JPH0682083B2 - ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置Info
- Publication number
- JPH0682083B2 JPH0682083B2 JP1363290A JP1363290A JPH0682083B2 JP H0682083 B2 JPH0682083 B2 JP H0682083B2 JP 1363290 A JP1363290 A JP 1363290A JP 1363290 A JP1363290 A JP 1363290A JP H0682083 B2 JPH0682083 B2 JP H0682083B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- polygon scanner
- beam splitter
- lens
- surface tilt
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光ビームを用いてポリゴンスキャナの面倒れを
測定するポリゴンスキャナ面倒れ測定装置に関するもの
である。
測定するポリゴンスキャナ面倒れ測定装置に関するもの
である。
（従来の技術） 第３図に従来の技術の一例を示す。
光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームL1を２つに分
割するようにビームスプリッタ２を設け、このビームス
プリッタ２を透過した光ビームL3がポリゴンスキャナ３
によって反射した光ビームをｆθレンズ4bを介しビーム
スプリッタ６に入射し、透過した光ビームL3aは第１の
プリズムミラー8bで分割し、第１及び第２のセンサ9e,9
fに入射させ、他方の光ビームL3bは第２のプリズムミラ
ー７で分割し、第３及び第４のセンサ9c,9dに入射さ
せ、センサ9c,9dにおける光ビームのパワーが等しくな
った瞬間にセンサ9e,9fによって上下方向の光ビーム傾
きを検出する。更に該ビームスプリッタ２で反射した光
ビームL2は第２のｆθレンズ4aを介し、第３のプリズム
ミラー8aで分割し、第５及び第６のセンサ9a,9bに入射
させ、上下方向の光ビーム傾きを検出する。先にセンサ
9e,9fによって検出した上下方向の光ビームの傾きから
センサ9a,9bによって検出した上下方向の光ビーム傾き
を差し引くことによって、ポリゴンスキャナ３による面
倒れを測定する。
割するようにビームスプリッタ２を設け、このビームス
プリッタ２を透過した光ビームL3がポリゴンスキャナ３
によって反射した光ビームをｆθレンズ4bを介しビーム
スプリッタ６に入射し、透過した光ビームL3aは第１の
プリズムミラー8bで分割し、第１及び第２のセンサ9e,9
fに入射させ、他方の光ビームL3bは第２のプリズムミラ
ー７で分割し、第３及び第４のセンサ9c,9dに入射さ
せ、センサ9c,9dにおける光ビームのパワーが等しくな
った瞬間にセンサ9e,9fによって上下方向の光ビーム傾
きを検出する。更に該ビームスプリッタ２で反射した光
ビームL2は第２のｆθレンズ4aを介し、第３のプリズム
ミラー8aで分割し、第５及び第６のセンサ9a,9bに入射
させ、上下方向の光ビーム傾きを検出する。先にセンサ
9e,9fによって検出した上下方向の光ビームの傾きから
センサ9a,9bによって検出した上下方向の光ビーム傾き
を差し引くことによって、ポリゴンスキャナ３による面
倒れを測定する。
（発明が解決しようとする課題） 前記従来のポリゴンスキャナ面倒れ測定装置では、光ビ
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値に第４図
のようなノイズとなって現われる。この空気のゆらぎに
よるノイズが、最大0.7″と大きいために、それ以上の
精度で面倒れ測定を行うことができなかった。
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値に第４図
のようなノイズとなって現われる。この空気のゆらぎに
よるノイズが、最大0.7″と大きいために、それ以上の
精度で面倒れ測定を行うことができなかった。
（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明
は、光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームL1を２つ
に分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビー
ムスプリッタ２を透過した光ビームL3がポリゴンスキャ
ナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ4bを介しビ
ームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームL3aは第
１のプリズムミラー8bで分割し、第１及び第２のセンサ
9e,9fに入射させ、他方の光ビームL3bは第２のプリズム
ミラー７で分割し、第３及び第４のセンサ9c,9dに入射
させ、それぞれ光ビーム位置を検出し、更に該ビームス
プリッタ２で反射した光ビームL2は第２のｆθレンズ4a
を介し、第３のプリズムミラー8aで分割し、第５及び第
６のセンサ9a,9bに入射させ、光ビーム位置を検出して
成るポリゴンスキャナ面倒れ測定装置において、第１の
ｆθレンズ4bと第１のビームスプリッタ６との間の光
軸、及び第２のｆθレンズ4aと第３のプリズムミラー8a
との間の光軸が貫通するように防風用のプラスチック製
あるいは金属製のパイプ5a及び5bをそれぞれ配設したも
のである。
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明
は、光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームL1を２つ
に分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビー
ムスプリッタ２を透過した光ビームL3がポリゴンスキャ
ナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ4bを介しビ
ームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームL3aは第
１のプリズムミラー8bで分割し、第１及び第２のセンサ
9e,9fに入射させ、他方の光ビームL3bは第２のプリズム
ミラー７で分割し、第３及び第４のセンサ9c,9dに入射
させ、それぞれ光ビーム位置を検出し、更に該ビームス
プリッタ２で反射した光ビームL2は第２のｆθレンズ4a
を介し、第３のプリズムミラー8aで分割し、第５及び第
６のセンサ9a,9bに入射させ、光ビーム位置を検出して
成るポリゴンスキャナ面倒れ測定装置において、第１の
ｆθレンズ4bと第１のビームスプリッタ６との間の光
軸、及び第２のｆθレンズ4aと第３のプリズムミラー8a
との間の光軸が貫通するように防風用のプラスチック製
あるいは金属製のパイプ5a及び5bをそれぞれ配設したも
のである。
