JPH0945500A - ビームダクトおよびその製造方法 - Google Patents
ビームダクトおよびその製造方法Info
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- JPH0945500A JPH0945500A JP12304996A JP12304996A JPH0945500A JP H0945500 A JPH0945500 A JP H0945500A JP 12304996 A JP12304996 A JP 12304996A JP 12304996 A JP12304996 A JP 12304996A JP H0945500 A JPH0945500 A JP H0945500A
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- duct
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Abstract
(57)【要約】
【課題】冷却効率が良く、かつ、放射光に対し耐久性が
更に向上したアブソーバーを有し、製作が容易であるビ
ームダクトおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】ビームダクト1は内側に塑性変形されてア
ブソーバー5を形成している。アブソーバー5は、L/
h=10である。ビームダクト外壁1bには、アブソー
バー5による凹みを覆い、かつ、周回軌道外周側を覆う
ように、冷却ダクト7が設置されている。
更に向上したアブソーバーを有し、製作が容易であるビ
ームダクトおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】ビームダクト1は内側に塑性変形されてア
ブソーバー5を形成している。アブソーバー5は、L/
h=10である。ビームダクト外壁1bには、アブソー
バー5による凹みを覆い、かつ、周回軌道外周側を覆う
ように、冷却ダクト7が設置されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はシンクロトロン放射
光を発生する周回軌道を描く荷電粒子を加速または蓄積
するシンクロトロン放射光発生装置(SOR装置)また
は加速器に用いるビームダクトおよびその製造方法に関
する。
光を発生する周回軌道を描く荷電粒子を加速または蓄積
するシンクロトロン放射光発生装置(SOR装置)また
は加速器に用いるビームダクトおよびその製造方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来のSOR装置や加速器では、SR真
空シンポジウムプロシーディング(1991)の285頁
から290頁「クロッチアブソーバーの設計および製
作」において論じられているように、周回する荷電粒子
から発生する放射光強度は、時として大変高いパワー密
度となるので、不要な放射光が装置を損傷するのを防ぐ
ために、放射光を吸収する各種アブソーバーが考案,製
作されている。アブソーバーは放射光を吸収して大変強
い熱を発生するので、冷却することが必要である。
空シンポジウムプロシーディング(1991)の285頁
から290頁「クロッチアブソーバーの設計および製
作」において論じられているように、周回する荷電粒子
から発生する放射光強度は、時として大変高いパワー密
度となるので、不要な放射光が装置を損傷するのを防ぐ
ために、放射光を吸収する各種アブソーバーが考案,製
作されている。アブソーバーは放射光を吸収して大変強
い熱を発生するので、冷却することが必要である。
【0003】従来のアブソーバーはビームダクト本体と
は別個の構造物として形成され、溶接やロー付け等の接
合技術、または、フランジにより結合されていた。その
ため、結合部分の信頼性及び強度低下が問題になってい
た。
は別個の構造物として形成され、溶接やロー付け等の接
合技術、または、フランジにより結合されていた。その
ため、結合部分の信頼性及び強度低下が問題になってい
た。
【0004】特開平6−5400 号公報には、ビームダクト
本体の内壁の一部を突出させて構成されたアブソーバー
を有し、アブソーバーの欠落や結合部分の熱疲労の心配
がないビームダクトが記載されている。
本体の内壁の一部を突出させて構成されたアブソーバー
を有し、アブソーバーの欠落や結合部分の熱疲労の心配
がないビームダクトが記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平6−540
0 号公報に記載されているような、内壁の一部が突出し
てアブソーバーを構成し、加えて、アブソーバーと冷却
水路と内壁で一体化しているビームダクトを機械加工で
製造するには、ブロック状のビームダクトの材料から削
り出さなくてはならず、工数が多く、製作に時間がかか
る。
0 号公報に記載されているような、内壁の一部が突出し
てアブソーバーを構成し、加えて、アブソーバーと冷却
水路と内壁で一体化しているビームダクトを機械加工で
製造するには、ブロック状のビームダクトの材料から削
り出さなくてはならず、工数が多く、製作に時間がかか
る。
【0006】また、従来のアブソーバーは、放射光吸収
面を狭くし、その部分を集中的に冷却することで、アブ
ソーバーの冷却効率を向上させていた。しかし、放射光
吸収面において放射光の強度は大変強くなるので、長時
間を経過するうちに放射光吸収面が損傷する。
面を狭くし、その部分を集中的に冷却することで、アブ
ソーバーの冷却効率を向上させていた。しかし、放射光
吸収面において放射光の強度は大変強くなるので、長時
間を経過するうちに放射光吸収面が損傷する。
【0007】本発明の目的は、放射光に対し耐久性が更
に向上したアブソーバーを有し、製作が容易であるビー
ムダクトおよびその製造方法を提供することにある。
に向上したアブソーバーを有し、製作が容易であるビー
ムダクトおよびその製造方法を提供することにある。
【0008】本発明の他の目的は、冷却効率が良く、か
つ、放射光に対し耐久性が更に向上したアブソーバーを
有し、製作が容易であるビームダクトおよびその製造方
法を提供することにある。
つ、放射光に対し耐久性が更に向上したアブソーバーを
有し、製作が容易であるビームダクトおよびその製造方
法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する請
求項1のビームダクトの特徴は、アブソーバーが、ビー
ムダクトの側壁の一部を外側から内側に向かって塑性変
形させて形成した放射光吸収面を有することにあり、削
り出し等の機械加工によらずアブソーバーが形成され、
ビームダクトの製造が容易である。
求項1のビームダクトの特徴は、アブソーバーが、ビー
ムダクトの側壁の一部を外側から内側に向かって塑性変
形させて形成した放射光吸収面を有することにあり、削
り出し等の機械加工によらずアブソーバーが形成され、
ビームダクトの製造が容易である。
【0010】請求項2のビームダクトの特徴は、アブソ
ーバーの放射光吸収面のビーム軌道方向の長さをL、前
記アブソーバーのビームダクトの内壁からの高さをhと
して、L/hが10以上であることにある。
ーバーの放射光吸収面のビーム軌道方向の長さをL、前
記アブソーバーのビームダクトの内壁からの高さをhと
して、L/hが10以上であることにある。
【0011】この特徴により、請求項1のビームダクト
と同様の作用が得られるとともに、放射光吸収面がビー
ム軌道方向に広いので、放射光吸収面に照射される放射
光のエネルギー線密度を小さくでき、放射光に対し耐久
性を更に向上できる。
と同様の作用が得られるとともに、放射光吸収面がビー
ム軌道方向に広いので、放射光吸収面に照射される放射
光のエネルギー線密度を小さくでき、放射光に対し耐久
性を更に向上できる。
【0012】請求項3のビームダクトの特徴は、冷却ダ
クトが、塑性変形された部分の外側を覆って前記ビーム
ダクトに設置されたことにある。
クトが、塑性変形された部分の外側を覆って前記ビーム
ダクトに設置されたことにある。
【0013】この特徴により、請求項1または2のビー
ムダクトと同様の作用が得られるとともに、放射光吸収
面をビームダクトの外側から直接に冷却することができ
るので、アブソーバーを効率良く冷却することができ
る。
ムダクトと同様の作用が得られるとともに、放射光吸収
面をビームダクトの外側から直接に冷却することができ
るので、アブソーバーを効率良く冷却することができ
る。
【0014】請求項4のビームダクトの特徴は、冷却ダ
クトが、塑性変形された部分の外側、および、放射光が
照射される部分の外側を覆って、ビームダクトに設置さ
れたことにある。
クトが、塑性変形された部分の外側、および、放射光が
照射される部分の外側を覆って、ビームダクトに設置さ
れたことにある。
【0015】この特徴により、請求項3のビームダクト
と同様の作用が得られるとともに、放射光が照射される
部分をビームダクトの外側から直接に冷却することがで
きるので、ビームダクトを冷却することができる。
と同様の作用が得られるとともに、放射光が照射される
部分をビームダクトの外側から直接に冷却することがで
きるので、ビームダクトを冷却することができる。
【0016】請求項5のビームダクトの特徴は、冷却配
管が、塑性変形された部分の外側に密着することにあ
り、請求項1または2のビームダクトと同様の作用が得
られるとともに、アブソーバーを冷却することができ
る。
管が、塑性変形された部分の外側に密着することにあ
り、請求項1または2のビームダクトと同様の作用が得
られるとともに、アブソーバーを冷却することができ
る。
【0017】請求項6のビームダクトの特徴は、ビーム
ダクト側壁の一部を外側から内側に向かって塑性変形さ
せてアブソーバーを形成することにあり、削り出し等の
機械加工によらずアブソーバーを形成することができ、
製造が容易である。
ダクト側壁の一部を外側から内側に向かって塑性変形さ
せてアブソーバーを形成することにあり、削り出し等の
機械加工によらずアブソーバーを形成することができ、
製造が容易である。
【0018】請求項7のビームダクトの特徴は、冷却ダ
クトを、塑性変形された部分の外側を覆うようにビーム
ダクトに取り付けることにあり、請求項6と同様の作用
が得られるとともに、アブソーバーを効率良く冷却でき
る。
クトを、塑性変形された部分の外側を覆うようにビーム
ダクトに取り付けることにあり、請求項6と同様の作用
が得られるとともに、アブソーバーを効率良く冷却でき
る。
【0019】請求項8のビームダクトの特徴は、冷却ダ
クトを、塑性変形された部分の外側、および、放射光が
照射される部分の外側を覆って、ビームダクトに取り付
けることにあり、請求項7と同様の作用が得られるとと
もに、ビームダクトも冷却できる。
クトを、塑性変形された部分の外側、および、放射光が
照射される部分の外側を覆って、ビームダクトに取り付
けることにあり、請求項7と同様の作用が得られるとと
もに、ビームダクトも冷却できる。
【0020】
(実施例1)図1は本発明の第1の実施例であるビーム
ダクト1のアブソーバー5部分の断面図である。図2は
図1のビームダクト1のI−I矢視図である。図3にビ
ームダクト1の全体図を示す。
ダクト1のアブソーバー5部分の断面図である。図2は
図1のビームダクト1のI−I矢視図である。図3にビ
ームダクト1の全体図を示す。
【0021】紙面奥から手前への一様な垂直磁場Bによ
って、周回する荷電粒子のビーム軌道2が形成されてい
る。ビームダクト1がビーム軌道2を囲むように設置さ
れ、ビームダクト1の熱伸び等のビーム軌道方向の位置
調整として伸縮可能なベローズ9が接合されている。ビ
ームダクト1は内側に塑性変形されてアブソーバー5を
形成している。アブソーバー5は、放射光吸収面5aの
ビーム軌道2の方向の長さをL、アブソーバー5のビー
ムダクト内壁1aからの高さをhとして、L/h=10
である。ビームダクトの材質はアルミニウムまたは銅
で、熱伝導の良い材料が好ましい。ビームダクト外壁1
bには、アブソーバー5による凹みを覆い、かつ、周回
軌道外周側を覆うように、冷却ダクト7が設置されてい
る。
って、周回する荷電粒子のビーム軌道2が形成されてい
る。ビームダクト1がビーム軌道2を囲むように設置さ
れ、ビームダクト1の熱伸び等のビーム軌道方向の位置
調整として伸縮可能なベローズ9が接合されている。ビ
ームダクト1は内側に塑性変形されてアブソーバー5を
形成している。アブソーバー5は、放射光吸収面5aの
ビーム軌道2の方向の長さをL、アブソーバー5のビー
ムダクト内壁1aからの高さをhとして、L/h=10
である。ビームダクトの材質はアルミニウムまたは銅
で、熱伝導の良い材料が好ましい。ビームダクト外壁1
bには、アブソーバー5による凹みを覆い、かつ、周回
軌道外周側を覆うように、冷却ダクト7が設置されてい
る。
【0022】次に、本実施例のビームダクト1の製作方
法を説明する。図4および図5にアブソーバー5を塑性
加工するために用いる押し型を示す。押し型はビームダ
クトの内側と外側にあり、それぞれメス型10a,オス
型10bになっている。
法を説明する。図4および図5にアブソーバー5を塑性
加工するために用いる押し型を示す。押し型はビームダ
クトの内側と外側にあり、それぞれメス型10a,オス
型10bになっている。
【0023】初めに、ビームダクト1本体を引き抜きに
よりパイプ状に形成する。次に、ビームダクト1の内側
