JPH0680723B2 - 物品の収納装置 - Google Patents
物品の収納装置Info
- Publication number
- JPH0680723B2 JPH0680723B2 JP58148565A JP14856583A JPH0680723B2 JP H0680723 B2 JPH0680723 B2 JP H0680723B2 JP 58148565 A JP58148565 A JP 58148565A JP 14856583 A JP14856583 A JP 14856583A JP H0680723 B2 JPH0680723 B2 JP H0680723B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- pair
- storage box
- sides
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3404—Storage means
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、例えば半導体ウエーハを収めたカセツトな
ど、多数の物品を出し入れ容易に、かつ、防じんして収
める、収納装置に関する。
ど、多数の物品を出し入れ容易に、かつ、防じんして収
める、収納装置に関する。
加工工程の多い物品の製造ラインには、加工工程間で物
品を一時保管するための収納装置が必要である。例え
ば、ICやLSIなどの半導体装置の製造ラインは、100以上
もの加工工程があり、収納効率がよく、出入れが容易な
収納装置を多数要する。さらに、半導体装置はじんあい
を嫌い、保管中も清浄な環境にしておかねばならない。
品を一時保管するための収納装置が必要である。例え
ば、ICやLSIなどの半導体装置の製造ラインは、100以上
もの加工工程があり、収納効率がよく、出入れが容易な
収納装置を多数要する。さらに、半導体装置はじんあい
を嫌い、保管中も清浄な環境にしておかねばならない。
収納する物品の例として、カセツトを第１図に斜視図で
示す。カセツト（１）は両側部内側に多数条の収納溝
（1a）が設けられていて、半導体ウエーハ（図示は略
す）を多数枚（例えば25枚）収納する。
示す。カセツト（１）は両側部内側に多数条の収納溝
（1a）が設けられていて、半導体ウエーハ（図示は略
す）を多数枚（例えば25枚）収納する。
従来の収納装置は第２図に斜視図で示すようになつてい
た。（２）は収納装置で、次のように構成されている。
（３）は収納庫で、前部が大きく開口しており、複数段
の棚（４）が設けられてある。（５）は送風機で外気を
吸込し、空気ろ過器（６）に通し清浄な空気にし、各棚
（４）に載せられるカセツト（１）の背部側から圧入
し、カセツト（１）に収納されたウエーハの外部からの
じんあいの付着を防止するようにしてある。
た。（２）は収納装置で、次のように構成されている。
（３）は収納庫で、前部が大きく開口しており、複数段
の棚（４）が設けられてある。（５）は送風機で外気を
吸込し、空気ろ過器（６）に通し清浄な空気にし、各棚
（４）に載せられるカセツト（１）の背部側から圧入
し、カセツト（１）に収納されたウエーハの外部からの
じんあいの付着を防止するようにしてある。
上記従来の装置では、各棚（４）へのカセツト（１）の
出し入れは人手によつており、棚（４）の奥や高い位置
の棚（４）への出入れは面倒で、作業性がよくなかつ
た。また、カセツト（１）を自動機によつて出し入れし
ようとするのに、手前と奥にカセツト（１）があり、実
施が非常に困難であつた。そのうえ、収納庫（３）の前
面が大きく開口していて、じんあい付着防止が不十分で
あつた。
出し入れは人手によつており、棚（４）の奥や高い位置
の棚（４）への出入れは面倒で、作業性がよくなかつ
た。また、カセツト（１）を自動機によつて出し入れし
ようとするのに、手前と奥にカセツト（１）があり、実
施が非常に困難であつた。そのうえ、収納庫（３）の前
面が大きく開口していて、じんあい付着防止が不十分で
あつた。
この発明は、このような従来装置の欠点をなくするため
になされたもので、収納箱体内の両側に１対のエンドレ
スの走行体を配設し、駆動装置によりこれらの走行体を
走行し所要位置に停止できるようにし、双方の走行体に
またがり等間隔に複数の受棚を取付け、これらの受棚上
に物品を載せるようにし、収納箱体の前面に、上記受棚
が止められる所定位置に一棚分に対する開口部を設け、
物品の出し入れをするようにし、物品の出し入れが容易
