JPH0676239A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH0676239A JPH0676239A JP25416992A JP25416992A JPH0676239A JP H0676239 A JPH0676239 A JP H0676239A JP 25416992 A JP25416992 A JP 25416992A JP 25416992 A JP25416992 A JP 25416992A JP H0676239 A JPH0676239 A JP H0676239A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 95
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 17
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 12
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 記録、再生特性が良好な磁気ヘッドを提供す
る。 【構成】 スライダー21の外周部に、記録再生用ギャッ
プ6を有するヘッドコア22を接合させると共に、非磁性
材42を挟んでその両側に磁性体40,41を一体に設けて構
成した基板43と、基板43の非磁性体42を跨いで磁性材4
0,41に磁気的に接続させた磁性コアと、この磁性コア
を磁心として基板43に設けた薄膜導体コイルとからなる
薄膜導体組立体24を、ヘッドコア22のスライダー接合面
23と反対側に接合した。薄膜コイル組立体24を、ヘッド
コア22のスライダー接合面23と反対側に接合したことに
より、ヘッドコア22に巻線用の窓が不要となり磁路長さ
を短くできる。このためヘッドコア22の磁気抵抗が小さ
くなり、その分だけ誘導起電力が大きくなって記録、再
生特性の向上を図ることができる。
る。 【構成】 スライダー21の外周部に、記録再生用ギャッ
プ6を有するヘッドコア22を接合させると共に、非磁性
材42を挟んでその両側に磁性体40,41を一体に設けて構
成した基板43と、基板43の非磁性体42を跨いで磁性材4
0,41に磁気的に接続させた磁性コアと、この磁性コア
を磁心として基板43に設けた薄膜導体コイルとからなる
薄膜導体組立体24を、ヘッドコア22のスライダー接合面
23と反対側に接合した。薄膜コイル組立体24を、ヘッド
コア22のスライダー接合面23と反対側に接合したことに
より、ヘッドコア22に巻線用の窓が不要となり磁路長さ
を短くできる。このためヘッドコア22の磁気抵抗が小さ
くなり、その分だけ誘導起電力が大きくなって記録、再
生特性の向上を図ることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に用
いられる磁気ヘッドに関し、更に詳しくはコンポジット
型浮動磁気ヘッドに関するものである。
いられる磁気ヘッドに関し、更に詳しくはコンポジット
型浮動磁気ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図11に符号1で示すものは、従来多く使
用されているコンポジット型の浮動磁気ヘッドである。
この浮動磁気ヘッド1は、チタン酸バリウムあるいはチ
タン酸カルシウムからなる略矩形のスライダー2を有し
ている。スライダー2の上部(磁気記録媒体との対向
面)には、浮上力発生のためのレール3,4が設けられ
ている。
用されているコンポジット型の浮動磁気ヘッドである。
この浮動磁気ヘッド1は、チタン酸バリウムあるいはチ
タン酸カルシウムからなる略矩形のスライダー2を有し
ている。スライダー2の上部(磁気記録媒体との対向
面)には、浮上力発生のためのレール3,4が設けられ
ている。
【0003】一方のレール3には、浮動磁気ヘッド1の
媒体走行方向に延びる所定深さのスリット5が設けられ
ており、このスリット5の内部に、記録再生用ギャップ
6を有して記録再生を担う強磁性材からなるヘッドコア
7が挿入され、ガラスによる封着等の手段で固定されて
いる。スライダー2には、このスライダー2の2方向の
