JPH0671532A - 可動体の微振動抑制方法と装置 - Google Patents
可動体の微振動抑制方法と装置Info
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- JPH0671532A JPH0671532A JP4248799A JP24879992A JPH0671532A JP H0671532 A JPH0671532 A JP H0671532A JP 4248799 A JP4248799 A JP 4248799A JP 24879992 A JP24879992 A JP 24879992A JP H0671532 A JPH0671532 A JP H0671532A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 たとえば精密位置決め装置などにおける可動
体に発生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微振動、
抑制方法とそれに用いる装置を提供する。 【構成】 固定台１２ａに対するスライドテーブル１６
ａの相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基
づき、スライドテーブル１６ａに慣性反力を印加するこ
とにより、スライドテーブル１６ａの微振動を抑制す
る。固定台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相
対加速度信号は、固定台１２ａおよびスライドテーブル
１６ａのそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力
差として検出される。また、慣性反力は、スライドテー
ブル１６ａに取り付けられたアクチュエータ３８ａを駆
動し、慣性質量４０ａをスライドテーブル１６ａに対し
て相対移動させることにより生成される。
体に発生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微振動、
抑制方法とそれに用いる装置を提供する。 【構成】 固定台１２ａに対するスライドテーブル１６
ａの相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基
づき、スライドテーブル１６ａに慣性反力を印加するこ
とにより、スライドテーブル１６ａの微振動を抑制す
る。固定台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相
対加速度信号は、固定台１２ａおよびスライドテーブル
１６ａのそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力
差として検出される。また、慣性反力は、スライドテー
ブル１６ａに取り付けられたアクチュエータ３８ａを駆
動し、慣性質量４０ａをスライドテーブル１６ａに対し
て相対移動させることにより生成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば精密位置決め
装置などにおける可動体の微震動を抑制することが可能
な可動体の微震動抑制方法と装置に関する。
装置などにおける可動体の微震動を抑制することが可能
な可動体の微震動抑制方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】精密位置決め装置などにおいては、スラ
イドテーブルなどの可動体の停止精度を高めるために、
可動体の移動中および停止後の微震動を極力抑制する必
要がある。このような微震動を抑制するために、従来で
は、可動体の駆動機構の剛性を向上させる方法、外乱振
動の除去を行う方法、駆動体の制御方法を改善する方
法、位置決め分解能を向上させる方法などにより改善が
図られている。
イドテーブルなどの可動体の停止精度を高めるために、
可動体の移動中および停止後の微震動を極力抑制する必
要がある。このような微震動を抑制するために、従来で
は、可動体の駆動機構の剛性を向上させる方法、外乱振
動の除去を行う方法、駆動体の制御方法を改善する方
法、位置決め分解能を向上させる方法などにより改善が
図られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、位置決め基準尺度の最小分解能以
下の微震動を除去することはできない。また、仮にこの
最小分解能を高めたとしても、駆動源から可動部へ至る
機械系の弾性、摩擦および可動部の質量などによる比較
的高い周波数の微震動を抑制することは困難である。す
なわち、駆動部や位置検出部の分解能がどれだけ高性能
であっても、微震などにより正確な位置決めができない
のでは、装置全体の性能は悪いといえる。よって、この
微震動の制振が超精密位置決めを行うことに関してきわ
めて重要である。
うな従来の方法では、位置決め基準尺度の最小分解能以
下の微震動を除去することはできない。また、仮にこの
最小分解能を高めたとしても、駆動源から可動部へ至る
機械系の弾性、摩擦および可動部の質量などによる比較
的高い周波数の微震動を抑制することは困難である。す
なわち、駆動部や位置検出部の分解能がどれだけ高性能
であっても、微震などにより正確な位置決めができない
のでは、装置全体の性能は悪いといえる。よって、この
微震動の制振が超精密位置決めを行うことに関してきわ
めて重要である。
【０００４】一方、精密位置決め装置が設置される固定
台の外乱による振動を、エアダンパを用いて受動的に除
去する方法が知られている。また、図６に示すように、
固定体１に対して移動する可動体２に対し、スプリング
およびダンパから成る制振手段４，４を連結すると共
に、ピエゾアクチュエータ６を連結し、このアクチュエ
ータ６によりアクティブに制振を行う方法も知られてい
る。
台の外乱による振動を、エアダンパを用いて受動的に除
去する方法が知られている。また、図６に示すように、
固定体１に対して移動する可動体２に対し、スプリング
およびダンパから成る制振手段４，４を連結すると共
に、ピエゾアクチュエータ６を連結し、このアクチュエ
ータ６によりアクティブに制振を行う方法も知られてい
る。
【０００５】ところが、前者のパッシブ型の制振方法で
は、構成が比較的単純であるが、制振対象の各種物理量
が変化したときには、制振効果を維持することは困難で
ある。また、後者の従来のアクティブ型の制振方法で
は、制振対象の各種物理量がある程度変化した場合でも
制振効果を維持することができるが、構成が一般に複雑
になると共に、制振対象である可動体２が、固定体１に
対して数μｍ程度の相対移動しかできず、自由な相対移
動ができないという問題点を有している。
は、構成が比較的単純であるが、制振対象の各種物理量
が変化したときには、制振効果を維持することは困難で
ある。また、後者の従来のアクティブ型の制振方法で
は、制振対象の各種物理量がある程度変化した場合でも
制振効果を維持することができるが、構成が一般に複雑
になると共に、制振対象である可動体２が、固定体１に
対して数μｍ程度の相対移動しかできず、自由な相対移
動ができないという問題点を有している。
【０００６】本発明は、このような実状に鑑みてなさ
れ、たとえば精密位置決め装置などにおける可動体に発
