎ_Sの変化を示すグラフである。本図に示すよう
に物体までの距離ｄのうち検知領域を 100％として、そ
の１／２までの距離（50％）を基準距離ｄ_Rとしてい
る。この基準距離ｄ_Rにおける基準温度、本実施例では
２４℃のＮ_S値を基準値Ｎ_Rとする。Ｎ_Rは 25600パル
スとなるように設定する。例えば基準クロック発振器１
１の第１のクロック周波数が１０ＭHzに設定されている
場合は、分周数Ｋｓを変化させて分周回路７の出力パル
ス幅を2.56msとする。こうして得られた基準値Ｎ_Rを図
２に示す基準値出力部２２から出力できるようにしてお
く。又この基準温度でのＭ_T値を例えば8000パルスとな
るように設定する。この場合には分周回路８の分周数Ｋ
_Tを変化させて出力パルス幅を２秒とし、基準クロック
発振器１１の4000Hzの第２のクロック周波数を計数する
ことによって、8000のパルス数を得ている。

【００１５】そして恒温槽３１にセンサ部１を入れた状
態で恒温槽３１の温度を連続して変化させることによっ
て、−３０℃〜７８℃までの各温度で例えば２℃刻みで
Ｍ_T値及びＮ_S値を得る。そしてこのデータを図５
（ａ）及び（ｂ）に示すようにデータメモリ３４に書込
む。尚このときの温度は厳密に規定しておらず、Ｍ_T値
に対するＮ_S値の関係を知るために用いられる。ここで
データ書込部３３は発振回路３の使用範囲の各温度での
第１，第２の計数手段により得られる計数値Ｎ_S，Ｍ_T
を、第２，第３の計数テーブルとして生成する第２の計
数テーブル生成手段を構成している。又こうして得られ
る図５（ａ）及び（ｂ）のテーブルは第２，第３のテー
ブルとなっている。

【００１６】さてＮ_Sテーブル算出部３７はこうして得
られた図５のＭ_T及びＮ_Sのテーブルと図４（ａ）に示
す計算で求めたＭ_Tのテーブルから、各温度でのＮ_S値
を算出し、データメモリ３６に書込む。即ち図４（ａ）
のＭ_Tテーブルの各Ｍ_T値に対応してその前後のＭ_T値
を図５（ａ）のテーブルから捜し出す。そして比例演算
によって図４（ａ）の各Ｍ_T値に対応するＮ_S値を図４
（ｂ）に示すように算出する。又ΔＮテーブル算出部３
８はこうして求められた各温度でのＮ_S値と基準温度、
ここでは２４℃でのＮ_S値（＝Ｎ_R＝25600)との差から
ΔＮを演算によって求め、これを図４（ｃ）に示すΔＮ
テーブル（第４のテーブル）としてデータメモリ３６に
書込む。ここでＮ_Sテーブル算出部３７は図５（ａ），
（ｂ）に示す計数テーブルのデータを比例配分すること
によって図４（ａ）のテーブルの各温度での演算値に対
応した第１の計数手段より得られるべき演算値を算出す
る第３の計数テーブル算出手段であり、Ｎ_Sテーブル算
出部３８はこのテーブルから基準計数値Ｎ_Rを減算する
ことによって補正値ΔＮの第４のテーブルを算出するΔ
Ｎテーブル算出手段を構成している。

【００１７】こうして図４（ａ），（ｃ）に示すように
各温度でのＭ_Tに対応したΔＮ値を書込んだ一対のテー
ブルを、図１，２に示す温度補正テーブルメモリ１３の
Ｅ²ＰＲＯＭにデータを転送して温度補正テーブルとし
て用いる。尚ここでは図４（ｂ）に示すように一旦各温
度に対応したＮ_S値を求めてテーブルを形成し、この値
から所定の基準値Ｎ_Rを減算して、図４（ｃ）に示すΔ
Ｎのテーブルを生成するようにしているが、比例配分の
後、直接ΔＮのテーブルを生成するようにしてもよいこ
とはいうまでもない。

【００１８】図６において曲線Ａは基準温度での距離ｄ
に対するＮ_S値の変化を示すグラフであり、この曲線は
特定のあらかじめ多数の変位センサからのデータによっ
て求めた曲線をそのまま用いるものとする。そしてこの
基準温度より高い温度では距離ｄに対するパルス数Ｎ_S
は例えば曲線Ｂに示すように変化し、低温では曲線Ｃに
示すように変化する。このためΔＮをＮ_Sから減算する
ことによって基準値からの差Ｎｄを算出し、曲線Ａに変
換して修正されたパルス数Ｎｄに基づいて距離のデータ
を得るようにしている。