にメス型10a,外側にオス型10bを用いて、ビーム
ダクト1を挟み加圧し、アブソーバー5を形成する。最
後に、冷却水パイプ8が接続されたU字型の冷却ダクト
7を、アブソーバー5による凹みを覆い、かつ、放射光
3が照射される部分に沿ってビームダクト外壁1bを覆
うように、ビームダクト1に設置する。ビームダクト1
と冷却ダクト7とはロー付けや溶接等で密着させる。
よりパイプ状に形成する。次に、ビームダクト1の内側
にメス型10a,外側にオス型10bを用いて、ビーム
ダクト1を挟み加圧し、アブソーバー5を形成する。最
後に、冷却水パイプ8が接続されたU字型の冷却ダクト
7を、アブソーバー5による凹みを覆い、かつ、放射光
3が照射される部分に沿ってビームダクト外壁1bを覆
うように、ビームダクト1に設置する。ビームダクト1
と冷却ダクト7とはロー付けや溶接等で密着させる。
【0024】SOR装置または加速器が運転中には、ビ
ームダクト内壁1aの周回軌道外周側に放射光3が照射
される。放射光3はアブソーバー5の放射光吸収面5a
に当たって吸収され、ベローズ9には照射されない。
ームダクト内壁1aの周回軌道外周側に放射光3が照射
される。放射光3はアブソーバー5の放射光吸収面5a
に当たって吸収され、ベローズ9には照射されない。
【0025】冷却ダクト7内には冷却水パイプ8から導
入された冷却水が流通し、ビームダクト1のアブソーバ
ー5および放射光3が照射される部分が直接に冷却され
る。本実施例のビームダクト1における、アブソーバー
5の大きさと放射光吸収面5aに照射される放射光のエ
ネルギー線密度の関係を図6を用いて説明する。
入された冷却水が流通し、ビームダクト1のアブソーバ
ー5および放射光3が照射される部分が直接に冷却され
る。本実施例のビームダクト1における、アブソーバー
5の大きさと放射光吸収面5aに照射される放射光のエ
ネルギー線密度の関係を図6を用いて説明する。
【0026】図6において、ビーム軌道2の周回半径を
R,ビームダクト内壁1aとビーム軌道2との距離を
r,放射光吸収面5aが周回軌道中心Oに対して作る角
度をβとする。また、放射光吸収面5aとビームダクト
内壁1aとが交わる点P1に到達する放射光31の発光
点Q1と、アブソーバー5の頂点P2に到達する放射光
32の発光点Q2とし、2点Q1,Q2が周回軌道中心
Oに対して作る角度の差をδとする。Lは近似的に、
R,ビームダクト内壁1aとビーム軌道2との距離を
r,放射光吸収面5aが周回軌道中心Oに対して作る角
度をβとする。また、放射光吸収面5aとビームダクト
内壁1aとが交わる点P1に到達する放射光31の発光
点Q1と、アブソーバー5の頂点P2に到達する放射光
32の発光点Q2とし、2点Q1,Q2が周回軌道中心
Oに対して作る角度の差をδとする。Lは近似的に、
【0027】
【数1】 L=(R+r)β …(数1) となる。以下、δをL,h,Rおよびrであらわす。
【0028】
【数2】
【0029】放射光吸収面5aに照射される放射光のエ
ネルギー線密度Pは、全周で放射されるエネルギーをP
SRとすると
ネルギー線密度Pは、全周で放射されるエネルギーをP
SRとすると
【0030】
【数3】
【0031】となる。ただし、t=L/hである。
【0032】
【数4】
【0033】を、c=10,20,30についてプロッ
トすると図10になる。tが大きいほど、Pt は小さく
なり、アブソーバー5への熱負荷は低減できる。t≧1
0でその効果は顕著である。従来のアブソーバーのL/
hは1〜5程度になっている。本実施例ではL/hが1
0であるので、放射光吸収面5aに照射される放射光の
エネルギー線密度Pは小さく、放射光に対し耐久性が更
に向上したアブソーバー5を形成することができる。
トすると図10になる。tが大きいほど、Pt は小さく
なり、アブソーバー5への熱負荷は低減できる。t≧1
0でその効果は顕著である。従来のアブソーバーのL/
hは1〜5程度になっている。本実施例ではL/hが1
0であるので、放射光吸収面5aに照射される放射光の
エネルギー線密度Pは小さく、放射光に対し耐久性が更
に向上したアブソーバー5を形成することができる。
【0034】本実施例のビームダクト1によれば、押し
型でビームダクト1を塑性変形させてアブソーバー5を
形成したので、製造が容易である。また、本実施例のビ
ームダクトは、ビームダクト1本体とアブソーバー5と
の結合部を持たないので、強度低下を招く恐れがなくて
信頼性が高い。
型でビームダクト1を塑性変形させてアブソーバー5を
