JPH0664979A - 陽極接合方法 - Google Patents
陽極接合方法Info
- Publication number
- JPH0664979A JPH0664979A JP4221501A JP22150192A JPH0664979A JP H0664979 A JPH0664979 A JP H0664979A JP 4221501 A JP4221501 A JP 4221501A JP 22150192 A JP22150192 A JP 22150192A JP H0664979 A JPH0664979 A JP H0664979A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating material
- anode
- cathode
- heater
- jointing
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- Granted
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- Ceramic Products (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外気温に左右されずに安定して陽極接合を進
行させることができ、また絶縁材の表面からのアルカリ
塩のこぼれ落ちや一時的な絶縁材の温度低下を引き起こ
すおそれのない陽極接合方法を提供する。 【構成】 陽極接合の陰極側に供給される液体電極とし
て、絶縁材加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱さ
れて溶融状態にあるアルカリ塩を使用する。
行させることができ、また絶縁材の表面からのアルカリ
塩のこぼれ落ちや一時的な絶縁材の温度低下を引き起こ
すおそれのない陽極接合方法を提供する。 【構成】 陽極接合の陰極側に供給される液体電極とし
て、絶縁材加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱さ
れて溶融状態にあるアルカリ塩を使用する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスやガラス
等の絶縁材の表面に金属やシリコン等を接合するために
使用される陽極接合方法に関するものである。
等の絶縁材の表面に金属やシリコン等を接合するために
使用される陽極接合方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体圧力センサー等の製造工程におい
ては、ガラス等の絶縁材の表面にシリコンウエハーを接
合するために陽極接合が行われている。この陽極接合方
法は、絶縁材の片面に陽極を接触させ、その反対面に陰
極を接触させて直流電流を通電し、絶縁材と陽極とを接
合させる方法である。そして陰極側には主として金属板
が使用されており、金属板と絶縁材との間に液体電極を
供給しつつ陽極接合を行っていた。
ては、ガラス等の絶縁材の表面にシリコンウエハーを接
合するために陽極接合が行われている。この陽極接合方
法は、絶縁材の片面に陽極を接触させ、その反対面に陰
極を接触させて直流電流を通電し、絶縁材と陽極とを接
合させる方法である。そして陰極側には主として金属板
が使用されており、金属板と絶縁材との間に液体電極を
供給しつつ陽極接合を行っていた。
【０００３】ところでこの液体電極としてはアルカリ塩
が使用されているが、従来はアルカリ塩を固体の状態で
供給しておき、陰極材料が絶縁材加熱用のヒータからの
熱を受けてアルカリ塩の溶融温度以上となるのを待ち、
徐々に溶解させながら接合を行っていた。しかしこの場
合には、アルカリ塩の溶融速度が外気温に左右され易い
こと、固体状態のアルカリ塩が絶縁材の表面からこぼれ
落ちて短絡事故を生じ易いこと、溶融含浸状態が確認し
にくくコントロールが容易でないこと、ヒータにより所
定温度に加熱された絶縁材から、アルカリ塩を溶融する
ために熱が奪われ、一時的に絶縁材の温度低下を招くこ
と等の問題があった。
が使用されているが、従来はアルカリ塩を固体の状態で
供給しておき、陰極材料が絶縁材加熱用のヒータからの
熱を受けてアルカリ塩の溶融温度以上となるのを待ち、
徐々に溶解させながら接合を行っていた。しかしこの場
合には、アルカリ塩の溶融速度が外気温に左右され易い
こと、固体状態のアルカリ塩が絶縁材の表面からこぼれ
落ちて短絡事故を生じ易いこと、溶融含浸状態が確認し
にくくコントロールが容易でないこと、ヒータにより所
定温度に加熱された絶縁材から、アルカリ塩を溶融する
ために熱が奪われ、一時的に絶縁材の温度低下を招くこ
と等の問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決して、外気温に左右されずに安定して陽
極接合を進行させることができ、また絶縁材の表面から
のアルカリ塩のこぼれ落ちや一時的な絶縁材の温度低下
を引き起こすおそれのない陽極接合方法を提供するため
に完成されたものである。
の問題点を解決して、外気温に左右されずに安定して陽
極接合を進行させることができ、また絶縁材の表面から
のアルカリ塩のこぼれ落ちや一時的な絶縁材の温度低下
を引き起こすおそれのない陽極接合方法を提供するため
に完成されたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明の陽極接合方法は、絶縁材の片面に
陽極を接触させ、その反対面に陰極を接触させて直流電
流を通電し、絶縁材と陽極とを接合させる陽極接合方法
において、陰極側に供給される液体電極として、絶縁材
加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱されて溶融状
態にあるアルカリ塩を使用することを特徴とするもので
ある。
めになされた本発明の陽極接合方法は、絶縁材の片面に
陽極を接触させ、その反対面に陰極を接触させて直流電
流を通電し、絶縁材と陽極とを接合させる陽極接合方法
において、陰極側に供給される液体電極として、絶縁材
加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱されて溶融状
態にあるアルカリ塩を使用することを特徴とするもので
ある。
【０００６】
【実施例】以下に本発明を図示の実施例によって更に詳
細に説明する。図中、１はガラスやセラミックスのよう
な絶縁材、２は絶縁材１の片面に接触させた陽極であ
る。半導体圧力センサーの場合には絶縁材１はガラスで
あり、陽極２はシリコンウエハーである。３は絶縁材１
の反対面に接触させた陰極であり、本実施例ではこの陰
極３として多孔質板を使用している。この多孔質板は、
液体電極として使用されるアルカリ塩と反応しないこ
と、接合温度以上の耐熱性があること、所定の大きさに
加工し易いことなどの条件を満たすものであることが必
要で、実施例では無機繊維（クロス、ウイスカー、ファ
イバー）を板状としたものが使用されている。
細に説明する。図中、１はガラスやセラミックスのよう
な絶縁材、２は絶縁材１の片面に接触させた陽極であ
る。半導体圧力センサーの場合には絶縁材１はガラスで
あり、陽極２はシリコンウエハーである。３は絶縁材１
の反対面に接触させた陰極であり、本実施例ではこの陰
極３として多孔質板を使用している。この多孔質板は、
液体電極として使用されるアルカリ塩と反応しないこ
と、接合温度以上の耐熱性があること、所定の大きさに
加工し易いことなどの条件を満たすものであることが必
要で、実施例では無機繊維（クロス、ウイスカー、ファ
イバー）を板状としたものが使用されている。
【０００７】多孔質板の中央部には液体電極供給口４が
形成されている。この液体電極供給口４の周囲には液体
電極加熱用のヒータ５が設けられており、液体電極であ
るアルカリ塩を加熱して溶融状態としたうえで陰極３の
表面に供給する。また陽極２と陰極３はリード線６、７
によって直流電源８に接続され、200 〜2000Ｖ程度の直
流電圧が印加される。９は絶縁材１の周囲に設けられた
絶縁材加熱用のヒータであり、絶縁材１を300 〜400 ℃
に加熱している。これらの液体電極加熱用のヒータ５と
絶縁材加熱用のヒータ９とは独立してコントロールが可
能なものとされている。
形成されている。この液体電極供給口４の周囲には液体
電極加熱用のヒータ５が設けられており、液体電極であ
るアルカリ塩を加熱して溶融状態としたうえで陰極３の
表面に供給する。また陽極２と陰極３はリード線６、７
によって直流電源８に接続され、200 〜2000Ｖ程度の直
流電圧が印加される。９は絶縁材１の周囲に設けられた
絶縁材加熱用のヒータであり、絶縁材１を300 〜400 ℃
に加熱している。これらの液体電極加熱用のヒータ５と
絶縁材加熱用のヒータ９とは独立してコントロールが可
能なものとされている。
【０００８】接合に当たっては、まず絶縁材加熱用のヒ
ータ９により絶縁材１を300 〜400℃に加熱し、アルカ
リ塩の融点以上まで加熱されたときに液体電極加熱用の
ヒータ５によってアルカリ塩を加熱溶融させ、液体状態
で液体電極供給口４から陰極３である多孔質板の表面に
供給する。これとともに直流電源８により陽極２と陰極
３に電圧を印加することにより、液体電極が多孔質板に
しみ込み、絶縁材１の表面に拡散した部分から陽極接合
が始まり、液体電極の拡散に連れて接合部分は次第に外
周に向かって広がっていく。
ータ９により絶縁材１を300 〜400℃に加熱し、アルカ
リ塩の融点以上まで加熱されたときに液体電極加熱用の
ヒータ５によってアルカリ塩を加熱溶融させ、液体状態
で液体電極供給口４から陰極３である多孔質板の表面に
供給する。これとともに直流電源８により陽極２と陰極
３に電圧を印加することにより、液体電極が多孔質板に
しみ込み、絶縁材１の表面に拡散した部分から陽極接合
が始まり、液体電極の拡散に連れて接合部分は次第に外
周に向かって広がっていく。
【０００９】このように、本発明ではアルカリ塩を絶縁
材加熱用のヒータ９とは別のヒータ５により加熱して溶
融状態としたうえで陰極側に供給するので、従来のよう
にアルカリ塩の溶融時間が外気温により左右されること
がなくなり、一定時間内の溶融が可能となる。このため
に陽極接合を溶融時間に関係なく安定して行うことが可
能となる。また、アルカリ塩を溶融状態で供給するので
その供給量のコントロールが容易となるうえ、固体状態
のアルカリ塩が絶縁材１の表面からこぼれ落ちるような
トラブルも防止できることとなる。なお、上記の実施例
では陰極３を絶縁材１の上側に配置したが、上下を逆と
しても差支えはない。
材加熱用のヒータ９とは別のヒータ５により加熱して溶
融状態としたうえで陰極側に供給するので、従来のよう
にアルカリ塩の溶融時間が外気温により左右されること
がなくなり、一定時間内の溶融が可能となる。このため
に陽極接合を溶融時間に関係なく安定して行うことが可
能となる。また、アルカリ塩を溶融状態で供給するので
その供給量のコントロールが容易となるうえ、固体状態
のアルカリ塩が絶縁材１の表面からこぼれ落ちるような
トラブルも防止できることとなる。なお、上記の実施例
では陰極３を絶縁材１の上側に配置したが、上下を逆と
しても差支えはない。
【００１０】
【発明の効果】以上に詳細に説明したように、本発明の
陽極接合方法は、陰極側に供給される液体電極として、
絶縁材加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱されて
溶融状態にあるアルカリ塩を使用したので、外気温に関
係なく一定の速度で接合を行えること、固体状態のアル
カリ塩が絶縁材の表面からこぼれ落ちることによる短絡
事故を防止できること、アルカリ塩の供給量のコントロ
ールが容易なこと、絶縁材の温度低下を生じないこと等
の利点を有する。よって本発明は従来の問題点を解決し
た陽極接合方法として、産業の発展に寄与するところは
極めて大きいものである。
陽極接合方法は、陰極側に供給される液体電極として、
絶縁材加熱用のヒータとは別のヒータにより加熱されて
溶融状態にあるアルカリ塩を使用したので、外気温に関
係なく一定の速度で接合を行えること、固体状態のアル
カリ塩が絶縁材の表面からこぼれ落ちることによる短絡
事故を防止できること、アルカリ塩の供給量のコントロ
ールが容易なこと、絶縁材の温度低下を生じないこと等
の利点を有する。よって本発明は従来の問題点を解決し
た陽極接合方法として、産業の発展に寄与するところは
極めて大きいものである。
【図１】本発明の陽極接合方法を説明する断面図であ
る。
る。
１ 絶縁材 ２ 陽極 ３ 陰極 ４ 液体電極供給口 ５ 液体電極加熱用のヒータ ９ 絶縁材加熱用のヒータ
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁材の片面に陽極を接触させ、その反
対面に陰極を接触させて直流電流を通電し、絶縁材と陽
極とを接合させる陽極接合方法において、陰極側に供給
される液体電極として、絶縁材加熱用のヒータとは別の
ヒータにより加熱されて溶融状態にあるアルカリ塩を使
用することを特徴とする陽極接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4221501A JP2519635B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 陽極接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4221501A JP2519635B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 陽極接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0664979A true JPH0664979A (ja) | 1994-03-08 |
| JP2519635B2 JP2519635B2 (ja) | 1996-07-31 |
Family
ID=16767703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4221501A Expired - Lifetime JP2519635B2 (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 陽極接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519635B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229865A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Ishizuka Glass Ltd | 陽極接合方法 |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP4221501A patent/JP2519635B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229865A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Ishizuka Glass Ltd | 陽極接合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2519635B2 (ja) | 1996-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960202 |