生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微震動、可動体
の駆動部の追従周波数を越える微震動、および位置決め
時の残留振動を抑制することが可能であり、しかも、各
種物理量が変化したとしても制振効果を維持し、可動体
の自由な相対移動をも可能とする可動体の微震動抑制方
法とそれに用いる装置を提供することを目的とする。
れ、たとえば精密位置決め装置などにおける可動体に発
生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微震動、可動体
の駆動部の追従周波数を越える微震動、および位置決め
時の残留振動を抑制することが可能であり、しかも、各
種物理量が変化したとしても制振効果を維持し、可動体
の自由な相対移動をも可能とする可動体の微震動抑制方
法とそれに用いる装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の微震動抑制方法は、固定体に対する可動体
の相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基づ
き、可動体に慣性反力を印加することにより、可動体の
微震動を抑制することを特徴とする。固定体に対する可
動体の相対加速度信号は、たとえば、固定体および可動
体のそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力差と
して検出される。また、慣性反力は、たとえば、可動体
に取り付けられたアクチュエータを駆動し、アクチュエ
ータに取り付けられた慣性質量を、可動体に対して相対
移動させることにより生成される。
に、本発明の微震動抑制方法は、固定体に対する可動体
の相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基づ
き、可動体に慣性反力を印加することにより、可動体の
微震動を抑制することを特徴とする。固定体に対する可
動体の相対加速度信号は、たとえば、固定体および可動
体のそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力差と
して検出される。また、慣性反力は、たとえば、可動体
に取り付けられたアクチュエータを駆動し、アクチュエ
ータに取り付けられた慣性質量を、可動体に対して相対
移動させることにより生成される。
【０００８】本発明の微震動抑制装置は、固定体に取り
付けられた固定体加速度検出手段と、可動体に取り付け
られた可動体加速度検出手段と、これら加速度検出手段
の出力差から、固定体に対する可動体の相対加速度を検
出する相対加速度検出手段と、可動体に取り付けられた
アクチュエータと、このアクチュエータに取り付けられ
た慣性質量と、上記相対加速度検出手段により検出され
た相対加速度信号に基づき、アクチュエータへ制御信号
を送り、可動体の微震動を抑制する方向に慣性反力を生
じさせるように、慣性質量を可動体に対して相対移動さ
せるアクチュエータ制御手段とを有する。
付けられた固定体加速度検出手段と、可動体に取り付け
られた可動体加速度検出手段と、これら加速度検出手段
の出力差から、固定体に対する可動体の相対加速度を検
出する相対加速度検出手段と、可動体に取り付けられた
アクチュエータと、このアクチュエータに取り付けられ
た慣性質量と、上記相対加速度検出手段により検出され
た相対加速度信号に基づき、アクチュエータへ制御信号
を送り、可動体の微震動を抑制する方向に慣性反力を生
じさせるように、慣性質量を可動体に対して相対移動さ
せるアクチュエータ制御手段とを有する。
【０００９】また、本発明の精密位置決め装置は、固定
体と、固定体に対して精密に位置決めされて相対移動す
る可動体と、上記固定体に取り付けられた固定体加速度
検出手段と、上記可動体に取り付けられた可動体加速度
検出手段と、これら加速度検出手段の出力差から、固定
体に対する可動体の相対加速度を検出する相対加速度検
出手段と、可動体に取り付けられたアクチュエータと、
このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、上記
相対加速度検出手段により検出された相対加速度信号に
基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体の微
震動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるように、慣
性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュエータ
制御手段とを有する。
体と、固定体に対して精密に位置決めされて相対移動す
る可動体と、上記固定体に取り付けられた固定体加速度
検出手段と、上記可動体に取り付けられた可動体加速度
検出手段と、これら加速度検出手段の出力差から、固定
体に対する可動体の相対加速度を検出する相対加速度検
出手段と、可動体に取り付けられたアクチュエータと、
このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、上記
相対加速度検出手段により検出された相対加速度信号に
基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体の微
震動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるように、慣
性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュエータ
制御手段とを有する。
【００１０】
【作用】本発明の方法は、基本的にはアクティブ型の制
振方法に分類される。したがって、パッシブ型の制振方
法と異なり、制振対象の各種物理量が変化したとして
も、制振効果を維持することが可能である。しかも、従
来のアクティブ型の制振方法と異なり、可動体に取り付
けられた慣性質量の慣性反力を利用して、可動体の振動
を抑制する構成であるため、可動体は、固定体に対して
自由な相対移動が可能である。
振方法に分類される。したがって、パッシブ型の制振方
法と異なり、制振対象の各種物理量が変化したとして
も、制振効果を維持することが可能である。しかも、従
来のアクティブ型の制振方法と異なり、可動体に取り付
けられた慣性質量の慣性反力を利用して、可動体の振動
を抑制する構成であるため、可動体は、固定体に対して
自由な相対移動が可能である。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る可動体の微震
動抑制方法と装置について、図面を参照しつつ詳細に説
明する。図１は本発明の一実施例に係る可動体の微震動
抑制装置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面
図、図２は同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視
図、図３は同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状
態を示す概略図、図４は同実施例に係る微震動抑制装置
のブロック図、図５は本発明に係る可動体の微震動抑制
方法の概念を示す概略図である。
動抑制方法と装置について、図面を参照しつつ詳細に説
明する。図１は本発明の一実施例に係る可動体の微震動
抑制装置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面
図、図２は同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視
図、図３は同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状
態を示す概略図、図４は同実施例に係る微震動抑制装置
のブロック図、図５は本発明に係る可動体の微震動抑制
方法の概念を示す概略図である。
【００１２】図１，２に示すように、本発明の一実施例
に係る精密位置決め装置１０は、固定体としての固定台
１２上に、スライドレール１４，１４を有している。こ
のスライドレール１４，１４上には、可動体としての可
動テーブル１６が、レール１４，１４に沿ってスライド
移動自在に設置してある。
に係る精密位置決め装置１０は、固定体としての固定台
１２上に、スライドレール１４，１４を有している。こ
のスライドレール１４，１４上には、可動体としての可
動テーブル１６が、レール１４，１４に沿ってスライド
移動自在に設置してある。
【００１３】可動テーブル１６には、板バネジョイント
１８を介して駆動アーム２０が連結してある。駆動アー
ム２０は、駆動源２２により駆動される。駆動源２２
は、たとえば、図２に示すように、ＤＣモータ２４と、
減速器２６と、駆動ローラ２８と、従動ローラ３０とか
ら成る。ＤＣモータ２４には、タコジェネレータ３２が
連結してある。ＤＣモータ２４の回転力は、減速器２６
を介して駆動ローラ２８へ伝わり、この駆動ローラ２８
が駆動アーム２０を軸方向に移動させるようになってい
る。駆動アーム２０が軸方向に移動することにより、ス
ライドテーブル１６がレール１４に沿って移動するよう
になっている。
１８を介して駆動アーム２０が連結してある。駆動アー
ム２０は、駆動源２２により駆動される。駆動源２２
は、たとえば、図２に示すように、ＤＣモータ２４と、
減速器２６と、駆動ローラ２８と、従動ローラ３０とか
ら成る。ＤＣモータ２４には、タコジェネレータ３２が
連結してある。ＤＣモータ２４の回転力は、減速器２６
を介して駆動ローラ２８へ伝わり、この駆動ローラ２８
が駆動アーム２０を軸方向に移動させるようになってい
る。駆動アーム２０が軸方向に移動することにより、ス
ライドテーブル１６がレール１４に沿って移動するよう
になっている。
【００１４】スライドテーブル１６の位置決めは、スラ
イドテーブル１６の移動位置を高精度なレーザスケール
などにより読み取り、その位置情報によりＤＣモータを
制御することにより行う。スライドテーブル１６の駆動
制御方式は、特に限定されず、摩擦駆動方式を用いたＮ
Ｃによるクローズドループのサーボ制御が用いられる。
イドテーブル１６の移動位置を高精度なレーザスケール
などにより読み取り、その位置情報によりＤＣモータを
制御することにより行う。スライドテーブル１６の駆動
制御方式は、特に限定されず、摩擦駆動方式を用いたＮ
Ｃによるクローズドループのサーボ制御が用いられる。
【００１５】本実施例では、固定台１２上に、固定体加
速度センサ３４が設置してあり、スライドテーブル１６
上に、可動体加速度センサ３６が設置してある。これら
加速度センサ３４，３６は、たとえば１０-5Ｇ（９．８
×１０-5ｍ／SEC 2 ）レベルの検出が可能なサーボ型加
速度センサである。これら加速度センサ３４，３６は、
図３に示すように、スライドテーブルの移動方向に対し
て重力加速度の分力を出力させないように、取り付け台
座４２上に固定し、この取り付け台座４２が調節ネジ４
４によりピッチ方向Ａに移動可能になっている。
速度センサ３４が設置してあり、スライドテーブル１６
上に、可動体加速度センサ３６が設置してある。これら
加速度センサ３４，３６は、たとえば１０-5Ｇ（９．８
×１０-5ｍ／SEC 2 ）レベルの検出が可能なサーボ型加
速度センサである。これら加速度センサ３４，３６は、
図３に示すように、スライドテーブルの移動方向に対し
て重力加速度の分力を出力させないように、取り付け台
座４２上に固定し、この取り付け台座４２が調節ネジ４
４によりピッチ方向Ａに移動可能になっている。
【００１６】スライドテーブル１６上には、アクチュエ
ータ３８が固定してある。アクチュエータ３８として
は、特に限定されないが、ピエゾ型圧電素子が用いられ
る。アクチュエータ３８の先端には、慣性質量４０が装
着してあり、アクチュエータ３８により駆動されるよう
になっている。
ータ３８が固定してある。アクチュエータ３８として
は、特に限定されないが、ピエゾ型圧電素子が用いられ
る。アクチュエータ３８の先端には、慣性質量４０が装
着してあり、アクチュエータ３８により駆動されるよう
になっている。
【００１７】上記加速度センサ３４，３６は、図４に示
すように、差動増幅回路４６に接続してある。差動増幅
回路４６では、これら加速度センサ３４，３６からの出
力が入力され、これらの加速度情報を差分することによ
り、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対加
速度が算出される。この相対加速度情報は、特性補償回
路４８へ入力するようになっている。
すように、差動増幅回路４６に接続してある。差動増幅
回路４６では、これら加速度センサ３４，３６からの出
力が入力され、これらの加速度情報を差分することによ
り、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対加
速度が算出される。この相対加速度情報は、特性補償回
路４８へ入力するようになっている。
【００１８】特性補償回路４８では、ＤＣ成分、高周波
成分、ノイズ成分などの除去および演算が行われ、アク
チュエータ３８に対して制御信号を送る。アクチュエー
タ３８は、特性補償回路４８からの制御信号に基づき、
慣性質量をスライドテーブル１６に対して相対駆動し、
慣性反力をスライドテーブル１６に印加し、スライドテ
ーブル１６の固定台１２に対する相対振動を抑制ないし
除去する。
成分、ノイズ成分などの除去および演算が行われ、アク
チュエータ３８に対して制御信号を送る。アクチュエー
タ３８は、特性補償回路４８からの制御信号に基づき、
慣性質量をスライドテーブル１６に対して相対駆動し、
慣性反力をスライドテーブル１６に印加し、スライドテ
ーブル１６の固定台１２に対する相対振動を抑制ないし
除去する。
【００１９】このような本実施例の微震動抑制装置を用
いた微震動抑制方法の振動モデルは、図５に示される。
図５に示すように、本実施例の方法では、図６に示す従
来のアクティブ型制振方法に比較し、固定体としてのス
ライドテーブル１６ａに対してアクチュエータ３８ａが
取り付けられ、このアクチュエータ３８ａにより慣性質
量４０ａが駆動される方式なので、固定体としての固定
台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相対移動の
ストロークに制限がないという利点を有する。
いた微震動抑制方法の振動モデルは、図５に示される。
図５に示すように、本実施例の方法では、図６に示す従
来のアクティブ型制振方法に比較し、固定体としてのス
ライドテーブル１６ａに対してアクチュエータ３８ａが
取り付けられ、このアクチュエータ３８ａにより慣性質
量４０ａが駆動される方式なので、固定体としての固定
台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相対移動の
ストロークに制限がないという利点を有する。
【００２０】実験によれば、図１，２に示すような超精
密位置決め装置１０の位置決め精度に影響する微震動
は、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対振
動であり、これは駆動源２２の固有振動数に起因するこ
とが、本発明者によって明らかにされている。この微震
動の周波数は、４０〜５０Ｈｚであり、振幅は１０〜５
０ｎｍ程度である。本実施例の装置を用いた微震動抑制
方法によれば、このような振動を有効に抑制ないし防止
できることが確認された。
密位置決め装置１０の位置決め精度に影響する微震動
は、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対振
動であり、これは駆動源２２の固有振動数に起因するこ
とが、本発明者によって明らかにされている。この微震
動の周波数は、４０〜５０Ｈｚであり、振幅は１０〜５
０ｎｍ程度である。本実施例の装置を用いた微震動抑制
方法によれば、このような振動を有効に抑制ないし防止
できることが確認された。
【００２１】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変するこ
とができる。例えば、上述した実施例では、スライドテ
ーブルおよび固定台の加速度を検出する手段として、加
速度センサを用いたが、本発明では、何らかの手段によ
り加速度情報を得る手段を広く用いることができる。た
とえば、変位または速度出力を検出し、その検出信号を
演算処理することで加速度を検出することもできる。ま
た、位置制御に用いる基準尺の信号の１パルス内の位相
情報を用いることにより加速度情報を得ることも可能で
ある。また、アクチュエータとしては、ピエゾ圧電素子
以外に、ボイスコイルモータ、回転モータなどを用いる
こともできる。
れるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変するこ
とができる。例えば、上述した実施例では、スライドテ
ーブルおよび固定台の加速度を検出する手段として、加
速度センサを用いたが、本発明では、何らかの手段によ
り加速度情報を得る手段を広く用いることができる。た
とえば、変位または速度出力を検出し、その検出信号を
演算処理することで加速度を検出することもできる。ま
た、位置制御に用いる基準尺の信号の１パルス内の位相
情報を用いることにより加速度情報を得ることも可能で
ある。また、アクチュエータとしては、ピエゾ圧電素子
以外に、ボイスコイルモータ、回転モータなどを用いる
こともできる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、パッシブ型の制振方法と異なり、制振対象の各種物
理量が変化したとしても、制振効果を維持することが可
能である。しかも、従来のアクティブ型の制振方法と異
なり、可動体に取り付けられた慣性質量の慣性反力を利
用して、可動体の振動を抑制する構成であるため、可動
体は、固定体に対して自由な相対移動が可能である。し
たがって、本発明の方法を用いれば、たとえば精密位置
決め装置などにおける可動体に発生する位置決め分解能
以下の振幅を持つ微震動、可動体の駆動部の追従周波数
を越える微震動、および位置決め時の残留振動を有効に
抑制することが可能である。
ば、パッシブ型の制振方法と異なり、制振対象の各種物
理量が変化したとしても、制振効果を維持することが可
能である。しかも、従来のアクティブ型の制振方法と異
なり、可動体に取り付けられた慣性質量の慣性反力を利
用して、可動体の振動を抑制する構成であるため、可動
体は、固定体に対して自由な相対移動が可能である。し
たがって、本発明の方法を用いれば、たとえば精密位置
決め装置などにおける可動体に発生する位置決め分解能
以下の振幅を持つ微震動、可動体の駆動部の追従周波数
を越える微震動、および位置決め時の残留振動を有効に
抑制することが可能である。
【図１】本発明の一実施例に係る可動体の微震動抑制装
置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面図であ
る。
置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面図であ
る。
【図２】同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視図
である。
である。
【図３】同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状態
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図４】同実施例に係る微震動抑制装置のブロック図で
ある。
ある。
【図５】本発明に係る可動体の微震動抑制方法の概念を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図６】従来例に係るアクティブ型微震動抑制方法の概
念を示す概略図である。
念を示す概略図である。
１０… 微震動抑制装置 １２… 固定台 １４… スライドレール １６… スライドテーブル ２０… 駆動アーム ２２… 駆動源 ３４… 固定体加速度センサ ３６… 可動体加速度センサ ３８… アクチュエータ ４０… 慣性質量 ４６… 差動増幅回路 ４８… 特性補償回路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１２月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 可動体の微振動抑制方法と装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば精密位置決め
装置などにおける可動体の微振動を抑制することが可能
な可動体の微振動抑制方法と装置に関する。
装置などにおける可動体の微振動を抑制することが可能
な可動体の微振動抑制方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】精密位置決め装置などにおいては、スラ
イドテーブルなどの可動体の停止精度を高めるために、
可動体の移動中および停止後の微振動を極力抑制する必
要がある。このような微振動を抑制するために、従来で
は、可動体の駆動機構の剛性を向上させる方法、外乱振
動の除去を行う方法、駆動体の制御方法を改善する方
法、位置決め分解能を向上させる方法などにより改善が
図られている。
イドテーブルなどの可動体の停止精度を高めるために、
可動体の移動中および停止後の微振動を極力抑制する必
要がある。このような微振動を抑制するために、従来で
は、可動体の駆動機構の剛性を向上させる方法、外乱振
動の除去を行う方法、駆動体の制御方法を改善する方
法、位置決め分解能を向上させる方法などにより改善が
図られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、位置決め基準尺度の最小分解能以
下の微振動を除去することはできない。また、仮にこの
最小分解能を高めたとしても、駆動源から可動部へ至る
機械系の弾性、摩擦および可動部の質量などによる比較
的高い周波数の微振動を抑制することは困難である。す
なわち、駆動部や位置検出部の分解能がどれだけ高性能
であっても、微震などにより正確な位置決めができない
のでは、装置全体の性能は悪いといえる。よって、この
微振動の制振が超精密位置決めを行うことに関してきわ
めて重要である。
うな従来の方法では、位置決め基準尺度の最小分解能以
下の微振動を除去することはできない。また、仮にこの
最小分解能を高めたとしても、駆動源から可動部へ至る
機械系の弾性、摩擦および可動部の質量などによる比較
的高い周波数の微振動を抑制することは困難である。す
なわち、駆動部や位置検出部の分解能がどれだけ高性能
であっても、微震などにより正確な位置決めができない
のでは、装置全体の性能は悪いといえる。よって、この
微振動の制振が超精密位置決めを行うことに関してきわ
めて重要である。
【０００４】一方、精密位置決め装置が設置される固定
台の外乱による振動を、エアダンパを用いて受動的に除
去する方法が知られている。また、図６に示すように、
固定体１に対して移動する可動体２に対し、スプリング
およびダンパから成る制振手段４，４を連結すると共
に、ピエゾアクチュエータ６を連結し、このアクチュエ
ータ６によりアクティブに制振を行う方法も知られてい
る。
台の外乱による振動を、エアダンパを用いて受動的に除
去する方法が知られている。また、図６に示すように、
固定体１に対して移動する可動体２に対し、スプリング
およびダンパから成る制振手段４，４を連結すると共
に、ピエゾアクチュエータ６を連結し、このアクチュエ
ータ６によりアクティブに制振を行う方法も知られてい
る。
【０００５】ところが、前者のパッシブ型の制振方法で
は、構成が比較的単純であるが、制振対象の各種物理量
が変化したときには、制振効果を維持することは困難で
ある。また、後者の従来のアクティブ型の制振方法で
は、制振対象の各種物理量がある程度変化した場合でも
制振効果を維持することができるが、構成が一般に複雑
になると共に、制振対象である可動体２が、固定体１に
対して数μｍ程度の相対移動しかできず、自由な相対移
動ができないという問題点を有している。
は、構成が比較的単純であるが、制振対象の各種物理量
が変化したときには、制振効果を維持することは困難で
ある。また、後者の従来のアクティブ型の制振方法で
は、制振対象の各種物理量がある程度変化した場合でも
制振効果を維持することができるが、構成が一般に複雑
になると共に、制振対象である可動体２が、固定体１に
対して数μｍ程度の相対移動しかできず、自由な相対移
動ができないという問題点を有している。
【０００６】本発明は、このような実状に鑑みてなさ
れ、たとえば精密位置決め装置などにおける可動体に発
生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微振動、可動体
の駆動部の追従周波数を越える微振動、および位置決め
時の残留振動を抑制することが可能であり、しかも、各
種物理量が変化したとしても制振効果を維持し、可動体
の自由な相対移動をも可能とする可動体の微振動抑制方
法とそれに用いる装置を提供することを目的とする。
れ、たとえば精密位置決め装置などにおける可動体に発
生する位置決め分解能以下の振幅を持つ微振動、可動体
の駆動部の追従周波数を越える微振動、および位置決め
時の残留振動を抑制することが可能であり、しかも、各
種物理量が変化したとしても制振効果を維持し、可動体
の自由な相対移動をも可能とする可動体の微振動抑制方
法とそれに用いる装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の微振動抑制方法は、固定体に対する可動体
の相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基づ
き、可動体に慣性反力を印加することにより、可動体の
微振動を抑制することを特徴とする。固定体に対する可
動体の相対加速度信号は、たとえば、固定体および可動
体のそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力差と
して検出される。また、慣性反力は、たとえば、可動体
に取り付けられたアクチュエータを駆動し、アクチュエ
ータに取り付けられた慣性質量を、可動体に対して相対
移動させることにより生成される。
に、本発明の微振動抑制方法は、固定体に対する可動体
の相対加速度信号を検出し、この相対加速度信号に基づ
き、可動体に慣性反力を印加することにより、可動体の
微振動を抑制することを特徴とする。固定体に対する可
動体の相対加速度信号は、たとえば、固定体および可動
体のそれぞれに取り付けられた加速度センサの出力差と
して検出される。また、慣性反力は、たとえば、可動体
に取り付けられたアクチュエータを駆動し、アクチュエ
ータに取り付けられた慣性質量を、可動体に対して相対
移動させることにより生成される。
【０００８】本発明の微振動抑制装置は、固定体に取り
付けられた固定体加速度検出手段と、可動体に取り付け
られた可動体加速度検出手段と、これら加速度検出手段
の出力差から、固定体に対する可動体の相対加速度を検
出する相対加速度検出手段と、可動体に取り付けられた
アクチュエータと、このアクチュエータに取り付けられ
た慣性質量と、上記相対加速度検出手段により検出され
た相対加速度信号に基づき、アクチュエータへ制御信号
を送り、可動体の微振動を抑制する方向に慣性反力を生
じさせるように、慣性質量を可動体に対して相対移動さ
せるアクチュエータ制御手段とを有する。
付けられた固定体加速度検出手段と、可動体に取り付け
られた可動体加速度検出手段と、これら加速度検出手段
の出力差から、固定体に対する可動体の相対加速度を検
出する相対加速度検出手段と、可動体に取り付けられた
アクチュエータと、このアクチュエータに取り付けられ
た慣性質量と、上記相対加速度検出手段により検出され
た相対加速度信号に基づき、アクチュエータへ制御信号
を送り、可動体の微振動を抑制する方向に慣性反力を生
じさせるように、慣性質量を可動体に対して相対移動さ
せるアクチュエータ制御手段とを有する。
【０００９】また、本発明の精密位置決め装置は、固定
体と、固定体に対して精密に位置決めされて相対移動す
る可動体と、上記固定体に取り付けられた固定体加速度
検出手段と、上記可動体に取り付けられた可動体加速度
検出手段と、これら加速度検出手段の出力差から、固定
体に対する可動体の相対加速度を検出する相対加速度検
出手段と、可動体に取り付けられたアクチュエータと、
このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、上記
相対加速度検出手段により検出された相対加速度信号に
基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体の微
振動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるように、慣
性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュエータ
制御手段とを有する。
体と、固定体に対して精密に位置決めされて相対移動す
る可動体と、上記固定体に取り付けられた固定体加速度
検出手段と、上記可動体に取り付けられた可動体加速度
検出手段と、これら加速度検出手段の出力差から、固定
体に対する可動体の相対加速度を検出する相対加速度検
出手段と、可動体に取り付けられたアクチュエータと、
このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、上記
相対加速度検出手段により検出された相対加速度信号に
基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体の微
振動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるように、慣
性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュエータ
制御手段とを有する。
【００１０】
【作用】本発明の方法は、基本的にはアクティブ型の制
振方法に分類される。したがって、パッシブ型の制振方
法と異なり、制振対象の各種物理量が変化したとして
も、制振効果を維持することが可能である。しかも、従
来のアクティブ型の制振方法と異なり、可動体に取り付
けられた慣性質量の慣性反力を利用して、可動体の振動
を抑制する構成であるため、可動体は、固定体に対して
自由な相対移動が可能である。
振方法に分類される。したがって、パッシブ型の制振方
法と異なり、制振対象の各種物理量が変化したとして
も、制振効果を維持することが可能である。しかも、従
来のアクティブ型の制振方法と異なり、可動体に取り付
けられた慣性質量の慣性反力を利用して、可動体の振動
を抑制する構成であるため、可動体は、固定体に対して
自由な相対移動が可能である。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る可動体の微振
動抑制方法と装置について、図面を参照しつつ詳細に説
明する。図１は本発明の一実施例に係る可動体の微振動
抑制装置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面
図、図２は同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視
図、図３は同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状
態を示す概略図、図４は同実施例に係る微振動抑制装置
のブロック図、図５は本発明に係る可動体の微振動抑制
方法の概念を示す概略図である。
動抑制方法と装置について、図面を参照しつつ詳細に説
明する。図１は本発明の一実施例に係る可動体の微振動
抑制装置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面
図、図２は同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視
図、図３は同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状
態を示す概略図、図４は同実施例に係る微振動抑制装置
のブロック図、図５は本発明に係る可動体の微振動抑制
方法の概念を示す概略図である。
【００１２】図１，２に示すように、本発明の一実施例
に係る精密位置決め装置１０は、固定体としての固定台
１２上に、スライドレール１４，１４を有している。こ
のスライドレール１４，１４上には、可動体としての可
動テーブル１６が、レール１４，１４に沿ってスライド
移動自在に設置してある。
に係る精密位置決め装置１０は、固定体としての固定台
１２上に、スライドレール１４，１４を有している。こ
のスライドレール１４，１４上には、可動体としての可
動テーブル１６が、レール１４，１４に沿ってスライド
移動自在に設置してある。
【００１３】可動テーブル１６には、板バネジョイント
１８を介して駆動アーム２０が連結してある。駆動アー
ム２０は、駆動源２２により駆動される。駆動源２２
は、たとえば、図２に示すように、ＤＣモータ２４と、
減速器２６と、駆動ローラ２８と、従動ローラ３０とか
ら成る。ＤＣモータ２４には、タコジェネレータ３２が
連結してある。ＤＣモータ２４の回転力は、減速器２６
を介して駆動ローラ２８へ伝わり、この駆動ローラ２８
が駆動アーム２０を軸方向に移動させるようになってい
る。駆動アーム２０が軸方向に移動することにより、ス
ライドテーブル１６がレール１４に沿って移動するよう
になっている。
１８を介して駆動アーム２０が連結してある。駆動アー
ム２０は、駆動源２２により駆動される。駆動源２２
は、たとえば、図２に示すように、ＤＣモータ２４と、
減速器２６と、駆動ローラ２８と、従動ローラ３０とか
ら成る。ＤＣモータ２４には、タコジェネレータ３２が
連結してある。ＤＣモータ２４の回転力は、減速器２６
を介して駆動ローラ２８へ伝わり、この駆動ローラ２８
が駆動アーム２０を軸方向に移動させるようになってい
る。駆動アーム２０が軸方向に移動することにより、ス
ライドテーブル１６がレール１４に沿って移動するよう
になっている。
【００１４】スライドテーブル１６の位置決めは、スラ
イドテーブル１６の移動位置を高精度なレーザスケール
などにより読み取り、その位置情報によりＤＣモータを
制御することにより行う。スライドテーブル１６の駆動
制御方式は、特に限定されず、摩擦駆動方式を用いたＮ
Ｃによるクローズドループのサーボ制御が用いられる。
イドテーブル１６の移動位置を高精度なレーザスケール
などにより読み取り、その位置情報によりＤＣモータを
制御することにより行う。スライドテーブル１６の駆動
制御方式は、特に限定されず、摩擦駆動方式を用いたＮ
Ｃによるクローズドループのサーボ制御が用いられる。
【００１５】本実施例では、固定台１２上に、固定体加
速度センサ３４が設置してあり、スライドテーブル１６
上に、可動体加速度センサ３６が設置してある。これら
加速度センサ３４，３６は、たとえば１０-5Ｇ（９．８
×１０-5ｍ／SEC 2 ）レベルの検出が可能なサーボ型加
速度センサである。これら加速度センサ３４，３６は、
図３に示すように、スライドテーブルの移動方向に対し
て重力加速度の分力を出力させないように、取り付け台
座４２上に固定し、この取り付け台座４２が調節ネジ４
４によりピッチ方向Ａに移動可能になっている。
速度センサ３４が設置してあり、スライドテーブル１６
上に、可動体加速度センサ３６が設置してある。これら
加速度センサ３４，３６は、たとえば１０-5Ｇ（９．８
×１０-5ｍ／SEC 2 ）レベルの検出が可能なサーボ型加
速度センサである。これら加速度センサ３４，３６は、
図３に示すように、スライドテーブルの移動方向に対し
て重力加速度の分力を出力させないように、取り付け台
座４２上に固定し、この取り付け台座４２が調節ネジ４
４によりピッチ方向Ａに移動可能になっている。
【００１６】スライドテーブル１６上には、アクチュエ
ータ３８が固定してある。アクチュエータ３８として
は、特に限定されないが、ピエゾ型圧電素子が用いられ
る。アクチュエータ３８の先端には、慣性質量４０が装
着してあり、アクチュエータ３８により駆動されるよう
になっている。
ータ３８が固定してある。アクチュエータ３８として
は、特に限定されないが、ピエゾ型圧電素子が用いられ
る。アクチュエータ３８の先端には、慣性質量４０が装
着してあり、アクチュエータ３８により駆動されるよう
になっている。
【００１７】上記加速度センサ３４，３６は、図４に示
すように、差動増幅回路４６に接続してある。差動増幅
回路４６では、これら加速度センサ３４，３６からの出
力が入力され、これらの加速度情報を差分することによ
り、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対加
速度が算出される。この相対加速度情報は、特性補償回
路４８へ入力するようになっている。
すように、差動増幅回路４６に接続してある。差動増幅
回路４６では、これら加速度センサ３４，３６からの出
力が入力され、これらの加速度情報を差分することによ
り、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対加
速度が算出される。この相対加速度情報は、特性補償回
路４８へ入力するようになっている。
【００１８】特性補償回路４８では、ＤＣ成分、高周波
成分、ノイズ成分などの除去および演算が行われ、アク
チュエータ３８に対して制御信号を送る。アクチュエー
タ３８は、特性補償回路４８からの制御信号に基づき、
慣性質量をスライドテーブル１６に対して相対駆動し、
慣性反力をスライドテーブル１６に印加し、スライドテ
ーブル１６の固定台１２に対する相対振動を抑制ないし
除去する。
成分、ノイズ成分などの除去および演算が行われ、アク
チュエータ３８に対して制御信号を送る。アクチュエー
タ３８は、特性補償回路４８からの制御信号に基づき、
慣性質量をスライドテーブル１６に対して相対駆動し、
慣性反力をスライドテーブル１６に印加し、スライドテ
ーブル１６の固定台１２に対する相対振動を抑制ないし
除去する。
【００１９】このような本実施例の微振動抑制装置を用
いた微振動抑制方法の振動モデルは、図５に示される。
図５に示すように、本実施例の方法では、図６に示す従
来のアクティブ型制振方法に比較し、固定体としてのス
ライドテーブル１６ａに対してアクチュエータ３８ａが
取り付けられ、このアクチュエータ３８ａにより慣性質
量４０ａが駆動される方式なので、固定体としての固定
台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相対移動の
ストロークに制限がないという利点を有する。
いた微振動抑制方法の振動モデルは、図５に示される。
図５に示すように、本実施例の方法では、図６に示す従
来のアクティブ型制振方法に比較し、固定体としてのス
ライドテーブル１６ａに対してアクチュエータ３８ａが
取り付けられ、このアクチュエータ３８ａにより慣性質
量４０ａが駆動される方式なので、固定体としての固定
台１２ａに対するスライドテーブル１６ａの相対移動の
ストロークに制限がないという利点を有する。
【００２０】実験によれば、図１，２に示すような超精
密位置決め装置１０の位置決め精度に影響する微振動
は、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対振
動であり、これは駆動源２２の固有振動数に起因するこ
とが、本発明者によって明らかにされている。この微振
動の周波数は、４０〜５０Ｈｚであり、振幅は１０〜５
０ｎｍ程度である。本実施例の装置を用いた微振動抑制
方法によれば、このような振動を有効に抑制ないし防止
できることが確認された。
密位置決め装置１０の位置決め精度に影響する微振動
は、固定台１２に対するスライドテーブル１６の相対振
動であり、これは駆動源２２の固有振動数に起因するこ
とが、本発明者によって明らかにされている。この微振
動の周波数は、４０〜５０Ｈｚであり、振幅は１０〜５
０ｎｍ程度である。本実施例の装置を用いた微振動抑制
方法によれば、このような振動を有効に抑制ないし防止
できることが確認された。
【００２１】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変するこ
とができる。例えば、上述した実施例では、スライドテ
ーブルおよび固定台の加速度を検出する手段として、加
速度センサを用いたが、本発明では、何らかの手段によ
り加速度情報を得る手段を広く用いることができる。た
とえば、変位または速度出力を検出し、その検出信号を
演算処理することで加速度を検出することもできる。ま
た、位置制御に用いる基準尺の信号の１パルス内の位相
情報を用いることにより加速度情報を得ることも可能で
ある。また、アクチュエータとしては、ピエゾ圧電素子
以外に、ボイスコイルモータ、回転モータなどを用いる
こともできる。
れるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変するこ
とができる。例えば、上述した実施例では、スライドテ
ーブルおよび固定台の加速度を検出する手段として、加
速度センサを用いたが、本発明では、何らかの手段によ
り加速度情報を得る手段を広く用いることができる。た
とえば、変位または速度出力を検出し、その検出信号を
演算処理することで加速度を検出することもできる。ま
た、位置制御に用いる基準尺の信号の１パルス内の位相
情報を用いることにより加速度情報を得ることも可能で
ある。また、アクチュエータとしては、ピエゾ圧電素子
以外に、ボイスコイルモータ、回転モータなどを用いる
こともできる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、パッシブ型の制振方法と異なり、制振対象の各種物
理量が変化したとしても、制振効果を維持することが可
能である。しかも、従来のアクティブ型の制振方法と異
なり、可動体に取り付けられた慣性質量の慣性反力を利
用して、可動体の振動を抑制する構成であるため、可動
体は、固定体に対して自由な相対移動が可能である。し
たがって、本発明の方法を用いれば、たとえば精密位置
決め装置などにおける可動体に発生する位置決め分解能
以下の振幅を持つ微振動、可動体の駆動部の追従周波数
を越える微振動、および位置決め時の残留振動を有効に
抑制することが可能である。
ば、パッシブ型の制振方法と異なり、制振対象の各種物
理量が変化したとしても、制振効果を維持することが可
能である。しかも、従来のアクティブ型の制振方法と異
なり、可動体に取り付けられた慣性質量の慣性反力を利
用して、可動体の振動を抑制する構成であるため、可動
体は、固定体に対して自由な相対移動が可能である。し
たがって、本発明の方法を用いれば、たとえば精密位置
決め装置などにおける可動体に発生する位置決め分解能
以下の振幅を持つ微振動、可動体の駆動部の追従周波数
を越える微振動、および位置決め時の残留振動を有効に
抑制することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る可動体の微振動抑制装
置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面図であ
る。
置が取り付けられた精密位置決め装置の概略側面図であ
る。
【図２】同実施例に係る精密位置決め装置の概略斜視図
である。
である。
【図３】同実施例で用いる加速度検出器の取り付け状態
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図４】同実施例に係る微振動抑制装置のブロック図で
ある。
ある。
【図５】本発明に係る可動体の微振動抑制方法の概念を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図６】従来例に係るアクティブ型微振動抑制方法の概
念を示す概略図である。
念を示す概略図である。
【符号の説明】 １０… 微振動抑制装置 １２… 固定台 １４… スライドレール １６… スライドテーブル ２０… 駆動アーム ２２… 駆動源 ３４… 固定体加速度センサ ３６… 可動体加速度センサ ３８… アクチュエータ ４０… 慣性質量 ４６… 差動増幅回路 ４８… 特性補償回路
Claims (6)
- 【請求項１】 固定体に対する可動体の相対加速度信号
を検出し、この相対加速度信号に基づき、可動体に慣性
反力を印加することにより、可動体の微震動を抑制する
ことを特徴とする可動体の微震動抑制方法。 - 【請求項２】 固定体に対する可動体の相対加速度信号
は、固定体および可動体のそれぞれに取り付けられた加
速度センサの出力差として検出されることを特徴とする
請求項１に記載の可動体の微震動抑制方法。 - 【請求項３】 上記慣性反力は、可動体に取り付けられ
たアクチュエータを駆動し、アクチュエータに取り付け
られた慣性質量を、可動体に対して相対移動させること
により生成される請求項１または２に記載の可動体の微
震動抑制方法。 - 【請求項４】 上記可動体は、精密位置決め装置の可動
部分である請求項１〜３のいずれかに記載の可動体の微
震動抑制方法。 - 【請求項５】 固定体に取り付けられた固定体加速度検
出手段と、 可動体に取り付けられた可動体加速度検出手段と、 これら加速度検出手段の出力差から、固定体に対する可
動体の相対加速度を検出する相対加速度検出手段と、 可動体に取り付けられたアクチュエータと、 このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、 上記相対加速度検出手段により検出された相対加速度信
号に基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体
の微震動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるよう
に、慣性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュ
エータ制御手段とを有する可動体の微震動抑制装置。 - 【請求項６】 固定体と、 固定体に対して精密に位置決めされて相対移動する可動
体と、 上記固定体に取り付けられた固定体加速度検出手段と、 上記可動体に取り付けられた可動体加速度検出手段と、 これら加速度検出手段の出力差から、固定体に対する可
動体の相対加速度を検出する相対加速度検出手段と、 可動体に取り付けられたアクチュエータと、 このアクチュエータに取り付けられた慣性質量と、 上記相対加速度検出手段により検出された相対加速度信
号に基づき、アクチュエータへ制御信号を送り、可動体
の微震動を抑制する方向に慣性反力を生じさせるよう
に、慣性質量を可動体に対して相対移動させるアクチュ
エータ制御手段とを有する精密位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248799A JPH0671532A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 可動体の微振動抑制方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248799A JPH0671532A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 可動体の微振動抑制方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671532A true JPH0671532A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=17183576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4248799A Pending JPH0671532A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 可動体の微振動抑制方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671532A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10156491A1 (de) * | 2001-11-16 | 2003-05-28 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum Abstützen eines Trägers |
| JP2008087146A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Jtekt Corp | 加工装置 |
| JP2018124068A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 大銀微系統股▲分▼有限公司 | 反力相殺装置 |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP4248799A patent/JPH0671532A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10156491A1 (de) * | 2001-11-16 | 2003-05-28 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum Abstützen eines Trägers |
| DE10156491B4 (de) * | 2001-11-16 | 2005-10-20 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum Abstützen eines Trägers |
| JP2008087146A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Jtekt Corp | 加工装置 |
| JP2018124068A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 大銀微系統股▲分▼有限公司 | 反力相殺装置 |
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