側面部に開口するコイル巻回用ウインドウ8が切欠によ
り形成されており、ヘッドコア7のこのコイル巻回用ウ
インドウ8に臨んだ部分にはコイル9が巻回されてい
る。図中dはトラック幅である。
媒体走行方向に延びる所定深さのスリット5が設けられ
ており、このスリット5の内部に、記録再生用ギャップ
6を有して記録再生を担う強磁性材からなるヘッドコア
7が挿入され、ガラスによる封着等の手段で固定されて
いる。スライダー2には、このスライダー2の2方向の
側面部に開口するコイル巻回用ウインドウ8が切欠によ
り形成されており、ヘッドコア7のこのコイル巻回用ウ
インドウ8に臨んだ部分にはコイル9が巻回されてい
る。図中dはトラック幅である。
【0004】磁気ヘッドでは、高周波信号に対して良好
な特性を維持するためにヘッドコアを薄くする必要があ
るが、上述した浮動磁気ヘッド1の場合、ヘッドコア7
はスリット5内に挿入するまでは単体で扱うため、ヘッ
ドコア7を薄く( 100ミクロン以下の薄い形状に)する
のは困難であった。
な特性を維持するためにヘッドコアを薄くする必要があ
るが、上述した浮動磁気ヘッド1の場合、ヘッドコア7
はスリット5内に挿入するまでは単体で扱うため、ヘッ
ドコア7を薄く( 100ミクロン以下の薄い形状に)する
のは困難であった。
【0005】また、スロートハイトをコントロールする
ためにスリット5内のガラスを介して斜め方向から、ガ
ラスで封着されたヘッドコア7のエイペックスを測定す
る必要があるが、上述した浮動磁気ヘッド1の場合、ガ
ラスの屈折率や局部歪により測定値が変動してしまうこ
とがあり上記目的を適切には果たせなかった。
ためにスリット5内のガラスを介して斜め方向から、ガ
ラスで封着されたヘッドコア7のエイペックスを測定す
る必要があるが、上述した浮動磁気ヘッド1の場合、ガ
ラスの屈折率や局部歪により測定値が変動してしまうこ
とがあり上記目的を適切には果たせなかった。
【0006】更に、最近のトラック幅dは10ミクロン以
下と狭くなり、ヘッドコア7のトラック幅調整溝に充填
されたガラスの量が、トラック幅dに対して相対的に多
くなるため、ガラスとスライダーとヘッドコア(多くは
フェライト製)の熱膨張係数のミスマッチによる歪が大
きくなり、ヘッドコア7の効率悪化を招いていた。
下と狭くなり、ヘッドコア7のトラック幅調整溝に充填
されたガラスの量が、トラック幅dに対して相対的に多
くなるため、ガラスとスライダーとヘッドコア(多くは
フェライト製)の熱膨張係数のミスマッチによる歪が大
きくなり、ヘッドコア7の効率悪化を招いていた。
【0007】以上のことから、高周波信号に対応させる
ために従来形状でヘッドコア7のコア厚を薄くすると、
スリット5の幅も狭くする必要から、幅を 100ミクロン
以下に設定したスリット5を深く(1mm以上)加工する
のは困難であった。そこでスリット5の幅を広くしたま
までコア厚のみを薄くすると、隙間が大きくなり、ここ
に充填されるガラスの量も多くなってしまって熱膨張係
数のミスマッチによる特性変化が更に大きくなる問題が
ある。さらにスライダー2とヘッドコア7の間に隙間や
泡を発生させずにガラスを充填するのは困難であるとい
う問題もある。
ために従来形状でヘッドコア7のコア厚を薄くすると、
スリット5の幅も狭くする必要から、幅を 100ミクロン
以下に設定したスリット5を深く(1mm以上)加工する
のは困難であった。そこでスリット5の幅を広くしたま
までコア厚のみを薄くすると、隙間が大きくなり、ここ
に充填されるガラスの量も多くなってしまって熱膨張係
数のミスマッチによる特性変化が更に大きくなる問題が
ある。さらにスライダー2とヘッドコア7の間に隙間や
泡を発生させずにガラスを充填するのは困難であるとい
う問題もある。
【0008】上記問題を解決するために、本願発明者
は、図12に示すように非磁性のスライダー2aの外周部に
ヘッドコア7を張りつけた構造の浮動磁気ヘッド1aを提
案し、上述した問題点の改善を図った。
は、図12に示すように非磁性のスライダー2aの外周部に
ヘッドコア7を張りつけた構造の浮動磁気ヘッド1aを提
案し、上述した問題点の改善を図った。
【0009】ところで、現在において、磁気記録は高密
度化の傾向にある。従ってこの磁気記録高密度化に対応
