JPH0678567A

JPH0678567A - 超音波モータ

Info

Publication number: JPH0678567A
Application number: JP4228918A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Hirose; 和夫廣瀬
Original assignee: NTN Corp; NTN Toyo Bearing Co Ltd
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1992-08-27
Filing date: 1992-08-27
Publication date: 1994-03-18

Abstract

(57)【要約】【目的】高い効率を示し、特に超音波振動材と動体と
の接触において耐久性の優れた超音波モータを提供す
る。【構成】圧電体１ａを有する超音波振動体１上に動体
２が設けられる超音波モータにおいて、動体２の超音波
振動体１と接触する部分を構成するスライダ材３が、熱
可塑性フルオロ樹脂、フッ素ゴムおよび低分子量含フッ
素重合体を主成分とする潤滑性ゴム組成物で形成される
超音波モータ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、圧電体を用いて進行
波を伴う超音波振動を発生させることにより振動体上に
設けられる動体に駆動力を発生させる超音波モータに関
し、特に、動体において振動体と接触する部分を構成す
るスライダ材の改良された超音波モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、進行波方式による超音波モータ
は、圧電体を装着した超音波振動体と動体とが加圧接触
された構成を有し、振動体と動体との摩擦力によって動
体が駆動される。このような機構を有する超音波モータ
において、動体の駆動力を向上させるためには、動体と
振動体との摩擦力が大きいこと、および加圧接触力が大
きいことが必要である。したがって、動体において振動
体との接触部に設けられるスライダ材には、摩擦係数が
大きくかつ安定していること、耐摩耗性に優れているこ
と、および摩擦音が発生しないことなどが要求される。

【０００３】このような要求が存在する中で、従来のス
ライダ材として特開昭６２−５８８８７に開示される炭
素繊維を添加した樹脂組成物、特開昭６３−１２１４８
０に開示される芳香族ポリアミド繊維または炭素繊維を
添加したポリイミド系樹脂を挙げることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の材料は、いずれも摩擦係数の安定性、耐摩耗
性、および摩擦音の抑制についてすべてをバランスよく
満足させるものではなかった。特に、接触相手となる振
動体が、ステンレス、リン青銅、アルミニウム、銅合金
などの軟質金属で形成される場合、繊維状充填剤を添加
したスライダ材は振動体を損傷するため好ましくない。
さらに、従来のスライダ材は、長期使用における疲労摩
耗性の点で問題があった。

【０００５】この発明の目的は、以下に示す特性のすべ
てをバランスよく兼備えるスライダ材を見出し、そのよ
うなスライダ材を用いて、効率よく長期にわたって安定
した高トルクを発生させることができる超音波モータを
提供することにある。

【０００６】（１）加圧接触力が小さくても摩擦係数
が比較的大きくかつ安定していること。

【０００７】（２）耐摩耗性に優れ、特に長期使用に
おける耐疲労摩耗性に優れていること。

【０００８】（３）摩擦音の発生が少なく、接触相手
の損傷を小さく抑えられること。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に従う超音波モ
ータは、少なくとも表面に進行波を発生する超音波振動
体と動体とが接触し、その両者間の、摩擦力を介して進
行波により動体を駆動する超音波モータにおいて、動体
の超音波振動体と接触する部分が、第１必須成分として
の熱可塑性フルオロ樹脂、第２必須成分としてのフッ素
ゴム、および第３必須成分としての低分子量含フッ素重
合体を配合した潤滑性ゴム組成物から形成されることを
特徴とする。

【００１０】この発明に従う超音波モータにおいて、超
音波振動体と動体とが接触する部分の一例を図１に示
す。図に示すように、この発明に従う超音波モータは、
圧電体１ａを有する超音波振動体１上に動体２が設けら
れる構造を有しており、動体２の超音波振動体１と接触
する部分にはスライダ材３が設けられている。このスラ
イダ材３は、上述したように熱可塑性フルオロ樹脂、フ
ッ素ゴムおよび低分子量含フッ素重合体を主成分とする
潤滑性ゴム組成物から形成される。

【００１１】図１に示す構造において、超音波振動体１
とスライダ材３とは対面して加圧接触されており、圧電
体１ａによって発生した表面進行波が超音波振動体１に
伝えられ、超音波振動体１とスライダ材３との摩擦力に
よって動体２が駆動する。

【００１２】この発明において、潤滑性ゴム組成物の第
１必須成分である熱可塑性フルオロ樹脂は、主鎖に炭素
鎖を有し、側鎖にフッ素の結合を有するポリマーであ
る。この第１必須成分としては、たとえば、テトラフル
オロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体（以下ＰＦＡと略記する）、テトラフルオロエチ
レン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（以下ＦＥＰ
と略記する）、およびテトラフルオロエチレン・エチレ
ン共重合体（以下ＥＴＦＥと略記する）からなる群から
選択される１種以上の重合体が望ましい。上述したいず
れの樹脂も、触媒乳化重合、懸濁重合、触媒溶液重合、
気相重合および電離性放射線照射重合などの各種重合方
式により製造することができる。熱可塑性フルオロ樹脂
の分子量は、５０，０００以下が好ましく、５，０００
〜２０，０００のものがとくに望ましい。

【００１３】以上の条件に該当する熱可塑性フルオロ樹
脂の代表例としては、ＰＦＡである三井・デュポンフロ
ロケミカル社製ＰＦＡＭＰ１０、ＦＥＰである三井・
デュポンフルオロケミカル社製テフロンＦＥＰ１００、
ＥＴＦＥである旭硝子社製アフロンＣＯＰなどが挙げら
れる。

【００１４】この発明において、潤滑性ゴム組成物の第
２必須成分であるフッ素ゴムは、平均して１個以上のフ
ッ素原子を含む単位モノマーの重合体または共重合体で
あって、ガラス転位点が室温以下であり、室温でゴム状
弾性を有するものであれば、特に限定されるものではな
く、広範囲のものを例示することができる。

【００１５】フッ素ゴムの重合方式としては、塊状重
合、懸濁重合、乳化重合、溶液重合、触媒重合、電離性
放射線重合およびレドックス重合などを挙げることがで
きる。この発明において、フッ素ゴムの分子量は、通
常、５０，０００以上が好ましく、可及的に高分子量の
ものについて良好な結果が得られることから、７０，０
００以上がより好ましく、１００，０００〜２５０，０
００程度が特に好ましい。

【００１６】以上の条件に該当する代表例としては、テ
トラフルオロエチレン・プロピレン共重合体である旭硝
子社製アフラス、フッ化ビニリデン・ヘキサフルオロプ
ロピレン共重合体であるデュポン・昭和電工社製バイト
ン、フッ化ビニリデン・ヘキサフルオロプロピレン・テ
トラフルオロエチレン共重合体であるモンテフルオス社
製テクノフロン、フルオロシリコーン系エストラマーで
あるダウコーニング社製シラスティックＬＳ、パーフル
オロ系エストラマーであるダイキン工業社製ダイエルパ
ーフロなどを挙げることができる。

【００１７】上述した熱可塑性フルオロ樹脂およびフッ
素ゴムを混合した組成物は、弾性体としての特性を有す
る。この発明において、第３必須成分である低分子量含
フッ素重合体は、このような弾性体にさらに優れた摺動
特性を付与するため配合される。

【００１８】この発明において、潤滑性ゴム組成物の第
３必須成分である低分子量含フッ素重合体は、テトラフ
ルオロエチレン（ＴＦＥ）等のフルオロオレフィン重合
体、主要構造単位−Ｃ_nＦ_2n−Ｏ−（ｎは１〜４の整
数）を有するフルオロポリエーテル、主要構造単位

