JPH0683042A

JPH0683042A - フレームの貼着装置

Info

Publication number: JPH0683042A
Application number: JP23694092A
Authority: JP
Inventors: Fumitomo Hayano; 史倫早野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1992-09-04
Filing date: 1992-09-04
Publication date: 1994-03-25

Abstract

(57)【要約】【目的】ライナーの剥離後にペリクルに異物が検出さ
れた場合に簡単な機構で迅速にそのペリクル付きのペリ
クルフレームをリジェクトする。【構成】ペリクルフレーム収納部６から搬送アーム７
でペリクル付きのペリクルフレームを搬出し、ライナー
剥離部９でそのペリクルフレームからライナーを剥離す
る。その後、ペリクル検査部１０でそのペリクルフレー
ムのペリクルの表面に付着した異物を検出し、検査結果
判定部１１によりレチクルに貼着しないと判定されたペ
リクルフレームを、ペリクルリジェクト部１２において
リジェクトプレートと共に搬出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば防塵膜（ペリク
ル）付きのペリクルフレームをフォトマスクやレチクル
に自動的に貼り付ける際に使用して好適なフレームの貼
着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子又は液晶表示素子等をフォト
リソグラフィー工程で製造する際に、フォトマスク又は
レチクル（以下「レチクル」と総称する）のパターンを
感光基板上に焼き付ける露光装置が使用されている。一
般にフォトリソグラフィー工程においては微小なダスト
等のゴミを極限まで取り除く必要があり、レチクルを如
何に無塵のままで保管して使用するかが課題となってい
る。そこで、従来よりレチクルのパターン領域にゴミ等
の異物が付着するのを防止するために、レチクルの表面
から所定間隔（例えば５〜７ｍｍ程度）の所に光学的に
安定した透明な高分子薄膜（以下、「ペリクル」とい
う）をペリクルフレームを介して張設する手法が採用さ
れている。

【０００３】ペリクルフレームは、レチクルのパターン
領域の形状に合わせた円形又は矩形の厚さ５〜７ｍｍ程
度の枠状のフレームであり、ペリクルフレームの一面に
ペリクルが均一に張設され、ペリクルフレームの反対の
面にはレチクルに貼着するための粘着層が形成されてい
る。図９は従来のペリクルフレームの構造を示し、この
図９において、ペリクル１がペリクルフレーム２の一面
に張設され、ペリクルフレーム２の反対側の面に粘着層
３が形成されている。粘着層３は剥き出しの状態ではな
く、保護シートとしてのライナー４が貼着されている。
ペリクルフレーム２をレチクルに貼り付ける直前にライ
ナー４が粘着層３から剥離され、粘着層３を介してペリ
クルフレーム２がレチクルに貼着される。剥離するとき
にライナー４を掴み易いように、ライナー４の一端には
耳部４ａが形成されている。また、搬送等の便宜のため
に、ペリクルフレーム２の側面には４箇所の凹部２ａ〜
２ｄが形成されている。

【０００４】斯かるペリクルが張設されたペリクルフレ
ームをレチクルに貼り付ける貼着装置として、ペリクル
フレームをハンドリングする機構、ライナーを剥離する
機構及びペリクルフレームをレチクルに貼着する機構等
よりなる貼着装置が特開平１−９７９６１号公報に開示
されている。また、ライナー４を剥離してからペリクル
フレームをレチクルに貼着する前に、予めペリクルに異
物が付着していないかどうかを検査しておくことが望ま
しい。なぜならば、ライナー４をペリクルフレーム２の
粘着層３から剥離する際に粘着層３から発塵し、発塵し
た異物がペリクル１の面に付着する虞があるからであ
る。そこで、ライナー剥離後にペリクルの異物を検査す
るための検査装置が、特開平３−２６６８４４号公報、
特開平４−１６９４５号公報で開示されている。これら
の装置を組み合わせることにより、ペリクルフレームの
貼り付けとペリクルの異物検査とを１つの装置内で行う
ことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、ライナー剥離後のペリクルの異物検査により
ペリクル表面に異物が付着していることが判明すると、
当然にそのペリクルは不良品として排除されなければな
らない。しかしながら、ライナー剥離後のペリクルフレ
ームは粘着層が剥き出しのため、そのペリクルフレーム
を別のハンドリング機構に受け渡して排除（以下、「リ
ジェクト」という）するのは困難である。

【０００６】なぜなら、特開平１−９７９６１号公報に
も開示されている通り、通常ペリクルフレームの外周側
面をハンドリングしているため、そのペリクルフレーム
を粘着層に触れずに別のハンドリング部に受け渡すもの
とすると機構が複雑化する。また、もともと大きな異物
が検出されたペリクルは不良品であり、敢えてそのペリ
クルフレームを慎重に搬送してリジェクトする必要はな
い。

【０００７】本発明は斯かる点に鑑み、ペリクルが張設
されたペリクルフレームからライナーを剥離して、その
ペリクルフレームをレチクルに貼着する際に使用される
フレームの貼着装置において、ライナーの剥離後にペリ
クルに異物が検出された場合に簡単な機構で迅速にその
ペリクルフレームをリジェクトできるようにすることを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明によるフレームの
貼着装置は、一端に防塵用の薄膜（１）が張設され他端
の貼着部（３）に保護シート（４）が貼着されたフレー
ム（２）を収納するフレーム用の収納ケース（６）と、
マスク基板を収納するマスク用の収納ケース（１４）
と、フレーム用の収納ケース（６）からフレーム（２）
を取り出して保持するフレーム取り出し手段（７）と、
マスク用の収納ケース（１４）からそのマスク基板を取
り出すマスク取り出し手段（１５）と、フレーム取り出
し手段（７）に保持されたフレーム（２）から保護シー
ト（４）を剥離する剥離手段（９）と、保護シート
（４）が剥離されたフレーム（２）をマスク取り出し手
段（１５）により取り出されたそのマスク基板に貼着す
る貼着手段（１３）とを有し、保護シート（４）が剥離
されたフレーム（２）をそのマスク基板に貼着する装置
を前提とする。

【０００９】そして、本発明は、保護シート（４）が剥
離された後のフレーム（２）に張設された防塵用の薄膜
（１）の表面に付着した異物を検出する異物検査手段
（１０）と、異物検査手段（１０）による検査結果に基
づいて保護シート（４）が剥離された後のフレーム
（２）をそのマスク基板に貼着するか否かを判定する判
定手段（１１）と、判定手段（１１）により保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２）をそのマスク基
板に貼着しないと判定された際に、フレーム取り出し手
段（７）からフレーム（２）を除去するリジェクト手段
（１２）とを設けたものである。

【００１０】この場合、そのリジェクト手段（１２）
は、一例として例えば図６に示すように、保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２Ｂ）の貼着部に第
１の平坦部材（５３Ｆ）を貼着し、第１の平坦部材（５
３Ｆ）とフレーム（２Ｂ）とを一体的に除去するもので
ある。また、そのリジェクト手段（１２）は、他の例と
して例えば図８に示すように、保護シート（４）が剥離
された後のフレーム（２Ｄ）の貼着部を貼着性の弱い第
２の平坦部材（６３）上に載置し、この第２の平坦部材
を介してフレーム（２Ｄ）を除去するものである。

【００１１】また、そのリジェクト手段（１２）は、更
に他の例として例えば図７に示すように、保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２Ｃ）の貼着部（３
Ｃ）を表面に凹凸がある凹凸部材（６２）上に載置し、
凹凸部材（６２）を介してフレーム（２Ｃ）を除去する
ものである。

【００１２】また、その異物検査手段（１０）は、フレ
ーム（２）の防塵用の薄膜（１）の表面に付着した異物
が防塵用の薄膜（１）の外側又は内側の何れに付着して
いるのかを検出する表裏検出手段を有し、その判定手段
（１１）は、防塵用の薄膜（１）に付着した異物が防塵
用の薄膜（１）の内側の表面に付着しているときには、
フレーム（２）をそのマスク基板に貼着しないと判定す
ることが望ましい。

【００１３】

【作用】斯かる本発明によれば、判定手段（１１）によ
り、保護シート（４）が剥離された後のフレーム（２）
をそのマスク基板に貼着しないと判定された際には、リ
ジェクト手段（１２）によりフレーム取り出し手段
（７）からフレーム（２）を除去することにより、ペリ
クル（１）に異物が付着したフレーム（２）は速やかに
装置外へ排除される。

【００１４】また、そのリジェクト手段（１２）が、保
護シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｂ）の貼
着部に第１の平坦部材（５３Ｆ）を貼着し、第１の平坦
部材（５３Ｆ）とフレーム（２Ｂ）とを一体的に除去す
る場合には、フレーム（２Ｂ）の粘着部が第１の平坦部
材（５３Ｆ）で覆われているので、ハンドリングが容易
である。そして、そのリジェクト手段（１２）が、保護
シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｄ）の貼着
部を貼着性の弱い第２の平坦部材（６３）上に載置し、
この第２の平坦部材（６３）を介してフレーム（２Ｄ）
を除去する場合には、第２の平坦部材（６３）を繰り返
し使用することができ、コスト的に有利である。

【００１５】同様に、そのリジェクト手段（１２）が、
保護シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｃ）の
貼着部（３Ｃ）を表面に凹凸がある凹凸部材（６２）上
に載置し、凹凸部材（６２）を介してフレーム（２Ｃ）
を除去する場合にも、凹凸部材（６２）を繰り返し使用
することができ、コスト的に有利である。

【００１６】また、防塵用の薄膜（１）に異物が付着し
ている場合には、その薄膜（１）の外側に異物が付着し
ている場合と内側（マスク基板側）に異物が付着してい
る場合とがある。そして、外側に異物が付着していて、
且つその異物が所定の許容値よりも小さい場合には必ず
しもその異物はそのマスク基板のパターンを転写する上
で障害とはならない。一方、その薄膜（１）の内側に異
物が付着している状態でフレーム（２）をマスク基板に
貼着すると、その異物がマスク基板側に移動する虞があ
る。そこで、その異物検査手段（１０）が、フレーム
（２）の防塵用の薄膜（１）の表面に付着した異物が防
塵用の薄膜（１）の外側又は内側の何れに付着している
のかを検出して、その薄膜（１）に付着した異物がその
薄膜（１）の内側の表面に付着しているときには、判定
手段（１１）がフレーム（２）をそのマスク基板に貼着
しないと判定することにより、良品を不良品と判定する
確率を低下させることができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の一実施例につき図面を参照し
て説明する。本実施例は図９のようなペリクル１が張設
されたペリクルフレーム２をレチクルに貼着する装置に
本発明を適用したものである。図１は本例のペリクルフ
レームの貼着装置の全体の構成を示し、この図１におい
て、５は装置全体が収納されたクリーンルームである。
クリーンルーム５の内部において、ペリクルフレーム収
納部６にはペリクルが張設されたペリクルフレームが１
個ずつ密閉状態で収納されたフレームケースが複数個収
納されている。フレームケースは例えば浅い箱状の容器
と蓋部とより構成され、ペリクルフレーム収納部６は例
えばそれらフレームケースをそれぞれスライド式に収納
する複数段の棚部より構成されている。

【００１８】７は先端がコの字状のペリクルフレーム用
の搬送アーム、８はスライダーを示し、搬送アーム７は
スライダー８に沿って移動自在に支持されている。ま
た、ペリクルフレーム収納部６の近くにペリクルフレー
ムからライナーを剥離するためのライナー剥離部９、ペ
リクルに付着した異物の検査を行うペリクル検査部１０
を配置し、ペリクル検査部１０におけるペリクルの異物
の検査結果情報をコンピュータよりなる検査結果判定部
１１に供給する。検査結果判定部１１によりリジェクト
すると判定されたペリクル付きのペリクルフレームはペ
リクルリジェクト部１２に搬送され、良品であると判定
されたペリクル付きのペリクルフレームはペリクルフレ
ーム貼着部１３に搬送される。

【００１９】１４はレチクル収納部を示し、レチクル収
納部１４の内部にレチクルを収納した複数のレチクルケ
ースが装着される。１５は先端がコの字状のレチクル用
の搬送アーム、１６はスライダーを示し、搬送アーム１
５はスライダー１６に沿って移動自在に支持され、搬送
アーム１５によりレチクル収納部１４内のレチクルケー
スから取り出されたレチクルがペリクルフレーム貼着部
１３に搬送される。また、図示省略するも、クリーンル
ーム５の内部には、ペリクルフレーム収納部６から取り
出されたフレームケースからペリクル付きのペリクルフ
レームを取り出すための開閉機構が配置されているが、
この開閉機構は特開平１−９７９６１号公報に開示され
ている。但し、ペリクルフレームはケース無しでペリク
ルフレーム収納部６内に保管してもよい。

【００２０】次に、図１の各部の具体的な構成例を説明
する。先ず、図２はペリクル付きのペリクルフレーム用
の搬送アーム７の構成を示し、この図２において、１対
のＬ字型のアーム指１７及び１８がそれぞれスライドガ
イド１９及び２０を介して支持部２１に取り付けられて
いる。支持部２１は更に図１のスライダー８に沿ってＸ
方向に移動自在に支持されている移動台２２に回転自在
に支持され、ベルト２３を介して駆動モーター２４で支
持部２１を回転軸ＡＸを中心として回転することによ
り、１対のアーム指１７及び１８をθ１方向に回転する
ことができる。

【００２１】また、支持部２１の内部に２個の溝が形成
されたカム２５が配置され、カム２５の２個の溝に１対
のアーム指１７及び１８のそれぞれの端部が装着され、
カム２５の両端が軸受け２７及び駆動モーター２６で支
持されている。駆動モーター２６でカム２５を回転させ
ることにより、１対のアーム指１７及び１８の間隔Ｄ１
を伸縮することができる。また、一方のアーム指１７の
内側及び外側にそれぞれ２個の突起２８Ａ，２８Ｂ及び
３０Ａ，３０Ｂが植設され、他方のアーム指１８の内側
及び外側にそれぞれ２個の突起２９Ａ，２９Ｂ及び３１
Ａ，３１Ｂが植設されている。１対のアーム指１７及び
１８の内側の突起２８Ａ，２８Ｂ及び２９Ａ，２９Ｂは
それぞれ図９に示すペリクルフレーム２の側面の凹部２
ａ〜２ｄに嵌合する大きさに形成されている。また、外
側の突起３０Ａ，３０Ｂ及び３１Ａ，３１Ｂは例えば図
１のペリクルフレーム収納部６からフレームケースを搬
出する際に使用される。

【００２２】そのフレームケースから取り出した後の図
９に示すペリクル付きのペリクルフレーム２の側面に搬
送アーム７の１対のアーム指１７及び１８を差し込み、
カム２５を回転してアーム指１７及び１８の間隔Ｄ１を
狭めることにより、内側の突起２８Ａ，２８Ｂ及び２９
Ａ，２９Ｂがそれぞれ図９に示すペリクルフレーム２の
側面の凹部２ａ〜２ｄに嵌合し、これによりペリクルフ
レーム２がアーム指１７及び１８の間に安定に保持され
る。また、図２では図示省略されているが、搬送アーム
７には、移動台２２をＸ方向に垂直なＹ方向に移動させ
るためのＹ軸方向移動機構も設けられている。

【００２３】図３は図１のライナー剥離部９の構成を示
し、この図３において、３２はライナー剥離部９の基台
であり、基台３２の側面に回転アーム３３が取り付けら
れ、回転アーム３３の先端部に図９のライナー４の耳部
４ａを掴むための掴み部３４が取り付けられている。具
体的にペリクルフレーム２からライナー４を剥離するた
めには、図３に示すように、ライナー剥離部９の上方に
搬送アーム７の一対のアーム指１７及び１８の間に挟ま
れたペリクルフレーム２を搬送する。そして、基台３２
の内部の駆動モーターで回転アーム３３をθ２方向に回
転させて掴み部３４の間にライナー４の耳部４ａを位置
させて、掴み部３４で耳部４ａを掴む。その後、図２の
駆動モーター２４を駆動して、図３において搬送アーム
７のアーム指１７及び１８をθ１方向に例えば１８０°
回転することにより、ペリクルフレーム２からライナー
４が剥離される。

【００２４】図４は図１のペリクルフレーム貼着部を示
し、この図４において、基台３５に対して互いに平行な
Ｄ２方向及びＤ３方向に移動自在にそれぞれ圧着板３６
及び３７が取り付けられている。圧着板３６には４個の
位置決め部３８が固定され、圧着板３７にも４個の位置
決め部３９が固定されている。そして、１個のレチクル
の両面にそれぞれライナーを剥離されたペリクル付きの
ペリクルフレーム２の粘着層３を接触させた状態で、上
側のペリクルフレーム及び下側のペリクルフレームをそ
れぞれ圧着板３６の位置決め部３８の間及び圧着板３７
の位置決め部３９の間に挟み、圧着板３６と圧着板３７
との間隔を狭めることにより、２個のペリクルフレーム
がそれぞれ１枚のレチクルに良好に貼着される。

