JPH067261B2 - 光可溶化組成物 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 19
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 41
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 13
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 10
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000001181 organosilyl group Chemical group [SiH3]* 0.000 claims description 6
- -1 amide acetal compound Chemical class 0.000 description 32
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 21
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 19
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 11
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 11
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 10
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 8
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 8
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 5
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical class CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006303 photolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015843 photosynthesis, light reaction Effects 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBTBFTRPCNLSDE-UHFFFAOYSA-N 3,7-bis(dimethylamino)phenothiazin-5-ium Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC2=[S+]C3=CC(N(C)C)=CC=C3N=C21 RBTBFTRPCNLSDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 2
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004464 hydroxyphenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 125000002092 orthoester group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002905 orthoesters Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- HWGNBUXHKFFFIH-UHFFFAOYSA-I pentasodium;[oxido(phosphonatooxy)phosphoryl] phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O HWGNBUXHKFFFIH-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019832 sodium triphosphate Nutrition 0.000 description 2
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004953 trihalomethyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 2
- ONMLAAZEQUPQSE-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2-dimethylpropyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(C)CO ONMLAAZEQUPQSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRIKSZXJKCQQFT-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2-dimethylpropyl) prop-2-enoate Chemical compound OCC(C)(C)COC(=O)C=C MRIKSZXJKCQQFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVHAMPNLOLKSFU-UHFFFAOYSA-N 1,2,2-trichloroethenylbenzene Chemical compound ClC(Cl)=C(Cl)C1=CC=CC=C1 SVHAMPNLOLKSFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUTQSIHGGHVXFK-UHFFFAOYSA-N 1,2,2-trifluoroethenylbenzene Chemical compound FC(F)=C(F)C1=CC=CC=C1 SUTQSIHGGHVXFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUHKVLIZXLBQSR-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichloro-3-(1,2,2-trichloroethenyl)benzene Chemical compound ClC(Cl)=C(Cl)C1=CC=CC(Cl)=C1Cl AUHKVLIZXLBQSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIHQDMXYYFUGFV-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine Chemical group C1=NC=NC=N1 JIHQDMXYYFUGFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRFHAESXJQAGRH-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichloro-4-(2,4-dichloro-3-ethenylphenoxy)-2-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=C(C=C)C(Cl)=CC=C1OC1=CC=C(Cl)C(C=C)=C1Cl IRFHAESXJQAGRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPXMCUKPGZUFGR-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-(1,2,2-trichloroethenyl)benzene Chemical compound ClC(Cl)=C(Cl)C1=CC=CC=C1Cl XPXMCUKPGZUFGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPWJXFPSRAUGLN-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-ethenoxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OC=C RPWJXFPSRAUGLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNJRKFKAFWSXSE-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-ethenoxyethane Chemical compound ClCCOC=C DNJRKFKAFWSXSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWCLMKDWXUGDKL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-ethoxyethane Chemical compound CCOCCOC=C HWCLMKDWXUGDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GXZPMXGRNUXGHN-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-methoxyethane Chemical compound COCCOC=C GXZPMXGRNUXGHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPGDWJYZCVCMOZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxyanthracene Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(OC=C)=CC=CC3=CC2=C1 ZPGDWJYZCVCMOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSOAQRMLVFRWIT-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxydecane Chemical compound CCCCCCCCCCOC=C NSOAQRMLVFRWIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAOJJEJGPZRYJF-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxyhexane Chemical compound CCCCCCOC=C YAOJJEJGPZRYJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHSFPBQPZFLOKE-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxynaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(OC=C)=CC=CC2=C1 OHSFPBQPZFLOKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXCVIFJHBFNFBO-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxyoctane Chemical compound CCCCCCCCOC=C XXCVIFJHBFNFBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCBZNZYQLJTCKR-UHFFFAOYSA-N 1-prop-2-enoxyethanol Chemical compound CC(O)OCC=C FCBZNZYQLJTCKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HGOUNPXIJSDIKV-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC(CO)(CO)COC(=O)C(C)=C HGOUNPXIJSDIKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butyl prop-2-enoate Chemical compound CCC(CO)(CO)COC(=O)C=C SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYLVUSZHVURAOY-UHFFFAOYSA-N 2,2-dibromoethenylbenzene Chemical compound BrC(Br)=CC1=CC=CC=C1 CYLVUSZHVURAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CISIJYCKDJSTMX-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloroethenylbenzene Chemical compound ClC(Cl)=CC1=CC=CC=C1 CISIJYCKDJSTMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWESSVUYESFKBH-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxyethenylbenzene Chemical compound COC(OC)=CC1=CC=CC=C1 PWESSVUYESFKBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WULAHPYSGCVQHM-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethenoxyethoxy)ethanol Chemical compound OCCOCCOC=C WULAHPYSGCVQHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIUSRIAANRCPGF-UHFFFAOYSA-N 2-(ethenoxymethyl)oxolane Chemical compound C=COCC1CCCO1 UIUSRIAANRCPGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCSBILYQLVXLJG-UHFFFAOYSA-N 2-Propenyl hexanoate Chemical compound CCCCCC(=O)OCC=C RCSBILYQLVXLJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZGMUSDNQDCNAG-UHFFFAOYSA-N 2-Propenyl octanoate Chemical compound CCCCCCCC(=O)OCC=C PZGMUSDNQDCNAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XIHNGTKOSAPCSP-UHFFFAOYSA-N 2-bromo-1-ethenyl-4-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=C(C=C)C(Br)=C1 XIHNGTKOSAPCSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethenylbenzene Chemical compound ClC=CC1=CC=CC=C1 SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHBAYNMEIXUTJV-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethyl prop-2-enoate Chemical compound ClCCOC(=O)C=C WHBAYNMEIXUTJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MENUHMSZHZBYMK-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexylethenylbenzene Chemical compound C1CCCCC1C=CC1=CC=CC=C1 MENUHMSZHZBYMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLWQJHWLGRXAMP-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxy-n,n-diethylethanamine Chemical compound CCN(CC)CCOC=C PLWQJHWLGRXAMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWCDUUFOAZFFMX-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxy-n,n-dimethylethanamine Chemical compound CN(C)CCOC=C JWCDUUFOAZFFMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VUIWJRYTWUGOOF-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxyethanol Chemical compound OCCOC=C VUIWJRYTWUGOOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDBYLRWHHCWVID-UHFFFAOYSA-N 2-ethylbut-1-enylbenzene Chemical compound CCC(CC)=CC1=CC=CC=C1 DDBYLRWHHCWVID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBKNKFIRGXQLDB-UHFFFAOYSA-N 2-fluoroethenylbenzene Chemical compound FC=CC1=CC=CC=C1 KBKNKFIRGXQLDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRUOTKQBVMWMDK-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-6-methylbenzaldehyde Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C=O ZRUOTKQBVMWMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZPOYKXYJOHGCW-UHFFFAOYSA-N 2-iodoethenylbenzene Chemical compound IC=CC1=CC=CC=C1 OZPOYKXYJOHGCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethenylbenzene Chemical compound COC=CC1=CC=CC=C1 CTHJQRHPNQEPAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTOVVHWKPVSLBI-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-1-enylbenzene Chemical compound CC(C)=CC1=CC=CC=C1 BTOVVHWKPVSLBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGZUQYKCPPYRL-UHFFFAOYSA-N 2-nonan-5-ylidenebutanedioic acid Chemical compound CCCCC(CCCC)=C(CC(O)=O)C(O)=O KXGZUQYKCPPYRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMUIIYJWWOPNIP-UHFFFAOYSA-N 2-pentan-3-ylidenebutanedioic acid Chemical compound CCC(CC)=C(C(O)=O)CC(O)=O NMUIIYJWWOPNIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYXGAEAOIFNGAE-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-ylidenebutanedioic acid Chemical compound CC(C)=C(C(O)=O)CC(O)=O GYXGAEAOIFNGAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKADMMFLLPJEAG-UHFFFAOYSA-N 3,3,3-trifluoroprop-1-enylbenzene Chemical compound FC(F)(F)C=CC1=CC=CC=C1 HKADMMFLLPJEAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDGNEDMGRQQNNI-UHFFFAOYSA-N 3-(ethenoxymethyl)pentane Chemical compound CCC(CC)COC=C WDGNEDMGRQQNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBTDFRNUVWFUGL-UHFFFAOYSA-N 3-aminopropyl carbamimidothioate;dihydrobromide Chemical compound Br.Br.NCCCSC(N)=N JBTDFRNUVWFUGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 3-chloroprop-1-enylbenzene Chemical compound ClCC=CC1=CC=CC=C1 IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWLGYSGTHHKRMZ-UHFFFAOYSA-N 3-ethenoxy-2,2-dimethylbutane Chemical compound CC(C)(C)C(C)OC=C FWLGYSGTHHKRMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJOWTLCTYPKRRU-UHFFFAOYSA-N 3-ethenoxyoctane Chemical compound CCCCCC(CC)OC=C BJOWTLCTYPKRRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCYDIDJFXXIUCY-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxyprop-1-enylbenzene Chemical compound CCOCC=CC1=CC=CC=C1 VCYDIDJFXXIUCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZRYCRPNCXLQHPN-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxy-2-methylbenzaldehyde Chemical compound CC1=C(O)C=CC=C1C=O ZRYCRPNCXLQHPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEBRPXLXYCFYGU-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-1-enylbenzene Chemical compound CC(C)C=CC1=CC=CC=C1 CEBRPXLXYCFYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTHJQCDAHYOPIK-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-2-en-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)=C(C)C1=CC=CC=C1 ZTHJQCDAHYOPIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AIMDYNJRXHEXEL-UHFFFAOYSA-N 3-phenylprop-1-enylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1CC=CC1=CC=CC=C1 AIMDYNJRXHEXEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMOIDWXRUSAWHV-UHFFFAOYSA-N 4-ethenyl-1-fluoro-2-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC1=CC=C(C=C)C=C1C(F)(F)F JMOIDWXRUSAWHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVGQXTJQMNTHJX-UHFFFAOYSA-N 4-ethenyl-1-methoxy-2-methylbenzene Chemical compound COC1=CC=C(C=C)C=C1C GVGQXTJQMNTHJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKXAYLPDMSGWEV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCO YKXAYLPDMSGWEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGTVWCBFJAVSMS-UHFFFAOYSA-N 5-hydroxypentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCO YGTVWCBFJAVSMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INRQKLGGIVSJRR-UHFFFAOYSA-N 5-hydroxypentyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCCOC(=O)C=C INRQKLGGIVSJRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LYJHVEDILOKZCG-UHFFFAOYSA-N Allyl benzoate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 LYJHVEDILOKZCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- MZNHUHNWGVUEAT-XBXARRHUSA-N Hexyl crotonate Chemical compound CCCCCCOC(=O)\C=C\C MZNHUHNWGVUEAT-XBXARRHUSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 description 1
- LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofurfuryl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCCO1 LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMOONIIMQBGTDU-VOTSOKGWSA-N [(e)-2-bromoethenyl]benzene Chemical compound Br\C=C\C1=CC=CC=C1 YMOONIIMQBGTDU-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 1
- APZPSKFMSWZPKL-UHFFFAOYSA-N [3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(CO)CO APZPSKFMSWZPKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCZFEIZSYJAXKS-UHFFFAOYSA-N [3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound OCC(CO)(CO)COC(=O)C=C ZCZFEIZSYJAXKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQVUUGHMHQPVSI-UHFFFAOYSA-N [chloro(phenyl)methyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(Cl)C1=CC=CC=C1 DQVUUGHMHQPVSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXSXCWXUCMJUGI-UHFFFAOYSA-N [methoxy(phenyl)methyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(OC)C1=CC=CC=C1 CXSXCWXUCMJUGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N aluminum;sodium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Na+].[Al+3] ANBBXQWFNXMHLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000000981 basic dye Substances 0.000 description 1
- GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N benzyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1=CC=CC=C1 GCTPMLUUWLLESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N but-1-enylbenzene Chemical compound CCC=CC1=CC=CC=C1 MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- WJSDHUCWMSHDCR-UHFFFAOYSA-N cinnamyl acetate Chemical compound CC(=O)OCC=CC1=CC=CC=C1 WJSDHUCWMSHDCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCSHDIVRCWTZOX-DVTGEIKXSA-N clobetasol Chemical compound C1CC2=CC(=O)C=C[C@]2(C)[C@]2(F)[C@@H]1[C@@H]1C[C@H](C)[C@@](C(=O)CCl)(O)[C@@]1(C)C[C@@H]2O FCSHDIVRCWTZOX-DVTGEIKXSA-N 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical class C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- ZXJXZNDDNMQXFV-UHFFFAOYSA-M crystal violet Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1[C+](C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 ZXJXZNDDNMQXFV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000004802 cyanophenyl group Chemical group 0.000 description 1
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229940061607 dibasic sodium phosphate Drugs 0.000 description 1
- JBSLOWBPDRZSMB-BQYQJAHWSA-N dibutyl (e)-but-2-enedioate Chemical compound CCCCOC(=O)\C=C\C(=O)OCCCC JBSLOWBPDRZSMB-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- XSBSXJAYEPDGSF-UHFFFAOYSA-N diethyl 3,5-dimethyl-1h-pyrrole-2,4-dicarboxylate Chemical compound CCOC(=O)C=1NC(C)=C(C(=O)OCC)C=1C XSBSXJAYEPDGSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004177 diethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N dimethyl maleate Chemical compound COC(=O)\C=C/C(=O)OC LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L disodium hydrogen phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].OP([O-])([O-])=O BNIILDVGGAEEIG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MSHALHDXRMDVAL-UHFFFAOYSA-N dodec-1-enylbenzene Chemical compound CCCCCCCCCCC=CC1=CC=CC=C1 MSHALHDXRMDVAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- NHOGGUYTANYCGQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxybenzene Chemical compound C=COC1=CC=CC=C1 NHOGGUYTANYCGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZDCYKCDXXPQIK-UHFFFAOYSA-N ethenoxymethylbenzene Chemical compound C=COCC1=CC=CC=C1 AZDCYKCDXXPQIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBCLTORTGNOIGM-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2,2-dichloroacetate Chemical compound ClC(Cl)C(=O)OC=C ZBCLTORTGNOIGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2,2-dimethylpropanoate Chemical compound CC(C)(C)C(=O)OC=C YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMQHXFNDANLQTI-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2,3,4,5-tetrachlorobenzoate Chemical compound ClC1=CC(C(=O)OC=C)=C(Cl)C(Cl)=C1Cl YMQHXFNDANLQTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJELOQYISYPGDX-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-chloroacetate Chemical compound ClCC(=O)OC=C XJELOQYISYPGDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJIHUSWGELHYBJ-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-chlorobenzoate Chemical compound ClC1=CC=CC=C1C(=O)OC=C ZJIHUSWGELHYBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMXXMZYAYIHTBU-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-hydroxybenzoate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)OC=C CMXXMZYAYIHTBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPOGZNTVZCEKSW-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CC(O)C(=O)OC=C MPOGZNTVZCEKSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFIQVBFAKUPHOA-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-methoxyacetate Chemical compound COCC(=O)OC=C AFIQVBFAKUPHOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNMORWGTPVWAIB-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2-methylpropanoate Chemical compound CC(C)C(=O)OC=C WNMORWGTPVWAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZEYMDLYHRCTNEE-UHFFFAOYSA-N ethenyl 3-oxobutanoate Chemical compound CC(=O)CC(=O)OC=C ZEYMDLYHRCTNEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYATZCPFHGSBPG-UHFFFAOYSA-N ethenyl 3-phenylbutanoate Chemical compound C=COC(=O)CC(C)C1=CC=CC=C1 VYATZCPFHGSBPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEGHWIAOTJPCHQ-UHFFFAOYSA-N ethenyl butanoate Chemical compound CCCC(=O)OC=C MEGHWIAOTJPCHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZRGFKQYQJKGAK-UHFFFAOYSA-N ethenyl cyclohexanecarboxylate Chemical compound C=COC(=O)C1CCCCC1 JZRGFKQYQJKGAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZWYWAIOTBEZFN-UHFFFAOYSA-N ethenyl hexanoate Chemical compound CCCCCC(=O)OC=C LZWYWAIOTBEZFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BGVWGPMAGMJLBU-UHFFFAOYSA-N ethenyl naphthalene-1-carboxylate Chemical compound C1=CC=C2C(C(=O)OC=C)=CC=CC2=C1 BGVWGPMAGMJLBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USEUJPGSYMRJHM-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;4-methylphenol Chemical compound O=C.CC1=CC=C(O)C=C1 USEUJPGSYMRJHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- DWXAVNJYFLGAEF-UHFFFAOYSA-N furan-2-ylmethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CO1 DWXAVNJYFLGAEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- KETWBQOXTBGBBN-UHFFFAOYSA-N hex-1-enylbenzene Chemical compound CCCCC=CC1=CC=CC=C1 KETWBQOXTBGBBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C(C)=C LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940107698 malachite green Drugs 0.000 description 1
- FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M malachite green Chemical compound [Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)=C1C=CC(=[N+](C)C)C=C1 FDZZZRQASAIRJF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000907 methylthioninium chloride Drugs 0.000 description 1
- LGCYBCHJTSUDRE-UHFFFAOYSA-N n,2-dimethyl-n-phenylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)N(C)C1=CC=CC=C1 LGCYBCHJTSUDRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICRMQJKSNVCQBG-UHFFFAOYSA-N n-(2-acetamidoethyl)-n-acetylprop-2-enamide Chemical compound CC(=O)NCCN(C(C)=O)C(=O)C=C ICRMQJKSNVCQBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPUPLVNNJOGFHX-UHFFFAOYSA-N n-(2-ethenoxyethyl)butan-1-amine Chemical compound CCCCNCCOC=C IPUPLVNNJOGFHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJWDFJXMZXZWTC-UHFFFAOYSA-N n-(2-hydroxyethyl)-n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound OCCN(C)C(=O)C(C)=C KJWDFJXMZXZWTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYHUMZYFJVMWRC-UHFFFAOYSA-N n-(2-hydroxyethyl)-n-methylprop-2-enamide Chemical compound OCCN(C)C(=O)C=C VYHUMZYFJVMWRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZXGMKHVTNJFAA-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-phenylprop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)N(C)C1=CC=CC=C1 IZXGMKHVTNJFAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVYCQBKSRWZZGX-UHFFFAOYSA-N naphthalen-1-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1=CC=C2C(OC(=O)C(=C)C)=CC=CC2=C1 HVYCQBKSRWZZGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006501 nitrophenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- RCALDWJXTVCBAZ-UHFFFAOYSA-N oct-1-enylbenzene Chemical compound CCCCCCC=CC1=CC=CC=C1 RCALDWJXTVCBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N octyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C(C)=C NZIDBRBFGPQCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940065472 octyl acrylate Drugs 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N octyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCOC(=O)C=C ANISOHQJBAQUQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical group C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M pent-4-enoate Chemical compound [O-]C(=O)CCC=C HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GUSFEBGYPWJUSS-UHFFFAOYSA-N pentaazanium;[oxido(phosphonatooxy)phosphoryl] phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O GUSFEBGYPWJUSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYDSPAVLTMAXHT-UHFFFAOYSA-N pentyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCOC(=O)C(C)=C GYDSPAVLTMAXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULDDEWDFUNBUCM-UHFFFAOYSA-N pentyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCOC(=O)C=C ULDDEWDFUNBUCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- QIWKUEJZZCOPFV-UHFFFAOYSA-N phenyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1=CC=CC=C1 QIWKUEJZZCOPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRAQQYDMVSCOTE-UHFFFAOYSA-N phenyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1=CC=CC=C1 WRAQQYDMVSCOTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- CYFIHPJVHCCGTF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CC(O)C(=O)OCC=C CYFIHPJVHCCGTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXLMPTNTPOWPLT-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl 3-oxobutanoate Chemical compound CC(=O)CC(=O)OCC=C AXLMPTNTPOWPLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQMAPKVSTSACQB-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OCC=C ZQMAPKVSTSACQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAFZJTKIBGEQKT-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl hexadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCC=C HAFZJTKIBGEQKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPCIWDZYMSZAEZ-UHFFFAOYSA-N prop-2-enyl octadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCC=C HPCIWDZYMSZAEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)OC(=O)C(C)=C BOQSSGDQNWEFSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 description 1
- 229910001388 sodium aluminate Inorganic materials 0.000 description 1
- WBHQBSYUUJJSRZ-UHFFFAOYSA-M sodium bisulfate Chemical compound [Na+].OS([O-])(=O)=O WBHQBSYUUJJSRZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000342 sodium bisulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 230000003381 solubilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- MUTNCGKQJGXKEM-UHFFFAOYSA-N tamibarotene Chemical compound C=1C=C2C(C)(C)CCC(C)(C)C2=CC=1NC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 MUTNCGKQJGXKEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 description 1
- VKFFEYLSKIYTSJ-UHFFFAOYSA-N tetraazanium;phosphonato phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O VKFFEYLSKIYTSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N vinyl benzoate Chemical compound C=COC(=O)C1=CC=CC=C1 KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/72—Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、同一分子内に酸により分解し得るシリルエス