で収納効率がよく、物品の出し入れ作業を自動化するこ
とができる収納装置を提供することを目的としている。
になされたもので、収納箱体内の両側に１対のエンドレ
スの走行体を配設し、駆動装置によりこれらの走行体を
走行し所要位置に停止できるようにし、双方の走行体に
またがり等間隔に複数の受棚を取付け、これらの受棚上
に物品を載せるようにし、収納箱体の前面に、上記受棚
が止められる所定位置に一棚分に対する開口部を設け、
物品の出し入れをするようにし、物品の出し入れが容易
で収納効率がよく、物品の出し入れ作業を自動化するこ
とができる収納装置を提供することを目的としている。
さらに、収納箱体内の両側に配設された１対の走行体そ
れぞれと複数の受棚とを一対の仕切板により仕切り、複
数の受棚を囲って収納室を形成し、送風機からの空気を
空気ろ過に通して収納室に吹込み、前面の開口部から排
出するように、防じん性が良好な収納装置を得ることを
目的としている。
れぞれと複数の受棚とを一対の仕切板により仕切り、複
数の受棚を囲って収納室を形成し、送風機からの空気を
空気ろ過に通して収納室に吹込み、前面の開口部から排
出するように、防じん性が良好な収納装置を得ることを
目的としている。
第３図及び第４図はこの発明の一実施例による収納装置
の斜視図及び側綿断面図で、第５図は第４図のV-V線に
おける断面図である。第３図ないし第５図において、
（10）は収納装置で、上記第１図の半導体ウエーハを収
納したカセツト（２）を収納する場合を示す。（11）は
外周が囲われた収納箱体で、前面の下方寄りに開口部
（11a）が設けられてある。（12）は両側１対の伝導の
鎖車で、伝導軸（13）に固着されている。この伝導軸
（13）は両側の仕切板（14）の下方側に軸受（15）を介
し回転自在に支持されている。（16）は両側１体の従導
の鎖車で、両側の仕切板（14）の上方側に軸受（18）に
支持された１対の支持軸（17）にそれぞれ固着されてい
る。（19）は双方の鎖車（12）と（16）とにそれぞれ掛
けられた１対のチエーン、（20）はチエーン（19）を所
定ピツチの間欠走行させるための割出駆動装置で、電動
機を駆動し所定の割出し運転制御する。（21）はこの割
出駆動装置（20）の軸端に固着された駆動の鎖車、（2
2）は伝導軸（13）の軸端に固着された伝達の鎖車で、
鎖車（21）とにチエーン（23）が掛けられていて回転が
伝えられる。（24）は１対のチエーン（23）の間にまた
がり、チエーンの長手方向に対し等間隔に配置された複
数の受棚で、両端がそれぞれ支持腕（25）の下部に固着
されている。これらの支持腕（25）はチエーン（19）に
はめられた支持ピン（26）に回動支在に支持されてお
り、受棚（24）が常に下方になるように支持している。
上記両側の仕切板（14）には、上記支持ピン（26）の中
間部が通過する部分にスリツト（14a）を設けてある。
このスリツト（14a）で分割された仕切板（14）の中央
側は、収納箱体（11）の側板に支持部材（図示は略す）
を介し固定してある。（27）は各受棚（24）上に取付け
られたトレイで、複数のカセツト（１）が位置決め載置
されている。
の斜視図及び側綿断面図で、第５図は第４図のV-V線に
おける断面図である。第３図ないし第５図において、
（10）は収納装置で、上記第１図の半導体ウエーハを収
納したカセツト（２）を収納する場合を示す。（11）は
外周が囲われた収納箱体で、前面の下方寄りに開口部
（11a）が設けられてある。（12）は両側１対の伝導の
鎖車で、伝導軸（13）に固着されている。この伝導軸
（13）は両側の仕切板（14）の下方側に軸受（15）を介
し回転自在に支持されている。（16）は両側１体の従導
の鎖車で、両側の仕切板（14）の上方側に軸受（18）に
支持された１対の支持軸（17）にそれぞれ固着されてい
る。（19）は双方の鎖車（12）と（16）とにそれぞれ掛
けられた１対のチエーン、（20）はチエーン（19）を所
定ピツチの間欠走行させるための割出駆動装置で、電動
機を駆動し所定の割出し運転制御する。（21）はこの割
出駆動装置（20）の軸端に固着された駆動の鎖車、（2
2）は伝導軸（13）の軸端に固着された伝達の鎖車で、
鎖車（21）とにチエーン（23）が掛けられていて回転が
伝えられる。（24）は１対のチエーン（23）の間にまた
がり、チエーンの長手方向に対し等間隔に配置された複
数の受棚で、両端がそれぞれ支持腕（25）の下部に固着
されている。これらの支持腕（25）はチエーン（19）に
はめられた支持ピン（26）に回動支在に支持されてお
り、受棚（24）が常に下方になるように支持している。
上記両側の仕切板（14）には、上記支持ピン（26）の中
間部が通過する部分にスリツト（14a）を設けてある。
このスリツト（14a）で分割された仕切板（14）の中央
側は、収納箱体（11）の側板に支持部材（図示は略す）
を介し固定してある。（27）は各受棚（24）上に取付け
られたトレイで、複数のカセツト（１）が位置決め載置
されている。
次に、（28）は送風機で、外気を吸入し空気ろ過器（2
9）に通し、清浄な空気を収納室（30）に圧入し開口部
（11a）から排出する。こうして、収納室（30）は加圧
され各カセツト（１）内の半導体ウエーハにじんあいが
付着するのを防ぎ、かつ、仕切り板（14）で仕切られた
鎖車（12），（16）やチエーン（19）部の摩耗粉が収納
室（30）に浸入しないようにしている。
9）に通し、清浄な空気を収納室（30）に圧入し開口部
（11a）から排出する。こうして、収納室（30）は加圧
され各カセツト（１）内の半導体ウエーハにじんあいが
付着するのを防ぎ、かつ、仕切り板（14）で仕切られた
鎖車（12），（16）やチエーン（19）部の摩耗粉が収納
室（30）に浸入しないようにしている。
上記一実施例の装置の動作は、次のようになる。カセツ
ト（１）の出し入れ作業は、駆動割出装置（20）により
双方のチエーン（19）を走行させ、所要の受棚（24）を
開口部（11a）の位置に移動し、停止させて行う。
ト（１）の出し入れ作業は、駆動割出装置（20）により
双方のチエーン（19）を走行させ、所要の受棚（24）を
開口部（11a）の位置に移動し、停止させて行う。
このカセツト（１）の出し入れは人手で行えるが、カセ
ツト（１）を把持し移動する装置を配設すれば、自動化
することができる。さらに、マイクロコンピユータなど
を用い、物品のロツト番号を記憶させることにより、任
意のロツト番号のカセツト（１）を出し入れすることが
できる。
ツト（１）を把持し移動する装置を配設すれば、自動化
することができる。さらに、マイクロコンピユータなど
を用い、物品のロツト番号を記憶させることにより、任
意のロツト番号のカセツト（１）を出し入れすることが
できる。
なお、上記実施例では、物品として半導体ウエーハを収
納したカセツト（１）の場合を示したが、これに限ら
ず、他の種の物品の収納の場合にも適用できるものであ
る。
納したカセツト（１）の場合を示したが、これに限ら
ず、他の種の物品の収納の場合にも適用できるものであ
る。
また、上記実施例では、各受棚（24）を支持し移動する
のに、チエーン及び鎖車による装置を用いたが、ベルト
駆動などの走行体による支持移動装置によつてもよい。
のに、チエーン及び鎖車による装置を用いたが、ベルト
駆動などの走行体による支持移動装置によつてもよい。
以上のように、この発明によれば、収納箱体内の両側に
１対のエンドレスの走行体を配設し、所要位置に停止で
きるようにし、双方の走行体にまたがり等間隔に複数の
受棚を取付け、この受棚は常につり下げられた姿勢を維
持するようにし、上記収納箱の前面に設けた一棚分の開
口部から物品を停止状態の受棚に載せ収納したり、取出
したりするようにしたので、物品の出し入れが容易で収
納効率がよく、物品の出し入れ作業の自動化が可能にな
る。
１対のエンドレスの走行体を配設し、所要位置に停止で
きるようにし、双方の走行体にまたがり等間隔に複数の
受棚を取付け、この受棚は常につり下げられた姿勢を維
持するようにし、上記収納箱の前面に設けた一棚分の開
口部から物品を停止状態の受棚に載せ収納したり、取出
したりするようにしたので、物品の出し入れが容易で収
納効率がよく、物品の出し入れ作業の自動化が可能にな
る。
また、収納箱体内の両側に配設された１対の走行体それ
ぞれと複数の受棚とを一対の仕切板により仕切り、複数
の受棚を囲って収納室を形成し、送風機により外気を吸
入し、空気ろ過器に通して上記収納室に圧入し、収納箱
の比較的高さの小さい開口部から排出するようにしたの
で、物品を良好な防じん状態で収納保管することができ
る。
ぞれと複数の受棚とを一対の仕切板により仕切り、複数
の受棚を囲って収納室を形成し、送風機により外気を吸
入し、空気ろ過器に通して上記収納室に圧入し、収納箱
の比較的高さの小さい開口部から排出するようにしたの
で、物品を良好な防じん状態で収納保管することができ
る。
第１図は収納するカセツトの斜視図、第２図は従来の収
