JPH0679044B2 - 目合せ方法 - Google Patents
目合せ方法Info
- Publication number
- JPH0679044B2 JPH0679044B2 JP6386988A JP6386988A JPH0679044B2 JP H0679044 B2 JPH0679044 B2 JP H0679044B2 JP 6386988 A JP6386988 A JP 6386988A JP 6386988 A JP6386988 A JP 6386988A JP H0679044 B2 JPH0679044 B2 JP H0679044B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- procedure
- alignment mark
- alignment
- conduction
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は目合せ方法、特に、複数のフライングプローブ
を用いた抵抗測定基板検査装置の目合せ方法に関する。
を用いた抵抗測定基板検査装置の目合せ方法に関する。
次に従来の目合せ方法について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第２図は従来の目合せ方法の一例を説明するための斜視
図、第３図（Ａ），（Ｂ）は、第２図のプローブと目合
せマークとの位置関係を示す側面図および平面図であ
る。
図、第３図（Ａ），（Ｂ）は、第２図のプローブと目合
せマークとの位置関係を示す側面図および平面図であ
る。
プローブ３を目合せマーク11の近傍に移動させ、顕微鏡
13にて目視しながら両者が接触する位置まで移動させ、
このときのプローブ３の移動量を計測する。
13にて目視しながら両者が接触する位置まで移動させ、
このときのプローブ３の移動量を計測する。
プローブ４を目合せマーク12の近傍に移動させ、顕微鏡
13にて目視しながら両者が接触する位置まで移動させ、
このときのプローブ４の移動量を計測する。
13にて目視しながら両者が接触する位置まで移動させ、
このときのプローブ４の移動量を計測する。
これにより、基板検査装置１に対して、被検査基板２の
位置をティーチングでき、目合せが行なえる。
位置をティーチングでき、目合せが行なえる。
上述した従来の目合せ方法は、目合せマーク上にプロー
ブの先端が重なることを目視で判断しているため、微細
パターンを有する回路基板の検査においては、目合せ精
度向上の目的で小さくなった目合せマークがプローブ先
端に隠れて位置合せが困難になるという欠点があった。
ブの先端が重なることを目視で判断しているため、微細
パターンを有する回路基板の検査においては、目合せ精
度向上の目的で小さくなった目合せマークがプローブ先
端に隠れて位置合せが困難になるという欠点があった。
本発明の目合せ方法は、複数のプローブを用いた抵抗測
定基板検査装置の目合せ方法において、 （Ａ）被検査基板に、コモンパッドと、前記コモンパッ
ドに導体パターンで接続される複数の目合せマークとを
設ける手順、 （Ｂ）第１の前記プローブを前記コモンパッドに接触さ
せる手順、 （Ｃ）第２の前記プローブを第１の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｄ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｅ）前記（Ｄ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 （Ｆ）第２の前記プローブを第２の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｇ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｈ）前記（Ｇ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 とを含んで構成される。
定基板検査装置の目合せ方法において、 （Ａ）被検査基板に、コモンパッドと、前記コモンパッ
ドに導体パターンで接続される複数の目合せマークとを
設ける手順、 （Ｂ）第１の前記プローブを前記コモンパッドに接触さ
せる手順、 （Ｃ）第２の前記プローブを第１の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｄ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｅ）前記（Ｄ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 （Ｆ）第２の前記プローブを第２の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｇ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｈ）前記（Ｇ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を説明するための斜視図であ
る。
る。
２フライングプローブを有する抵抗測定式の基板検査装
置１で検査される被検査基板２には、プローブ3,4が接
触するパターン５と同一面上に導体で形成される目合せ
マーク6,7およびコモンパッド８と、目合せマーク6,7お
よびコモンパッド８とを接続する導体パターン９が設け
られている。
置１で検査される被検査基板２には、プローブ3,4が接
触するパターン５と同一面上に導体で形成される目合せ
マーク6,7およびコモンパッド８と、目合せマーク6,7お
よびコモンパッド８とを接続する導体パターン９が設け
られている。
以下、目合せ手順を調べる。
プローブ３をコモンパッド８に接触させる。
プローブ４を目合せマーク６近辺に移動する。
抵抗計10を監視しながら、プローブ４を目合せマーク６
に接触するように移動し、プローブ３とプローブ４の抵
抗値が零になるような位置を求め、この時のプローブ４
の移動量を計測する。
に接触するように移動し、プローブ３とプローブ４の抵
抗値が零になるような位置を求め、この時のプローブ４
の移動量を計測する。
プローブ４を目合せマーク７近辺に移動する。
抵抗計10を監視しながら、プローブ４を目合せマーク７
に接触するように移動し、プローブ３とプローブ４の抵
抗値が零になるような位置を求め、この時のプローブ４
の移動量を計測する。
に接触するように移動し、プローブ３とプローブ４の抵
抗値が零になるような位置を求め、この時のプローブ４
の移動量を計測する。
本発明の目合せ方法は、プローブと目合せマークとの接
触を顕微鏡で確認する代りに、目合せマーク間を導体パ
ターンで連結して、プローブ間の抵抗値を監視すること
により、確実かつ容易に目合せができるという効果があ
る。
触を顕微鏡で確認する代りに、目合せマーク間を導体パ
ターンで連結して、プローブ間の抵抗値を監視すること
により、確実かつ容易に目合せができるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を説明するための斜視図、第
２図は従来の一例を示すための斜視図、第３図（ａ），
（ｂ）は第２図のプローブと目合せマークとの位置関係
を示す側面図および平面図である。 １……基板検査装置、２……被検査基板、3,4……プロ
ーブ、５……パターン、6,7……目合せマーク、８……
コモンパッド、９……導体パターン、10……抵抗計。
２図は従来の一例を示すための斜視図、第３図（ａ），
（ｂ）は第２図のプローブと目合せマークとの位置関係
を示す側面図および平面図である。 １……基板検査装置、２……被検査基板、3,4……プロ
ーブ、５……パターン、6,7……目合せマーク、８……
コモンパッド、９……導体パターン、10……抵抗計。
Claims (1)
- 【請求項１】複数のプローブを用いた抵抗測定基板検査
装置の目合せ方法において、 （Ａ）被検査基板に、コモンパッドと、前記コモンパッ
ドに導体パターンで接続される複数の目合せマークとを
設ける手順、 （Ｂ）第１の前記プローブを前記コモンパッドに接触さ
せる手順、 （Ｃ）第２の前記プローブを第１の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｄ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｅ）前記（Ｄ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 （Ｆ）第２の前記プローブを第２の前記目合せマークに
接触させる手順、 （Ｇ）第１の前記プローブと第２の前記プローブとの導
通の有無を調べる手順、 （Ｈ）前記（Ｇ）で導通が有る場合は、第２の前記プロ
ーブの移動量を計測する手順、 とを含むことを特徴とする目合せ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6386988A JPH0679044B2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 目合せ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6386988A JPH0679044B2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 目合せ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01235862A JPH01235862A (ja) | 1989-09-20 |
| JPH0679044B2 true JPH0679044B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=13241739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6386988A Expired - Lifetime JPH0679044B2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 目合せ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679044B2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP6386988A patent/JPH0679044B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01235862A (ja) | 1989-09-20 |
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