【００１９】ここで曲線Ｂ，Ｃは温度に対応して上下に
シフトするが、いずれも曲線Ａに平行であるものとして
ΔＮを算出している。しかし図６に示すように基準距離
ｄ_Rでは正確にΔＮが算出できるが、基準距離ｄ_Rから
離れればこれらの曲線が平行でないため誤差が徐々に大
きくなっていく。従って基準距離ｄ_Rの前後の所定幅、
例えば図７にハッチングで示すように、基準距離ｄ_Rの
前後では補正誤差が少なく、この基準距離ｄ_Rから離れ
るに従って誤差の範囲が大きくなっていく。比較部２７
はΔｄの値により、例えば40％〜60％の範囲を高精度領
域（ＦＩＮＥ領域）、０〜40％及び60〜100 ％の範囲を
中精度領域（ＲＯＵＧＨ領域）とし、 100％以上のとこ
ろを動作はしても低精度な領域（ＮＧ領域）として判別
している。

【００２０】図８は距離ｄに対する温度補正されたパル
ス数Ｎｄの変化を示すグラフである。このグラフは複数
の変位センサのデータに基づいて得られた規定の曲線を
用いて、これにあてはめることによって距離情報ｄを得
るものとする。そしてＮｄの256が１％の変化とし、こ
の距離に応じたデータを図９に示すようにリニア補正テ
ーブル１４内に保持しておく。この補正テーブルは、例
えば曲線の傾きが小さい部分では 0.5％単位で距離デー
タｄ₁₀，ｄ₁₁・・・が順次テーブルＴ１に記録されてい
る。又基準距離ｄ_Rより距離が近い部分では図示のよう
にテーブルＴ２，テーブルＴ３，Ｔ４・・・により順次
距離が記録されている。実際の基準距離ｄ_Rからの距離
Δｄは次式（２）によって求まる。

【数１】ここでＰは基準位置からのデータ数である。式（２）の
第１項はｎが０〜Ｐ−１までの変位の総和であり、第２
項はその変位内でのパルス数Ｎｄに対する距離の比例配
分値を示している。

【００２１】こうして得られた±Δｄの値と設定部１５
で設定された値ＩＮ２とを比較部２８によって比較す
る。そしてユーザが設定した位置との関係によって物体
までの検知信号を出力している。

【００２２】次に本実施例の動作について説明する。ま
ず変位検出センサのセンサ部１を物体までの測定領域に
配置する。そして発振コイル３に物体が接近した場合に
は、その物体までの距離ｄに対応した発振周波数ｆ_Sで
発振回路４が発振することとなる。又このときの温度に
対応した発振周波数ｆ_TでＣＲ発振回路６が発振する。
従ってその温度に対応したカウンタ１０の計数値Ｍ_Tが
求められる。このＭ_Tを図４（ａ），（ｃ）に示す温度
補正テーブルメモリ１３によって補正し、ΔＮの比例配
分値を得ることによってセンサ部１のこの温度でのΔＮ
が得られる。こうしてΔＮとＮ_Rとを加算手段２３によ
って加算し、減算手段２４でＮ_Sとの差を求めることに
よって、温度や各変位センサの素子に依存しない距離ｄ
だけに対応したパルス数Ｎｄが得られる。そしてこの値
を図８，図９に示すように変換テーブルに基づいて変換
することによって、直線化された位置情報Δｄが得られ
る。このΔｄは変位センサに固有の基準値ｄ_Rからの変
位を示しているため、設定部１５によってユーザが設定
した位置ＩＮ１からの変位に変換する。そしてこの値を
表示部１６によって表示すると共に、ユーザの基準位置
からの変位を比較部２８によって比較し、所定変位まで
の距離に対する出力を得るようにしている。

【００２３】そしてΔｄの範囲によって比較部２７によ
り前述したように「ＦＩＮＥ」，「ＲＯＵＧＨ」，「Ｎ
Ｇ」の領域判別を行い、表示部１６によって同様に表示
している。

【００２４】図１０（ａ）は使用者が設定した基準位置
ＩＮ１からの変位がＩＮ２を越えているか否かによっ
て、図示のような一対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力
するようにしたものである。この場合には比較部２８は
ＩＮ１からの変位の絶対値がＩＮ２を越えているかどう
かを識別する。又図１０（ｂ）に示すように基準位置Ｉ
Ｎ１、及びこれより遠い位置ＩＮ２を設定し、これによ
って一対の出力ＯＵＴ１，ＯＵＴ２を出力するようにし
てもよい。

【００２５】尚本実施例では第２の発振回路に接続され
る温度センサとしてサーミスタを用いているが、サーミ
スタに限らず種々の温度センサを用いることができるこ
とはいうまでもない。

【００２６】又本実施例では比較部によって測定誤差の
精度を段階的に表示するようにしているが、Δｄの絶対
値によって表示誤差のレベルをより詳細に表示すること
ができることはいうまでもない。又本実施例では変位算
出処理部２５の出力に基づいて精度を判別するようにし
ているが、これを直線化する前のＮｄの値に基づいて精
度を判別することも可能である。

