JPH0682084B2 - ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナ面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH0682084B2 JPH0682084B2 JP1363390A JP1363390A JPH0682084B2 JP H0682084 B2 JPH0682084 B2 JP H0682084B2 JP 1363390 A JP1363390 A JP 1363390A JP 1363390 A JP1363390 A JP 1363390A JP H0682084 B2 JPH0682084 B2 JP H0682084B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon scanner
- light beam
- measuring device
- polygon
- sensors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光ビームを用いてポリゴンスキャナの面出入り
を測定するポリゴンスキャナ面出入り測定装置に関する
ものである。
を測定するポリゴンスキャナ面出入り測定装置に関する
ものである。
（従来の技術） 第２図に従来の技術の一例を示す。
光源1aから出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴン
スキャナ３によって反射した光ビームL3を第１のプリズ
ムミラー5aに入射、分割し、第１及び第２のセンサ6c,6
dに入射させる。更に光源1bから出射した光ビームL12が
ポリゴンスキャナ３によって反射した光ビームをビーム
スプリッタ４によって反射した後、プリズムミラー5bに
よって分割して、第３及び第４のセンサ6a,6bに入射
し、センサ6a,6bの出力パワーが等しくなった瞬間に第
１及び第２のセンサ6c,6dの出力パワーの比を測定し、
光ビームL3の水平方向の位置ズレ量を検出する。この位
置ズレ量からポリゴンスキャナ３の面出入り量を検出し
ている。
スキャナ３によって反射した光ビームL3を第１のプリズ
ムミラー5aに入射、分割し、第１及び第２のセンサ6c,6
dに入射させる。更に光源1bから出射した光ビームL12が
ポリゴンスキャナ３によって反射した光ビームをビーム
スプリッタ４によって反射した後、プリズムミラー5bに
よって分割して、第３及び第４のセンサ6a,6bに入射
し、センサ6a,6bの出力パワーが等しくなった瞬間に第
１及び第２のセンサ6c,6dの出力パワーの比を測定し、
光ビームL3の水平方向の位置ズレ量を検出する。この位
置ズレ量からポリゴンスキャナ３の面出入り量を検出し
ている。
（発明が解決しようとする課題） 前記従来のポリゴンスキャナ面出入り測定装置では光ビ
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズ
となって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大
きいために、それ以上の精度で面出入り測定を行うこと
ができなかった。
ームが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆら
ぎによって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズ
となって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大
きいために、それ以上の精度で面出入り測定を行うこと
ができなかった。
（課題を解決するための手段） 本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第１図で説明すると、本発明は光源1aか
ら出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴンスキャナ
３によって反射した光ビームL3を第１のプリズムミラー
5aに入射、分割し、第１及び第２のセンサ6c,6dに入射
させ、更に光源１から出射した光ビームL2がポリゴンス
キャナ３によって入射した光ビームをビームスプリッタ
４によって反射した後、プリズムミラー5bによって分割
して、第３及び第４のセンサ6a,6bに入射し、センサ6a,
6bの出力パワーが等しくなった瞬間に第１及び第２のセ
ンサ6c,6dの出力パワーを測定し、光ビームL3の位置を
検出して成るポリゴンスキャナ面出入り測定装置におい
て、ポリゴンスキャナ３と第１のプリズムミラー5aとの
間の光軸、及びポリゴンミラー３とビームスプリッタ４
との間の光軸、更にポリゴンミラー３と光源1aとの間の
光軸が貫通するように防風用のプラスチック製あるいは
金属製のパイプ2a、2b、2cをそれぞれ配設したものであ
る。
施例に対応する第１図で説明すると、本発明は光源1aか
ら出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴンスキャナ
３によって反射した光ビームL3を第１のプリズムミラー
5aに入射、分割し、第１及び第２のセンサ6c,6dに入射
させ、更に光源１から出射した光ビームL2がポリゴンス
キャナ３によって入射した光ビームをビームスプリッタ
４によって反射した後、プリズムミラー5bによって分割
して、第３及び第４のセンサ6a,6bに入射し、センサ6a,
6bの出力パワーが等しくなった瞬間に第１及び第２のセ
ンサ6c,6dの出力パワーを測定し、光ビームL3の位置を
検出して成るポリゴンスキャナ面出入り測定装置におい
て、ポリゴンスキャナ３と第１のプリズムミラー5aとの
間の光軸、及びポリゴンミラー３とビームスプリッタ４
との間の光軸、更にポリゴンミラー３と光源1aとの間の
光軸が貫通するように防風用のプラスチック製あるいは
金属製のパイプ2a、2b、2cをそれぞれ配設したものであ
る。
（作用） 本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
（実施例） 第１図は、本発明による一実施例の構成図を示すポリゴ
ンスキャナ面出入り測定装置で、1a,1bは光源、2a,2b,2
cはプラスチック製あるいは金属製のパイプ、３はポリ
ゴンスキャナ、４はビームスプリッタ、5a,5bはプリズ
ムミラー、6a,6b,6c,6dはセンサを示している。光源1a
から発生した光ビームはパイプ2aを通ってポリゴンスキ
ャナ３によって反射され、パイプ2cを通った後にプリズ
ムミラー5aによって分割され、センサ6c,6dに入射す
る。光源1bから発生した光ビームはビームスプリッタ４
を通過してパイプ2bを通り、ポリゴンスキャナ３によっ
て反射され、パイプ2cを再び通ってからビームスプリッ
タ４によって下方向へ進路を曲げられ、プリズムミラー
5bによって分割されてセンサ6a,6bに入射する。センサ6
a,6bはトリガの役割を果たしており、センサ6a,6bで測
定されるパワーが等しくなった瞬間にセンサ6c,6dに入
射する光ビームのパワーを測定し、その比によって光ビ
ームの水平方向の位置ズレを計算する。この位置ズレは
ポリゴンスキャナ３の面出入りによって生じるものであ
るから、位置ズレ量から面出入り量を検出することがで
きる。
ンスキャナ面出入り測定装置で、1a,1bは光源、2a,2b,2
cはプラスチック製あるいは金属製のパイプ、３はポリ
ゴンスキャナ、４はビームスプリッタ、5a,5bはプリズ
ムミラー、6a,6b,6c,6dはセンサを示している。光源1a
から発生した光ビームはパイプ2aを通ってポリゴンスキ
ャナ３によって反射され、パイプ2cを通った後にプリズ
ムミラー5aによって分割され、センサ6c,6dに入射す
る。光源1bから発生した光ビームはビームスプリッタ４
を通過してパイプ2bを通り、ポリゴンスキャナ３によっ
て反射され、パイプ2cを再び通ってからビームスプリッ
タ４によって下方向へ進路を曲げられ、プリズムミラー
5bによって分割されてセンサ6a,6bに入射する。センサ6
a,6bはトリガの役割を果たしており、センサ6a,6bで測
定されるパワーが等しくなった瞬間にセンサ6c,6dに入
射する光ビームのパワーを測定し、その比によって光ビ
ームの水平方向の位置ズレを計算する。この位置ズレは
ポリゴンスキャナ３の面出入りによって生じるものであ
るから、位置ズレ量から面出入り量を検出することがで
きる。
パイプ2a,2b,2cを設けたことによって空気のゆらぎによ
る測定値のノイズが低減される。
る測定値のノイズが低減される。
なお、パイプ2a,2b,2cの内部形状が長手方向で見て液状
のものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査され
た光ビームのパイプ2a,2b,2c内における乱反射を防止す
ることができる。
のものを用いればポリゴンスキャナ３によって走査され
た光ビームのパイプ2a,2b,2c内における乱反射を防止す
ることができる。
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように本発明によれば、測定装置
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナ面出入りのより高精度な測定が可能になる
という利点を有する。
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナ面出入りのより高精度な測定が可能になる
という利点を有する。
第１図は本発明による一実施例を示す構成図、第２図は
従来例を示す構成図である。 １……光源 2a,2b,2c……プラスチック製パイプ ３……ポリゴンスキャナ ４……ビームスプリッタ 6a,6b,6c,6d……センサ L1,L2,L3……光ビーム
従来例を示す構成図である。 １……光源 2a,2b,2c……プラスチック製パイプ ３……ポリゴンスキャナ ４……ビームスプリッタ 6a,6b,6c,6d……センサ L1,L2,L3……光ビーム
Claims (1)
- 【請求項１】光源1aから出射した、ほぼ平行な光ビーム
L1がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビームL3を
第１のプリズムミラー5aに入射、分割し、第１及び第２
のセンサ6c,6dに入射させ、更に光源1bから出射した光
ビームL2がポリゴンスキャナ３によって反射した光ビー
ムをビームスプリッタ４によって反射した後、プリズム
ミラー5bによって分割して、第３及び第４のセンサ6a,6
bに入射し、センサ6a,6bの出力パワーが等しくなった瞬
間に第１及び第２のセンサ6c,6dの出力パワーの比を測
定し、光ビームL3の位置を検出して成るポリゴンスキャ
ナ面出入り測定装置において、ポリゴンスキャナ３と第
１のプリズムミラー5aとの間の光軸、及びポリゴンミラ
ー３とビームスプリッタ４との間の光軸、更にポリゴン
ミラー３と光源1aとの間の光軸が貫通するように防風用
のパイプ2a、2b、2cをそれぞれ配設したことを特徴とす
るポリゴンスキャナ面出入り測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363390A JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363390A JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220438A JPH03220438A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682084B2 true JPH0682084B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363390A Expired - Lifetime JPH0682084B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682084B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363390A patent/JPH0682084B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03220438A (ja) | 1991-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6379004A (ja) | 形状測定用光プロ−ブ | |
| JPH0726806B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| US6133988A (en) | Device for the measurement of distances or of the angle of incidence of a light beam | |
| JPH0363001B2 (ja) | ||
| US4729654A (en) | Laser interferometer | |
| US5369284A (en) | Active edge position measuring device | |
| JP7817398B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0682085B2 (ja) | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 | |
| JPH0843305A (ja) | 煙濃度測定装置 | |
| JPH03220438A (ja) | ポリゴンスキャナ面出入り測定装置 | |
| JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
| JPH0682083B2 (ja) | ポリゴンスキャナ面倒れ測定装置 | |
| JPH11142110A (ja) | 電荷結合素子型光検出器及びそれを用いた距離測定装置 | |
| JPH05118826A (ja) | 形状検出装置 | |
| JPH10170340A (ja) | Ｆｔ用干渉計の干渉効率測定装置 | |
| JPH05259534A (ja) | 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置 | |
| JP2671915B2 (ja) | 表面検査装置用の位置検出器 | |
| JPH05133798A (ja) | レーザパワー測定装置 | |
| JP3325648B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPS6474405A (en) | Method for measuring work gap at the time of arc welding | |
| JPH0530089Y2 (ja) | ||
| JPS61198020A (ja) | 基準点検出装置 | |
| JPH0476071B2 (ja) | ||
| JPH03252519A (ja) | ミクロン変位計 | |
| JPH068773B2 (ja) | 単一モ−ド光フアイバの構造測定方法 |