納装置の斜視図、第３図及び第４図はこの発明の一実施
例による収納装置の斜視図及び側面断面図、第５図は第
４図のV-V線における断面図である。 図において、１……カセツト、10……収納装置、11……
収納箱体、11a……開口部、12,16……鎖車、14……仕切
板、14a……スリツト、19……チエーン、20……割出駆
動装置、21,22……鎖車、23……チエーン、24……受
棚、28……送風機、29……空気ろ過器、30……収納室。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
納装置の斜視図、第３図及び第４図はこの発明の一実施
例による収納装置の斜視図及び側面断面図、第５図は第
４図のV-V線における断面図である。 図において、１……カセツト、10……収納装置、11……
収納箱体、11a……開口部、12,16……鎖車、14……仕切
板、14a……スリツト、19……チエーン、20……割出駆
動装置、21,22……鎖車、23……チエーン、24……受
棚、28……送風機、29……空気ろ過器、30……収納室。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】一棚分の物品が出し入れされる開口部が前
面に設けられた収納箱体、この収納箱体内の両側に配設
されて走行する１対のエンドレスの走行体、これらの走
行体を所定ピッチ宛移動走行させる駆動手段、上記１対
の走行体間にまたがり、常時つり下げ状態で上記走行体
に支持されるとともに上記走行体と連動して走行する複
数の受棚、上記収納箱体内の両側に配設された上記走行
体それぞれと上記複数の受棚とを仕切り、この複数の受
棚を囲って収納室を形成する１対の仕切板、及び外気を
吸入し空気ろ過器に通して上記収納室内に圧入し、上記
収納箱体の開口部から排出させる送風機を備えた物品の
収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148565A JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148565A JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039844A JPS6039844A (ja) | 1985-03-01 |
| JPH0680723B2 true JPH0680723B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=15455586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58148565A Expired - Lifetime JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680723B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6079710A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Tokyo Erekutoron Kk | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
| JPS60219723A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | マスク板保管装置 |
| US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
| JP4502142B2 (ja) | 2007-11-07 | 2010-07-14 | 村田機械株式会社 | 鉛直循環搬送設備 |
| IT202000018559A1 (it) * | 2020-07-30 | 2022-01-30 | Cyber S R L | Magazzino automatico verticale a piani mobili |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP58148565A patent/JPH0680723B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6039844A (ja) | 1985-03-01 |
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