JPH0682085B2 - ポリゴンスキャナジッタ測定装置 - Google Patents
ポリゴンスキャナジッタ測定装置Info
- Publication number
- JPH0682085B2 JPH0682085B2 JP1363490A JP1363490A JPH0682085B2 JP H0682085 B2 JPH0682085 B2 JP H0682085B2 JP 1363490 A JP1363490 A JP 1363490A JP 1363490 A JP1363490 A JP 1363490A JP H0682085 B2 JPH0682085 B2 JP H0682085B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon scanner
- light beam
- lens
- prism mirror
- sensors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明の光ビームを用いてポリゴンスキャナのジッタを
測定するポリゴンスキャナジッタ測定装置に関するもの
である。
測定するポリゴンスキャナジッタ測定装置に関するもの
である。
(従来の技術) 第2図に従来の技術の一例を示す。
光源1から出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴン
スキャナ3によって反射した光ビームL2がfθレンズ4
を通過してある時間内にはプリズムミラー5aによって分
割され、センサ6a,6bに入射し、他のある時間内にはプ
リズムミラー5bによって分割され、センサー6c,6dに入
射する。
スキャナ3によって反射した光ビームL2がfθレンズ4
を通過してある時間内にはプリズムミラー5aによって分
割され、センサ6a,6bに入射し、他のある時間内にはプ
リズムミラー5bによって分割され、センサー6c,6dに入
射する。
センサ6a,6bにおいて出力する光ビームのパワーが等し
くなる瞬間からセンサ6c,6dにおいて出力する光ビーム
のパワーが等しくなる瞬間までの時間間隔を測定してジ
ッタを検出している。
くなる瞬間からセンサ6c,6dにおいて出力する光ビーム
のパワーが等しくなる瞬間までの時間間隔を測定してジ
ッタを検出している。
(発明が解決しようとする課題) 前記従来のポリゴンスキャナジッタ測定装置では光ビー
ムが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆらぎ
によって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズと
なって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大き
いために、それ以上の精度でジッタ測定を行うことがで
きなかった。
ムが空気中を通過する光路長が長い部分で空気のゆらぎ
によって光ビームのパワーが変動し、測定値にノイズと
なって現われる。この空気のゆらぎによるノイズが大き
いために、それ以上の精度でジッタ測定を行うことがで
きなかった。
(課題を解決するための手段) 本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第1図で説明すると、本発明は、光源1
から出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴンスキャ
ナ3によって反射した光ビームL2がfθレンズ4を通過
してプリズムミラー5aによって分割され、センサ6a,6b
に等しいパワーが検出される時間と、光ビームL1がポリ
ゴンスキャナ3によって反射した光ビームL3がfθレン
ズ4を通過してプリズムミラー5bによって分割され、セ
ンサ6c,6dに等しいパワーが検出される時間との間隔を
測定して成るポリゴンスキャナジッタ測定装置におい
て、光源1からポリゴンスキャナ3との間の光軸、及び
fθレンズ4からプリズムミラー5aとの間の光軸、更に
fθレンズ4からプリズムミラー5bとの間の光軸が貫通
するように防風用のプラスチック製あるいは金属製のパ
イプ2a,2b,2cをそれぞれ配設したものである。
施例に対応する第1図で説明すると、本発明は、光源1
から出射した、ほぼ平行な光ビームL1がポリゴンスキャ
ナ3によって反射した光ビームL2がfθレンズ4を通過
してプリズムミラー5aによって分割され、センサ6a,6b
に等しいパワーが検出される時間と、光ビームL1がポリ
ゴンスキャナ3によって反射した光ビームL3がfθレン
ズ4を通過してプリズムミラー5bによって分割され、セ
ンサ6c,6dに等しいパワーが検出される時間との間隔を
測定して成るポリゴンスキャナジッタ測定装置におい
て、光源1からポリゴンスキャナ3との間の光軸、及び
fθレンズ4からプリズムミラー5aとの間の光軸、更に
fθレンズ4からプリズムミラー5bとの間の光軸が貫通
するように防風用のプラスチック製あるいは金属製のパ
イプ2a,2b,2cをそれぞれ配設したものである。
(作用) 本発明によれば測定装置の光路に光ビームが通過するよ
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
うにプラスチック製あるいは金属製のパイプを設けてい
るためにパイプの外の空気と光ビームが通過する空気と
が遮断され、空気のゆらぎによる測定値のノイズが低減
される。
(実施例) 第1図は本発明による一実施例を示す構成図で、1は光
源、2a,2b,2cはプラスチック製あるいは金属製のパイ