【００２７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、温度の補償を各変位センサに固有の温度検出手段と
発振コイルの温度に対する変化を含めた補正テーブルメ
モリを作成し、このデータに基づいて補正を行ってい
る。従って発振コイルや温度センサのばらつきによる温
度補償の誤差がなく、正確に物体の変位を測定すること
ができる。そしてこの誤差の範囲を判定し表示するた
め、その位置での表示がどの程度の誤差かを正確に認識
することができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による変位検出センサの全体
構成を示すブロック図である。

【図２】本実施例のマイクロコンピュータの機能ブロッ
クを示すブロック図である。

【図３】本実施例による補正テーブルメモリ１３を作成
するための補正テーブル生成装置の構成を示すブロック
図である。

【図４】（ａ）は本実施例によって演算に求めたＭ_Tテ
ーブル、（ｂ）はこれに対応するパルス数Ｎｄ、（ｃ）
は補正値ΔＮを示すテーブルである。

【図５】（ａ）はこの変位検出センサの使用温度範囲で
の恒温槽にセンサ部を挿入したときに得られる各温度で
のＭ_T値を示すテーブル、（ｂ）はその場合のＮ_T値を
示すテーブルである。

【図６】本実施例の距離に対するパルス数Ｎ_Sの変化を
示すグラフである。

【図７】物体までの距離に対する測定誤差及び誤差範囲
の表示を示す図である。

【図８】本実施例の距離ｄに対する温度補償されたＮｄ
値の変化を示すグラフである。

【図９】本実施例のＮｄに対するリニアライズするため
の変換テーブルを示す図である。

【図１０】本実施例の距離に対する出力の対応を示す図
である。

【図１１】従来の高周波発振型近接スイッチの構成を示
すブロック図である。

【符号の説明】

１センサ部２電子回路部３発振コイル４発振回路５サーミスタ６ＣＲ発振回路７，８分周回路９，１０カウンタ１１基準クロック発振器１２マイクロコンピュータ１３温度補正テーブルメモリ１４リニア補正テーブルメモリ１５設定部１６表示部１７出力部２１温度補正処理部２２加算手段２３基準値出力部２４，２６減算手段２５変位算出処理部２７，２８比較部３０補正テーブル生成装置３１恒温槽３２制御部３３データ書込部３４，３６データメモリ３５Ｍ_Tテーブル算出部３７Ｎ_Sテーブル算出部３８ ΔＮテーブル算出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小形昭光京都府京都市右京区花園土堂町10番地オムロン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発振コイルを有し該発振コイルへの被検
出物体の接近によって発振周波数が変化する第１の発振
回路と、前記第１の発振回路の温度の変化によって発振周波数が
変化する第２の発振回路と、前記第１，第２の発振回路の発振周波数を計数する第
１，第２の計数手段と、使用温度範囲での前記第１の発振回路の各温度に対応し
た前記第２の計数手段より得られるべき演算値を算出し
て第１の計数テーブルを生成し、使用温度範囲での前記
第１の発振回路の各温度に対応して前記第１，第２の計
数手段より得られる計数値を夫々第２，第３の計数テー
ブルとして生成し、前記第２及び第３の計数テーブルの
データを比例配分することによって前記第１のテーブル
の各温度での演算値に対応した前記第１の計数手段より
得られるべき演算値を算出し、各演算値から前記第１の
計数手段の基準計数値Ｎ_Rを減算し、各温度での補正値
ΔＮの第４の計数テーブルを算出することにより、得ら
れた前記第１，第４の計数テーブルを補正テーブルデー
タとする補正テーブルメモリと、前記補正テーブルによって前記第２の計数手段の計数値
Ｍ_Tに対応する補正値ΔＮを比例配分によって算出する
温度補正処理部と、前記温度補正処理部より得られる補正値ΔＮと基準値Ｎ
_Rとを加算する加算手段と、前記第１の計数手段の計数値Ｎｓから前記加算手段の加
算値（ΔＮ＋Ｎ_R）を減算する減算手段と、前記減算手段より得られる距離データＮｄに基づいて基
準位置Ｎ_Rからの絶対値のレベルに対応した測定精度を
表示する表示手段と、を具備することを特徴とする変位
検出センサ。
【請求項２】前記減算手段より得られる出力Ｎｄを前
記発振コイルから物体までの距離ｄに対して直線化する
変位算出処理部を有し、前記表示手段は、前記変位算出処理部より得られる変位データが変位の基
準位置の前後の所定幅内かその範囲外によって変位検出
の精度を判別する比較部と、前記比較手段の出力を表示する表示部と、を具備するこ
とを特徴とする変位検出センサ。