【００１９】

【化１】

【００２０】などを有するポリフルオロアルキル基含有
化合物（炭素数２〜２０）のうち分子量５０，０００以
下のものをいう。優れた摺動特性を付与するためには、
分子量５，０００以下の低分子量含フッ素重合体がとく
に望ましい。このような低分子量含フッ素重合体のう
ち、次式で示されるテトラフルオロエチレン重合体の平
均粒径５μｍ以下のものがとくに好ましい。

【００２１】

【化２】

【００２２】このようなものとして、たとえば、デュポ
ン社製バイダックスＡＲ、および旭硝子社製フルオンル
ブリカントＬ１６９などを挙げることができる。

【００２３】次に、−Ｃ_nＦ_2n−Ｏ（ｎは１〜４の整
数）の主要構造単位を有する平均分子量５０，０００以
下のフルオロポリエーテルとしては、

【００２４】

【化３】

【００２５】などを例示することができる。このような
重合体は、他の配合材料および添加剤に対する親和性
（密着性）の向上のために、イソシアネート基、水酸
基、カルボキシル基、およびエステル基などの官能基を
含む構造単位を有するものが望ましい。

【００２６】このようなフルオロポリエーテルの具体例
としては、以下のようなものが挙げられる。

【００２７】

【化４】

【００２８】これらのフルオロポリエーテルは、単独で
使用してもよいし、併用してもよい。また、官能基に活
性化水素が含まれているフルオロポリエーテルとポリフ
ルオロポリエーテル基を含有しないイソシアネート化合
物とを併用してもよい。また、イソシアネート基を有す
るフルオロポリエーテルと、各種のフルオロポリエーテ
ル基を含有しないジアミン類、トリアミン類、または各
種のフルオロポリエーテル基を含有しないジオール類、
トリオール類を併用するなどの方法を採用してもよい。

【００２９】特に、官能基同士が反応して分子量の増大
が起こるようなフルオロポリエーテルを組合せて使用す
ることが望ましい。このようなものとして、たとえばイ
ソシアネート基を含む単位を有するものと、水酸基を含
む単位を有するものとを組合せることは同様に望ましい
ことである。

【００３０】ポリフルオロアルキル基含有化合物として
は、たとえば以下に示すようなポリフルオロアルキル基
を有するものが挙げられる。

【００３１】

【化５】

【００３２】以上のようなポリフルオロアルキル基（炭
素数２〜２０）を有し、平均分子量が５０，０００以下
のものとしては、

【００３３】

【化６】

【００３４】など、反応性基およびポリフルオロアルキ
ル基を有する化合物と、その反応性基と反応する基を有
するエチレン性不飽和化合物との反応物（たとえば、フ
ルオロアルキルアクリレートなど）の重合体、ならびに
反応性基およびポリフルオロアルキル基を有する化合物
とその反応性基と反応する基を有する各種重合体との反
応物、または前述の化合物の重縮合物などが挙げられ
る。

【００３５】ポリフルオロアルキル基含有化合物は、上
述のフルオロポリエーテルと同様に、他の配合材料およ
び添加剤を親和性（密着性）の向上のために親和性の高
い官能基、たとえばイソシアネート基、水酸基、メルカ
プト基、カルボキシル基、エポキシ基、アミノ基または
スルホン基などを含む単位を有する化合物が好ましい。

【００３６】これらのポリフルオロアルキル基含有化合
物は、単独での使用または併用のいずれでもよい。ま
た、活性化水素を有する反応基を有するポリフルオロア
ルキル基含有化合物とポリフルオロアルキル基を有しな
いイソシアネート化合物とを併用してもよい。また、イ
ソシアネート基を有するポリフルオロアルキル基含有化
合物と、各種のポリフルオロアルキル基を含有しないジ
アミン類、トリアミン類または各種のポリフルオロアル
キル基を含有しないジオール基、トリオール類を併用す
るなどの方法を採用してもよい。

【００３７】官能基同志の組合せは、強度増加の上から
好ましく、具体的には炭素数２〜２０のポリフルオロア
ルキル基を有し、かつ、水酸基、メルカプト基、カルボ
キシル基、アミノ基から選ばれる少なくとも１種類を含
むフッ素重合体との組合せ、または炭素数２〜２０のポ
リフルオロアルキル基を有し、かつイソシアネート基を
含む単位を有する含フッ素重合体と、炭素数２〜２０の
ポリフルオロアルキル基を有し、さらに活性化水素を有
する反応基を含む単位を有する含フッ素重合体との組合
せを挙げることができる。

【００３８】これらの低分子量含フッ素重合体のうち、
フルオロオレフィン重合体またはフルオロポリエーテル
を用いると、潤滑性において優れた結果が得られ、特に
平均粒径５μｍ以下のテトラフルオロエチレン重合体を
用いると最も望ましい結果を得ることが判明している。

【００３９】この発明において、フッ素ゴム，熱可塑性
フルオロ樹脂および低分子量含フッ素重合体の配合比
は、フッ素ゴムと熱可塑性フルオロ樹脂の重量比が５
０：５０から９５：５となることが望ましい。熱可塑性
フルオロ樹脂の配合重量比が５０／１００を越えると、
目的の組成物に十分な弾性特性が得られず、５／１００
未満になると十分な耐摩耗性が得られないからである。

【００４０】また、フッ素ゴムと熱可塑性フルオロ樹脂
の合計１００重量部に対して、低分子量含フッ素重合体
は５〜５０重量部であることが好ましい。低分子量含フ
ッ素重合体の配合比が５重量部未満では、十分な摺動特
性が得られず、５０重量部を越えるとゴム状弾性特性が
損なわれるからである。

【００４１】また、上記の潤滑性ゴム組成物に対し、３
００℃において不溶融な熱硬化性樹脂の硬化粉末、また
はガラス転移点が３００℃以上の耐熱性樹脂粉末を添加
して耐摩耗性を向上させることができる。

【００４２】熱硬化性樹脂の粉末としては、フェノール
樹脂、エポキシ樹脂などの熱硬化後の微粉末、ガラス転
移点が３００℃以上である耐熱性樹脂としてはポリイミ
ド樹脂、芳香族アラミド樹脂などの微粉末が挙げられ
る。

【００４３】市販の樹脂粉末のうち、フェノール樹脂の
硬化粉砕品としては、カネボウ社製：ベルパールＨ３０
０，ポリイミド樹脂の硬化粉砕品としては、三笠産業社
製：ＰＷＡ２０、芳香族アラミド樹脂の粉砕品としては
旭化成社製：ＭＰ−Ｐ、ガラス転移点Ｔｇが３００℃以
上の熱硬化性樹脂粉末としては宇部興産社製：ユーピレ
ックスＳ（Ｔｇ＞５００）などがある。

【００４４】このような熱硬化性樹脂粉末の粒径は、１
〜１５μｍのものがゴム状弾性の維持と混練工程の容易
性の点で好ましい。熱硬化性樹脂粉末は、第１〜第３の
必須成分に対して、５〜２０重量％添加することが好ま
しい。５重量％未満では耐摩耗性向上の効果がなく、２
０重量％を越える多量ではゴム弾性が低下するので好ま
しくない。

【００４５】なお、この発明の目的を損なわない範囲
で、上記成分の他に各種添加剤を配合してもよい。たと
えばフッ素ゴムの加硫材としてイソシアヌレート、有機
過酸化物など、ステアリン酸ナトリウム、酸化マグネシ
ウム、および水酸化カルシウムなどの酸化防止剤、また
は受酸剤、カーボンなどの帯電防止剤、シリカおよびア
ルミナなどの充填剤、その他金属酸化物、着色剤、およ
び難燃剤など適宜加えてもよいことはいうまでもない。

【００４６】以上の各種原材料を混合する方法は特に限
定されるものではなく、通常広く用いられている方法に
より混合することができる。たとえば、主原料になるエ
ラストマー、その他の原料をそれぞれ個別に順次、また
は同時に、ロール混合機その他の混合機により混合すれ
ばよい。なお、このとき摩擦による発熱を防止する意味
で温調器を設けることが望ましい。

【００４７】また、ロール混合器を使用する場合には、
仕上げの混合として、ロール間隔を３ｍｍ以下程度に締
めて薄通しを行なうとさらによい。

【００４８】

【発明の作用効果】以上に述べてきた潤滑性ゴム組成物
は、十分な弾性体特性を有し、長時間継続して使用して
も耐摩耗性および低摩擦特性を維持することができる。
したがって、この発明の超音波モータにおいて、動体の
超音波振動体と接触する部分を上記潤滑性ゴム組成物で
形成することによって、動体の加圧接触力が小さくても
摩擦係数を比較的大きくすることができ、しかも摩擦係
数は安定して保持される。また、上記潤滑性ゴム組成物
から形成される接触部分は、耐摩耗性、特に耐疲労摩耗
性に優れ、摩擦音の発生を抑制することができ、しかも
接触相手の損傷を従来よりも低く抑えることができる。

【００４９】このため、この発明に係る超音波モータ
は、効率よく安定して高いトルクを発生することがで
き、しかも、長時間にわたって超音波モータの駆動特性
を変動させることがない。このような超音波モータは、
あらゆる工業分野で有用となる。

【００５０】

【実施例】まず、表１に示すような配合の組成物を調製
した。表１において、各成分の配合割合はすべて重量部
で示されている。また、表１に省略して示される原材料
の詳細は、次のとおりである。

【００５１】（１）［テクノフロン］：フッ化ビニリ
デン・フルオロプロピレン共重合体（旭モンテ社製：テ
クノフロンＦＯＲ４２０）（２）［ＡＦＬＡＳ］：テトラフルオロエチレン・プ
ロピレン共重合体（旭硝子・日本合成ゴム社製：ＡＦＬ
ＡＳ１５０Ｐ）（３）［フロオロシリコーン系エストラマー］：（ダ
ウコーニング社製：シラスティックＬＳ）（４）［ＥＴＦＥ］：テトラフルオロエチレン・エチ
レン共重合体（旭硝子社製：アフロンＣＯＰ）（５）［ＴＦＥ］：低分子量含フッ素重合体（旭硝子
社製：ループリカントＬ１６９）（６）［カーボン］（ファンデルビルト社製：ＭＴカ
ーボン）（７）［ステアリン酸ナトリウム］（一般工業材）（８）［有機過酸化物］（αα′−ビス（ｔ−ブチル
ペルオキシ）ジイソプロピルベンゼン）（９）［ＴＡＩＣ］：多官能製モノマー（トリアリル
イソシアヌレイト）（１０）酸化マグネシウム（一般試薬）（１１）水酸化カルシウム（一般試薬）（１２）イミド樹脂（宇部興産社製：ユーピレックス
Ｓ）（１３）［ＰＴＦＥ］：四フッ化エチレン樹脂（三井
・デュポンフロロケミカル社製：ＴＧ−７０Ｊ）（１４）［ＰＩ−１］：ポリイミド樹脂粉末（三笠産
業社製：ＰＷＡ−１０（平均粒径１０μｍ））（１５）［ＰＩ−２］：ポリイミド樹脂粉末（宇部興
産社製：ユピモールＳタイプ（平均粒径１５μｍ））（１６）［ＣＦ］：炭素繊維（呉羽化学工業社製：Ｍ
２０７Ｓ）（１８）［ＡＲＦ］：芳香族ポリアミド繊維（テイジ
ン社製：コーネックス３ｍｍ）組成物の調製方法は以下のとおりである。

