JPS6010247A - 光可溶化組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘッ
ドプロジェクタ−用図面、ＩＣ回路、ホトマスクの製造
に適する先回溶化組成物に関する。

更に詳しくは、（ａ）活性光線の照射により、酸を発生
し得る化合物、及び［ｂ）酸により分解し得るエステル
基を少なくとも１個有するイｒ合物、を含有する新規な
先回溶化組成物に関する。

活性光線により可溶化する、いわゆるポジテプに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第２．’ｙｔｔ、ｉｉ
ｒ号、同第２゜７ｔ７，０グＪ号、同第２，７７２．り
７コ号、同第２．ＩＪ′９，１１２号、同第、２，９０
７，６６５号、同第Ｊ　、０１１１．．１１０号、同第
３，０≠１．１１１号、同第３，０≠ｔ、１１１号、同
第３，０４４ｔ、１１１号、同第３，０１７６、／／り
号、同第３，０グＪ、７２０号、同第３，０≠１、．１
２１号、同第３．０１１６　、／２．２号、同第３．０
グｔ、１２３号、同第３．０６１．４！Ｊ。

号、同第３，１０２．ざＱり号、同第Ｊ　、　ｔ　ｏ　
＆　ｅｔｔｔｓ号、同第３，６３１，７０２号、同第３
゜６≠７．弘≠３号の各明細書をはじめ、多数の刊行物
に記されている。

これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こしてｊ員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率がｌを越えないということに由来するものである。

オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭グ１−７２λ４／−２号、特開
昭ｊ、Ｚ−≠０ｌ−２夕号、米国特許第弘、３０７，１
７３号などの明細書に記載された内容を挙げることがで
きる。

また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
テブに作用させるＭ＆光性組成物に関して、いくつかの
提案がされている。その１つとして、例えば特公昭ｔｊ
−２ｔＰＡ号の８Ａ細書に記載されているオルトニトロ
カルビノールエステル基ヲ有するポリマー化合物が挙け
られる。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの
場合と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、こ
れとけ別に接触作、用によシ活性化される感光系を使用
し感光性を高める方法として、光分解で生成する酸によ
って第２の反応を生起させ、それにより露光−域を可溶
化する公知の原理が適用されている。

このような例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又は０．Ｎ−アセタール化合物と
の組合せ（特開昭ｌ／ａ’−ｒｙｏ。

３号）、オルトエステル又はアミドアセタール化合物と
の組合せ（％開昭！／−ｌコ０７／≠号）。

主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマーとの
組合せ（特開昭１３−／ｊ、３弘２２号）、エノールエ
ーテル化合物との組合せ（特開昭ｊよ−１２タタｊ号）
、Ｎ−アシルイミノ炭酸化召物との組合せ（特開昭１１
−／、２乙−３を号）、及び主鎖にオルトエステル基を
有するポリマーとの組合せ（％開昭ｊ＆−／７Ｊ≠ｊ号
）を挙げることができる。これらは原形的に量子収率が
ｌを越える為、高い感光性を示す可能性があるが、アセ
タール又は０．Ｎ−アセタール化合物の場合、及び主鎖
にアセタール又はケタール基を有するポリマーの場合、
光分解で生成する酸による第２の反応の速度が遅い為、
実際の使用に十分な感光性を示さない。またオルトエス
テル又はアミドアセタール化合物の場合及び、エノール
エーテル化合物の場合、更にＮ−アシルイミノ炭酸化合
物の場合は確かに高い感光性を示すが、経時での安定性
力；悪く、長期に保存することができない。主鎖にオル
トエステル基を有するポリマーの場合も、同じく高感度
ではあるが、現像時の現像許容性が狭いという欠点を有
する。

本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な先
回溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な先回溶化組成物
を提供することである。

本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長期に保存
が可能な新規な先回溶化組成物を提供することである。

本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な先回溶化組成物を提供することでおる。

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた結
果、新規な先回溶化組成物を用いることで前記目的が達
成されることを見い出し本発明に一到達した。

即ち本発明は、（ａｔ活性光線の照射にょシ酸を発生し
得る化合物、及び（ｂｌ酸により分解し得るエステル基
を少なくとも１個有し、現像液中でのその溶解度が、酸
の作用により増大する化合物、を含有する先回溶化組成
物を提供するものである（本発明でいうエステル基とは
、カルボキシル基−ＣＯＯＨの水素原子Ｈが他の有機残
基に置き換ったものでオルトエステル基は含まない。）
。

ここで、化合物（ｂ）における酸により分解し得るエス
テル基が、下記一般式（Ｉ）で示されるものであること
を特徴とする。

−ｃ−ｏ−ｓｉ　−（Ｉ　） ＼ 更に好ましくは、一般式（Ｉ）で示される酸により分解
し得るエステル基を有する化合物が下記式中几ｌは置換
基を有していてもよいｍ価の脂肪族又は芳香族炭化水素
を示す。几２．几３゜ｉｔ　４は同一でも相異していて
もよく、それぞれ水−累原子、アルキルｓ　ｌｅｔ換基
を有Ｌ７ていてもよい了り−ル又はアラルキル、アルコ
キン、ハロゲン、１ もしくは−〇　−Ｃ−Ｒ７を示す３．好寸しくは炭緊数
／〜≠個のアルキル、炭素数／−４個のアルコ１； ホシ、クロル、もしくは−〇−Ｃ−１（，７、更に好捷
しくけ炭≦を数ｌ〜≠個のアルキル、炭素数／５−ｇ１
固のアルコキシ基を示す、、Ｒｓ、Ｉ（、ａは同一でも
相異していてもよく、それぞれ置換基を有していてもよ
い２価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示す。Ｒ７は１ａ
検基を有していてもよいアルキル。

アリール、もしくはアラルキル基を示す。

ｍ、ｎはＩＥの整数、好甘し、くはｍは／、１０００％
ｎは／−３００の整数を示す９、ａｌ、ａ２゜ｂ　１　
、　ｂ　２はそれぞれＱ又はｌを示す。

一般式（Ｉ）で示されるエステル基を少なくとも１個有
する化合物の具体例としては、次に示すものが含まれる
。

Ｉ ２ 應３ ＆４ ｌｉ　５ ＆、６ ７ ２Ｉ−１５ 暑 ２Ｈ５ ８ Ａ９ １　０ ５１１ Ｃ１０゜ ＣＨ−Ｃ００Ｓｔ　００（−−ＣｓＨ工□　１１ ＣＨ３ 屋１２ ．６１３ １４ 煮１５ Ｈａ Ｈａ 　１　６ 屋１７ 應１８ ｘ　／　ｙ　＝　０　／　／　００ヘタｏ７ｉ　。

これらの酸によシ分解し得るエステル基を少なくとも７
個有する化合物と組合せて用いる、活性光線の照射によ
り酸を発生し・潜る化合物としては多くの公知化合物及
び混合物、例えば、ジアゾニウム、ホスホニウム、スル
ホニウム、及びヨードニウムのＢＦ４　、ＰＦ’６−１
８ｂＦ６−１ＳｉＦｓ　、Ｑ＋０４−などの塩、有機ハ
ロゲン化−合物、オルトキノンジ了シトスルホニルクロ
リド、及び有機金属／有機ハロゲン化合吻組合せ物が適
当である。もちろん、米国特許第３，７７２，７７ｇ号
及び西ドイツ国特許第２．乙ｉｏ、ｔ４ｔ２号の明細書
中に記載された光分解＋Ｃより酸を発生させる化合物も
本発明の化成物として適する。更に適当な染料と組合せ
て蕗先の際、未醪光部と露光物の間に可視的コントラス
！・を与えることを目的とした化合ｌ吻、例えば特開昭
よｊ−７７７４１２号、同３７−／１３コ３グ号のり４
卸１書に記載された化合物も本発明のに４１成物として
使用することができる。

上記光分解により酸を発生させる化合物の中では味にオ
ルトキノンジ了シトスルホニルクロリドが好ましい。と
いうのは、露光の際、３つの酸基（即ち塩酸、スルホン
酸、カルボン酸）が形成される為、比較的大きい割合で
前記エステル基を分解させることができるからである。

これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物と
前記酸により分解し得るエステル基を少なくとも／個有
する化合物との割合は１重量比でｏ、ｏｉ：ｉ〜、２：
／であり、好ましくはｏ、ｉ：／〜ｌ：ｌで使用される
。

本発明の光可溶性組成物は上記活性光線の照射により酸
を発生し得る化合物と、散により分解し得るエステル基
を少なくとも１個Ｍする化合物の組合せのみで使用する
ことができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた
方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラ
ック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、フェノー
ルホルムアルデヒド樹脂、０−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹１］Ｌｍ−クレゾールホルムアルデヒド樹脂など
が含まれる。更に特開昭３０−／２ｊｔｒＯ４号公報に
記されている様に上記のようなフェノール４１１ＪＭト
共に、ｔ−ｉチルフェノールホルムアルデヒド樹脂のよ
うな炭素数３〜ｇのアルキル基で置換されたフェノール
またはクレゾールとホルムアルデヒドとの縮合物とを併
用すると、一層好ましい。アルカリ可溶性樹脂（′ｆ、
、感光性レジスト形成性組成物の全重量を基準として約
！０〜約ｒｚ−Ｍ蛍饅、より好ましくはｔｏ−ｔｏ重量
％含有させられる。

本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更１Ｆ−染
料、加料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発
生効率を増大させる化合物（所謂増感剤）などを含有さ
せることができる。好適な染料としては油溶性染料及び
塩基性染料がある。具体的には、オイルイエロー＠１０
／、オイルイエロー＠／３０．オイルピンク＃３／２、
オイルグリーンＢＧ、オイルブルーＢＯ８、オイルブル
ー＃ｔ０３、オイルブラックＢＹ、オイルブラックＢＳ
、オイルブラックｉ’−ｊＯｊ（以上、オリエント化学
工業株式会社製）クリスタルバイオレット（ｃｉ＜＜−
２ｔｔり、メチルバイオレット（ＣＩｐ、２ｓ３ｔ　）
、＊−ダミンＢ（ＣＩ４Ａｊ′／７０Ｂ）。

マラカイトグリーン（ＣＩ≠２０００）、メチレン−１
ｈ−（ｃｘｓ２ｏｔｚ）などをあげることができる。

本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジフロラ９イド。

ジクロヘキサノン、メチルエチルケトン、エチレンクリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、＋２−メトキシエテルアセテート、トル
エン、酢酸エテルなどがあり。

これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する、そして
上記成分中の濃度（添加物を含む全固形分）は、２〜５
０重量％である。このうち、本発明の組成（ａ）＋（ｂ
）の好ましい濃度（固形分）はｏ、ｉ−２！重量係であ
る。また、塗布ニドは用途により異、なるが１例えは感
光性平版印刷版についていえば一般的に固形分としてＯ
０ｊ〜！、０９／ｍ２が好ましい。塗布量が少くなるに
つれ感光性は大になるが、感光膜の物性は低下する。

本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばクリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他面鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチック・フィルムや紙？上げることができる。

また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第２図用フィルムの製造に適する支持体としては
ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテート
フィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチックフ
ィルムの表面を化学的あるいは物憚的にマットヂヒした
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。またホトレジストと
して上記以外の種々の支持体例えば銅板、銅メツキ板、
ガラス板上に本発明の光用溶化組成物を塗布して使用さ
れる。

本発明に用いられる活性光線の光源としてけ例えは水銀
灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカル
ランプ、カーボンアーク灯などがある。また重密度エネ
ルギービーム（レーザービーム又は電子線）による走査
光重も本発明に使用することができる。このようなレー
ザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アルゴ
ンレーザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・カ
ドミウムレーザーなどが挙げられる。

本発明の光可溶性組成物にたいする現敗液としては、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナト１１ウム、第三リン酸アンモニウム、第
ニリン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナ
トリウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の
水溶液が適当であり、それらの濃度が０．１〜１０重量
％、好ましくは０．ｊ〜！重晴優になるように添加され
る。

また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。

以下、本発明を合成例、実施１夕１［により更に詳細に
説明するが本発明の内容がこれにより限定され−るもの
ではない。

合成例１．（化合物側屈１の合成） 安息香（ｇ／２．２９をピリジン／　００　ｍＱに溶解
しくｎ拌しながら、これにヘキザメチルジシラザン７、
♂２を室温下滴下ロートにより７０分間かけテ添加した
。引き続き、史にトリメチルクロロシラン２．ｔＰを５
分間かけて添加した。添加後、室温にて５時１■攪拌を
続けた。生成した白色の塩（塩化アンモニウム塩及び／
又はピリジンの塩酸塩）をγ戸別しまた後、ピリジン溶
液を減圧下でＣ縮した。肖られた無色透明液体をビグリ
ュー・クライゼン（Ｖｊｇｒｅｕｘ−Ｃ１ａｉｓｅｎ）
カラムを用いて真空蒸留した。

無色透明成体（ｂ、ｐ、乙００Ｃ１０、ＪｍｍＨＰ）収
量ｉｔ、ｔｙ。ＮＭ几、元素分析により、その構造が化
合物例煮１であることを確認した。

アジピン酸ｌ≠、６ノをピリジン／２０ｍ１！に溶解し
攪拌しながらこれにヘキサメテルジンラザンｉｓ、ｔｙ
を室温下１滴下ロートにより２０分間かけて添加した。

引き続き、更にトリメチルクロロ７ランｊ、、２ｓ’を
７０分間かけて添加した。添加後室温にて５時間攪拌を
続けた。生成した白色の塩（塩化アンモニウム塩及び／
又はピリジンの塩酸塩）を戸別した後、ピリジン溶液ケ
減圧下で濃縮した。得られた無色透明液体〒ビグリュー
・クライゼ７　（Ｖｉｇｒｅｕｘ−Ｃ１ａｉｓｅｎ　）
カラムｆ用いて真空蒸留した。

無色透明液体（ｂ、ｐ、Ｊ’　Ｊ’　０Ｃ１０、／　７
ＩＴｎｎＨ５？）。

収量、２１／−０７り。ＮＭ几、元素分析により、その
構造が化合物例Ａ≠であることを確認し、た。

合成例３．（化合物例Ａ９の合成） 安息香酸、２≠、≠２をピリジン／ｊＯｍＧ’に溶解し
、攪拌及び氷水にて［相］却しながら、ジメチルジクロ
ロシラン１２．り２を滴下ロートにより２０分間かけて
添加した、祭加後、室温にて３時間攪拌を続けた。生成
した白色のピリジン塩酸塩ｆ：Ｐ別した後、ピリジン溶
成に減圧下凸縮した。得られた無色透明液体をビグリュ
ー・クライゼン（Ｖｉｇｒｅｕｘ−Ｃ１ａｉｓｅｎ）カ
ラムを用いて真空−蒸留した。

無色透明液体液体（ｂ、ｐ、／ＪＪ　°Ｃ１０，Ｏｆｍ
ｍＨ９）、収量／り、７９゜Ｎ　Ｍ　ｌも、元素分析に
より、その構造が化合物ｆｌｊｌ　Ａ９であることを確
認した。

合成例４．（化合物側屈１６の合成） フマール酸１１．ｚ２をピ１１ジン／、ｆＯｒｎＱ、ニ
溶解し、攪拌及び氷水にて冷却しながら、ジメチルシク
ロロンラン／２．り２を滴下ロートにより２０分間かけ
て添加した。添加後、室温にて３時間４５１拌を続けた
。生成した白色のピリジン塩酸基金戸別した後、ピリジ
ン溶液全滅圧下ｏ配した。得られた赤褐色液体中、ビに
析出したピリジン塩酸塩を炉別する為、メチルエチルケ
トン２０　ｍｌｌ　ヲ加え希釈後、濾過を行った。再度
ｐ縮を行い、真空下（約／ｍｍＨ５ｉ’）、♂ｏ　’ｃ
に加熱しなから１０時間乾燥させた。

赤褐色粘帳液体、収量／６．りＰ、ＮＭルによシその単
位４ｈ造が化合物例Ａ１６であることを確認した後、Ｖ
ＰＯ（Ｖａｐｏｕｒ　Ｐｒｅｓｓｕｒｅ（Ｊｓｍｏｍｅ
　ｔ　ｅ　ｒ　）により数平均分子量を測定したところ
、１０１１０であった。

実施例　１゜ 厚さ０．２４を画の、２９アルミニウム板をｒｏｏＣに
保った第３仙酸ナト１１ウムの／θ係氷水溶液３分間浸
漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後アルミ
ン酸ナト１］ウムで約１０秒間エツチングして、個ｒ酸
水素ナトリウム３％水溶液でデスマット処理を行った。

このアルミニウム板ヲ２０％Ｍ酸中で電流密度２Ａ／ｄ
ｍ２において一分［￥ｉｉ　Ｆ、’！極酸酸化行いアル
ミニウム板を作製した。

次に、本発明の化合物のｍ類を変え−１４４ｗＡ翻の感
光液（Ａ）−／〜［Ａ）−矢を調製し、この感光液を陽
極ｊＲ化されたアルミニウム板の上に塗布し、１０００
Ｃで２分間乾燥してそれぞれの感光性平版印刷版［Ａｌ
−／〜（Ａ）−矢を作製した。

このときの塗布量は全て乾燥重量で／　、　ｊ　ｆ／ｒ
ｎ２であった〇 廿た感光液ＣＡＢ−／〜〔Ａ）−グに用いた本発明の化
合物は第１表に示１−・ 感光６グ〔Ａｌ 本発明の化合物　０．．３／ｆｌ クレゾール・ホルムアルデヒド 樹１１旨　／　・　０２ ／、２−ナフトキノン−λ−ジ アジド−≠−スルホニルクロ リド　ｏ　、　ｏ　ｒ　ｙ オイルブルー並１，０３（オリエ ント化学工業Ｇ勾製）　０．０／９ エチレンジクロリド　１０ｆｉ’ メチルセロソルヅ　ｉｏｙ 次に比較例として感光液ＣＢ）を感光液ＣＡ）と同様に
塗布し、Ａ＆光性平版印刷版ＣＢ）を作製した。

感光液（１３） クレゾール−ホルムアルデヒド 樹脂と／５．２−ナフトキノ。

一コージアジドー５−スルホ ニルクロ１１ドとの縮合生成物　Ｏ１≠ｊ２クレソール
ーホルムアルテヒト 樹脂　１．０２ ／、２−ナフトキノン−２−ジ アジド−≠−スルホニルクロ リ　ド　０．０　−２９ オイルブルー＠６０３（オリエ ント化学工業Ｃｍ製）　ｏ、ｏｉｙ エチレンジクロリド　１０９ メチルセロソルブ　ｉｏｑ 乾燥後の塗布重量は／、３９７ｍ２であった。

感光性平版印刷版（Ａ）及びＣＢ〕の感光層上に濃度差
Ｏ，ｔＳのグレースケールを密着させ。

３０アンペアのカーボンアーク灯で７０ｃＩＴ＋の距離
から露光を行った。

本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版（Ａ）−／〜［Ａｌ−弘及びＣＢ）をＤＰ−、？
Ｂ（ｉ品名：富−士写真フイルム■製）の７２倍希釈水
溶液で２５°Ｃにおいて６０秒間浸漬現像し、礎度差０
．ＩＩのグレースケールで！段目が完全にクリアーとな
る露光時間をめたところ第１表に示すとおりとなった。

第１表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版［Ａｌ−／〜（Ａ）−≠はいずれも、（’Ｂ
）より露光時間が少なくてすみ感度が高い〇 実施例　２゜ 本発明の優れた現像許容性を示す為、本発明の化合物の
柚湘を変えて３種類の感光液（Ａ）−−ｔ〜（Ａｌ−７
を調整し、実施例１で作製した陽極酸化されたアルミニ
ウム板の上に塗布し、１０００Ｃで２分間乾燥した（Ｒ
＆光液の組成は、実施例ｌの感光液［Ａ）における本発
明の化合物の種類以外は全て同じである。感光液［Ａ〕
−、−Ｊ−〜（Ａ）゛　−７に用いた本発明の化合物は
第２表に示す。）。

作製した感う”Ｌ性平版印刷版Ｃｋ−〕−ｊ〜〔Ａ〕−
７の塗布量は全て乾燥重量で／、、ｊ％’／ｍ　であっ
た。

実施例１で作製した１１＆光性平版印刷版ＣＡｌ−≠、
ＣＢ］及び新たに作製した感光性平版印刷版［Ａ］−ｔ
〜（Ａ〕−７上に映度差０．／ｊのグレースケールを密
着させ、３０アンペアのカーボンアーク灯で７０ｃｍの
距離から３０秒間蕗元金行った。開光された感光性平版
印刷版［Ａ　）　−ｊ−〜（Ａ）−７及び〔Ａ〕−μ、
〔Ｂ〕を実施例１゜と同じ現１象液にて２ｊ０Ｃでｔｏ
秒間及び３タト間現像した。渥度差０．／夕のグレース
ケールで、ｔｏ秒間及び３分間現１盈における完全にク
リアーとなる段ｒｃＪ、を差をめたところ、第２表に示
すとおりとなった。

７．９　２　表 第２表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版〔Ａ〕−弘〜〔Ａ）−７はいずれも、〔Ｂ〕
よりクリア一部のグレースケールの段数変化は小ζく、
現兜許容性は大きい。

特許出願人　富士写真フィルム株式会社手続補正書 ロ召和５ｙｉ４−答坊：月お日 特許庁長官殿 １、事件の表示　昭和よざ年特願第ｔｉ７７６９号２、
発明の名称　先回溶化組成物 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 任　所　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称（５２
０）富士写真フィルム株式会社４、補正の対象　明ａ書
の「発明の詳細な説明」の柿 ５、補正の内容 ノ）第７頁を別紙と差し替える。

−）第ｇ頁ｌｔ〜１７行目の ｒａｔｓａｚ、ｂｌｘｂｚＪｋ ｒａ、ｂＪ と補正する。

３）第１７頁ｊ行目の 「ジクロヘキサン」を 「シクロヘキサン」 と補正する。

４Ａ）第２６頁１６行目の 「４工１表かられｆ）ｈるように」の前に「なおｍｔ表
における本兄明の化合物Ａ／乙の分子賞は、数平均分子
鎖でＭ　ｎ　＝　１０４ｔｏのものであった。」 を挿入する。

ｊ）第λざ頁／／行目の 「第２表かられかるように」の前に ［なお第２表における本発明の化合物Ａ／１％　１７の
分子量は、数平均分子量でＭｒｘ＝ｌｏ　＜ｔ　Ｏ〜／
　ｔ　ｉθのものであつ友。」　（至） ト 一〇 を挿入する。　征 即 如 Ｊ り 所 養 超 くＯ θ 場 や １ト 目 セ 区 ＃ だ に）　ヨ ０＝Ｑ 国 ０′７：Ｊ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）　活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、
   及びｔｂ）下記一般式（Ｉ）で示される、酸により分解
   し得るエステル基を少なくとも１個有し、現像液中での
   その溶解度が酸の作用により増大する化合物、を含有す
   る先回溶化組成物。 ＼