JPH065568B2 - 磁気ヘツド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録再生の電磁変換器すなわち磁気ヘッ
ドに係わり、特に、広帯域記録再生を行うVTR用の薄膜
形ビデオヘッドに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、強磁性合金多層薄膜形ヘッドは、熱膨張係数が強
磁性合金とほぼ一致する非磁性の金属あるいはセラミッ
クの基板に、強磁性合金薄膜と電気的絶縁膜とを交互に
スパッタリングあるいは蒸着等の手段により付着させて
多層膜を構成し、これをコア材料として使用していた。
また、同種の基板を当て板として用いサンドウィッチ構
造としていた。これらの強磁性合金多層薄膜形ヘッドは
例えば以下の文献に記載されている。柴谷ほか「スパッ
タリングによる磁性合金膜の製作とその狭トラックビデ
オヘッドへの応用」電子通信学会論文誌57C-9〔p325〕
（昭49），川野ほか「メタルテープ用センダストビデオ
ヘッド」テレビジョン学会全国大会予稿8-3〔p197〕
（昭56），黒江ほか「スパッタアモルファスビデオヘッ
ド」電子通信学会総合全国大会予稿239〔p1-241〕（昭5
9），斉藤ほか「Fe-Al-Si合金スパッタ膜ビデオヘッ
ド」日本応用磁気学会学術講演会概要集29PA-2〔p288〕
（昭60）。

このような磁気ヘッドの構成では、 コア主磁路は強磁性合金多層薄膜のみで構成され、そ
の断面幅は膜厚と同じとなり極めて狭い。また、生産技
術上、後ギャップ部の突き合わせ工程でずれを生じる
と、さらに狭く断続的となって磁束伝達効率が低下す
る。第４図はその様子を示したもので、図において、１
は基板、１′は当て基板、２は強磁性合金多層膜部、３
は後ギャップである。基板１、当て基板１′は非磁性材
料なので、後ギャップ部で膜のずれを生ずると、その分
だけ磁束伝達効率が低下する。

強磁性合金多層薄膜と両基板は、異種材料であるた
め、磁気テープと摺動した時、摩耗特性の違いから偏摩
耗（摩耗差による段差）を生じる。一般に基板１，１′
には高硬度耐摩耗材料が使用されるため、第５図に示す
ように主磁路を構成する強磁性合金多層薄膜２には凹み
2Aを生じ、磁気テープ４との間隔が大きくなってスペー
ス損失を増大せしめると同時に、接触が不安定となる。

また、この強磁性合金多層薄膜と薄膜付着用基板とは
異種材料であるため、厳密には熱膨張係数などの物理特
性は一致せず、スパッタリングや蒸着等の工程中での付
着強度が弱い。さらに機械加工、ギャップ成形溶着、熱
処理あるいはヘッド製造工程中でのハンドリングによ
り、薄膜にクラックや欠け等の損傷を与える場合が多
く、はなはだしくは薄膜の欠損、脱落を生じる。

という性能上と生産技術上の問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上述した従来の欠点、すなわち後ギャップ部の
ずれによる磁束伝達効率の低下、ヘッドの偏摩耗による
スペース損失の増大と接触の不安定および強磁性合金多
層膜の基板への付着強度の弱さなどを解決し、記録再生
特性、特に感度が向上しかつ生産性にすぐれた磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

このような目的を達成するために、本発明の磁気ヘッド
は強磁性合金多層薄膜をコア材料とする磁気ヘッドにお
いて、基板を強磁性合金多層薄膜作成用強磁性合金母
材、もしくは強磁性合金母材と同一もしくはほぼ同じ摩
耗特性および熱膨張係数を有する強磁性合金により形成
したことを特徴とする。

〔作 用〕

本発明によればコア主磁路は、強磁性合金多層薄膜とそ
の基板として用いる強磁性合金からなっているので、そ
の断面幅を大きくすることができる。また後ギャップ部
の突き合わせ工程でのずれがあっても、主磁路幅が広い
ので断続にならず、磁束伝達能率は低下しない。また強
磁性合金多層薄膜と両基板は、同一あるいは類似の材料
であるため、磁気テープと摺動した時、摩耗特性は同じ
となり偏摩耗を生じない。したがって、強磁性合金多層
薄膜には凹みを発生することはなく、スペース損失のな
いすなわちヘッドとテープの接触の良い状態で動作す
る。さらに熱膨張係数などの物理特性はほぼ一致し、ス
パッタリングや蒸着等の工程中での付着強度が強い。し
たがって、ヘッド製造工程中で損傷を受けることが少な
い。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を図面により説明する。