【００５２】実施例１〜５まず、ロール間隔５〜１０ｍｍ程度に調整したロール混
合機にフッ素ゴム（１、２または３）を巻付け、表１に
示した割合で順次、ステアリン酸ナトリウム（７）、Ｍ
Ｔカーボン（６）、ＥＴＦＥ（４）、必要に応じてＴＡ
ＩＣ（９）を加えて混練した。その後、ロール間隔を１
ｍｍに調整し、素練りを約１０回行なった。なお、この
ときの摩擦熱を防止する目的で、常時ロール内に冷却水
を通し、ロール温度を６０℃以下に保った。

【００５３】次に、冷却水を止め、ロール内にスチーム
を通し、ゴム温度が７０℃〜９０℃になるように調整し
た。その後、ロール間隔を５〜１０ｍｍ程度に戻し、低
分子量含フッ素重合体（５）を少量ずつ添加しながら表
１に示す各実施例の配合割合で混練を行なった。その
後、再びロール間隔を１ｍｍに狭めて素練りを約１０回
行なった。

【００５４】以上の工程で得られたコンパウンドにおい
て、１５０×１５０×２ｔシートを１次加硫（１７０
℃、１０分間、プレス圧７ｋｇｆ／ｃｍ²）により得
た。また、２次加硫（２３０℃、１６時間、フリー）を
行なって加硫を完了させた。このようにして得られたシ
ートを加工して、以下に示す摩擦試験、摩耗試験および
超音波モータ実装試験に用いた。

【００５５】比較例１および２充填剤入りのＰＴＦＥについて通常の成形条件で成形を
行なった。ＰＴＦＥ（１３）と有機質粉末状充填剤（１
４）または（１５）との混合および成形は、たとえば、
タンブラーミキサーまたはヘンシエルミキサー等の混合
機によってこれらの材料を乾式混合し、これを金型に入
れて３８０〜６００ｋｇ／ｃｍ²の圧力を加えて予備成
形した後、金型から取出された圧縮成形体を３７０℃で
焼結する方法、その他加熱加圧しながら回分式に圧縮成
形する方法またはラム押出機による連続成形方法などい
ずれの方法を用いても行なうことができた。得られた成
形材料は、加工され、摩擦試験、摩耗試験および超音波
モータ実装試験に供された。

【００５６】

【表１】

【００５７】得られた実施例１〜５ならびに比較例１お
よび２の各試験片について、次に示す方法により摩擦・
摩耗試験および超音波モータ実装試験を行なった。各試
験により得られた結果を表２に示す。

【００５８】試験方法（１）摩擦・摩耗試験得られた試験片を内径φ１７、外径φ２１に加工し、φ
１７×φ２１×１０のＳＰＣＣリング片へ接着してリン
グ試験片とした。相手材はリン青銅Ｃ５１９１からなる
φ６×φ３３×６の円板状試験片とし、スラスト型摩擦
摩耗試験機を用いて評価を行なった。試験条件は、滑り
速度５０ｍ／ｍｉｎ、荷重３ｋｇｆ／ｃｍ²とした。こ
の条件において、１００時間後の摩擦係数および摩耗係
数を測定した。また、試験の後、相手材摺動面の損傷度
合を調べ、評価を行なった。

【００５９】（２）超音波モータ実装試験図１に示す構造を有する超音波モータにおいて、実施例
１〜５ならびに比較例１および２の試験片をそれぞれス
ライダ材として実装し、荷重３ｋｇｆ／ｃｍ²、滑り速
度２０ｍ／ｍｉｎの条件で、超音波モータを１００時間
運転させた。このような試験において、運転初期におけ
るスライダ材の摩擦係数、運転１００時間後におけるス
ライダ材の摩擦係数をそれぞれ測定するとともに、運転
１００時間後のスライダ材の摩耗量（μｍ）についても
測定を行なった。またさらに、それぞれの試験片を実装
した超音波モータについて、運転効率を測定した。運転
効率（％）は下記の式より算出され、運転効率（％）＝（出力（Ｗ）÷入力（Ｗ））×１００上式において出力（Ｗ）はモータの回転数およびトルク
から求めた。

