JPH065391A

JPH065391A - 粒子加速器真空チェンバーのヒーター取り付け構造

Info

Publication number: JPH065391A
Application number: JP15834392A
Authority: JP
Inventors: Teruhiko Bizen; 輝彦備前
Original assignee: Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 1992-06-17
Filing date: 1992-06-17
Publication date: 1994-01-14

Abstract

(57)【要約】【構成】本発明の粒子加速器真空チェンバーのヒータ
ー取り付け構造は、真空チェンバー１１の外面１２ａに
複数の突部１３，１３が形成され、これらの突部１３，
１３間にヒーター２を嵌め込み固定してなることを特徴
とする。また、複数の突部１３，１３を形成する替わり
に溝を形成してもよい。【効果】ヒーターを真空チェンバーの外面に密着した
状態で強固に固定することができる。また、前記ヒータ
ーのシース部が溶接できない材質であっても強固に固定
することができる。また、ヒーターを外面に密着させる
ことにより、伝熱面積を大きく採ることができる。ま
た、取付金具が不要になり、溶接作業も不要になる等の
優れた効果もある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器の真空チェンバーのヒーター取り付け構造に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、超ＬＳＩの製造、医療分野におけ
る診断、分子解析、構造解析等様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｏrbital Ｒadiatio
n）光（略してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィ
ー技術が有望視されている。このＳＯＲ光は、線型加速
装置（ライナック）により光速近くまで加速された電子
ビームを蓄積リング内に入射し、該電子ビームにエネル
ギーを与えながら該電子ビームを加速する間に、該電子
ビームを偏向電磁石で偏向する際に発生するもので、高
いビーム出力を有ししかも指向性が強く高輝度である等
の優れた特徴を有する。そして、超ＬＳＩ等の半導体工
業においては、この発生したＳＯＲ光をビームチャンネ
ルを通して露光装置等の半導体微細加工装置に送り、超
ＬＳＩの微細加工用光源として用いる。

【０００３】蓄積リングは、アルミニウム製の真空チェ
ンバーをフランジで順次連結して全体をリング状に構成
したもので、前記真空チェンバーの内部を超高真空に保
つために電気ヒーターあるいはチェンバーの水路に熱水
を流し加熱脱ガス処理を行う。また、真空チェンバーの
形状は配置される場所により様々に設計される。この真
空チェンバーにシースヒータを取り付けた構造として
は、例えば図５に示すように、真空チェンバー１の外面
１ａの所定位置に外管がアルミニウム製のシースヒータ
ー２を配設し、このシースヒーター２の所定の位置に断
面略Ω状のアルミニウム板からなる取付金具３を嵌め込
み、該取付金具３を外面１ａに溶接４する構造、あるい
は図６に示すように外面１ａに配設されたシースヒータ
ー２を直接外面１ａに溶接５する構造等が知られてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シースヒータの取り付け構造においては下記に挙げるよ
うな問題点があった。例えば、取付金具３を用いた構造
においては、シースヒーター２に取付金具３を嵌め込ん
だ後に該取付金具３を外面１ａに溶接４するために、こ
の溶接熱により真空チェンバー１に歪が生じる虞があっ
た。また、真空チェンバー１とシースヒーター２の密着
性が悪く、伝熱面積を大きく採ることができないという
問題点があった。また、取付金具３という余分な部材が
必要となり、また溶接作業に長時間を要し作業効率が低
下するという問題点もあった。

【０００５】また、シースヒーター２を直接外面１ａに
溶接５する構造においては、この溶接熱により真空チェ
ンバー１に歪が生じる虞があった。また、真空チェンバ
ー１とシースヒーター２の密着性が悪く、取付金具３を
用いた場合と同様に伝熱面積を大きく採ることができな
いという問題点があった。また、真空チェンバー１がア
ルミニウム製であるために外面１ａに溶接することので
きるシースの材質が限定されてしまい、また溶接作業に
長時間を要し作業効率が低下するという問題点もあっ
た。

【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、従来の問題点を解決することのできる粒子
加速器真空チェンバーのヒーター取り付け構造を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様な粒子加速器真空チェンバーのヒー
ター取り付け構造を採用した。すなわち、請求項１記載
の粒子加速器真空チェンバーのヒーター取り付け構造
は、真空チェンバーの外面に複数の突部が形成され、こ
れらの突部間にヒーターを嵌め込み固定してなることを
特徴としている。

【０００８】また、請求項２記載の粒子加速器真空チェ
ンバーのヒーター取り付け構造は、真空チェンバーの外
面に溝が形成され、この溝にヒーターを嵌め込み固定し
てなることを特徴としている。

【０００９】

【作用】本発明の請求項１記載の粒子加速器真空チェン
バーのヒーター取り付け構造では、真空チェンバーの外
面に形成された複数の突部の間にヒーターを嵌め込む。
これにより、ヒーターは真空チェンバーの外面の所定位
置に正確かつ容易に固定される。

【００１０】また、請求項２記載の粒子加速器真空チェ
ンバーのヒーター取り付け構造では、真空チェンバーの
外面に形成された溝にヒーターを嵌め込む。これによ
り、ヒーターは真空チェンバーの外面の所定位置に正確
かつ容易に固定される。

【００１１】

【実施例】図１は、本発明のシンクロトロン（粒子加速
器）の真空チェンバーのヒーター取り付け構造を示す断
面図である。この真空チェンバー１１は、断面略円形状
のアルミニウム製のチェンバー本体１２の外周面１２ａ
に、シースヒーター２を嵌め込むための２つの突片（突
部）１３，１３を一体に形成したものである。

【００１２】この真空チェンバー１１の外周面１２ａに
シースヒーター２を固定するには、まず、図１に示すよ
うに２つの突片１３，１３の間にシースヒーター２を嵌
め込み、このシースヒーター２を外周面１２ａに密着さ
せる。次いで、図２に示すようにこれらの突片１３，１
３の各先端部１３ａ，１３ａを内側（互いに近接する方
向）に折り曲げ、シースヒーター２の背面に圧着させて
該シースヒーター２を外周面１２ａの所定位置に固定す
る。

【００１３】本実施例の真空チェンバー１１のヒーター
取り付け構造によれば、チェンバー本体１２の外周面１
２ａに、シースヒーター２を嵌め込むための２つの突片
１３，１３を一体に形成したので、シースヒーター２を
真空チェンバー１１の外周面１１ａの所定位置に密着し
た状態で正確かつ容易に固定することができる。また、
前記シースヒーター２のシース部が溶接できない材質で
あっても正確かつ容易に固定することができる。また、
シースヒーター２を外周面１２ａに密着させることによ
り、伝熱面積を大きく採ることができる。また、取付金
具３が不要になり、溶接作業も不要になる等の優れた効
果もある。

【００１４】図３は、前記真空チェンバー１１の変形実
施例である真空チェンバー２１を示す断面図である。こ
の真空チェンバー２１は、断面略円形状のアルミニウム
製のチェンバー本体２２の外周面２２ａの該チェンバー
本体２２の中心点に対して互いに対向するそれぞれの位
置に、シースヒーター２を嵌め込むための２つの突片１
３，１３を一体に形成したものである。この真空チェン
バー２１には、外周面２２ａの突片１３ａ，１３ａと突
片１３ｂ，１３ｂとの中間点それぞれに冷却水管２３が
設けられている。

【００１５】この真空チェンバー２１においても、前記
真空チェンバー１１と全く同様の作用・効果を奏するこ
とができる。

【００１６】図４は、前記真空チェンバー１１，２１の
変形実施例である真空チェンバー３１を示す断面図であ
る。この真空チェンバー３１は、断面略矩形状のアルミ
ニウム製のチェンバー本体３２の外周面３２ａの互いに
対向するそれぞれの位置に、シースヒーター２を嵌め込
むための２つの突片１３，１３を一体に形成したもので
ある。