テル基及び活性光線の照射により酸を発生し得る基を有
する新規な光可溶性高分子化合物を使用した、平版印刷
版、多色印刷の校正刷、オーバーヘッドプロジェクター
用図面、IC回路、ホトマスクの製造に適する新規な光
可溶化組成物に関する。
テル基及び活性光線の照射により酸を発生し得る基を有
する新規な光可溶性高分子化合物を使用した、平版印刷
版、多色印刷の校正刷、オーバーヘッドプロジェクター
用図面、IC回路、ホトマスクの製造に適する新規な光
可溶化組成物に関する。
「従来の技術」 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第2,766,118
号、同第2,767,092号、同第2,772,97
2号、同第2,859,112号、同第2,907,6
65号、同第3,046,110号、同第3,046,
111号、同第3,046,115号、同第3,04
6,118号、同第3,046,119号、同第3,0
46,120号、同第3,046,121号、同第3,
046,122号、同第3,046,123号、同第
3,061,430号、同第3,102,809号、同
第3,106,465号、同第3,635,709号、
同第3,647,443号の各明細書をはじめ、多数の
刊行物に記されている。
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第2,766,118
号、同第2,767,092号、同第2,772,97
2号、同第2,859,112号、同第2,907,6
65号、同第3,046,110号、同第3,046,
111号、同第3,046,115号、同第3,04
6,118号、同第3,046,119号、同第3,0
46,120号、同第3,046,121号、同第3,
046,122号、同第3,046,123号、同第
3,061,430号、同第3,102,809号、同
第3,106,465号、同第3,635,709号、
同第3,647,443号の各明細書をはじめ、多数の
刊行物に記されている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こして5員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これ
は、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子
収率が1を越えないということに由来するものである。
射により分解を起こして5員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これ
は、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子
収率が1を越えないということに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭48−12242号、特開昭5
2−40125号、米国特許第4,307,173号な
どの明細書に記載された内容を挙げることができる。
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭48−12242号、特開昭5
2−40125号、米国特許第4,307,173号な
どの明細書に記載された内容を挙げることができる。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その1つとして、例えば特公昭56−
2696号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
第2の反応を生起させ、それにより露光域を可溶化する
公知の原理が適用されている。
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その1つとして、例えば特公昭56−
2696号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
第2の反応を生起させ、それにより露光域を可溶化する
公知の原理が適用されている。
このような例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又はO、N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭48−89003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭51
−120714号)、主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーとの組合せ(特開昭53−13342
9号)、エノールエーテル化合物との組合せ(特開昭5
5−12995号)、N−アシルイミノ炭酸化合物との
組合せ(特開昭55−126236号)、主鎖にオルト
エステル基を有するポリマーとの組合せ(特開昭56−
17345号)及びシリルエステル化合物との組合せ
(特開昭60−10247号)などを挙げることができ
る。これらは原理的に量子収率が1を越える為、高い感
光性を示す可能性があるが、アセタール又はO、N−ア
セタール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケタ
ール基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸に
よる第2の反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感
光性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセタ
ール化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場
合、更にN−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高
い感光性を示すが、経時での安定性が悪く、長期に保存
することができない。主鎖にオルトエステル基を有する
ポリマーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の
現像許容性が狭いという欠点を有する。上記シリルエス
テル化合物の場合、他の化合物及びポリマーに比べ高感
度であり、現像許容性に優れてはいるが、実際に使用す
るには感度、現像許容性が十分とは言えない。
化合物と、アセタール又はO、N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭48−89003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭51
−120714号)、主鎖にアセタール又はケタール基
を有するポリマーとの組合せ(特開昭53−13342
9号)、エノールエーテル化合物との組合せ(特開昭5
5−12995号)、N−アシルイミノ炭酸化合物との
組合せ(特開昭55−126236号)、主鎖にオルト
エステル基を有するポリマーとの組合せ(特開昭56−
17345号)及びシリルエステル化合物との組合せ
(特開昭60−10247号)などを挙げることができ
る。これらは原理的に量子収率が1を越える為、高い感
光性を示す可能性があるが、アセタール又はO、N−ア
セタール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケタ
ール基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸に
よる第2の反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感
光性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセタ
ール化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場
合、更にN−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高
い感光性を示すが、経時での安定性が悪く、長期に保存
することができない。主鎖にオルトエステル基を有する
ポリマーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の
現像許容性が狭いという欠点を有する。上記シリルエス
テル化合物の場合、他の化合物及びポリマーに比べ高感
度であり、現像許容性に優れてはいるが、実際に使用す
るには感度、現像許容性が十分とは言えない。
「発明が解決しようとする問題点」 本発明の目的は、新規な光可溶性高分子化合物を使用
し、上記問題点が解決された新規な光可溶化組成物を提
供することである。即ち高い感光性を有し、現像時の現
像許容性が広い新規な光可溶化組成物を提供することで
ある。
し、上記問題点が解決された新規な光可溶化組成物を提
供することである。即ち高い感光性を有し、現像時の現
像許容性が広い新規な光可溶化組成物を提供することで
ある。
本発明の別の目的は、経時での安定性が優れ長期に保存
が可能な新規な光可溶化組成物を提供することである。
が可能な新規な光可溶化組成物を提供することである。
本発明の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な光可溶性高分子化合物を使用した新規な光可溶
化組成物を提供することである。
る新規な光可溶性高分子化合物を使用した新規な光可溶
化組成物を提供することである。
「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた結
果、新規な光可溶性高分子化合物を見い出した。該高分
子化合物を用いることで前記目的が達成されることを見
い出し本発明に到達した。
果、新規な光可溶性高分子化合物を見い出した。該高分
子化合物を用いることで前記目的が達成されることを見
い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、重合可能なエチレン性不飽和結合及びシ
リルエステル基を有するモノマーから由来される構造単
位、更に重合可能なエチレン性不飽和結合及び活性光線
の照射により酸を発生し得る基を有するモノマーから由
来される構造単位を含有し、活性光線の照射により、現
像液中でのその溶解度が増大する化合物を含有する光可
溶化組成物を提供するものである。
リルエステル基を有するモノマーから由来される構造単
位、更に重合可能なエチレン性不飽和結合及び活性光線
の照射により酸を発生し得る基を有するモノマーから由
来される構造単位を含有し、活性光線の照射により、現
像液中でのその溶解度が増大する化合物を含有する光可
溶化組成物を提供するものである。
好ましくは該光可溶性高分子化合物が、下記一般式
(I)及び(II)で示されるモノマーから由来される構造
単位をそれぞれ少なくとも1種含有する化合物であるこ
とを特徴とする。
(I)及び(II)で示されるモノマーから由来される構造
単位をそれぞれ少なくとも1種含有する化合物であるこ
とを特徴とする。
式中R1は水素原子、ハロゲン、もしくは置換基を有し
ていてもよいアルキル基を示す。好ましくは水素原子、
又は置換基を有していてもよいアルキル基、更に好まし
くは水素原子又はメチル基を示す。R2、R3、R4は
同一でも相異していてもよく、それぞれ水素原子、置換
基を有していてもよいアルキル、アリール、もしくはア
ラルキル、又は−OR5を示す。好ましくは置換基を有
していてもよいアルキル、アリール、もしくはアラルキ
ル基を示す。R5は置換基を有していてもよいアルキ
ル、アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましく
は炭素数1〜8個のアルキル、又は炭素数6〜15個の
アリール基を示す。Aは単結合、−O−R6−CO−、
もしくは −CO−を示す。R6は置換基を有していてもよい2価
の脂肪族又は芳香族炭化水素を示す。R7は水素原子、
置換基を有していてもよいアルキル、アリール、もしく
はアラルキル、又は−CO−R8を示す。好ましくは水
素原子、炭素数1〜4のアルキル、もしくは−CO−R
8を示す。R8は置換基を有していてもよいアルキル、
アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましくは炭
素数1〜4個のアルキル、又は炭素数6〜10個のアリ
ール基を示す。Zは活性光線の照射により酸を発生し得
る基を示す。好ましくは、トリハロメチル基が置換した
S−トリアジン単位、又はトリハロメチル基が置換した
オキサジアゾール単位を含有する基を示す。
ていてもよいアルキル基を示す。好ましくは水素原子、
又は置換基を有していてもよいアルキル基、更に好まし
くは水素原子又はメチル基を示す。R2、R3、R4は
同一でも相異していてもよく、それぞれ水素原子、置換
基を有していてもよいアルキル、アリール、もしくはア
ラルキル、又は−OR5を示す。好ましくは置換基を有
していてもよいアルキル、アリール、もしくはアラルキ
ル基を示す。R5は置換基を有していてもよいアルキ
ル、アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましく
は炭素数1〜8個のアルキル、又は炭素数6〜15個の
アリール基を示す。Aは単結合、−O−R6−CO−、