【００６０】以上に示す試験の結果を表２に示す。

【００６１】

【表２】

【００６２】表２から明らかなように、実施例１〜５の
スライダ材は、比較例１および２のスライダ材に比べて
高い摩擦係数を有する一方、摩耗係数が著しく低いもの
である。また、実施例１〜５のスライダ材は、相手材を
損傷させない点についても、比較例より顕著に優れてい
る。

【００６３】さらに、超音波モータ実装試験から明らか
なように、実施例１〜５のスライダ材は、運転による摩
耗量が少なく、比較的高い摩擦係数を運転中安定して維
持している。また、実施例１〜５のスライダ材は、モー
タの運転中、超音波振動材をほとんど損傷させなかっ
た。これに対し、比較例１および２のスライダ材は、超
音波振動材を著しく損傷し、それに伴ってスライダ材の
摩耗量も大きくなった。

【００６４】また、実施例１〜５のスライダ材が実装さ
れた超音波モータは高い効率を示す一方、比較例１およ
び２のスライダ材が実装された超音波モータの効率は実
施例１〜５に比べて顕著に劣っていた。

【００６５】以上の結果からも明らかなように、本発明
に従ってスライダ材が実装された超音波モータは、次に
示す性能を同時に有するものである。

【００６６】（１）スライダ材が摩耗されにくい。（２）スライダ材が接触する超音波振動材が損傷され
にくい。

【００６７】（３）効率よく安定して高いトルクを発
生することができる。（４）寿命が長い。

【００６８】なお、上記実施例は、この発明を限定する
ものではなく、実施例１〜５のスライダ材以外に上述し
た材料を用いて種々のスライダ材を形成し、超音波モー
タに実装することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一具体例について、超音波振動体と
動体とが接触する部分を示す断面図である。

【符号の説明】

１超音波振動体１ａ圧電体２動体３スライダ材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも表面に進行波を発生する超音
波振動体と動体とが接触し、その両者間の、摩擦力を介
して前記進行波により前記動体を駆動する超音波モータ
において、前記動体の前記超音波振動体と接触する部分が、第１必
須成分としての熱可塑性フルオロ樹脂、第２必須成分と
してのフッ素ゴム、および第３必須成分としての低分子
量含フッ素重合体を配合した潤滑性ゴム組成物から形成
されることを特徴とする、超音波モータ。
【請求項２】前記潤滑性ゴム組成物に、熱硬化性樹脂
の硬化粉末およびガラス転位点が３００℃以上の耐熱性
樹脂粉末の少なくともいずれかが添加されている、請求
項１の超音波モータ。
【請求項３】前記第１必須成分である熱可塑性フルオ
ロ樹脂が、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合
体、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビ
ニルエーテル共重合体およびテトラフルオロエチレン・
ヘキサフルオロプロピレン共重合体からなる群から選択
される１種以上の重合体である、請求項１の超音波モー
タ。
【請求項４】前記第２必須成分が、分子量１００，０
００から２５０，０００のフッ素ゴムである、請求項１
の超音波モータ。
【請求項５】前記第２必須成分であるフッ素ゴムが、
テトラフルオロエチレン・プロピレン共重合体、フッ化
ビニリデン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ
化ビニリデン・ヘキサフルオロプロピレン・テトラフル
オロエチレン共重合体、フルオロシリコーン共重合体お
よびパーフルオロ系共重合体からなる群から選択される
１種以上の重合体である、請求項１の超音波モータ。
【請求項６】前記第３必須成分である低分子量含フッ
素重合体が、５０，０００以下の平均分子量を有し、か
つフルオロオレフィン重合体、フルオロポリエーテルお
よびポリフルオロアルキル基含有化合物からなる群から
選択される１種以上の重合体である、請求項１の超音波
モータ。
【請求項７】前記第３必須成分である低分子量含フッ
素重合体が、テトラフルオロエチレン重合体である、請
求項１の超音波モータ。