JPH0660448A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0660448A
JPH0660448A JP25864091A JP25864091A JPH0660448A JP H0660448 A JPH0660448 A JP H0660448A JP 25864091 A JP25864091 A JP 25864091A JP 25864091 A JP25864091 A JP 25864091A JP H0660448 A JPH0660448 A JP H0660448A
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JP
Japan
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magneto
layer
artificial lattice
recording medium
optical recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP25864091A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Moriya
勲 森谷
Tsutomu Takahata
努 高畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】基板上に、Co層と、Pt層及び/又はPd層
とが交互に積層した人工格子膜を記録層とする光磁気記
録媒体で、記録層の総膜厚の10%以上80%以下の厚
みの基板側の部分が他の部分より積層周期が短い人工格
子膜である光磁気記録媒体。 【効果】この光磁気記録媒体は、磁気光学効果および保
磁力の大きな記録媒体だあり、短波長光源および周辺光
学系と組み合わせることにより高記録密度、高CN比の
光磁気記録を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気記録媒体に関す
る、更に詳しくは短波長対応の光磁気記録媒体に関す
る。
【0002】
【従来の技術】高密度光磁気記録媒体として、基板上に
Co層とPt層および/またはPd層とを交互に積層し
た人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体が提案され
ている(特開平2−56752公報)。このような光磁
気記録媒体は特に500nm以下の波長の光に対して大
きな磁気光学効果を示し、記録層に希土類金属等の酸化
されやすい金属を含まないため、耐蝕性に優れていると
されている。
【0003】このようなCoとPtおよび/またはPd
とを積層した光磁気記録媒体に於いて再生性能を支配す
る磁気光学効果(カー回転角)の大きさは媒体中のCo
組成比と正の相関があるが、Coの組成比を高めるとキ
ュリー温度が上昇し、高い記録パワーが求められ、記録
感度が低下する。すなわち、媒体中のCo組成比は記録
システムの構成および記録再生に用いる光源に合わせ、
所望の記録特性が得られるCo組成比が選ばれる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】一般に光磁気記録にお
いて、安定した状態で記録・再生を実施するには、磁性
体層の持つ特性であるカー回転角と保磁力がともに十分
に大きい材料が好ましい。
【0005】しかしながら、所望の記録特性が得られる
組成比でPtとCoとを交互に積層した記録媒体におい
ては、均一な積層周期からなる媒体では大きな保磁力
と、大きなカー回転角を両立させる事は困難であった。
【0006】本発明の目的は、保磁力、カー回転角がと
もに高い値を持つ光磁気記録媒体を提供することにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
の達成のため種々の研究を重ねた結果、磁性層において
基板に近い部分とそれ以外の部分とで、PtとCo及び
/又はPdとの積層周期を変化させることにより保磁
力、カー回転角共に大きく、記録特性にも優れた光磁気
記録媒体が得られることを見出だし本発明を完成した。
【0008】即ち本発明は、基板上に、Co層と、Pt
層及び/又はPd層とが交互に積層した人工格子膜を記
録層とする光磁気記録媒体において、前記人工格子膜
の、基板側の部分(1)が他の部分(2)より積層周期
が短い人工格子膜であり、(1)の部分が総膜厚の10
%以上80%以下の厚みであることを特徴とする光磁気
記録媒体に関するものである。次に本発明を更に詳細に
説明する。
【0009】図1は、CoとPtを用いて積層した本発
明の光磁気記録媒体の一実施態様を示す図である。図中
1は基板で、通常ガラスまたは高分子基板が用いられ
る。図中2は人工格子膜のうち積層周期の短い部分
(1)、3は人工格子膜のうち積層周期の長い部分
(2)である。
【0010】本発明において、前記した積層周期を異に
する部分は、人工格子膜のうち基板側の部分(1)と、
それ以外の部分(2)であり、基板に近接し、総膜厚の
10%以上80%以下の厚さの部分(図1における
(1)の部分)においては、Co/Pt(及び/または
Pd)の積層周期を短くし、それ以外の部分(同(2)
の部分)ではこれより長くしたことが特徴である。
【0011】上記した積層周期の変化する部分(1)の
厚みを、上記した範囲以外において変化させても、例え
ば10%より少なければ磁気光学効果の大きい部分によ
る全体への寄与が少なく、また、80%より多ければ保
磁力の大きな部分による全体への寄与が少なくなり、本
発明の効果が得られなくなる。
【0012】本発明における前記した積層周期の好まし
い具体例は、前記(1)の部分においては、Coが0.
5〜1.5原子層、Pt(及び/またはPd)が1〜6
原子層の人工格子となることであり、又、前記(2)の
部分においては、(1)の部分の値より大で、かつ、C
oが1〜2.5原子層、Pt(及び/またはPd)が2
〜8原子層の人工格子となることである。前記した範囲
外では本発明の効果が充分得られない。
【0013】本発明の光磁気記録媒体の製造は、基板面
に例えばスパッタリング法によりこれら金属を積層する
方法を用いることができ、スパッタリングの条件を適宜
設定することにより、積層周期の異なった人工格子膜を
形成することができる。
【0014】即ち、その製法の一例としては、スパッタ
された原子が互いに混じらないように仕切り板で仕切ら
れた金属、例えばCoとPt(及び/またはPd)のタ
ーゲットを同時にスパッタしながら、基板がこれらのタ
ーゲット上を交互に通過するようにした基板ホルダーを
回転させ、この際に基板ホルダーの回転数を人工格子膜
の形成中に変化させることにより周期の異なる人工格子
を形成するような方法である。
【0015】スパッタリングにより成膜されたCo/P
t(及び/またはPd)人工格子において、保磁力は一
定のCo層厚において最大値を示すが、CoとPtの組
成比が同じ場合、積層周期が短いほど大きな磁気カー回
転角を示す。この場合、より大きな磁気カー回転角を得
るためにはより周期の短い人工格子の持つ性質をこれに
寄与させることである。
【0016】本発明は、保磁力が大きい値を示す人工格
子構造の部分と磁気カー回転角が大きい値を示す人工格
子構造の部分を合せ持つ構成とすることにより、双方の
長所を兼ね備えたことが特徴である。本発明者の見出だ
したところによれば基板に近い部分すなわち人工格子膜
の初期形成層は膜の保磁力に余り影響しない。即ち、記
録層たる人工格子膜の記録の読みだし側である基板側の
部分には大きい磁気カー回転角を示す周期の短い人工格
子(図1の(1)層)を形成し、残りの部分には大きな
保磁力を示す人工格子(図1の(2)層)を形成するこ
とによって全体として大きな磁気カー回転角と保磁力を
得ることができる。(1)層と(2)層との人工格子膜
中における比率は、(1)層が10%より小では(1)
層の大きなカー回転角の特徴を示さなくなり、また
(2)層は20%より小では(2)層の大きな保磁力を
膜が示さなくなるため、人工格子膜中に占める(1)層
の割合を10%から80%の範囲にすることが必要であ
る。
【0017】
【実施例1】スパッタガスにXeを用い、高周波マグネ
トロンスパッタ法で水冷したガラス基板上に人工格子膜
を形成した。スパッタ時のガス圧は約5mmTorrと
し、成膜速度は約1〜5A毎秒とした。
【0018】まず積層周期の短い部分(1)としてPt
層を4.5A,Co層を1.5Aとなるように、交互に
16回繰り返し(約100オングストローム)成膜した
のち、積層周期の長い部分(2)としてPt層を12
A,Co層を4Aとなるように、交互に7回繰り返し
(約100オングストローム)積層した。同様にして、
第1表に示したように、積層周期の短い部分(1)とし
て周期の異なる人工格子膜を形成し、それぞれについて
基板側から磁気光学効果および保磁力を測定した。測定
結果を第1表に示した。尚、これらの測定は400nm
の波長の光を用い、カーループトレーサーにより行っ
た。
【0019】 第1表 (1)層 (2)層 試料 Co厚 Pt厚 Co厚 Pt厚 カー回転角 保磁力 (A) (A) (A) (A) (度) (Oe) a 1.5 4.5 4 12 0.53 650 b 2 6 4 12 0.53 700 c 2.5 7.5 4 12 0.51 720 d 3 9 4 12 0.49 750
【0020】
【実施例2】実施例と同条件でガラス基板上に成膜を行
った。まず積層周期の短い部分(1)をPt7.5A/
Co2.5Aの積層周期で約50オングストロームから
150オングストロームの範囲で成膜したのち、積層周
期の長い部分(2)をPt12A/Co4Aの周期で連
続して積層し、総膜厚は約200Aとした。実施例1と
同様に行った磁気光学効果及び保磁力の測定結果を第2
表に示した。
【0021】 第2表 試料 (1)層厚(A) (2)層厚(A) カー回転角(度) 保磁力(Oe) e 50 150 0.48 740 f 100 100 0.51 720 g 150 50 0.54 620
【0022】
【比較例】実施例と同条件でガラス基板上に均一な積層
周期を持つ膜を約200A成膜し、同条件で磁気光学効
果及び保磁力の測定を行った。測定結果を第3表に示
す。
【0023】 第3表 試料 Co層厚 Pt層厚(A) カー回転角(度) 保磁力(Oe) h 2.0 6.0 0.56 450 i 3.0 9.0 0.51 640 j 4.0 12.0 0.44 760 k 5.0 15.0 0.39 650 実施例1の結果から、本発明による、積層周期を異にす
る2つの部分(1)、(2)からなる複合型人工格子膜
は、比較例に示した均一な積層周期からなる単純型人工
格子膜では得られなかった、磁気カー回転角0.5度以
上、保磁力700Oe以上の両立という優れた特性が得
られていることが分かる。
【0024】さらに、実施例2の結果から明らかなよう
に積層周期の短い部分(1)と積層周期の長い部分