第１の実施例の斜視図を第１図に示す。強磁性合金多層
薄膜付着用基板11およびサンドウィッチ構造とするため
の当て基板11′は、基板11にスパッタリングあるいは蒸
着等により付着されてコア主磁路を構成する強磁性合金
多層薄膜12の母材（同一材料）、またはこれと組成が近
く熱膨張係数および摩耗特性がほぼ一致する類似の強磁
性合金、からなり、通常の磁気ヘッドと同様に、ギャッ
プ13、巻線窓14をもち、コア15の両側部に巻線16を施し
た構造である。この場合、トラック幅ｔは強磁性合金多
層薄膜12の膜厚と両基板11、11′の厚さを加えた寸法で
ある。このような磁気ヘッドコアは、例えば厚さ50μｍ
に切断研磨したセンダスト板あるいはセンダスト急冷薄
帯を基板11とし、その上に厚さ１ないし５μｍのセンダ
ストと厚さ0.2μｍ程度のsio₂を交互に繰返してスパッ
タリングまたは蒸着し、基板11と同じ当て基板11′によ
りサンドウィッチ構造にすることによって得られる。セ
ンダスト多層膜の層数はトラック幅に合わせて定める。
基板と多層膜における合金組成は同一であることが望ま
しいが、多少ずれても差支えない。基板および多層膜磁
性合金として、例えば非晶質Co-Zr-Nb合金を使用するこ
ともできる。

第２図に本発明の第２の実施例の斜視図を、第３図にそ
の上面図を示す。本実施例は高密度記録用ヘッドの場合
で、第１の実施例の両基板11、11′のギャップ近傍のみ
を両側から削り込んで凹部17を設け、トラック幅ｔを狭
くしたものである。この凹部にはガラス等を充填しても
よい。凹部17における基板11、11′の厚さは薄い程よ
い。

次にこのヘッドの動作を説明する。巻線16に電流を流す
と、コア15に磁束が発生し、ギャップ13まで伝達され、
この先端部で洩れ磁界を生じて媒体を磁化（記録）す
る。また逆に媒体からの洩れ磁束をギャップ13で収集
し、コア15で伝達されて、巻線16が感応して（再生）電
圧が生じる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明のヘッド構成とすることによ
り、コア主磁路は、強磁性合金多層薄膜とその基板と
して用いる強磁性合金、からなり、その断面幅を大きく
することができる。また後ギャップ部の突き合わせ工程
でのずれがあっても、主磁路幅が広いので断続になら
ず、磁束伝達能率は低下しない。

強磁性合金多層薄膜と両基板は、同一あるいは類似の
材料であるため、磁気テープと摺動した時、摩耗特性は
同じとなり偏摩耗を生じない。したがって、強磁性合金
多層薄膜には凹みを発生することはなく、スペース損失
のないすなわちヘッドとテープの接触の良い状態で動作
する。

また、この強磁性合金多層薄膜と強磁性合金多層薄膜
付着用基板とは、同一あるいは類似の材料であるため、
熱膨張係数などの物理特性はほぼ一致し、スパッタリン
グや蒸着等の工程中での付着強度が強い。したがって、
ヘッド製造工程中で損傷を受けることが少ない。

以上のような性能上および生産技術上における従来の薄
膜形ヘッドでの欠点を排除して、記録再生特性とくに感
度の向上と生産性の向上とを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の積層形ヘッドの一実施例を示す斜視
図、 第２図および第３図はそれぞれ第２の実施例（高密度記
録用）を示す斜視図および上面図、 第４図は従来の積層形ヘッドにおける後ギャップ部のず
れによる断続磁路の説明図。 第５図は従来の積層形ヘッドにおける偏摩耗によるスペ
ース損失増大を説明する断面図である。 １，11…基板、 1′，11′…当て基板、 ２，12…強磁性合金多層薄膜、 ３，13…ギャップ、 14…巻線窓、 15…コア、 16…巻線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白井 爲興 東京都世田谷区砧１丁目10番11号 日本放 送協会放送技術研究所内 (72)発明者 柴谷 弘道 東京都世田谷区砧１丁目10番11号 日本放 送協会放送技術研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】強磁性合金多層薄膜をコア材料とする磁気
   ヘッドにおいて、基板を前記強磁性合金多層薄膜作成用
   強磁性合金母材、もしくは前記強磁性合金母材と同一も
   しくはほぼ同じ摩耗特性および熱膨張係数を有する強磁
   性合金により形成したことを特徴とする磁気ヘッド。