JPH0665654U - 昇降駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 無端伝動ベルト３０が破断した場合はもとよ
り、無端伝動ベルト３０の破断を予知して未然に事故を
防止し、場所的余裕がない場合にも、容易に実施できる
ようにし、付随する制御回路を不要にしてコストアップ
を抑制する。 【構成】 無端伝動ベルト３０の弛み又は破断を検出し
て昇降螺軸２５の下降回転を阻止する回転阻止機構３１
を付設する。この回転阻止機構３１は、揺動アーム３２
と、この揺動アーム３２の先端部に設けられた転動コロ
３３と、この転動コロ３３を揺動アーム３２を介して無
端伝動ベルト３０に圧接する付勢バネ３５と、従動プー
リ２９の端面の偏心位置に立設した当接ピン３７と、上
記揺動アーム３２に形成されて揺動アーム３２の異常揺
動により上記当接ピン３７を受け止めるピン係止部３８
とにより構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は昇降駆動装置に関し、例えば半導体基板や液晶用ガラス基板（以下 単に基板という）等を搬送する基板搬送ユニットなどに用いられる昇降駆動装置 に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図２は、従来の昇降駆動装置を備えた基板搬送ユニットの概略構成を示す分解 斜視図である。 この基板搬送ユニットは、移動装置１０とアーム昇降駆動装置２０とアーム進 退駆動装置４０とから構成されている。

【０００３】 上記移動装置１０は、一対のガイドレール１２・１２上に摺動自在に組み付け られた可動ベース１１と、ガイドレール１２に並設された螺軸１３と、この螺軸 １３の一端部に連結された図示しないモータとを具備して成り、そのモータを正 逆回転駆動することにより、可動ベース１１をガイドレール１２に沿って水平移 動させるように構成されている。この可動ベース１１上に前記アーム昇降駆動装 置２０が搭載されている。

【０００４】 上記アーム昇降駆動装置２０は、可動ベース１１上に立設された門形フレーム ２１と、この門形フレーム２１に上下方向にわたって架設された一対の昇降ガイ ド軸２２と、この昇降ガイド軸２２に摺動自在に組み付けられた昇降部材２３と 、昇降ガイド軸２２に並設されて昇降部材２３を昇降駆動する昇降螺軸２５と、 門形フレーム２１の梁部材２１ａに取り付けられた駆動モータ２６と、駆動モー タ２６の駆動プーリ２８と昇降螺軸２５の従動プーリ２９とに巻掛けられた無端 伝動ベルト３０とを具備して成り、上記駆動モータ２６を正逆回転駆動すること により、昇降部材２３を昇降させるように構成されている。なお、図中の符号２ ７は駆動モータ２６に一体に組付けられた電磁ブレーキである。上記昇降部材２ ３には一対のブラケット２４・２４が設けられており、このブラケット２４の上 に後述するアーム進退駆動装置４０が設けられている。

【０００５】 アーム進退駆動装置４０は、上記ブラケット２４の上に組付けられたベース板 ４１と、このベース板４１の上に、前記可動ベース１１の移動方向Ａと直交する 方向に設けられたガイドレール４２と、このガイドレール４２に沿って摺動自在 に組付けられたアーム基台４３と、このアーム基台４３に立設されたアーム支柱 ４４及び基板保持アーム４５と、上記ベース板４１の下側に取り付けられた駆動 モータ４６と、駆動モータ４６の駆動プーリ４７と従動軸とに巻掛けられた無端 伝動ベルト５０と、一対の従動プーリ４８ａ・４８ｂに巻掛けられ、アーム基台 ４３を連結した無端伝動ベルト５１とを具備して成り、駆動モータ４６を正逆回 転駆動することにより、アーム基台４３を前後方向に進退させるように構成され ている。なお、図中の符号４５ａは基板Ｗを吸着保持する吸着孔、５２は光セン サであり、アーム基台４３から水平に延出された遮光板５３を光センサ５２で検 出することにより、基板保持アーム４５の原点位置を検出するように構成されて いる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

従来の昇降駆動装置２０では、駆動モータ２６が停止したときに、前記昇降部 材２３の自重により昇降螺軸２５が下降回転して昇降部材２３が下降するのを阻 止するため、駆動モータ２６に電磁ブレーキ２７が組付けられている。 しかし、この従来技術では無端伝動ベルト３０が弛んだり破断した場合に、昇 降部材２３の自重により昇降螺軸２５が下降回転して昇降部材２３が下降するの を阻止することはできない。昇降部材２３が下降すると昇降駆動制御が乱れ、基 板Ｗの破断やその他の事故を誘発することとなる。