(2)の比を変化させることにより媒体の特性を連続的
に変化させることが可能であり、、採用する媒体構造、
記録再生に用いる光源の波長などに合わせ、人工格子膜
中で積層周期の短い部分(1)の占める割合は前記した
範囲内で所望の値を選べば良い。
【0025】これらの人工格子膜を光磁気記録媒体とし
て利用する際、すでに実用化されている希土類−遷移金
属アモルファス合金を用いた光磁気記録媒体において用
いられているように、磁性体層と誘電体層を組み合わせ
て積層することが、記録再生特性を向上させるのに有効
である。
【0026】例えば、基板上に誘電体層、磁性体層、誘
電体層、反射層の順に積層した4層膜型を採用し、基板
側から記録再生を行なう形式の場合の該人工格子からな
る磁性体層の厚さは50〜300Aが適当である。
【0027】また、成膜途中で積層周期を変化させるに
あたり、本実施例のように基板の回転数を変化させる手
法によらず、スパッタレートを変化させることでも同じ
効果が得られ、その場合、積層周期の短い部分(1)と
積層周期の長い部分(2)との間でPtとCoの組成比
に多少のずれが生じる場合でも本発明の範囲から除外さ
れるものではない。
【0028】さらに、実施例および比較例にはPtとC
oの組成比が3:1(体積比)の場合を示したが、本発
明はこれに限定されるものではなく、用いる記録再生シ
ステムにより、所望の記録感度が得られるようにPtと
Coの組成比を変化させれば良い。
【0029】また成膜装置の都合上、実施例のように積
層周期を急峻に変化させ得ず、積層周期が連続的に変化
する場合も実施例とほぼ同等の効果が得られる。
【0030】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように本発明
によればキュリー温度を上げることなく磁気光学効果お
よび保磁力の大きな記録媒体が得られるため、短波長光
源および周辺光学系と組み合わせることにより高記録密
度、高CN比の光磁気記録を可能とするものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光磁気記録媒体の一実施態様を示す図
【符号の説明】
1:基板 2:人工格子膜のうち積層周期の短い部分(1) 3:人工格子膜のうち積層周期の長い部分(2)
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成3年10月7日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】 即ち本発明は、基板上に、Co層と、P
t層及び/又はPd層とが交互に積層した人工格子膜を
記録層とする光磁気記録媒体において、前記人工格子膜
の、基板側の部分(1)が他の部分(2)より積層周期
が短い人工格子膜であり、(1)の部分が人工格子膜の
総膜厚の10%以上80%以下の厚みであることを特徴
とする光磁気記録媒体に関するものである。次に本発明
を更に詳細に説明する。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】 本発明において、前記した積層周期を異
にする部分は、人工格子膜のうち基板側の部分(1)
と、それ以外の部分(2)であり、基板に近接し、人工
格子膜の総膜厚の10%以上80%以下の厚さの部分
(図1における(1)の部分)においては、Co/Pt
(及び/またはPd)の積層周期を短くし、それ以外の
部分(同(2)の部分)ではこれより長くしたことが特
徴である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上に、Co層と、Pt層及び/又はP
    d層とが交互に積層した人工格子膜を記録層とする光磁
    気記録媒体において、前記人工格子膜の、基板側の部分
    (1)が他の部分(2)より積層周期が短い人工格子膜
    であり、(1)の部分が総膜厚の10%以上80%以下
    の厚みであることを特徴とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】(1)の部分が、Co:0.5〜1.5原
    子層、Pt:1〜6原子層の人工格子からなる請求項1
    記載の光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】人工格子膜の、(2)の部分が、Co:1
    〜2.5原子層、Pt:2〜8原子層の人工格子からな
    り、かつ(1)の部分のそれより大きい値を採る請求項
    1又は2記載の光磁気記録媒体。
JP25864091A 1991-09-11 1991-09-11 光磁気記録媒体 Pending JPH0660448A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006039225A (ja) * 2004-07-27 2006-02-09 Kyoto Univ 記録媒体、記録方法、及び再生方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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