するために磁気ヘッドも小型、軽量化しなければならな
い。しかしながら、この磁気ヘッドの小型、軽量化に際
して図12に示す浮動磁気ヘッド1aには次のような問題も
ある。
度化の傾向にある。従ってこの磁気記録高密度化に対応
するために磁気ヘッドも小型、軽量化しなければならな
い。しかしながら、この磁気ヘッドの小型、軽量化に際
して図12に示す浮動磁気ヘッド1aには次のような問題も
ある。
【0010】すなわち、従来の磁気ヘッドを小型化する
ことにより、必然的にコイルを巻回する空間部(巻線用
窓)10は狭いものとなる。そのため、コイル9は極めて
細いものを使用しなければならない。このためコイル巻
線工程においてコイル9が断線したり、あるいは絶縁被
覆が剥離して不良品が発生し歩留りが悪く、かつ信頼性
が低いという問題があった。
ことにより、必然的にコイルを巻回する空間部(巻線用
窓)10は狭いものとなる。そのため、コイル9は極めて
細いものを使用しなければならない。このためコイル巻
線工程においてコイル9が断線したり、あるいは絶縁被
覆が剥離して不良品が発生し歩留りが悪く、かつ信頼性
が低いという問題があった。
【0011】図11又は図12に示すような、巻線形式の導
体コイルを使用する磁気ヘッドでは、その構造上、小型
軽量化するのに限界があり、磁気記録高密度化に充分対
応することができなかった。
体コイルを使用する磁気ヘッドでは、その構造上、小型
軽量化するのに限界があり、磁気記録高密度化に充分対
応することができなかった。
【0012】そこで、これらの問題を解決するために薄
膜磁気ヘッドが開発されている。この薄膜磁気ヘッド1b
は、例えば図13に示すようにスライダー2bの一端に薄い
厚さtの磁気ヘッド部材11を設けていた。この磁気ヘッ
ド部材11は、図12に示すようにギャップ12を形成し、薄
い厚さt内に磁気回路13を形成するようにしている。
膜磁気ヘッドが開発されている。この薄膜磁気ヘッド1b
は、例えば図13に示すようにスライダー2bの一端に薄い
厚さtの磁気ヘッド部材11を設けていた。この磁気ヘッ
ド部材11は、図12に示すようにギャップ12を形成し、薄
い厚さt内に磁気回路13を形成するようにしている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した磁
気ヘッド部材11を有する薄膜磁気ヘッド1bでは、前記従
来の、巻線形式の導体コイルを使用する磁気ヘッドが有
する問題は一応解決されているが、更に次のような問題
を惹起することになる。すなわち、この薄膜磁気ヘッド
1bは、磁気回路13を薄い厚さtの磁気ヘッド部材11内に
形成するようにしていたので、磁気回路13の断面積が小
さくなって磁気抵抗が大きくなると誘導起電力が小さく
なって記録、再生特性が低下するという問題がある。
気ヘッド部材11を有する薄膜磁気ヘッド1bでは、前記従
来の、巻線形式の導体コイルを使用する磁気ヘッドが有
する問題は一応解決されているが、更に次のような問題
を惹起することになる。すなわち、この薄膜磁気ヘッド
1bは、磁気回路13を薄い厚さtの磁気ヘッド部材11内に
形成するようにしていたので、磁気回路13の断面積が小
さくなって磁気抵抗が大きくなると誘導起電力が小さく
なって記録、再生特性が低下するという問題がある。
【0014】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、記録、再生特性が良好な磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
で、記録、再生特性が良好な磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、磁気記憶媒体との対向面に浮上力発生の
ためのレールを有する非磁性材のスライダーの外周部
に、記録再生用ギャップを有するヘッドコアを接合させ
ると共に、非磁性材を挟んでその両側に磁性体を一体に
設けて構成した基板と、該基板の前記非磁性体を跨いで
前記磁性材に磁気的に接続させた磁性コアと、該磁性コ
アを磁心として前記基板に設けた薄膜導体コイルとから
なる薄膜導体組立体を、前記ヘッドコアのスライダー接
合面と反対側に接合したことを特徴とする。
成するために、磁気記憶媒体との対向面に浮上力発生の
ためのレールを有する非磁性材のスライダーの外周部
に、記録再生用ギャップを有するヘッドコアを接合させ
ると共に、非磁性材を挟んでその両側に磁性体を一体に
設けて構成した基板と、該基板の前記非磁性体を跨いで
前記磁性材に磁気的に接続させた磁性コアと、該磁性コ
アを磁心として前記基板に設けた薄膜導体コイルとから
なる薄膜導体組立体を、前記ヘッドコアのスライダー接
合面と反対側に接合したことを特徴とする。
【0016】
【作用】このような構成とすれば、薄膜コイル組立体
を、ヘッドコアのスライダー接合面と反対側に接合した
ことにより、ヘッドコアに巻線用の窓が不要となり磁路
長さを短くできる。
を、ヘッドコアのスライダー接合面と反対側に接合した
ことにより、ヘッドコアに巻線用の窓が不要となり磁路
長さを短くできる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例の磁気ヘッドを図1な
いし図10に基づいて説明する。まず、図1ないし図8に
基づいて本発明の第1実施例を説明する。ここで、図11
及び図14に示す部材と同一の部材及び部分は同一の符号
を付し適宜その説明は省略する。なお、以下に説明する
第2実施例においても同一の部材及び部分については同
様に処置する。
いし図10に基づいて説明する。まず、図1ないし図8に
基づいて本発明の第1実施例を説明する。ここで、図11
及び図14に示す部材と同一の部材及び部分は同一の符号
を付し適宜その説明は省略する。なお、以下に説明する
第2実施例においても同一の部材及び部分については同
様に処置する。
【0018】図1ないし図4において、磁気ヘッド20
は、略矩形のスライダー21を有している。スライダー21
の上部(磁気記録媒体との対向面)には、浮上力発生の
ためのレール3,4が設けられている。一方のレール3
に対応するスライダー21の側部(外周部)に、記録再生
用ギャップ6を有するヘッドコア22がガラスボンディン
グにより接合され、このヘッドコア22におけるスライダ
ー接合面23と反対側には薄膜コイル組立体(薄膜導体組
立体)24が接合されている。この場合、ヘッドコア22を
スライダー21に接合した後、ヘッドコア22を薄く加工す
るようにしている。なお、スライダー21へのヘッドコア
22の接合は、樹脂ボンドあるいはAu−Sn等の共晶金
属ボンドによって行なうようにしてもよい。
は、略矩形のスライダー21を有している。スライダー21
の上部(磁気記録媒体との対向面)には、浮上力発生の
ためのレール3,4が設けられている。一方のレール3
に対応するスライダー21の側部(外周部)に、記録再生
用ギャップ6を有するヘッドコア22がガラスボンディン
グにより接合され、このヘッドコア22におけるスライダ
ー接合面23と反対側には薄膜コイル組立体(薄膜導体組
立体)24が接合されている。この場合、ヘッドコア22を
スライダー21に接合した後、ヘッドコア22を薄く加工す
るようにしている。なお、スライダー21へのヘッドコア
22の接合は、樹脂ボンドあるいはAu−Sn等の共晶金
属ボンドによって行なうようにしてもよい。
【0019】ヘッドコア22は、図3及び図4に示すよう
に一対の磁性体25,26を相対向して配置し、対向側にお
ける上方(図3上側)に記録再生用ギャップ6を形成
し、下方側に所定幅の空隙27を形成し、この空隙27にガ
ラス等の非磁性体28を充填しており、空隙27に非磁性体
28を充填することにより、記録再生用ギャップ6及び一
対の磁性体25,26等で構成される磁気回路を磁気的に切
断するようになっている。また、一対の磁性体25,26に
おける上方側(図3上側)の両側部に形成した凹所29に
ガラス30が充填されており、また一対の磁性体25,26に
おける記録再生用ギャップ6の下側の空隙31にはガラス
等の接着剤32が充填され一対の磁性体25,26を接着して
いる。なお、空隙27に非磁性体28を充填するのに代え
て、空隙27を空洞状態にしておいてもよい。
に一対の磁性体25,26を相対向して配置し、対向側にお
ける上方(図3上側)に記録再生用ギャップ6を形成
し、下方側に所定幅の空隙27を形成し、この空隙27にガ