【０００７】 このような事故を未然に防止するには、無端伝動ベルト３０の弛みを防止する テンションローラを付設したり、昇降部材２３の自重を相殺するバランサを付設 することが考えられる。 しかし、テンションローラを付設するだけでは、無端伝動ベルト３０が破断し たときには用をなさない。また、昇降部材２３の自重を相殺するバランサを付設 する場合において、質量バランサを付設する場合には、昇降部材２３に匹敵する 質量のバランサを付設する必要があるため、質量バランサを付設する場所的余裕 がない場合には実施できない。また、バネバランサを付設することで質量バラン サの欠点をある程度解消できるが、この場合にも、無端伝動ベルト３０が破断し たときには用をなさない。

【０００８】 本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、 無端伝動ベルト３０が破断した場合はもとより、無端伝動ベルト３０の破断 を予知して未然に事故を防止すること、 場所的余裕がない場合にも、容易に実施できようにすること、 付随する制御回路を不要にして、コストアップを抑制すること、 を技術課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、本考案が採用した手段は、 駆動モータと、駆動モータの回転を阻止する電磁ブレーキと、回転可能に立設 された昇降螺軸と、駆動モータの駆動プーリと昇降螺軸の従動プーリとに巻掛け られた無端伝動ベルトと、昇降螺軸により昇降する昇降部材とを具備して成る昇 降駆動装置において、 上記無端伝動ベルトの弛み又は破断を検出して昇降螺軸の下降回転を阻止する 回転阻止機構を具備して成り、この回転阻止機構は、水平揺動自在に軸支された 揺動アームと、この揺動アームの先端部に設けられた転動コロと、この転動コロ を揺動アームを介して前記無端伝動ベルトに圧接する付勢バネとにより、無端伝 動ベルトの弛み又は破断に基づく揺動アームの異常揺動を検出可能に構成し、前 記従動プーリの端面の偏心位置に立設した当接ピンと、上記揺動アームに形成さ れて上記揺動アームの異常揺動により上記当接ピンを受け止めるピン係止部とに より、前記昇降螺軸の下降回転を阻止するように構成したことを要旨とするもの である。

【００１０】

【作 用】

本考案は、以下のように作用する。 無端伝動ベルトの弛み又は破断が生じていない状態において、駆動モータが停 止したときには、駆動モータに組付けられている電磁ブレーキ２７が作動して、 駆動モータの自由回転を防止し、昇降螺軸が下降回転するのを阻止する。これに より、昇降部材２３が自重で下降するのを阻止する。このとき、上記回転阻止機 構は作動しない。 無端伝動ベルトの弛み又は破断が生じた場合には、揺動アームの先端部に設け られた転動コロと揺動アームが付勢バネの付勢力により異常揺動する。すると従 動プーリの端面の偏心位置に立設した当接ピンが、揺動アームに形成されたピン 係止部で受け止められるとにより、前記昇降螺軸の下降回転を阻止する。これに より、昇降部材２３が自重で下降するのを阻止する。

【００１１】

【実施例】

以下本考案の実施例を図面に基づいてさらに詳しく説明する。 図１は本考案の実施例に係る昇降駆動装置の斜視図である。符号２０は、昇降 駆動装置全体を示し、この昇降駆動装置２０は、前記基板搬送ユニットのアーム 昇降駆動装置として構成され、前記従来例と同様の基本構造を有する。

【００１２】 即ち、この昇降駆動装置２０は、駆動モータ２６と、駆動モータ２６の回転を 阻止する電磁ブレーキ２７と、回転可能に立設された昇降螺軸２５と、駆動モー タ２６の駆動プーリ２８と昇降螺軸２５の従動プーリ２９とに巻掛けられた無端 伝動ベルト３０と、昇降螺軸２５により昇降する昇降部材２３とを具備して成る。 なお、図１に示す符号のうち、図２に示すものと同一の符号は同一部材を示す。

【００１３】 本考案では、昇降螺軸２５の下降回転を阻止する手段として、電磁ブレーキ２ ７の他に、回転阻止機構３１を有する。 この回転阻止機構３１は、梁部材２１ａの上面に立設された支軸３４と、この 支軸３４によって水平揺動自在に軸支された揺動アーム３２と、この揺動アーム ３２の先端部３２ａの下面に設けられた転動コロ３３と、この転動コロ３３を揺 動アーム３２を介して前記無端伝動ベルト３０の外側面に圧接する付勢バネ３５ と、前記従動プーリ２９の上側端面の偏心位置に立設した当接ピン３７と、上記 揺動アーム３２に形成されたピン係止部３８とから成る。なお、付勢バネ３５は 、揺動アーム３２の他端部３２ｂと梁部材２１ａの上面に立設されたバネ掛止具 ３６とにわたって架着されている。