もしくは −CO−を示す。R6は置換基を有していてもよい2価
の脂肪族又は芳香族炭化水素を示す。R7は水素原子、
置換基を有していてもよいアルキル、アリール、もしく
はアラルキル、又は−CO−R8を示す。好ましくは水
素原子、炭素数1〜4のアルキル、もしくは−CO−R
8を示す。R8は置換基を有していてもよいアルキル、
アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましくは炭
素数1〜4個のアルキル、又は炭素数6〜10個のアリ
ール基を示す。Zは活性光線の照射により酸を発生し得
る基を示す。好ましくは、トリハロメチル基が置換した
S−トリアジン単位、又はトリハロメチル基が置換した
オキサジアゾール単位を含有する基を示す。
本発明の光可溶性高分子化合物を構成する、一般式
(I)で示されるモノマーとしては、例えば次に示すも
のが含まれる。
(I)で示されるモノマーとしては、例えば次に示すも
のが含まれる。
(I−1) (I−2) (I−3) (I−4) (I−5) (I−6) (I−7) (I−8) (I−9) (I−10) (I−11) (I−12) (I−13) (I−14) (I−15) (I−16) (I−17) (I−18) (I−19) (I−20) (I−21) (I−22) (I−23) なお具体例中のRは水素原子又はメチル基を示す。また
一般式(II)で示されるモノマーとしては、例えば次に示
すものが挙げられる。
一般式(II)で示されるモノマーとしては、例えば次に示
すものが挙げられる。
(II−1) (II−2) (II−3) (II−4) (II−5) (II−6) (II−7) (II−8) (II−9) (II−10) (II−11) (II−12) (II−13) (II−14) なお具体例中のRは水素原子又はメチル基を示す。
本発明に用いられる光可溶性高分子化合物は、例えば好
ましい例として一般式(I)及び(II)で示されるモノマ
ーの二元共重合体として使用することができるが、更に
別の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物
(1種以上)との3元以上の共重合体の形で用いてもよ
い。
ましい例として一般式(I)及び(II)で示されるモノマ
ーの二元共重合体として使用することができるが、更に
別の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物
(1種以上)との3元以上の共重合体の形で用いてもよ
い。
好適な重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物
としては、以下に示すものが含まれる。例えばアクリル
酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリル酸エステ
ル類、メタクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエー
テル類、ビニルエステル類、スチレン類、クロトン酸エ
ステル類などから選ばれる付加重合性不飽和結合を1個
有する化合物である。具体的には、例えばアクリル酸エ
ステル類、例えばアルキル(該アルキル基の炭素原子数
は1〜10のものが好ましい)アクリーレート(例えば
アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロ
ピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル
酸エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸−
t−オクチル、クロルエチルアクリレート、2−ヒドロ
キシエチルアクリレート、2,2−ジメチルヒドロキシ
プロピルアクリレート、5−ヒドロキシペンチルアクリ
レート、トリメチロールプロパンモノアクリレート、ペ
ンタエリスリトールモノアクリレート、グリシジルアク
リレート、ベンジルアクリレート、メトキシベンジルア
クリレート、フルフリルアクリレート、テトラヒドロフ
ルフリルアクリレート、など)、アリールアクリレート
(例えばフェニルアクリレートなど);メタクリル酸エ
ステル類、例えば、アルキル(該アルキル基の炭素原子
数は1〜10のものが好ましい)メタクリレート(例え
ばメチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロ
ピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、ア
ミルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、シクロ
ヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、ク
ロルベンジルメタクリレート、オクチルメタクリレー
ト、2−ヒロロキシエチルメタクリレート、4−ヒドロ
キシブチルメタクリレート、5−ヒドロキシペンチルメ
タクリレート、2,2−ジメチル−3−ヒドロキシプロ
ピルメタクリレート、トリメチロールプロパンモノメタ
クリレート、ペンタエリスリトールモノメタクリレー
ト、グリシジルメタクリレート、フルフリルメタクリレ
ート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなど)、
アリールメタクリレート(例えばフェニルメタクリレー
ト、クレジルメタクリレート、ナフチルメタクリレート
など);アクリルアミド類、例えばアクリルアミド、N
−アルキルアクリルアミド、(該アルキル基としては、
炭素原子数1〜10のもの、例えば、メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、t−ブチル基、ヘプチル
基、オクチル基、シクロヘキシル基、ベンジル基、ヒド
ロキシエチル基、ベンジル基などがある。)、N−アリ
ールアクリルアミド、(該アリール基としては、例えば
フェニル基、トリル基、ニトロフェニル基、ナフチル
基、シアノフェニル基、ヒドロキシフェニル基などがあ
る。)、N,N−ジアルキルアクリルアミド(該アルキ
ル基としては、炭素原子数1〜10のもの、例えばメチ
ル基、エチル基、ブチル基、イソブチル基、エチルヘキ
シル基、シクロヘキシル基などがある。)、N,N−ア
リールアクリルアミド(該アリール基としては、例えば
フェニル基などがある。)、N−メチル−N−フェニル
アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル−N−メチルア
クリルアミド、N−2−アセトアミドエチル−N−アセ
チルアクリルアミドなど;メタクリルアミド類、例えば
メタクリルアミド、N−アルキルメタクリルアミド(該
アルキル基としては、炭素原子数1〜10のもの、例え
ばメチル基、エチル基、t−ブチル基、エチルヘキシル
基、ヒドロキシエチル基、シクロヘキシル基などがあ
る。)、N−アリールメタクリルアミド(該アリール基
としては、フェニル基、ヒドロキシフェニル基などがあ
る。)、N,N−ジアルキルメタクリルアミド(該アル
キル基としては、エチル基、プロピル基、ブチル基など
がある。)N,N−ジアリールメタクリルアミド(該ア
リール基としては、フェニル基などがある。)、N−ヒ
ドロキシエチル−N−メチルメタクリルアミド、N−メ
チル−N−フェニルメタクリルアミド、N−エチル−N
−フェニルメタクリルアミドなど;アリル化合物、例え
ばアリルエステル類(例えば酢酸アリル、カプロン酸ア
リル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチ
ン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、ア
セト酢酸アリル、乳酸アリルなど)、アリルオキシエタ
ノールなど;ビニルエーテル類、例えばアルキルビニル
エーテル、(例えばヘキシルビニルエーテル、オクチル
ビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシ
ルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エ
トキシエチルビニルエーテル、クロルエチルビニルエー
テル、1−メチル−2,2−ジメチルプロピルビニルエ
ーテル、2−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシ
エチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエ
ーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチ
ルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビ
ニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロ
フルフリルビニルエーテルなど)、ビニルアリールエー
テル(例えばビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエ
ーテル、ビニルクロルフェニルエーテル、ビニル−2,
4−ジクロルフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテ
ル、ビニルアントラニルエーテルなど);ビニルエステ
ル類、例えばビニルブチレート、ビニルイソブチレー
ト、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセ
テート、ビニルバレート、ビニルカプロエート、ビニル
クロルアセテート、ビニルジクロルアセテート、ビニル
メトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニ
ルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニ
ルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、ビニ
ルシクロヘキシルカルボキシレート、安息香酸ビニル、
サルチル酸ビニル、クロル安息香酸ビニル、テトラクロ
ル安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニルなど;スチレン
類、例えばスチレン、アルキルスチレン(例えばメチル
スチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エ
チルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレ
ン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシ
ルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロ
ルメチルスチレン、トリフルオルメチルスチレン、エト
キシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレンな
ど)、アルコキシスチレン(例えばメトキシスチレン、
4−メトキシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレ
ンなど)、ハロゲンスチレン(例えばクロルスチレン、
ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロル
スチレン、ペンタクロルスチレン、ブロムスチレン、ジ
ブロムスチレン、ヨードスチレン、フルオルスチレン、
トリフルオルスチレン、2−ブロム−4−トリフルオル
メチルスチレン、4−フルオル−3−トリフルオルメチ
ルスチレンなど);クロトン酸エステル類、例えば、ク
ロトン酸アルキル(例えばクロトン酸ブチル、クロトン
酸ヘキシル、グリセリンモノクロトネートなど);イタ
コン酸ジアルキル類(例えばイタコン酸ジメチル、イタ
コン酸ジエチル、イタコン酸ジブチルなど);マレイン
酸あるいはフマール酸のジアルキル類(例えばジメチル
マレレート、ジブチルフマレートなど);アクリル酸、
メタクリル酸、アクロニトリル、メタクロニトリル等が
ある。その他、一般的には前記一般式(I)及び(II)で
示される化合物と共重合可能である付加重合性不飽和化
合物であればよい。
としては、以下に示すものが含まれる。例えばアクリル
酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリル酸エステ
ル類、メタクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエー
テル類、ビニルエステル類、スチレン類、クロトン酸エ
ステル類などから選ばれる付加重合性不飽和結合を1個
有する化合物である。具体的には、例えばアクリル酸エ
ステル類、例えばアルキル(該アルキル基の炭素原子数
は1〜10のものが好ましい)アクリーレート(例えば
アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロ
ピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル
酸エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸−
t−オクチル、クロルエチルアクリレート、2−ヒドロ
キシエチルアクリレート、2,2−ジメチルヒドロキシ
プロピルアクリレート、5−ヒドロキシペンチルアクリ
レート、トリメチロールプロパンモノアクリレート、ペ
ンタエリスリトールモノアクリレート、グリシジルアク
リレート、ベンジルアクリレート、メトキシベンジルア
クリレート、フルフリルアクリレート、テトラヒドロフ
ルフリルアクリレート、など)、アリールアクリレート
(例えばフェニルアクリレートなど);メタクリル酸エ
ステル類、例えば、アルキル(該アルキル基の炭素原子
数は1〜10のものが好ましい)メタクリレート(例え
ばメチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロ
ピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、ア
ミルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、シクロ
ヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、ク
ロルベンジルメタクリレート、オクチルメタクリレー
ト、2−ヒロロキシエチルメタクリレート、4−ヒドロ
キシブチルメタクリレート、5−ヒドロキシペンチルメ
タクリレート、2,2−ジメチル−3−ヒドロキシプロ
ピルメタクリレート、トリメチロールプロパンモノメタ
クリレート、ペンタエリスリトールモノメタクリレー
ト、グリシジルメタクリレート、フルフリルメタクリレ
ート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなど)、
アリールメタクリレート(例えばフェニルメタクリレー
ト、クレジルメタクリレート、ナフチルメタクリレート
など);アクリルアミド類、例えばアクリルアミド、N
−アルキルアクリルアミド、(該アルキル基としては、
炭素原子数1〜10のもの、例えば、メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、t−ブチル基、ヘプチル
基、オクチル基、シクロヘキシル基、ベンジル基、ヒド
ロキシエチル基、ベンジル基などがある。)、N−アリ
ールアクリルアミド、(該アリール基としては、例えば
フェニル基、トリル基、ニトロフェニル基、ナフチル
基、シアノフェニル基、ヒドロキシフェニル基などがあ
る。)、N,N−ジアルキルアクリルアミド(該アルキ
ル基としては、炭素原子数1〜10のもの、例えばメチ
ル基、エチル基、ブチル基、イソブチル基、エチルヘキ
シル基、シクロヘキシル基などがある。)、N,N−ア
リールアクリルアミド(該アリール基としては、例えば
フェニル基などがある。)、N−メチル−N−フェニル
アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル−N−メチルア
クリルアミド、N−2−アセトアミドエチル−N−アセ
チルアクリルアミドなど;メタクリルアミド類、例えば
メタクリルアミド、N−アルキルメタクリルアミド(該
アルキル基としては、炭素原子数1〜10のもの、例え
ばメチル基、エチル基、t−ブチル基、エチルヘキシル
基、ヒドロキシエチル基、シクロヘキシル基などがあ
る。)、N−アリールメタクリルアミド(該アリール基
としては、フェニル基、ヒドロキシフェニル基などがあ
る。)、N,N−ジアルキルメタクリルアミド(該アル
キル基としては、エチル基、プロピル基、ブチル基など
がある。)N,N−ジアリールメタクリルアミド(該ア
リール基としては、フェニル基などがある。)、N−ヒ
ドロキシエチル−N−メチルメタクリルアミド、N−メ
チル−N−フェニルメタクリルアミド、N−エチル−N
−フェニルメタクリルアミドなど;アリル化合物、例え
ばアリルエステル類(例えば酢酸アリル、カプロン酸ア
リル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチ
ン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、ア
セト酢酸アリル、乳酸アリルなど)、アリルオキシエタ
ノールなど;ビニルエーテル類、例えばアルキルビニル
エーテル、(例えばヘキシルビニルエーテル、オクチル
ビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシ
ルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エ
トキシエチルビニルエーテル、クロルエチルビニルエー
テル、1−メチル−2,2−ジメチルプロピルビニルエ
ーテル、2−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシ
エチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエ
ーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチ
ルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビ
ニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロ
フルフリルビニルエーテルなど)、ビニルアリールエー
テル(例えばビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエ
ーテル、ビニルクロルフェニルエーテル、ビニル−2,
4−ジクロルフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテ
ル、ビニルアントラニルエーテルなど);ビニルエステ
ル類、例えばビニルブチレート、ビニルイソブチレー
ト、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセ
テート、ビニルバレート、ビニルカプロエート、ビニル
クロルアセテート、ビニルジクロルアセテート、ビニル
メトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニ
ルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニ
ルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、ビニ
ルシクロヘキシルカルボキシレート、安息香酸ビニル、
サルチル酸ビニル、クロル安息香酸ビニル、テトラクロ
ル安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニルなど;スチレン
類、例えばスチレン、アルキルスチレン(例えばメチル
スチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エ
チルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレ
ン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシ
ルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロ
ルメチルスチレン、トリフルオルメチルスチレン、エト
キシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレンな
ど)、アルコキシスチレン(例えばメトキシスチレン、
4−メトキシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレ
ンなど)、ハロゲンスチレン(例えばクロルスチレン、
ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロル
スチレン、ペンタクロルスチレン、ブロムスチレン、ジ
ブロムスチレン、ヨードスチレン、フルオルスチレン、
トリフルオルスチレン、2−ブロム−4−トリフルオル
メチルスチレン、4−フルオル−3−トリフルオルメチ
ルスチレンなど);クロトン酸エステル類、例えば、ク
ロトン酸アルキル(例えばクロトン酸ブチル、クロトン
酸ヘキシル、グリセリンモノクロトネートなど);イタ
コン酸ジアルキル類(例えばイタコン酸ジメチル、イタ
コン酸ジエチル、イタコン酸ジブチルなど);マレイン
酸あるいはフマール酸のジアルキル類(例えばジメチル
マレレート、ジブチルフマレートなど);アクリル酸、
メタクリル酸、アクロニトリル、メタクロニトリル等が
ある。その他、一般的には前記一般式(I)及び(II)で
示される化合物と共重合可能である付加重合性不飽和化
合物であればよい。
本発明に用いられる光可溶性高分子化合物の分子量は、
重量平均で1000以上で、好ましくは5,000〜
1,000,000である。
重量平均で1000以上で、好ましくは5,000〜
1,000,000である。
本発明の光可溶性高分子化合物における、シリルエステ
ル基を有するモノマーから由来される構造単位と、活性
光線の照射により酸を発生し得る基を有するモノマーか
ら由来される構造単位の割合は、好ましくはモル比で
1:0.0001〜1:10であり、更に好ましくは
1:0.005〜1:0.5の範囲で使用される。
ル基を有するモノマーから由来される構造単位と、活性
光線の照射により酸を発生し得る基を有するモノマーか
ら由来される構造単位の割合は、好ましくはモル比で
1:0.0001〜1:10であり、更に好ましくは
1:0.005〜1:0.5の範囲で使用される。
本発明の光可溶性高分子化合物は、平版印刷版、IC回
路などに使用する場合、該高分子化合物単独で使用する
ことができるが、別のアルカリ可溶性樹脂と混合して用
いてもよい。好適なアルカリ可溶性樹脂としては、ノボ
ラック型フェノール樹脂、具体的にはフェノール−ホル
ムアルデヒド樹脂、o−クレゾール−ホルムアルデヒド
樹脂、m−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、p−ク
レゾールーホルムアルデヒド樹脂、、またこれらの共縮
合物などがある。更にカルボキシル基含有ポリアクリレ
ート、ポリメタクリレート、ポリエステル、ポリウレタ
ン、及びポリアミドなどが含まれる。アルカリ可溶性樹
脂は、光可溶化組成物の全重量を基準として、好ましく
は約10〜90重量%、更に好ましくは約40〜80重
量%含有させられる。
路などに使用する場合、該高分子化合物単独で使用する
ことができるが、別のアルカリ可溶性樹脂と混合して用
いてもよい。好適なアルカリ可溶性樹脂としては、ノボ
ラック型フェノール樹脂、具体的にはフェノール−ホル
ムアルデヒド樹脂、o−クレゾール−ホルムアルデヒド
樹脂、m−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、p−ク
レゾールーホルムアルデヒド樹脂、、またこれらの共縮
合物などがある。更にカルボキシル基含有ポリアクリレ
ート、ポリメタクリレート、ポリエステル、ポリウレタ
ン、及びポリアミドなどが含まれる。アルカリ可溶性樹
脂は、光可溶化組成物の全重量を基準として、好ましく
は約10〜90重量%、更に好ましくは約40〜80重
量%含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る基の酸発生効率を
増大させる化合物(所謂増感剤)などを含有させること
ができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基性染
料がある。具体的には、オイルイエロー#101、オイ
ルイエロー#130、オイルピンク#312、オイルグ
リーンBG、オイルブルーBOS、オイルブルー#60
3、オイルブラックBY、オイルブラックBS、オイル
ブラックT−505(以上、オリエント化学工業株式会
社製)クリスタルバイオレット(CI42555)、メ
チルバイオレット(CI42535)、ローダミンB
(CI45170B)マラカイトグリーン(CI420
00)、メチレンブルー(CI52015)などをあげ
ることができる。
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る基の酸発生効率を
増大させる化合物(所謂増感剤)などを含有させること
ができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基性染
料がある。具体的には、オイルイエロー#101、オイ
ルイエロー#130、オイルピンク#312、オイルグ
リーンBG、オイルブルーBOS、オイルブルー#60
3、オイルブラックBY、オイルブラックBS、オイル
ブラックT−505(以上、オリエント化学工業株式会
社製)クリスタルバイオレット(CI42555)、メ
チルバイオレット(CI42535)、ローダミンB
(CI45170B)マラカイトグリーン(CI420
00)、メチレンブルー(CI52015)などをあげ
ることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
2〜50重量%である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(固形分)は0.1〜25重量%である。ま
た、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印
刷版についていえば一般的に固形分として0.5〜3.
0g/m2が好ましい。塗布量が少なくなるにつれ感光
性は大になるが、感光膜の物性は低下する。
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
2〜50重量%である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(固形分)は0.1〜25重量%である。ま
た、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印
刷版についていえば一般的に固形分として0.5〜3.