ラス等の非磁性体28を充填しており、空隙27に非磁性体
28を充填することにより、記録再生用ギャップ6及び一
対の磁性体25,26等で構成される磁気回路を磁気的に切
断するようになっている。また、一対の磁性体25,26に
おける上方側(図3上側)の両側部に形成した凹所29に
ガラス30が充填されており、また一対の磁性体25,26に
おける記録再生用ギャップ6の下側の空隙31にはガラス
等の接着剤32が充填され一対の磁性体25,26を接着して
いる。なお、空隙27に非磁性体28を充填するのに代え
て、空隙27を空洞状態にしておいてもよい。
【0020】また、上記ヘッドコア22に代えて図5及び
図6に示すヘッドコア22a を用いてもよい。このヘッド
コア22a は、前記ヘッドコア22に比して一方側(図5上
側)に傾斜面33を有した一対の磁性体34,35を有し、か
つ前記ヘッドコア22に用いたガラス30を省略した構造に
なっている。
図6に示すヘッドコア22a を用いてもよい。このヘッド
コア22a は、前記ヘッドコア22に比して一方側(図5上
側)に傾斜面33を有した一対の磁性体34,35を有し、か
つ前記ヘッドコア22に用いたガラス30を省略した構造に
なっている。
【0021】薄膜コイル組立体24の構成を、図7及び図
8に基づいて説明する。フェライト等の磁性体40,41を
ガラス等の非磁性体42にて接着して一体化された基板43
が構成されている。この基板43は、磁性体に凹溝を機械
加工により形成し、この凹溝に溶融したガラスを充填さ
せガラスが固化した後に磁性体素材の両面を鏡面に研削
加工することによっても得られる。
8に基づいて説明する。フェライト等の磁性体40,41を
ガラス等の非磁性体42にて接着して一体化された基板43
が構成されている。この基板43は、磁性体に凹溝を機械
加工により形成し、この凹溝に溶融したガラスを充填さ
せガラスが固化した後に磁性体素材の両面を鏡面に研削
加工することによっても得られる。
【0022】基板43の鏡面に第1絶縁膜44が形成され、
第1絶縁膜44の形成後に第1絶縁膜44に第1層薄膜コイ
ル45が公知の技術により形成されている。第1層薄膜コ
イル45に第2絶縁膜46が形成され、第2絶縁膜46の形成
後に第2絶縁膜46に第2層薄膜コイル47が公知の技術で
形成されている。第2層薄膜コイル47に第3絶縁膜48が
形成され、第3絶縁膜48の形成後に第3絶縁膜48に薄膜
磁性コア(磁気コア)49が形成されている。
第1絶縁膜44の形成後に第1絶縁膜44に第1層薄膜コイ
ル45が公知の技術により形成されている。第1層薄膜コ
イル45に第2絶縁膜46が形成され、第2絶縁膜46の形成
後に第2絶縁膜46に第2層薄膜コイル47が公知の技術で
形成されている。第2層薄膜コイル47に第3絶縁膜48が
形成され、第3絶縁膜48の形成後に第3絶縁膜48に薄膜
磁性コア(磁気コア)49が形成されている。
【0023】前記第1、第2、第3絶縁膜44,46,48
は、フォトレジスト、ポリイミド等の有機樹脂系絶縁
膜、あるいはSiO2 ,Al2 O3 等の無機系絶縁膜を
用いて構成されている。前記第1、第2層薄膜コイル4
5,46は、レジストフレームを用いたフレームメッキ法
にて銅メッキを行なう方法、あるいはフォトレジストマ
スクを用いて行なうエッチングにより作製される。薄膜
磁性コア49は、レジストフレームを用いたフレームメッ
キ法にてパーマロイ等の磁性膜をメッキする方法、ある
いは蒸着、スパッタ法等で作製されたパーマロイ等の磁
性薄膜をレジストマスクを用いてエッチングする方法等
により作製されている。第1、第2層薄膜コイル45,46
は、磁心50,51にスパイラル状に巻かれている。図中52
はボンディングパッドを示す。
は、フォトレジスト、ポリイミド等の有機樹脂系絶縁
膜、あるいはSiO2 ,Al2 O3 等の無機系絶縁膜を
用いて構成されている。前記第1、第2層薄膜コイル4
5,46は、レジストフレームを用いたフレームメッキ法
にて銅メッキを行なう方法、あるいはフォトレジストマ
スクを用いて行なうエッチングにより作製される。薄膜
磁性コア49は、レジストフレームを用いたフレームメッ
キ法にてパーマロイ等の磁性膜をメッキする方法、ある