【００１４】 本実施例装置は、以下のように作用する。 無端伝動ベルト３０の弛み又は破断が生じていない状態において、駆動モータ ２６が停止したときには、駆動モータ２６に組付けられている電磁ブレーキ２７ が作動して、駆動モータ２６の自由回転を防止し、昇降螺軸２５が下降回転する のを阻止する。これにより、昇降部材２３が自重で下降するのを阻止する。この とき、上記回転阻止機構３１は作動しないが、無端伝動ベルト３０に圧接してい る転動コロ３３がテンションローラとして作用する。

【００１５】 無端伝動ベルト３０の弛み又は破断が生じた場合には、揺動アーム３２の先端 部に設けられた転動コロ３３と揺動アーム３２は、２点鎖線で示すように、付勢 バネ３５の付勢力により従動プーリ２９の上側をその軸心方向へ大きく異常移動 する。すると従動プーリ２９の上側端面の偏心位置に立設した当接ピン３７が、 揺動アーム３２に形成されたピン係止部３８で受け止められ、昇降螺軸２５の下 降回転を阻止する。これにより、昇降部材２３が自重で下降するのを阻止する。

【００１６】 なお、上昇回転中に無端伝動ベルト３０が破断した場合には、従動プーリ２９ の惰性回転が停止した後、引き続き従動プーリ２９が下降回転しようとするが、 上記と同様にピン係止部３８で当接ピン３７を受け止め、昇降螺軸２５の下降回 転を阻止する。 この実施例装置によれば、専用の制御回路等はなくても、無端伝動ベルトの弛 みや破断が生じた場合にのみ作動して、昇降部材２３が自重で下降するのを確実 に阻止することができる。また、転動コロ３３を既存のテンションローラに代替 させることもできる。従って、場所的余裕がない場合でも簡単な改造で容易に実 施できる。

【００１７】 なお、本考案は上記実施例に限るものではなく、適宜変更を加えて実施し得る ことは多言を要しない。 例えば、揺動アーム３２の異常揺動を検出するセンサーを付設して、警報ブザ ー・警報灯等の警報器を併設しても良い。 また、上記実施例装置とともに、直接無端伝動ベルトの弛みや破断を検出する センサーを多段に併設して確実に事故を防止するようにしても良い。

【００１８】

【考案の効果】

本考案によれば、以下の効果を奏する。 無端伝動ベルト３０が破断した場合はもとより、弛みを検出することにより 無端伝動ベルト３０の破断を予知して未然に事故を防止することができる。 バランサ等を設ける必要はないので、場所的余裕がない場合でも簡単な改造 で容易に実施できる。 専用の制御回路等はなくても、無端伝動ベルトの弛みや破断が生じた場合に のみ確実に作動して昇降螺軸の下降回転を阻止するので、付随する制御回路を 不要にして、コストアップを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係る昇降駆動装置の斜視図で
ある。

【図２】従来例に係る昇降駆動装置を備えた基板搬送ユ
ニットの概略構成を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

２０…昇降駆動装置、 ２３…昇降部材、 ２５
…昇降螺軸、２６…駆動モータ、 ２７…電磁ブレー
キ、 ２８…駆動プーリ、２９…従動プーリ、 ３
０…無端伝動ベルト、 ３１…回転阻止機構、３２…揺
動アーム、 ３３…転動コロ、 ３５…付勢バ
ネ、３７…当接ピン、 ３８…ピン係止部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動モータと、駆動モータの回転を阻止
   する電磁ブレーキと、回転可能に立設された昇降螺軸
   と、駆動モータの駆動プーリと昇降螺軸の従動プーリと
   に巻掛けられた無端伝動ベルトと、昇降螺軸により昇降
   する昇降部材と、を具備して成る昇降駆動装置におい
   て、 上記無端伝動ベルトの弛み又は破断を検出して昇降螺軸
   の下降回転を阻止する回転阻止機構を具備して成り、 前記回転阻止機構は、水平揺動自在に軸支された揺動ア
   ームと、この揺動アームの先端部に設けられた転動コロ
   と、この転動コロを揺動アームを介して前記無端伝動ベ
   ルトに圧接する付勢バネとにより、無端伝動ベルトの弛
   み又は破断に基づく揺動アームの異常揺動を検出可能に
   構成し、 前記従動プーリの端面の偏心位置に立設した当接ピン
   と、上記揺動アームに形成されて上記揺動アームの異常
   揺動により上記当接ピンを受け止めるピン係止部とによ
   り、前記昇降螺軸の下降回転を阻止するように構成した
   ことを特徴とする昇降駆動装置。