0g/m2が好ましい。塗布量が少なくなるにつれ感光
性は大になるが、感光膜の物性は低下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理網板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理網板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクター用フ
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。またホトレジストと
して上記以外の種々の支持体、例えば銅板、銅メッキ
板、ガラス板上に本発明の光可溶化組成物を塗布して使
用される。
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。またホトレジストと
して上記以外の種々の支持体、例えば銅板、銅メッキ
板、ガラス板上に本発明の光可溶化組成物を塗布して使
用される。
本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーボンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザー、アル
ゴンレーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーボンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザー、アル
ゴンレーザー、クリプトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物に対する現像液としては、珪酸
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
二リン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第二リ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量%、
好ましくは0.5〜5重量%になるように添加される。
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
二リン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第二リ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量%、
好ましくは0.5〜5重量%になるように添加される。
また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
「実施例」 以下、本発明を合成例と実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
合成例(化合物例(I−8)(R=CH3)、(II−
2)(R=CH3)、及びベンジルメタクリレートの共
重合体の合成) 化合物例(I−8)(R=CH3)33.5g(0.1
52mole)、(II−2)(R=CH3)3.8g
(0.01mole)、及びベンジルメタクリレート
6.7g(0.038mole)を2−メトキシエタノ
ール120mに溶解し、窒素気流下70゜Cに加熱した
後、α,α′−アゾビスイソブチロニトリル0.25g
を加えて8時間重合反応を行った。
2)(R=CH3)、及びベンジルメタクリレートの共
重合体の合成) 化合物例(I−8)(R=CH3)33.5g(0.1
52mole)、(II−2)(R=CH3)3.8g
(0.01mole)、及びベンジルメタクリレート
6.7g(0.038mole)を2−メトキシエタノ
ール120mに溶解し、窒素気流下70゜Cに加熱した
後、α,α′−アゾビスイソブチロニトリル0.25g
を加えて8時間重合反応を行った。
反応終了後、反応溶液を水3l中に攪拌しながら注ぎ、
生じた白色沈澱を取乾燥して共重合体40.2gを得
た。
生じた白色沈澱を取乾燥して共重合体40.2gを得
た。
実施例1 厚さ0.24mmの2Sアルミニウム板を80゜Cに保った
第3燐酸ナトリウムの10%水溶液に3分間浸漬して脱
脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミン酸ナト
リウムで約10秒間エッチングして、硫酸水素ナトリウ
ム3%水溶液でデスマット処理を行った。このアルミニ
ウム板を20%硫酸中で電流密度2A/dm2において
2分間陽極酸化を行いアルミニウム板を作製した。
第3燐酸ナトリウムの10%水溶液に3分間浸漬して脱
脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミン酸ナト
リウムで約10秒間エッチングして、硫酸水素ナトリウ
ム3%水溶液でデスマット処理を行った。このアルミニ
ウム板を20%硫酸中で電流密度2A/dm2において
2分間陽極酸化を行いアルミニウム板を作製した。
次に下記感光液〔A〕の本発明の化合物の種類を変えて
3種類の感光液〔A〕−1〜〔A〕−3を調整し、この
感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し、
100゜Cで2分間乾燥して、それぞれの感光性平版印刷
版〔A〕−1〜〔A〕−3を作製した。このときの塗布
量は全て乾燥重量で1.5g/m2であった。
3種類の感光液〔A〕−1〜〔A〕−3を調整し、この
感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し、
100゜Cで2分間乾燥して、それぞれの感光性平版印刷
版〔A〕−1〜〔A〕−3を作製した。このときの塗布
量は全て乾燥重量で1.5g/m2であった。
また感光液〔A〕−1〜〔A〕−3に用いた本発明の化
合物は第1表に示す。
合物は第1表に示す。
感光液〔A〕 次に比較例として下記の感光液〔B〕及び〔C〕を感光
液〔A〕と同様にして塗布し、感光性平版印刷版〔B〕
及び〔C〕を作製した。
液〔A〕と同様にして塗布し、感光性平版印刷版〔B〕
及び〔C〕を作製した。
感光液〔B〕 感光液〔C〕 重量平均分子量w=30,000(GPC、ポリスチ
レン標準) 乾燥後の塗布重量はいずれも1.5g/m2であった。
感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕及び
〔C〕の感光層上に濃度差0.15のグレースケールを
密着させ、30アンペアのカーボンアーク灯で70cmの
距離から露光を行った。
レン標準) 乾燥後の塗布重量はいずれも1.5g/m2であった。
感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕及び
〔C〕の感光層上に濃度差0.15のグレースケールを
密着させ、30アンペアのカーボンアーク灯で70cmの
距離から露光を行った。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕及び〔C〕をD
P−4(商品名:富士写真フィルム(株)製)の8倍希
釈水溶液で25゜Cにおいて60秒間浸漬現像し、濃度差
0.15のグレースケールで5段目が完全にクリアーと
なる露光時間を求めたところ第1表に示すとおりとなっ
た。
印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕及び〔C〕をD
P−4(商品名:富士写真フィルム(株)製)の8倍希
釈水溶液で25゜Cにおいて60秒間浸漬現像し、濃度差
0.15のグレースケールで5段目が完全にクリアーと
なる露光時間を求めたところ第1表に示すとおりとなっ
た。
第1表からわかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3は、いずれも
〔B〕、〔C〕より露光時間が少なく感度が高い。また
〔A〕−1と〔C〕の比較より、同一分子内にシリルエ
ステル基及び活性光線の照射により酸を発生し得る基を
有する本発明の光可溶性高分子化合物の方が、各々を別
個に添加した〔C〕より感度が高いことがわかる。
平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3は、いずれも
〔B〕、〔C〕より露光時間が少なく感度が高い。また
〔A〕−1と〔C〕の比較より、同一分子内にシリルエ
ステル基及び活性光線の照射により酸を発生し得る基を
有する本発明の光可溶性高分子化合物の方が、各々を別
個に添加した〔C〕より感度が高いことがわかる。
なお、第1表における本発明の光可溶性高分子化合物の
分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(ポ
リスチレン標準)測定により、いずれも重量平均で2
0,000〜40,000であった。
分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(ポ
リスチレン標準)測定により、いずれも重量平均で2
0,000〜40,000であった。
実施例2 本発明の優れた現像許容性を示す為、実施例1において
作製した感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、
〔B〕、及び〔C〕の感光層上に濃度差0.15のグレ
ースケールを密着させ、30アンペアのカーボンアーク
灯で70cmの距離から30秒間露光を行った。露光され
た感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕、
及び〔C〕を実施例1と同じ現像液にて、25゜Cで60
秒間及び3分間現像した。濃度差0.15のグレースケ
ールで、60秒間及び3分間現像における完全にクリア
ーとなる段数の差を求めたところ、第2表に示すとおり
となった。
作製した感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、
〔B〕、及び〔C〕の感光層上に濃度差0.15のグレ
ースケールを密着させ、30アンペアのカーボンアーク
灯で70cmの距離から30秒間露光を行った。露光され
た感光性平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3、〔B〕、
及び〔C〕を実施例1と同じ現像液にて、25゜Cで60
秒間及び3分間現像した。濃度差0.15のグレースケ
ールで、60秒間及び3分間現像における完全にクリア
ーとなる段数の差を求めたところ、第2表に示すとおり
となった。
第2表からわかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3は、いずれも
〔B〕、〔C〕よりクリアー部のグレースケールの段数
変化は小さく、現像許容性は大きい。また〔A〕−1と
〔C〕の比較より、同一分子内にシリルエステル基及び
活性光線の照射により酸を発生し得る基を有する本発明
の光可溶性高分子化合物の方が、各々を別個に添加した
〔C〕より現像許容性が大きいことがわかる。
平版印刷版〔A〕−1〜〔A〕−3は、いずれも
〔B〕、〔C〕よりクリアー部のグレースケールの段数
変化は小さく、現像許容性は大きい。また〔A〕−1と
〔C〕の比較より、同一分子内にシリルエステル基及び
活性光線の照射により酸を発生し得る基を有する本発明
の光可溶性高分子化合物の方が、各々を別個に添加した
〔C〕より現像許容性が大きいことがわかる。
Claims (1)
- 【請求項1】重合可能なエチレン性不飽和結合及びシリ
ルエステル基を有するモノマーから由来される構造単
位、更に重合可能なエチレン性不飽和結合及び活性光線
の照射により酸を発生し得る基を有するモノマーから由
来される構造単位を含有し、活性光線の照射により、現
像液中でのその溶解度が増大する化合物を含有する光可
溶化組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178713A JPH067261B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178713A JPH067261B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238451A JPS6238451A (ja) | 1987-02-19 |
| JPH067261B2 true JPH067261B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=16053260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178713A Expired - Fee Related JPH067261B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067261B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH067263B2 (ja) * | 1985-08-19 | 1994-01-26 | 富士写真フイルム株式会社 | 光可溶化組成物 |
| JP2649512B2 (ja) * | 1986-05-22 | 1997-09-03 | 中国塗料 株式会社 | ケイ素含有共重合体からなる防汚塗料用樹脂 |
| US6010824A (en) * | 1992-11-10 | 2000-01-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Photosensitive resin composition containing a triazine compound and a pre-sensitized plate using the same, and photosensitive resin composition containing acridine and triazine compounds and a color filter and a pre-sensitized plate using the same |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010247A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
| JPS6052845A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | パタ−ン形成材料 |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP60178713A patent/JPH067261B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6238451A (ja) | 1987-02-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |