JPH0674399A - ボンベボックス排気システム - Google Patents
ボンベボックス排気システムInfo
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- JPH0674399A JPH0674399A JP23009192A JP23009192A JPH0674399A JP H0674399 A JPH0674399 A JP H0674399A JP 23009192 A JP23009192 A JP 23009192A JP 23009192 A JP23009192 A JP 23009192A JP H0674399 A JPH0674399 A JP H0674399A
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- JP
- Japan
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- cylinder box
- gas
- automatic
- cylinder
- exhaust
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の特殊ガスボンベボックスの排気システ
ムにおいて、ガス漏洩に対する安全性を確保し、かつ必
要とする排気量を低減させる。 【構成】 複数のボンベボックス１の排気ダクト部１ａ
およびそれに連通するところに、自動ダンパー４および
ガス濃度探知器３を組込み、通常はタイムスケジュール
に従い、順次各自動ダンパー４を開−調節開と繰り返
す。また、ガス濃度検知器３にてガス漏洩を検知した際
は、当該ボンベボックス１の自動ダンパー４のみを臨時
的に全開とし、その他の自動ダンパー４はすべて閉とす
ることで異常ボンベボックス１に最大の排気量を得る。
ムにおいて、ガス漏洩に対する安全性を確保し、かつ必
要とする排気量を低減させる。 【構成】 複数のボンベボックス１の排気ダクト部１ａ
およびそれに連通するところに、自動ダンパー４および
ガス濃度探知器３を組込み、通常はタイムスケジュール
に従い、順次各自動ダンパー４を開−調節開と繰り返
す。また、ガス濃度検知器３にてガス漏洩を検知した際
は、当該ボンベボックス１の自動ダンパー４のみを臨時
的に全開とし、その他の自動ダンパー４はすべて閉とす
ることで異常ボンベボックス１に最大の排気量を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工場をは
じめ、特殊ガスを使用する全ての産業、研究機関にて使
用するボンベボックスの排気方法に関し、特に複数個の
ボンベボックスを排気するシステムに関する。
じめ、特殊ガスを使用する全ての産業、研究機関にて使
用するボンベボックスの排気方法に関し、特に複数個の
ボンベボックスを排気するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガス用のボンベボックス排気シス
テムを図３に示す。図３において、１はボンベボック
ス、２は排ガス処理装置へ導入するダクト、３はボンベ
ボックス１の排気ダクト部１ａに設けられたガス濃度検
知器、１２は手動ダンパーであり、この排気システムで
は、単に常時一定量の排気を行っている。
テムを図３に示す。図３において、１はボンベボック
ス、２は排ガス処理装置へ導入するダクト、３はボンベ
ボックス１の排気ダクト部１ａに設けられたガス濃度検
知器、１２は手動ダンパーであり、この排気システムで
は、単に常時一定量の排気を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
のボンベボックス排気システムは、ガス漏洩に対する安
全を確保するため、手動ダンパー１２を調整し、前ボン
ベボックス１において常時、一定必要量以上の排気を行
っていることで、ダクト２に排出する総排気量が非常に
多くなるという欠点があった。
のボンベボックス排気システムは、ガス漏洩に対する安
全を確保するため、手動ダンパー１２を調整し、前ボン
ベボックス１において常時、一定必要量以上の排気を行
っていることで、ダクト２に排出する総排気量が非常に
多くなるという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明のボンベボック
ス排気システムは、上記欠点を解決するために、個々の
ボンベボックスの排気ダクト部に、全開−調節開−閉の
動作を行う自動ダンパーを設け、通常時には各ボンベボ
ックスを順次開閉するタイムスケジュールに従い自動ダ
ンパーを作動させ、異常時には必要に応じてガス濃度検
知器にてガス漏洩を検知したボンベボックスの自動ダン
パーを全開とし、他のボンベボックスの自動ダンパーを
全て閉とするようにしたものである。
ス排気システムは、上記欠点を解決するために、個々の
ボンベボックスの排気ダクト部に、全開−調節開−閉の
動作を行う自動ダンパーを設け、通常時には各ボンベボ
ックスを順次開閉するタイムスケジュールに従い自動ダ
ンパーを作動させ、異常時には必要に応じてガス濃度検
知器にてガス漏洩を検知したボンベボックスの自動ダン
パーを全開とし、他のボンベボックスの自動ダンパーを
全て閉とするようにしたものである。
【０００５】
【作用】上記の構成のよると、通常時各ボンベボックス
に設けた自動ダンパーは順次タイムスケジュールに従
い、全開−調節開動作を繰り返し、ガス濃度検知器によ
りガス漏洩検知が行え、かつ微少のガスリークに対して
ボンベボックス外部へのガス拡散を防止できる必要最小
限の排気が行える。
に設けた自動ダンパーは順次タイムスケジュールに従
い、全開−調節開動作を繰り返し、ガス濃度検知器によ
りガス漏洩検知が行え、かつ微少のガスリークに対して
ボンベボックス外部へのガス拡散を防止できる必要最小
限の排気が行える。
【０００６】さらに、ガス濃度検知器により、ガス漏洩
を確認した場合、当該ボンベボックス以外の自動ダンパ
ーのみを臨時的に全開とし、当該ボンベボックス以外の
自動ダンパーを全て閉とすることで、通常量以上の排気
を行い、異常時におけるボンベボックス外部へのガスの
拡散リスクを低減する。
を確認した場合、当該ボンベボックス以外の自動ダンパ
ーのみを臨時的に全開とし、当該ボンベボックス以外の
自動ダンパーを全て閉とすることで、通常量以上の排気
を行い、異常時におけるボンベボックス外部へのガスの
拡散リスクを低減する。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【０００８】図１は本システムの実施例を示すための系
統図、図２ａ，ｂは本システムの実施例における動作例
を示すためのタイミングチャートである。
統図、図２ａ，ｂは本システムの実施例における動作例
を示すためのタイミングチャートである。
【０００９】図１において、１はボンベボックス（５
台）、１ａはその排気ダクト部、２は排ガス処理装置へ
導入するダクト、３は排気ダクト部１ａに連通して設け
られたガス濃度検知器、４は排気ダクト部１ａに設けら
れた自動ダンパー、５はタイムスケジュールおよびガス
濃度検知器３の信号で自動ダンパーを制御するためのシ
ステムコントローラである。
台）、１ａはその排気ダクト部、２は排ガス処理装置へ
導入するダクト、３は排気ダクト部１ａに連通して設け
られたガス濃度検知器、４は排気ダクト部１ａに設けら
れた自動ダンパー、５はタイムスケジュールおよびガス
濃度検知器３の信号で自動ダンパーを制御するためのシ
ステムコントローラである。
【００１０】図２ａにおいて、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅはそ
れぞれボンベボックス１のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの時間軸
を横にした自動ダンパー４の開度である。
れぞれボンベボックス１のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの時間軸
を横にした自動ダンパー４の開度である。
【００１１】図２ｂにおいて、６はボンベボックス１の
Ａの風量、７はボンベボックス１のＣの風量、８はボン
ベボックス外への拡散を防ぐ最小限の風量、９はガス濃
度検知に必要な風量、１０はガス漏洩検知時に当該ボン
ベボックスにて得られる風量、１１はボンベボックス１
のＣにて漏洩が検知されたとする時間である。
Ａの風量、７はボンベボックス１のＣの風量、８はボン
ベボックス外への拡散を防ぐ最小限の風量、９はガス濃
度検知に必要な風量、１０はガス漏洩検知時に当該ボン
ベボックスにて得られる風量、１１はボンベボックス１
のＣにて漏洩が検知されたとする時間である。
【００１２】次に上記のボンベボックス排気システムの
動作について説明する。図２ｂに示すボンベボックス１
のＡとＣの例にとれば、通常時は各ボンベボックス１、
例えばＡ，Ｃは、各自動ダンパー４を交互に全開−調節
開状態とし、ボンベボックス外へのガスの拡散を防ぐ最
小限の風量８とガス濃度検知に必要な風量９を得てい
る。
動作について説明する。図２ｂに示すボンベボックス１
のＡとＣの例にとれば、通常時は各ボンベボックス１、
例えばＡ，Ｃは、各自動ダンパー４を交互に全開−調節
開状態とし、ボンベボックス外へのガスの拡散を防ぐ最
小限の風量８とガス濃度検知に必要な風量９を得てい
る。
【００１３】また、例えばボンベボックス１のＡで仮に
ガス漏洩がガス濃度検知器３にて検知されると、当該ボ
ンベボックス１のＡの自動ダンパー４は全開となり、そ
の他のボンベボックス１のＣ他の自動ダンパー４はすべ
て閉となり、当該ボンベボックス１のＡにおい最大の排
気量が得られる。このようにガス漏洩に対する安全性を
確保し、かつ通常時の排気量を低減することができる。
ガス漏洩がガス濃度検知器３にて検知されると、当該ボ
ンベボックス１のＡの自動ダンパー４は全開となり、そ
の他のボンベボックス１のＣ他の自動ダンパー４はすべ
て閉となり、当該ボンベボックス１のＡにおい最大の排
気量が得られる。このようにガス漏洩に対する安全性を
確保し、かつ通常時の排気量を低減することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、複数
存在する各ボンベボックスの排気ダクト部に自動ダンパ
ーを設け、タイムスケジュールおよびガス濃度検知器か
らの信号により自動ダンパーを作動させることにより、
ガス漏洩に対する安全性を確保し、かつ必要とする総排
気量を低減する効果がある。ボンベボックス排気に必要
な排気量を低減することは、排気、空調設備のイニシャ
ルコストを低減すると共に、特に空調コストの低減に寄
与する。
存在する各ボンベボックスの排気ダクト部に自動ダンパ
ーを設け、タイムスケジュールおよびガス濃度検知器か
らの信号により自動ダンパーを作動させることにより、
ガス漏洩に対する安全性を確保し、かつ必要とする総排
気量を低減する効果がある。ボンベボックス排気に必要
な排気量を低減することは、排気、空調設備のイニシャ
ルコストを低減すると共に、特に空調コストの低減に寄
与する。
【図１】 この発明の一実施例であるボンベボックス排
気システムの系統図。
気システムの系統図。
【図２】 ａ，ｂ上記の実施例における動作例を示すた
めのタイミングチャート。
めのタイミングチャート。
【図３】 従来のボンベボックス排気システムの系統
図。
図。
１ ボンベボックス １ａ 排気ダクト部 ２ 排ガス処理装置へ導入するダクト ３ ガス濃度検知器 ４ 自動ダンバー ５ システムコントローラ ６ ボンベボックスＡの風量 ７ ボンベボックスＣの風量 ８ ボンベボックス外へのガス拡散を防ぐ最小限の風量 ９ ガス濃度検知に必要な風量 １０ ガス漏洩検知時に当該ボンベボックスで得られる
風量 １１ ボンベボックスＣにてガス漏洩が検知されたとす
る時間
風量 １１ ボンベボックスＣにてガス漏洩が検知されたとす
る時間
Claims (3)
- 【請求項１】複数のガスボンベボックスの排気システム
において、各ボンベボックスを順次開閉するタイムスケ
ジュールおよびガス濃度検知器にて制御されて作動する
自動ダンパーを有することを特徴とするボンベボックス
排気システム。 - 【請求項２】前記ガス濃度検知器の異常信号により、当
該ボンベボックスの自動ダンパーが全開となり、他のボ
ンベボックスの自動ダンパーが全閉となることを特徴と
する請求項１記載のボンベボックス排気システム。 - 【請求項３】前記ガス濃度検知器は、複数の自動ダンパ
ーを交互に全開から調節開状態として所要風量を得るよ
うにしたことを特徴とするボンベボックス排気システ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23009192A JP3493669B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンベボックス排気システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23009192A JP3493669B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンベボックス排気システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674399A true JPH0674399A (ja) | 1994-03-15 |
| JP3493669B2 JP3493669B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=16902410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23009192A Expired - Fee Related JP3493669B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンベボックス排気システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3493669B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013517431A (ja) * | 2010-01-14 | 2013-05-16 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 換気ガス管理システムおよびプロセス |
| JP2022151717A (ja) * | 2021-03-25 | 2022-10-07 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 流体キャビネットの排気制御方法および基板処理装置 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP23009192A patent/JP3493669B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013517431A (ja) * | 2010-01-14 | 2013-05-16 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 換気ガス管理システムおよびプロセス |
| CN105387340A (zh) * | 2010-01-14 | 2016-03-09 | 诚实公司 | 适于容纳流体供应容器及与之耦接的流路的罩壳 |
| US9383064B2 (en) | 2010-01-14 | 2016-07-05 | Entegris, Inc. | Ventilation gas management systems and processes |
| JP2022151717A (ja) * | 2021-03-25 | 2022-10-07 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 流体キャビネットの排気制御方法および基板処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3493669B2 (ja) | 2004-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |