JPH0680246A

JPH0680246A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH0680246A
Application number: JP23751292A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kuboyama; 誠窪山; Shigeru Hiranuma; 茂平沼; Motoyuki Kuroiwa; 基之黒岩
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-09-07
Filing date: 1992-09-07
Publication date: 1994-03-22

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送装置に関し、被搬送物を所定の停止位置
に止めた際、ベルトと被搬送物の摺動によって発塵する
ことを極力抑えることを目的とする。【構成】回動自在に並設された少なくとも一方の端部
が回転駆動されており、かつ無端のベルト４が溝内に嵌
合張架されて一斉に回転しながら被搬送物５を移動させ
る複数個のプーリ１と、前記プーリ１の前方と後方のそ
れぞれに回動自在に並設されているアイドルプーリ２
と、前記アイドルプーリ２の前方の所定の停止位置６に
配設されており、かつ前記被搬送物５の、後方部5aが少
なくとも該プーリ１に乗っており、前方部5bが該アイド
ルプーリ２に乗って移動しながら停止位置６に到達した
際、該前方部5bを検出してプーリ１を停止させる停止セ
ンサ３とで構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係わり、ベル
トによって張架されて一定に回転するプーリとアイドル
プーリを組み合わせて、停止した際に被搬送物とベルト
の摺動長を短くして発塵を抑えてなる搬送装置に関す
る。

【０００２】近年、半導体装置を中心とした電子デバイ
スの製造工程においては、製品の小形化が進んで精密さ
が必要となっているので、組立作業環境の清浄化が要求
されている。そして、このような環境の清浄化は、一般
にクリーンルームによっていろいろな清浄度（クリーン
度）を実現している。

【０００３】ところで、クリーンルームの中にはいろい
ろな製造装置が設置されているので、まずこうした製造
装置から発塵することを極力抑える必要がある。特に組
立作業が自動化されている場合には、被処理物を装置か
ら装置へ運ぶ搬送装置が欠かせない。しかし、可動部分
が露出して動くために、この搬送装置の無塵化、低発塵
化が急務となっている。

【０００４】

【従来の技術】図３は従来の搬送装置の一例の構成図
で、図３（Ａ）はＸ−Ｘ側面図、図３（Ｂ）は平面図で
ある。図において、１はプーリ、1aはＵ溝、３は停止セ
ンサ、４はベルト、５は被搬送物、６は停止位置、８は
フレーム、９は吸引手段、10は搬送装置、11はタイミン
グベルト、12はモータである。

【０００５】図３に示した搬送装置10は、いわゆるスラ
イドコンベヤによく似た構成になっており、こゝではチ
ェーンの替わりにベルトを用いている。すなわち、複数
個のプーリ１が平行に対向して直立したフレーム８のそ
れぞれに適当な間隔で並設されている。搬入側端部のプ
ーリ１はタイミングベルト11を介してモータ12によって
回転駆動され、その他のプーリ１は回動自在なアイドラ
となっている。また、搬出側端部のプーリ１の前方に
は、運ばれてきた被搬送物５を所定の停止位置６に停止
させるための停止センサ３が設けられている。この停止
センサ３には、例えば反射型のフォトインタラプタなど
を用いることができる。

【０００６】それぞれのプーリ１にはベルト４が嵌まる
Ｕ溝1aが設けられており、例えばシリコンゴムやウレタ
ンゴムなどからなる無端のベルト４がプーリ１全体に渡
って張架されている。こゝでは、Ｕ溝1aが２個ずつ設け
られて、ベルト４が二重に張架されている。そして、搬
入側端部のプーリ１が回転駆動されると、全てのプーリ
１が一斉に回転するようになっている。

【０００７】このような構成になる搬送装置10は、被搬
送物５の両端部のみをベルト４が支持して運ぶので、被
搬送物５の両端部以外に異物が接触することがない。従
って、中央部を触れたくない例えば半導体装置や液晶表
示装置といった電子デバイスの基板などの搬送を行う際
に具合がいい。

【０００８】ところで、被搬送物５が搬送装置10に搬入
されると、被搬送物５が左右２本ずつで合わせて４本の
ベルト４に乗って移動する。そして、前方部5bの端部が
停止センサ３に到達すると停止センサ３がモータ12を停
止させ、被搬送物５が所定の停止位置６で停止するよう
になっている。停止した被搬送物５は図示してない搬送
ロボットなどによって保持され、次工程の装置へ運ばれ
る。従って、被搬送物５は所定の停止位置で停止するこ
とが重要である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
被搬送物５を停止センサ３で検出して停止する方法で
は、プーリ１が停止しても被搬送物５が慣性によってオ
ーバランし、所定の位置６に停止しないことが間々起こ
る。そして、その際、被搬送物５とベルト４が摺動長：
Ｌ₁分だけ摺動して塵埃が発生する。この塵埃はフレー
ム８の側壁に設けられている吸引手段９によって吸い取
り除去するようになっているが必ずしも十分ではない。
そこで、被搬送物５のオーバランを抑えるために、プー
リ１の回転速度、つまりベルト４の移動速度を遅くする
といった非効率的な方策を採らざるを得なかった。

【００１０】さらに、被搬送物５の搬送が終わったあ
と、図示してない搬送ロボットなどによって位置決めを
行う際にも、被搬送物５が動くとベルト４と摩擦して塵
埃が発生する原因となっていた。

【００１１】そこで本発明は、ベルトに張架されて回転
駆動するプーリとアイドルプーリを組み合わせて、被搬
送物が停止した際のベルトとの摺動長を短くし、発塵を
抑えることができる搬送装置を提供することを目的とし
ている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上で述べた課題は、複数
個のプーリと、複数個のアイドルプーリと、停止センサ
を有し、前記プーリは、回動自在に並設された少なくと
も一方の端部が回転駆動されており、かつ無端のベルト
が溝内に嵌合張架されて一斉に回転しながら被搬送物を
移動させるものであり、前記アイドルプーリは、前記プ
ーリの前方と後方のそれぞれに回動自在に並設されてい
るものであり、前記停止センサは、前記アイドルプーリ
の前方の所定の停止位置に配設されており、かつ前記被
搬送物の、後方部が少なくとも該プーリに乗っており、
前方部が該アイドルプーリに乗って移動しながら該停止
位置に到達した際、該前方部を検出して該プーリを停止
させるものであるように構成された搬送装置によって解
決される。

【００１３】

【作用】従来の搬送装置は、ベルトで張架されて全ての
プーリが回転している系によって被搬送物を運んでいた
のに対して、本発明においては、張架されたベルトを駆
動するプーリとアイドルプーリを組み合わせるようにし
ている。そして、被搬送物が所定の位置に停止した際の
ベルトと被搬送物の摺動長を最小にするようにしてい
る。そして、ベルトと被搬送物の摺動によって起こる発
塵を極力抑えるようにしている。

【００１４】こうして、発塵を抑えながら搬送装置を効
率よく稼働させ、特にクリーンルーム内で行われる自動
組立作業の効率化や組み立てた製品の信頼性の向上を図
ることができる。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の第一の実施例の搬送状態の説
明図で、図１（Ａ）は搬送の開始状態、図２（Ｂ）は搬
送の途中状態、図１（Ｃ）は搬送の停止状態、図２は本
発明の第二の実施例の主要部の搬送状態の説明図で、図
２（Ａ）は高速搬送状態、図２（Ｂ）は減速搬送状態、
図２（Ｃ）は搬送終了状態である。図において、１はプ
ーリ、２はアイドルプーリ、３は停止センサ、４はベル
ト、５は被搬送物、5aは後方部、5bは前方部、６は停止
位置、７は減速センサ、８はフレーム、10は搬送装置で
ある。

【００１６】実施例：１図１において、複数個のプーリ１と、そのプーリ１の前
方と後方のそれぞれに複数個のアイドルプーリ２が、平
行に対向して直立したフレーム８に回動自在に取り付け
られている。そして、
プーリ１は、少なくとも一方の端部が図示してない
モータによって回転駆動されるようになっている。そし
て、ベルト４が溝内に嵌合張架してプーリ１全体が一体
となって一斉に回転するようになっている。

【００１７】アイドルプーリ２は、プーリ１を挟むよう
にして前方と後方に分けてに並設されている。そして、
後方つまり搬送装置10の搬入側に配設されるアイドルプ
ーリ２の個数は、それぞれのプーリの間隔や搬送される
被搬送物５の長さなどによって適宜決めることができ
る。また、搬出側の前方に配設するアイドルプーリ２の
個数は、被搬送物５が停止位置６に停止した際に、被搬
送物５の後方部5aがプーリ１にどの程度掛かって摺動す
るか、つまり摺動長：Ｌ₂の長さが最小になるように設
定する。こゝでは、後方に配設するアイドルプーリ２の
個数は３個で、摺動長：Ｌ₂はプーリ１の１間隔分にな
っている。

【００１８】ところで、本発明になる搬送装置10によっ
て被搬送物５が運ばれる状態を見ると、被搬送物５は図
示してない搬出ロボットなどによって搬送装置10の搬入
側に運ばれる。その際、図１（Ａ）に示したように被搬
送物５の前方部5bが回転駆動されるプーリ１に掛かるよ
うに置かれる。そして、被搬送物５はプーリ１に張架さ
れたベルト４によって図１（Ｂ）に示したように前方の
アイドルプーリ２の上へ運ばれる。そして、図１（Ｃ）
に示したように被搬送物５の前方部5bの端部が停止セン
サ３に到達すると、プーリ１が停止して被搬送物５が所
定の停止位置６で停止する。