形成したので、製造が容易である。また、本実施例のビ
ームダクトは、ビームダクト1本体とアブソーバー5と
の結合部を持たないので、強度低下を招く恐れがなくて
信頼性が高い。
【0035】また、放射光吸収面5aがビーム軌道方向
に長く、放射光吸収面5aに照射される放射光のエネル
ギー線密度が小さい。従って、放射光に対し耐久性が更
に向上したアブソーバー5が得られる。
に長く、放射光吸収面5aに照射される放射光のエネル
ギー線密度が小さい。従って、放射光に対し耐久性が更
に向上したアブソーバー5が得られる。
【0036】また、放射光吸収面5aと放射光が照射さ
れる部分とをビームダクト外壁1b側から直接に冷却す
ることができる。従って、アブソーバー5を効率良く冷
却することができ、ビームダクト1を冷却することがで
きる。
れる部分とをビームダクト外壁1b側から直接に冷却す
ることができる。従って、アブソーバー5を効率良く冷
却することができ、ビームダクト1を冷却することがで
きる。
【0037】(実施例2)図8に本発明の第2の実施例
を示すビームダクトを示す。アブソーバー5は、ビーム
ダクト1をビーム軌道方向に垂直に内側へ塑性変形させ
て形成されている。放射光3はアブソーバー5に当たり
吸収される。アブソーバー5の後ろ側は影となり、ビー
ムダクト1の左側にあるベローズ等の機器は放射光3か
ら保護される。アブソーバー5の外側と冷却管6とはロ
ー付けや溶接等で密着されている。アブソーバー5はビ
ームダクト1の外側から冷却管6によって冷却される。
を示すビームダクトを示す。アブソーバー5は、ビーム
ダクト1をビーム軌道方向に垂直に内側へ塑性変形させ
て形成されている。放射光3はアブソーバー5に当たり
吸収される。アブソーバー5の後ろ側は影となり、ビー
ムダクト1の左側にあるベローズ等の機器は放射光3か
ら保護される。アブソーバー5の外側と冷却管6とはロ
ー付けや溶接等で密着されている。アブソーバー5はビ
ームダクト1の外側から冷却管6によって冷却される。
【0038】
【発明の効果】請求項1のビームダクトによれば、削り
出し等の機械加工によらずアブソーバーが形成され、製
造が容易である。
出し等の機械加工によらずアブソーバーが形成され、製
造が容易である。
【0039】請求項2のビームダクトによれば、請求項
1のビームダクトと同様の作用効果が得られるととも
に、放射光吸収面が広くビーム軌道方向に広いので、放
射光吸収面に照射される放射光のエネルギー線密度を小
さくでき、放射光に対し耐久性を更に向上できる。
1のビームダクトと同様の作用効果が得られるととも
に、放射光吸収面が広くビーム軌道方向に広いので、放
射光吸収面に照射される放射光のエネルギー線密度を小
さくでき、放射光に対し耐久性を更に向上できる。
【0040】請求項3のビームダクトによれば、請求項
1または2のビームダクトと同様の作用効果が得られる
とともに、アブソーバーを効率良く冷却できる。
1または2のビームダクトと同様の作用効果が得られる
とともに、アブソーバーを効率良く冷却できる。
【0041】請求項4のビームダクトによれば、請求項
3のビームダクトと同様の作用効果が得られるととも
に、ビームダクトを冷却することができる。
3のビームダクトと同様の作用効果が得られるととも
に、ビームダクトを冷却することができる。
【0042】請求項5のビームダクトによれば、請求項
1または2のビームダクトと同様の作用効果が得られる
とともに、アブソーバーを冷却することができる。
1または2のビームダクトと同様の作用効果が得られる
とともに、アブソーバーを冷却することができる。
【0043】請求項6のビームダクトの製造方法によれ
ば、削り出し等の機械加工によらずアブソーバーを形成
することができ、製造が容易である。
ば、削り出し等の機械加工によらずアブソーバーを形成
することができ、製造が容易である。
【0044】請求項7のビームダクトの製造方法によれ
ば、請求項6と同様の作用効果が得られるとともに、ア
ブソーバーを効率良く冷却できる。
ば、請求項6と同様の作用効果が得られるとともに、ア
ブソーバーを効率良く冷却できる。
【0045】請求項8のビームダクトの製造方法によれ
ば、請求項7と同様の作用効果が得られるとともに、ビ
ームダクトも冷却できる。
ば、請求項7と同様の作用効果が得られるとともに、ビ
ームダクトも冷却できる。
【図1】本発明の第1の実施例のビームダクトのアブソ
ーバー部の断面図。
ーバー部の断面図。
【図2】図1のI−I矢視図。