いは蒸着、スパッタ法等で作製されたパーマロイ等の磁
性薄膜をレジストマスクを用いてエッチングする方法等
により作製されている。第1、第2層薄膜コイル45,46
は、磁心50,51にスパイラル状に巻かれている。図中52
はボンディングパッドを示す。
【0024】このように構成した磁気ヘッドでは、薄膜
コイル組立体24を、ヘッドコア22のスライダー接合面23
と反対側に接合したことにより、ヘッドコア22に巻線用
の窓が不要となり磁路長さを短くすることができる。こ
のためヘッドコア22の磁気抵抗が小さくなり、その分だ
け誘導起電力が大きくなって記録、再生特性の向上を図
ることができる。また、薄膜コイル組立体24を用いたこ
とにより装置全体の小型化を図ることができる。
コイル組立体24を、ヘッドコア22のスライダー接合面23
と反対側に接合したことにより、ヘッドコア22に巻線用
の窓が不要となり磁路長さを短くすることができる。こ
のためヘッドコア22の磁気抵抗が小さくなり、その分だ
け誘導起電力が大きくなって記録、再生特性の向上を図
ることができる。また、薄膜コイル組立体24を用いたこ
とにより装置全体の小型化を図ることができる。
【0025】また、ヘッドコア22をスライダー21の外周
部に配置したことによりスライダー21にスリット加工を
施さなくて済み、その分、生産性が向上する。ヘッドコ
ア22をスライダー21に接合した後、ヘッドコア22を薄く
加工するため、ヘッドコア22単体では、ある程度厚く
( 100ミクロン以上)し、接着後にヘッドコア22を薄く
( 100ミクロン以下)加工することができる。このた
め、渦電流が減少して高周波信号での特性が向上する。
部に配置したことによりスライダー21にスリット加工を
施さなくて済み、その分、生産性が向上する。ヘッドコ
ア22をスライダー21に接合した後、ヘッドコア22を薄く
加工するため、ヘッドコア22単体では、ある程度厚く
( 100ミクロン以上)し、接着後にヘッドコア22を薄く
( 100ミクロン以下)加工することができる。このた
め、渦電流が減少して高周波信号での特性が向上する。
【0026】トラック調整溝の容量が減ってこのトラッ
ク調整溝に充填されるガラスの量が少なくなるので、ガ
ラス、スライダー21及びヘッドコア22,22a の熱膨張係
数のミスマッチによる歪がその分少なくなる。薄膜コイ
ル組立体24は、汎用されている半導体集積回路作製技術
を用いて容易に製造可能であり、これにより薄膜コイル
組立体24ひいては装置全体の大量生産を図ることができ
る。第1、第2層薄膜コイル45,46は、磁心50,51にス
パイラル状に巻かれており、これによりバランス巻きが
可能になるので、バランス巻きとすることにより外来ノ
イズの相殺を行なうことができる。
ク調整溝に充填されるガラスの量が少なくなるので、ガ
ラス、スライダー21及びヘッドコア22,22a の熱膨張係
数のミスマッチによる歪がその分少なくなる。薄膜コイ
ル組立体24は、汎用されている半導体集積回路作製技術
を用いて容易に製造可能であり、これにより薄膜コイル
組立体24ひいては装置全体の大量生産を図ることができ
る。第1、第2層薄膜コイル45,46は、磁心50,51にス
パイラル状に巻かれており、これによりバランス巻きが
可能になるので、バランス巻きとすることにより外来ノ
イズの相殺を行なうことができる。
【0027】図9及び図10に本発明の第2実施例の磁気
ヘッド22a を示す。この磁気ヘッド22a は、第1実施例
の磁気ヘッド22に比して、そのスライダー21に代えてヘ
ッドコア22の厚さに相当する深さの切欠部60を形成した
スライダー21a を有し、このスライダー21の切欠部60に
ヘッドコア22を位置させて接合し、これによりヘッドコ
ア22の側面(ヘッドコア22のスライダー接合面23と反対
側の面)とスライダー21a の側面とが同一面になるよう
に構成し、かつ前記薄膜コイル組立体24に代えて前記薄
膜コイル組立体24に比して長い長さmを有する薄膜コイ
ル組立体24a を設けたことが異なっている。なお、この
ように前記薄膜コイル組立体24に比して長い長さmを有
する薄膜コイル組立体24a を用いているが、これは、上
述したようにヘッドコア22の側面とスライダー21a の側