（作用） 本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによるノイズが低減される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによるノイズが低減される。
（実施例） 第１図は、本発明による一実施例の構成図を示し、１は
光源、２はビームスプリッタ、３はポリゴンスキャナ、
4a,4bはｆθレンズ、5a,5bはプラスチック製のパイプ、
６はビームスプリッタ、7,8a,8bはプリズムミラー、9a,
9b,9c,9d,9e,9fはセンサである。本発明によるポリゴン
スキャナの面倒れ測定装置は、第３図で説明した従来の
面倒れ測定装置においてｆθレンズ4aとプリズムミラー
8aの間の光路とｆθレンズ4bとビームスプリッタ６の間
の光路にそれぞれパイプ5aとパイプ5bを設けたことを特
徴としている。
光源、２はビームスプリッタ、３はポリゴンスキャナ、
4a,4bはｆθレンズ、5a,5bはプラスチック製のパイプ、
６はビームスプリッタ、7,8a,8bはプリズムミラー、9a,
9b,9c,9d,9e,9fはセンサである。本発明によるポリゴン
スキャナの面倒れ測定装置は、第３図で説明した従来の
面倒れ測定装置においてｆθレンズ4aとプリズムミラー
8aの間の光路とｆθレンズ4bとビームスプリッタ６の間
の光路にそれぞれパイプ5aとパイプ5bを設けたことを特
徴としている。
第２図は本実施例装置で測定したノイズを表している。
このノイズ測定の結果、第４図で示した従来のポリゴン
スキャナ面倒れ測定装置では、最大0.7″のノイズが生
じるのに対して、本実施例のポリゴンスキャナ面倒れ測
定装置では、最大0.26″のノイズとなり、パイプ5a,5b
を設けたことによって空気のゆらぎによるノイズが低減
されている。
このノイズ測定の結果、第４図で示した従来のポリゴン
スキャナ面倒れ測定装置では、最大0.7″のノイズが生
じるのに対して、本実施例のポリゴンスキャナ面倒れ測
定装置では、最大0.26″のノイズとなり、パイプ5a,5b
を設けたことによって空気のゆらぎによるノイズが低減
されている。
なお、本実施例で用いたパイプ5a,5bは外径18.1mm,内径
13.5mmのプラスチック製のパイプである。
13.5mmのプラスチック製のパイプである。
なお、パイプ5a,5bの内部形状が長手方向で見て波状の
ものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査された
光ビームのパイプ5a,5b内における乱反射を防止するこ
とができる。
ものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査された
光ビームのパイプ5a,5b内における乱反射を防止するこ
とができる。
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように本発明によれば、前記従来
のポリゴンスキャナ測定装置においてはノイズが0.7″
であったのに対し、測定装置内の光路長の長い部分にプ
ラスチック製あるいは金属製のパイプを設けたことによ
って空気のゆらぎによるノイズが0.26″に低減できると
いう効果を得られ、これによってポリゴンスキャナのよ
り高精度な測定が可能にあるという利点を有する。
のポリゴンスキャナ測定装置においてはノイズが0.7″
であったのに対し、測定装置内の光路長の長い部分にプ
ラスチック製あるいは金属製のパイプを設けたことによ
って空気のゆらぎによるノイズが0.26″に低減できると
いう効果を得られ、これによってポリゴンスキャナのよ
り高精度な測定が可能にあるという利点を有する。
第１図、第２図は本発明による一実施例の構成図及びノ
イズ測定値、第３図、第４図は従来例の構成図及びノイ
ズ測定値を示す。 １……光源、2,6……ビームスプリッタ ３……ポリゴンスキャナ 4a,4b……ｆθレンズ 5a,5b……プラスチック製パイプ 7,8a,8b……プリズムミラー 9a,9b,9c,9d,9e,9f……センサ L1,L2,L3,L3a,L3b……光ビーム
イズ測定値、第３図、第４図は従来例の構成図及びノイ
ズ測定値を示す。 １……光源、2,6……ビームスプリッタ ３……ポリゴンスキャナ 4a,4b……ｆθレンズ 5a,5b……プラスチック製パイプ 7,8a,8b……プリズムミラー 9a,9b,9c,9d,9e,9f……センサ L1,L2,L3,L3a,L3b……光ビーム
Claims (1)
- 【請求項１】光源１から出射した、ほぼ平行な光ビーム
L1を２つに分割するようにビームスプリッタ２を設け、
このビームスプリッタ２を透過した光ビームL3がポリゴ
ンスキャナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ4b
を介しビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビーム
L3aは第１のプリズムミラー8bで分割し、第１及び第２
のセンサ9e,9fに入射させ、他方の光ビームL3bは第２の
プリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセンサ9c,9
dに入射させ、それぞれ光ビーム位置を検出し、更に該
ビームスプリッタ２で反射した光ビームL2は第２のｆθ
レンズ4aを介し、第３のプリズムミラー8aで分割し、第
５及び第６のセンサ9a,9bに入射させ、光ビーム位置を
検出して成るポリゴンスキャナ面倒れ測定装置におい
て、第１のｆθレンズ4bと第１のビームスプリッタ６と
の間の光軸、及び第２のｆθレンズ4aと第３のプリズム
ミラー8aとの間の光軸が貫通するように防風用のパイプ
5a及び5bをそれぞれ配設したことを特徴とするポリゴン
スキャナ面倒れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363290A JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363290A JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220437A JPH03220437A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682083B2 true JPH0682083B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363290A Expired - Lifetime JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682083B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363290A patent/JPH0682083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03220437A (ja) | 1991-09-27 |
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