プ、3はポリゴンスキャナ、4はfθレンズ、5a,5bは
プリズムミラー、6a,6b,6c,6dはセンサを示している。
源、2a,2b,2cはプラスチック製あるいは金属製のパイ
プ、3はポリゴンスキャナ、4はfθレンズ、5a,5bは
プリズムミラー、6a,6b,6c,6dはセンサを示している。
光源1から発生した光ビームはパイプ2aを通過した後、
ポリゴンスキャナ3によって反射される。その反射光は
fθレンズ4を通過した後、パイプ2bを通ってプリズム
ミラー5aによって分割されてセンサ6a,6bの両方に所要
の時間入射し、パイプ2cを通ってプリズムミラー5bによ
って分割されてセンサ6c,6dの両方に所要の時間入射す
る。センサ6a,6bで測定されるパワーが等しくなる瞬間
からセンサ6c,6dで測定されるパワーが等しくなる瞬間
までの時間を測定し、ジッタを計算する。パイプ2a,2b,
2cを設けたことによって空気のゆらぎによる測定値のノ
イズが低減される。
ポリゴンスキャナ3によって反射される。その反射光は
fθレンズ4を通過した後、パイプ2bを通ってプリズム
ミラー5aによって分割されてセンサ6a,6bの両方に所要
の時間入射し、パイプ2cを通ってプリズムミラー5bによ
って分割されてセンサ6c,6dの両方に所要の時間入射す
る。センサ6a,6bで測定されるパワーが等しくなる瞬間
からセンサ6c,6dで測定されるパワーが等しくなる瞬間
までの時間を測定し、ジッタを計算する。パイプ2a,2b,
2cを設けたことによって空気のゆらぎによる測定値のノ
イズが低減される。
なお、パイプ2a,2b,2cの内部形状が長手方向で見て波状
のものを用いればポリゴンスキャナ3によって走査され
た光ビームのパイプ2a,2b,2c内における乱反射を防止す
ることができる。
のものを用いればポリゴンスキャナ3によって走査され
た光ビームのパイプ2a,2b,2c内における乱反射を防止す
ることができる。
(発明の効果) 以上、詳細に説明したように本発明によれば、測定装置
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナジッタのより高精度の測定が可能になると
いう利点を有する。
内の光路長の長い部分にプラスチック製あるいは金属製
のパイプを設けたことによって空気のゆらぎによるノイ
ズが低減できるという効果を得られ、これによってポリ
ゴンスキャナジッタのより高精度の測定が可能になると
いう利点を有する。
第1図は本発明による一実施例を示す構成図、第2図は
従来例を示す構成図である。 1……光源 2a,2b,2c……プラスチック製あるいは金属製パイプ 3……ポリゴンスキャナ 4……fθレンズ 5a,5b……プリズムミラー 6a,6b,6c,6d……センサ L1,L2,L3……光ビーム
従来例を示す構成図である。 1……光源 2a,2b,2c……プラスチック製あるいは金属製パイプ 3……ポリゴンスキャナ 4……fθレンズ 5a,5b……プリズムミラー 6a,6b,6c,6d……センサ L1,L2,L3……光ビーム
Claims (1)
- 【請求項1】光源1から出射した、ほぼ平行な光ビーム
L1がポリゴンスキャナ3によって反射した光ビームL2が
fθレンズ4を通過してプリズムミラー5aによって分割
され、センサ6a,6bに等しいパワーが検出される時刻
と、光ビームL1がポリゴンスキャナ3によって反射した
光ビームL3がfθレンズ4を通過してプリズムミラー5b
によって分割され、センサ6c,6dに等しいパワーが検出
される時刻との間隔を測定して成るポリゴンスキャナジ
ッタ測定装置において、光源1からポリゴンスキャナ3
との間の光軸、及びfθレンズ4からプリズムミラー5a
との間の光軸、更にfθレンズ4からプリズムミラー5b
との間の光軸が貫通するように防風用のパイプ2a,2b,2c
をそれぞれ配設したことを特徴とするポリゴンスキャナ
ジッタ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363490A JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1363490A JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220439A JPH03220439A (ja) | 1991-09-27 |
| JPH0682085B2 true JPH0682085B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11838668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1363490A Expired - Lifetime JPH0682085B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | ポリゴンスキャナジッタ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682085B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1363490A patent/JPH0682085B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03220439A (ja) | 1991-09-27 |
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