JPH03220437A - ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置Info
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- JPH03220437A JPH03220437A JP1363290A JP1363290A JPH03220437A JP H03220437 A JPH03220437 A JP H03220437A JP 1363290 A JP1363290 A JP 1363290A JP 1363290 A JP1363290 A JP 1363290A JP H03220437 A JPH03220437 A JP H03220437A
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- Japan
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- light beam
- pipes
- polygon scanner
- beam splitter
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光ビームを用いてポリゴンスキャナの面倒れを
測定するポリゴンスキャナ面倒れ測定装置に関するもの
である６ （従来の技術） 第３図に従来の技術の一例を示す。
測定するポリゴンスキャナ面倒れ測定装置に関するもの
である６ （従来の技術） 第３図に従来の技術の一例を示す。
光源ｌから出射した、はぼ平行な光ビームＬ１を２つに
分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビーム
スプリッタ２を透過した光ビームＬ３がポリゴンスキャ
ナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ４ｂを介し
ビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームＬ３ａ
は第１のプリズムミラー８ｂで分割し、第１及び第２の
センサ９ｅ、９ｆに入射させ、他方の光ビームＬ３ｂは
第２のプリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセン
サ９ ｃ、９ ｄに入射させ、センサ９ ｃ、９ ｄに
おける光ビームのパワーが等しくなった瞬間にセンサ９
ｅ、９ｆによって上下方向の光ビーム傾きを検出する。
分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビーム
スプリッタ２を透過した光ビームＬ３がポリゴンスキャ
ナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ４ｂを介し
ビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームＬ３ａ
は第１のプリズムミラー８ｂで分割し、第１及び第２の
センサ９ｅ、９ｆに入射させ、他方の光ビームＬ３ｂは
第２のプリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセン
サ９ ｃ、９ ｄに入射させ、センサ９ ｃ、９ ｄに
おける光ビームのパワーが等しくなった瞬間にセンサ９
ｅ、９ｆによって上下方向の光ビーム傾きを検出する。
更に該ビームスプリッタ２で反射した光ビームＬ２は第
２のｆθレンズ４ａを介し、第３のプリズムミラー８ａ
で分割し、第５及び第６のセンサ９ａ、９ｂに入射させ
、上下方向の光ビーム傾きを検出する。先にセンサ９ｅ
、９ｆによって検出した上下方向の光ビームの傾きから
センサ９ａ、９ｂによって検出した上下方向の光ビーム
傾きを差し引くことによって、ポリゴンスキャナ３によ
る面倒れを測定する。
２のｆθレンズ４ａを介し、第３のプリズムミラー８ａ
で分割し、第５及び第６のセンサ９ａ、９ｂに入射させ
、上下方向の光ビーム傾きを検出する。先にセンサ９ｅ
、９ｆによって検出した上下方向の光ビームの傾きから
センサ９ａ、９ｂによって検出した上下方向の光ビーム
傾きを差し引くことによって、ポリゴンスキャナ３によ
る面倒れを測定する。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来のポリゴンスキャナ面倒れ測定装置では、光ビ
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値に第４図
のようなノイズとなって現われる。この空気のゆらぎに
よるノイズが、最大０．７′と大きいために、それ以上
の精度で面倒れ測定を行うことができなかった。
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値に第４図
のようなノイズとなって現われる。この空気のゆらぎに
よるノイズが、最大０．７′と大きいために、それ以上
の精度で面倒れ測定を行うことができなかった。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明は
、光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１を２つ
に分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビー
ムスプリッタ２を透過した光ビームＬ３がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ４ｂを介
しビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームＬ３
ａは第１のプリズムミラー８ｂで分割し、第１及び第２
のセンサ９ｅ、９ｆに入射させ、他方の光ビームＬ３ｂ
は第２のプリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセ
ンサ９ｃ、９ｄに入射させ、それぞれ光ビーム位置を検
出し、更に該ビームスプリッタ２で反射した光ビームＬ
２は第２のｆθレンズ４ａを介し、第３のプリズムミラ
ー８ａで分割し、第５及び第６のセンサ９ａ、９ｂに入
射させ、光ビーム位置を検出して成るポリゴンスキャナ
面倒れ測定装置において、第１のｆθレンズ４ｂと第１
のビームスプリッタ６との間の光軸、及び第２のｆθレ
ンズ４ａと第３のプリズムミラー８ａとの間の光軸が貫
通するように防風用のプラスチック製あるいは金属製の
パイプ５ａ及び５ｂをそれぞれ配設したものである。
施例に対応する第１図、第２図で説明すると、本発明は
、光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１を２つ
に分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビー
ムスプリッタ２を透過した光ビームＬ３がポリゴンスキ
ャナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ４ｂを介
しビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームＬ３
ａは第１のプリズムミラー８ｂで分割し、第１及び第２
のセンサ９ｅ、９ｆに入射させ、他方の光ビームＬ３ｂ