面とが同一面になったことにより達成されるものであ
る。
ヘッド22a を示す。この磁気ヘッド22a は、第1実施例
の磁気ヘッド22に比して、そのスライダー21に代えてヘ
ッドコア22の厚さに相当する深さの切欠部60を形成した
スライダー21a を有し、このスライダー21の切欠部60に
ヘッドコア22を位置させて接合し、これによりヘッドコ
ア22の側面(ヘッドコア22のスライダー接合面23と反対
側の面)とスライダー21a の側面とが同一面になるよう
に構成し、かつ前記薄膜コイル組立体24に代えて前記薄
膜コイル組立体24に比して長い長さmを有する薄膜コイ
ル組立体24a を設けたことが異なっている。なお、この
ように前記薄膜コイル組立体24に比して長い長さmを有
する薄膜コイル組立体24a を用いているが、これは、上
述したようにヘッドコア22の側面とスライダー21a の側
面とが同一面になったことにより達成されるものであ
る。
【0028】この第2実施例は、前記第1実施例が有す
る前記作用効果を奏すると共に、薄膜コイル組立体24a
の長さmが長いことにより薄膜コイル組立体24a のパタ
ーン作製に余裕ができ、その分、設計自由度が多くなる
という利点を有する。
る前記作用効果を奏すると共に、薄膜コイル組立体24a
の長さmが長いことにより薄膜コイル組立体24a のパタ
ーン作製に余裕ができ、その分、設計自由度が多くなる
という利点を有する。
【0029】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
た磁気ヘッドであるから、薄膜コイル組立体を、ヘッド
コアのスライダー接合面と反対側に接合したことによ
り、ヘッドコアに巻線用の窓が不要となり磁路長さを短
くできるので、ヘッドコアの磁気抵抗が小さくなり、そ
の分だけ誘導起電力が大きくなって記録、再生特性の向
上を図ることができる。
た磁気ヘッドであるから、薄膜コイル組立体を、ヘッド
コアのスライダー接合面と反対側に接合したことによ
り、ヘッドコアに巻線用の窓が不要となり磁路長さを短
くできるので、ヘッドコアの磁気抵抗が小さくなり、そ
の分だけ誘導起電力が大きくなって記録、再生特性の向
上を図ることができる。
【図1】本発明の第1実施例の磁気ヘッドを示す分解斜
視図である。
視図である。
【図2】同磁気ヘッドの一部を示す拡大斜視図である。
【図3】同磁気ヘッドのヘッドコアを示す斜視図であ
る。
る。
【図4】図3の円部分の平面図である。
【図5】同磁気ヘッドに用いられるヘッドコアの他の例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図6】図5の円部分の平面図である。
【図7】同磁気ヘッドの薄膜コイル組立体を示す一部切
断斜視図である。
断斜視図である。
【図8】同薄膜コイル組立体を示す断面図である。
【図9】本発明の第2実施例の磁気ヘッドを示す分解斜
視図である。
視図である。
【図10】同磁気ヘッドの一部を示す拡大斜視図であ
る。
る。
【図11】従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図12】ヘッドコアをスライダーの外周部に設けた従
来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。
来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図13】磁気ヘッド部材を有する従来の磁気ヘッドの
一例を示す平面図である。
一例を示す平面図である。
【図14】同磁気ヘッドを示す正面図である。
3 レール 4 レール 6 記録再生用ギャップ 21 スライダー 22 ヘッドコア 23 スライダー接合面 40 磁性体 41 磁性体 42 非磁性体 43 基板 49 薄膜磁性コア 50 磁心 51 磁心
Claims (1)
- 【請求項1】 磁気記憶媒体との対向面に浮上力発生の
ためのレールを有する非磁性材のスライダーの外周部
に、記録再生用ギャップを有するヘッドコアを接合させ
ると共に、非磁性材を挟んでその両側に磁性体を一体に
設けて構成した基板と、該基板の前記非磁性体を跨いで
前記磁性材に磁気的に接続させた磁性コアと、該磁性コ