【図3】本発明の第1の実施例のビームダクトの全体
図。
図。
【図4】第1の実施例のビームダクトの押し型を示す
図。
図。
【図5】図4のII−II矢視図。
【図6】アブソーバー5の大きさと放射光のエネルギー
線密度の関係を説明する図。
線密度の関係を説明する図。
【図7】アブソーバー5の大きさをパラメータに放射光
のエネルギー線密度をプロットした図。
のエネルギー線密度をプロットした図。
【図8】本発明の第2の実施例のビームダクトを示す
図。
図。
1…ビームダクト、1a…ビームダクト内壁、1b…ビ
ームダクト外壁、2…ビーム軌道、3…放射光、4…隙
間、5…アブソーバー、5a…放射光吸収面、6…冷却
管、7…冷却ダクト、8…冷却水パイプ、9…ベロー
ズ、10a…メス型、10b…オス型。
ームダクト外壁、2…ビーム軌道、3…放射光、4…隙
間、5…アブソーバー、5a…放射光吸収面、6…冷却
管、7…冷却ダクト、8…冷却水パイプ、9…ベロー
ズ、10a…メス型、10b…オス型。
Claims (8)
- 【請求項1】SOR装置または加速器に用いられ、アブ
ソーバーを有する偏向部のビームダクトにおいて、 前記アブソーバーは、前記ビームダクトの側壁の一部を
外側から内側に向かって塑性変形させて形成した放射光
吸収面を有することを特徴とするビームダクト。 - 【請求項2】前記放射光吸収面の前記ビーム軌道方向の
長さをL、前記アブソーバーの前記ビームダクトの内壁
からの高さをhとして、L/hが10以上であることを
特徴とする請求項1のビームダクト。 - 【請求項3】前記塑性変形された部分の外側を覆う冷却
ダクトが、前記ビームダクトに設置されたことを特徴と
する請求項1または2のビームダクト。 - 【請求項4】前記冷却ダクトが、前記塑性変形された部
分の外側、および、放射光が照射される部分の外側を覆
って、前記ビームダクトに設置されたことを特徴とする
請求項3のビームダクト。 - 【請求項5】前記塑性変形された部分の外側に冷却配管
を密着させたことを特徴とする請求項1または2のビー
ムダクト。 - 【請求項6】SOR装置または加速器に用いられ、アブ
ソーバーを有する偏向部のビームダクトの製造方法にお
いて、 前記ビームダクト側壁の一部を外側から内側に向かって
塑性変形させて前記アブソーバーを形成することを特徴
とするビームダクトの製造方法。 - 【請求項7】冷却ダクトを、前記塑性変形された部分の
外側を覆うように前記ビームダクトに取り付けることを
特徴とする請求項6のビームダクトの製造方法。 - 【請求項8】前記冷却ダクトを、前記塑性変形された部
分の外側、および、放射光が照射される部分の外側を覆
って、前記ビームダクトに取り付けることを特徴とする
請求項7のビームダクトの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304996A JPH0945500A (ja) | 1995-05-19 | 1996-05-17 | ビームダクトおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12109995 | 1995-05-19 | ||
| JP7-121099 | 1995-05-19 | ||
| JP12304996A JPH0945500A (ja) | 1995-05-19 | 1996-05-17 | ビームダクトおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0945500A true JPH0945500A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=26458543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12304996A Pending JPH0945500A (ja) | 1995-05-19 | 1996-05-17 | ビームダクトおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0945500A (ja) |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP12304996A patent/JPH0945500A/ja active Pending
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