は第２のプリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセ
ンサ９ｃ、９ｄに入射させ、それぞれ光ビーム位置を検
出し、更に該ビームスプリッタ２で反射した光ビームＬ
２は第２のｆθレンズ４ａを介し、第３のプリズムミラ
ー８ａで分割し、第５及び第６のセンサ９ａ、９ｂに入
射させ、光ビーム位置を検出して成るポリゴンスキャナ
面倒れ測定装置において、第１のｆθレンズ４ｂと第１
のビームスプリッタ６との間の光軸、及び第２のｆθレ
ンズ４ａと第３のプリズムミラー８ａとの間の光軸が貫
通するように防風用のプラスチック製あるいは金属製の
パイプ５ａ及び５ｂをそれぞれ配設したものである。
（作用）
本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによるノイズが低減される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによるノイズが低減される。
（実施例）
第１図は、本発明による一実施例の構成図を示し、１は
光源、２はビームスプリッタ、３はポリゴンスキャナ、
４ａ、４ｂはｆθレンズ、５ａ。
光源、２はビームスプリッタ、３はポリゴンスキャナ、
４ａ、４ｂはｆθレンズ、５ａ。
５ｂはプラスチック製のパイプ、６はビームスプリッタ
、７．８ａ、８ｂはプリズムミラー、９ａ。
、７．８ａ、８ｂはプリズムミラー、９ａ。
９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆはセンサである。
本発明によるポリゴンスキャナの面倒れ測定装置は、第
３図で説明した従来の面倒れ測定装置においてｆθレン
ズ４ａとプリズムミラー８ａの間の光路とｆθレンズ４
ｂとビームスプリッタ６の間の光路にそれぞれパイプ５
ａとパイプ５ｂを設けたことを特徴としている。
３図で説明した従来の面倒れ測定装置においてｆθレン
ズ４ａとプリズムミラー８ａの間の光路とｆθレンズ４
ｂとビームスプリッタ６の間の光路にそれぞれパイプ５
ａとパイプ５ｂを設けたことを特徴としている。
第２図は本実施例装置で測定したノイズを表している。
このノイズ測定の結果、第４図で示した従来のポリゴン
スキャナ面倒れ測定装置では、最大０．７’のノイズが
生じるのに対して、本実施例のポリゴンスキャナ面倒れ
測定装置では、最大０．２６’のノイズとなり、パイプ
５ａ、５ｂを設けたことによって空気のゆらぎによるノ
イズが低減されている。
スキャナ面倒れ測定装置では、最大０．７’のノイズが
生じるのに対して、本実施例のポリゴンスキャナ面倒れ
測定装置では、最大０．２６’のノイズとなり、パイプ
５ａ、５ｂを設けたことによって空気のゆらぎによるノ
イズが低減されている。
なお１本実施例で用いたパイプ５ａ、５ｂは外径１８．
１ｍｍ、内径１３．５ｍｍのプラスチック製のパイプで
ある。
１ｍｍ、内径１３．５ｍｍのプラスチック製のパイプで
ある。
なお、パイプ５ａ、５ｂの内部形状が長平方向で見て波
状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査さ
れた光ビームのパイプ５ａ、５ｂ内における乱反射を防
止することができる。
状のものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査さ
れた光ビームのパイプ５ａ、５ｂ内における乱反射を防
止することができる。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したように本発明によれば、前記従来
のポリゴンスキャナ測定装置においてはノイズが０．７
′あったのに対し、測定装置内の光路長の長い部分にプ
ラスチック製あるいは金属製のパイプを設けたことによ
って空気のゆらぎによるノイズが０．２６’に低減でき
るという効果を得られ、これによってポリゴンスキャナ
のより高精度な測定が可能になるという利点を有する。
のポリゴンスキャナ測定装置においてはノイズが０．７
′あったのに対し、測定装置内の光路長の長い部分にプ
ラスチック製あるいは金属製のパイプを設けたことによ
って空気のゆらぎによるノイズが０．２６’に低減でき
るという効果を得られ、これによってポリゴンスキャナ
のより高精度な測定が可能になるという利点を有する。
第１図、第２図は本発明による一実施例の構成図及びノ
イズ測定値、第３図、第４図は従来例の構成図及びノイ
ズ測定値を示す。 １・・・光源 ２，６・・・ビームスプリッタ
３・・・ポリゴンスキャナ ４ａ、４ｂ・・・ｆθレンズ ５ａ、５ｂ・・・プラスチック製パイプ７．８ａ、８ｂ
・・・プリズムミラー
イズ測定値、第３図、第４図は従来例の構成図及びノイ
ズ測定値を示す。 １・・・光源 ２，６・・・ビームスプリッタ
３・・・ポリゴンスキャナ ４ａ、４ｂ・・・ｆθレンズ ５ａ、５ｂ・・・プラスチック製パイプ７．８ａ、８ｂ
・・・プリズムミラー
Claims (1)
- 光源１から出射した、ほぼ平行な光ビームＬ１を２つに
分割するようにビームスプリッタ２を設け、このビーム
スプリッタ２を透過した光ビームＬ３がポリゴンスキャ
ナ３によって反射した光ビームをｆθレンズ４ｂを介し
ビームスプリッタ６に入射し、透過した光ビームＬ３ａ
は第１のプリズムミラー８ｂで分割し、第１及び第２の
センサ９ｅ，９ｆに入射させ、他方の光ビームＬ３ｂは
第２のプリズムミラー７で分割し、第３及び第４のセン
サ９ｃ，９ｄに入射させ、それぞれ光ビーム位置を検出
し、更に該ビームスプリッタ２で反射した光ビームＬ２
は第２のｆθレンズ４ａを介し、第３のプリズムミラー
８ａで分割し、第５及び第６のセンサ９ａ，９ｂに入射
させ、光ビーム位置を検出して成るポリゴンスキャナ面
倒れ測定装置において、第１のｆθレンズ４ｂと第１の
ビームスプリッタ６との間の光軸、及び第２のｆθレン
ズ４ａと第３のプリズムミラー８ａとの間の光軸が貫通
するように防風用のパイプ５ａ及び５ｂをそれぞれ配設
したことを特徴とするポリゴンスキャナ面倒れ測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363290A JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363290A JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220437A true JPH03220437A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682083B2 JPH0682083B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363290A Expired - Lifetime JPH0682083B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682083B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363290A patent/JPH0682083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682083B2 (ja) | 1994-10-19 |
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