アを磁心として前記基板に設けた薄膜導体コイルとから
なる薄膜導体組立体を、前記ヘッドコアのスライダー接
合面と反対側に接合したことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25416992A JP2906004B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 磁気ヘッド |
| EP93108436A EP0571951B1 (en) | 1992-05-28 | 1993-05-25 | Floating magnetic head |
| DE69328516T DE69328516T2 (de) | 1992-05-28 | 1993-05-25 | Schwebender Magnetkopf |
| US08/389,055 US5546251A (en) | 1992-05-28 | 1995-02-15 | Floating magnetic head having a magnetic head core with a balanced winding bonded to a slider side surface |
| US08/391,472 US6278581B1 (en) | 1992-05-28 | 1995-02-21 | Floating magnetic head having a magnetic head core fixed to a slider side surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25416992A JP2906004B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676239A true JPH0676239A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2906004B2 JP2906004B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=17261197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25416992A Expired - Fee Related JP2906004B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-08-28 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906004B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010023010A1 (de) | 2009-06-08 | 2010-12-09 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Strahlschicht/Wirbelschicht-Olefinpolymerisationsreaktor |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP25416992A patent/JP2906004B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010023010A1 (de) | 2009-06-08 | 2010-12-09 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Strahlschicht/Wirbelschicht-Olefinpolymerisationsreaktor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2906004B2 (ja) | 1999-06-14 |
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Legal Events
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