【００２５】図５は図１のペリクル検査部１０の構成を
示し、この図５において、ライナー剥離後のペリクル１
付きのペリクルフレーム２がコの字型のアーム４０の間
に保持され、アーム４０はスライダー４１に沿ってＹ方
向に移動できるように支持され、アーム４０のＹ方向の
位置は測長センサー４２によりモニターされている。ア
ーム４０としては、図２の搬送アーム７をそのまま使用
してもよい。また、４３はレーザー光源を示し、レーザ
ー光源４３から射出されたレーザービームＬ１が負のシ
リンドリカルレンズ４４及び正のシリンドリカルレンズ
４５によりＸ方向に広げられ、Ｘ方向に広いレーザービ
ームＬ２が集光用のシリンドリカルレンズ４６によりペ
リクル１のＸ方向に長い測定領域５１上に照射される。

【００２６】そして、そのペリクル１の測定領域５１の
異物等から傾斜して射出される散乱光（回折光等を含
む）Ｌ３が対物レンズ４７により１次元のイメージセン
サー４８の受光面４８ａ上に集束され、散乱光Ｌ３とほ
ぼ対称な方向に射出される散乱光Ｌ４が対物レンズ４９
により１次元のイメージセンサー５０の受光面５０ａ上
に集束される。受光面４８ａ及び５０ａはそれぞれ測定
領域５１と共役である。従って、ペリクル１上に異物が
存在すると、その異物が存在する位置に共役なイメージ
センサー４８又は５０の受光エレメントからその異物の
大きさにほぼ比例する光電変換信号が出力されることか
ら、その異物の大きさ及びＸ方向の位置を識別すること
ができる。そして、アーム４０をＹ方向に移動すること
により、ペリクル１の全面の異物検査が行われる。この
場合、２個のイメージセンサー４８及び５０が設けられ
ているので、測定領域５１がＹ方向にペリクルフレーム
２に近接しても、ペリクルフレーム２にケラレることな
くペリクル１の異物検出を行うことができる。

【００２７】図６は図１のペリクルリジェクト部１２の
構成を示し、この図６において、ライナー剥離後の検査
でリジェクトすべきと判定されたペリクル（不良ペリク
ル）１Ａが張設されたペリクルフレーム２Ａが搬送アー
ム７に保持されている。５２はコの字型のロード側キャ
リアを示し、ロード側キャリア５２の内部には、不良ペ
リクル１Ａが張設されたペリクルフレーム２Ａと一緒に
リジェクトされてもいいような平面部材（以下、「リジ
ェクトプレート」と呼ぶ）５３Ａ，５３Ｂ，‥‥，５３
Ｅが複数枚収納されている。ロード側キャリア５２は駆
動部５４により図６のＺ方向に上下に移動させることが
できる。

【００２８】また、５５はコの字型のアンロード側キャ
リアを示し、ロード側キャリア５２の下端とアンロード
側キャリア５５の上端との間に１対のベルト５６Ａ及び
５６Ｂが張設されている。ベルト５６Ａ及び５６Ｂをプ
ーリー５７及び駆動部５８によりＸ方向に動かすことに
より、ロード側キャリア５２の最下端のリジェクトプレ
ート５３Ｅをアンロード側キャリア５５の方向に搬送す
ることができる。このアンロード側キャリア５５も駆動
部５９によりＺ方向に動かすことができる。この場合、
リジェクトプレート５３Ｅ，５３Ｄ，‥‥をロード側キ
ャリア５２の下端から順にベルト５６Ａ及び５６Ｂ上に
搬送し、搬送されたリジェクトプレート（例えば５３
Ｅ）上に不良ペリクル付きのペリクルフレーム（例えば
２Ａ）を貼着する。

【００２９】このようにペリクルフレームが貼着された
リジェクトプレートがアンロード側キャリア５５内に上
から順に収納される。図６では、アンロード側キャリア
５５の最上段に不良ペリクル１Ｂ付きのペリクルフレー
ム２Ｂが貼着されたリジェクトプレート５３Ｆが収納さ
れている。このようなリジェクトプレート５３Ｆは例え
ば別の搬送装置でクリーンルーム５の外部に搬出され
る。