【００１７】この真空チェンバー３１においても、前記
真空チェンバー１１，２１と全く同様の作用・効果を奏
することができる。

【００１８】これらの実施例の真空チェンバー１１（２
１，３１）のヒーター取り付け構造においては、チェン
バー本体１２（２２，３２）の外周面１２ａ（２２ａ，
３２ａ）に、シースヒーター２を嵌め込むための２つの
突片１３，１３を一体に形成したが、２つの突片１３，
１３の替わりに溝を形成しても同様の効果を得ることが
できる。この場合、溝の大きさはシースヒーター２を嵌
め込むに足る大きさであればよい。

【００１９】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明の請求項１記
載の粒子加速器真空チェンバーのヒーター取り付け構造
によれば、真空チェンバーの外面に複数の突部が形成さ
れ、これらの突部間にヒーターを嵌め込み固定してなる
こととしたので、ヒーターを真空チェンバーの外面に密
着した状態で正確かつ容易に固定することができる。ま
た、前記ヒーターのシース部が溶接できない材質であっ
ても正確かつ容易に固定することができる。また、ヒー
ターを外面に密着させることにより、伝熱面積を大きく
採ることができる。また、取付金具が不要になり、溶接
作業も不要になる等の優れた効果もある。

【００２０】また、請求項２記載の粒子加速器真空チェ
ンバーのヒーター取り付け構造によれば、真空チェンバ
ーの外面に溝が形成され、この溝にヒーターを嵌め込み
固定してなることとしたので、ヒーターを真空チェンバ
ーの溝の内面に密着した状態で正確かつ容易に固定する
ことができる。また、前記ヒーターのシース部が溶接で
きない材質であっても正確かつ容易に固定することがで
きる。また、ヒーターを溝の内面に密着させることによ
り、伝熱面積を大きく採ることができる。また、取付金
具が不要になり、溶接作業も不要になる等の優れた効果
もある。

【００２１】以上のように、伝熱面積を大きく採ること
ができ、またシースの材質が限定されることもなく、正
確かつ容易に固定できる粒子加速器真空チェンバーのヒ
ーター取り付け構造を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の粒子加速器真空チェンバーのヒーター
取り付け構造を示す断面図である。

【図２】本発明の粒子加速器真空チェンバーのヒーター
取り付け構造においてヒーターを固定した状態を示す断
面図である。

【図３】本発明の粒子加速器真空チェンバーのヒーター
取り付け構造の真空チェンバーの変形実施例を示す断面
図である。

【図４】本発明の粒子加速器真空チェンバーのヒーター
取り付け構造の真空チェンバーの変形実施例を示す断面
図である。

【図５】従来の粒子加速器真空チェンバーのヒーター取
り付け構造を示す斜視図である。

【図６】従来の粒子加速器真空チェンバーのヒーター取
り付け構造を示す斜視図である。

【符号の説明】１１真空チェンバー１２チェンバー本体１２ａ外周面２シースヒーター１３突片（突部）１３ａ先端部２１真空チェンバー２２チェンバー本体２２ａ外周面２３冷却水管３１真空チェンバー３２チェンバー本体３２ａ外周面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粒子加速器の真空チェンバーにヒーター
を取り付ける構造であって、前記真空チェンバーの外面に複数の突部が形成され、これらの突部間にヒーターを嵌め込み固定してなること
を特徴とする粒子加速器真空チェンバーのヒーター取り
付け構造。
【請求項２】粒子加速器の真空チェンバーにヒーター
を取り付ける構造であって、前記真空チェンバーの外面に溝が形成され、この溝にヒーターを嵌め込み固定してなることを特徴と
する粒子加速器真空チェンバーのヒーター取り付け構
造。