【００１９】こうして、被搬送物５が停止した状態で
は，被搬送物５の後方部5aがプーリ１に掛かっている摺
動長：Ｌ₂は、従来例の数分の１に短くすることができ
る。従って、被搬送物５がベルト４と摺動して発塵する
程度を、従来例よりも少なくすることができる。また、
図示してないが、従来からの吸引手段を設ければさらに
発塵の飛散を抑えることができる。

【００２０】実施例：２実施例１において、被搬送物５が停止センサ３によって
停止する際、被搬送物５がプーリ１に掛かってベルト４
と摺動する長さ、摺動長：Ｌ₂はプーリの１間隔分と短
いが、被搬送物５が慣性によってオーバランして所定の
停止位置６に停止し難いときには、減速センサ７を設け
る。

【００２１】図２（Ａ）において、減速センサ７は停止
センサ３とアイドルプーリ２を１個分隔てて後方に設置
する。そして、運ばれてきた被搬送物５の前方部5bを減
速センサ７が検出したら、図２（Ｂ）に示したようにプ
ーリ１の回転速度を減速する。減速の程度は、被搬送物
５が停止した際にオーバランしない速度に落とすことで
あり、被搬送物５の重量や搬送されてくる当初の搬送速
度などによって決める。

【００２２】こうして、停止センサ３で被搬送物５の前
方部5bを検出してプーリ１を停止した際、図２（Ｃ）に
示したように被搬送物５がオーバランせずに所定の停止
位置６に位置決め精度よく停止させることができる。そ
の結果、効率のよい速度で被搬送物５の搬送を行うこと
ができる。

【００２３】プーリ１やアイドルプーリ２の個数や間
隔、搬送速度などは被搬送物５の長さや重量などによっ
て種々の変形が可能である。

【００２４】

【発明の効果】従来のコンベヤ式の搬送装置において
は、ベルトと被搬送物の摺動・摩擦によって発塵が避け
られなかったが、本発明においては、ベルトが張架され
て回転駆動されるプーリとアイドルプーリを組み合わせ
てベルトと被搬送物の摺動長を最小にし、発塵を極力抑
えるようにしている。

【００２５】こうして、発塵を抑えながら搬送装置を効
率よく稼働させることができるので、特にクリーンルー
ム内で行われる自動組立作業の効率化や組み立てた製品
の信頼性の向上などに対して、本発明は寄与するところ
が大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例の搬送状態の説明図
で、（Ａ）は搬送の開始状態、（Ｂ）は搬送の途中状
態、（Ｃ）は搬送の停止状態である。

【図２】本発明の第二の実施例の主要部の搬送状態の
説明図で、（Ａ）は高速搬送状態、（Ｂ）は減速搬送状
態、（Ｃ）は搬送終了状態である。

【図３】従来の搬送装置の一例の構成図で、（Ａ）は
Ｘ−Ｘ側面図、（Ｂ）は平面図である。

【符号の説明】

１プーリ２アイドルプーリ３停止センサ４ベルト５被搬送物 5a 後方部 5b
前方部６停止位置７減速センサ８フレーム 10 搬送装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個のプーリ(1) と、複数個のアイド
ルプーリ(2) と、停止センサ(3) を有し、前記プーリ(1) は、回動自在に並設された少なくとも一
方の端部が回転駆動されており、かつ無端のベルト(4)
が溝内に嵌合張架されて一斉に回転しながら被搬送物
(5) を移動させるものであり、前記アイドルプーリ(2) は、前記プーリ(1) の前方と後
方のそれぞれに回動自在に並設されているものであり、前記停止センサ(3) は、前記アイドルプーリ(2) の前方
の所定の停止位置(6)に配設されており、かつ前記被搬
送物(5) の、後方部(5a)が少なくとも該プーリ(1) に乗
っており、前方部(5b)が該アイドルプーリ(2) に乗って
移動しながら該停止位置(6) に到達した際、該前方部(5
b)を検出して該プーリ(1) を停止させるものであること
を特徴とする搬送装置。
【請求項２】減速センサ(7) を有し、前記減速センサ(7) は、前記アイドルプーリ(2) の少な
くとも１個を介在させた前記停止センサ(3) の後方に配
設されており、かつ前記被搬送物(5) の前方部(5b)が到
達した際、前記プーリ(1) の回転速度を減速するもので
ある請求項１記載の搬送装置。