【００３０】また、ロード側キャリア５２の上方には光
源６０が設けられ、光源６０から射出された光ビームＬ
５はリジェクトプレート５３Ａにより遮光されている。
仮に、ロード側キャリア５２に収納されているリジェク
トプレート５３Ａ，５３Ｂ，‥‥が全てアンロード側キ
ャリア５５に移った場合には、光ビームＬ５は受光器６
１まで達する。受光器６１が光ビームＬ５を受光した場
合には、不図示のアラーム手段によりリジェクトプレー
トが全て使用されたという警報を発し、これに応じてロ
ード側キャリア５２にリジェクトプレート５３Ａ，５３
Ｂ，‥‥を補給し、更にアンロード側キャリア５５から
不良ペリクル付きのペリクルフレームが貼着されたリジ
ェクトプレートを取り除く。

【００３１】但し、受光器６１の受光信号を使用するこ
となく、ロード側キャリア５２に装着したリジェクトプ
レートの枚数に図１の検査結果判定部１１にて不良と判
定したペリクルの個数が達したときに、ロード側キャリ
ア５２にリジェクトプレートを補充するようにしてもよ
い。リジェクトプレート５３Ａ，５３Ｂ，‥‥の材質と
しては、アルミニウム等の金属の平行平面板、ガラス基
板又はプラスチック板等が使用できる。但し、仮に受光
器６１の検出信号より上記のように警告を発生する最に
は、光ビームＬ５を遮光するために、リジェクトプレー
ト５３Ａ，５３Ｂ，‥‥としては光ビームＬ５を透過し
ないような金属板、遮光性のガラス基板（例えばアルミ
ニウムを蒸着したもの）を使用する必要がある。また、
リジェクトプレートを不良ペリクル付きのペリクルフレ
ームと共に廃棄する場合には、なるべく安価なものが好
ましく、例えばプラスチック等の成形品のプレート等が
最も適している。

【００３２】但し、リジェクトプレートを不良ペリクル
付きのペリクルフレームと一緒に廃棄することなく再利
用したい場合には、リジェクトプレートとしては例えば
テフロンやデルリン等の合成樹脂を用いるとよい。これ
らの樹脂に対してはペリクルフレーム２の粘着層３の粘
着力は弱いため、容易に不良ペリクル付きのペリクルフ
レームをそのリジェクトプレートから剥離してそのリジ
ェクトプレートを再利用することができる。この考えは
応用が広く、例えばライナー剥離後のペリクルの検査は
１つの検査装置で実行し、それに続くペリクルフレーム
の貼り付けは別の貼着装置で実行するような場合等にお
いて、検査後のペリクル付きのペリクルフレーム（即ち
粘着層が剥き出しのペリクルフレーム）をデルリンプレ
ート等に載置して、所定のケース内に密閉する。その
後、別のペリクルフレームの貼着装置にそのデルリンプ
レート等に貼着されたペリクルフレームを搬入して、そ
のケースを開封してそのデルリンプレート等から容易に
剥離したペリクルフレームをハンドリングしてレチクル
に貼り付けることができる。

【００３３】更に、再利用可能なリジェクトプレートと
しては、図７のような断面を有するものを利用してもよ
い。図７において、６２はリジェクトプレートを示し、
リジェクトプレート６２の片面には波状の突起６２ａ及
び６２ｂが設けられ、これら突起６２ａ及び６２ｂの上
に不良ペリクル１Ｃが張設されたペリクルフレーム２Ｃ
の粘着層３Ｃを貼着する。この例では、ペリクルフレー
ム２Ｃの粘着層３Ｃとリジェクトプレート６２とは極め
て小さい面積でしか接触していないため、ペリクルフレ
ーム２Ｃは貼着固定というよりもむしろ動かない程度に
支持されているだけである。従って、リジェクトプレー
ト６２からペリクルフレーム２Ｃを容易に外すことが出
来るため、リジェクトプレート６２を再利用できる。な
お、波状の突起６２ａ，６２ｂの代わりに凸部の突起等
を使用してもよい。

【００３４】次に、図１に戻り、本例の貼着装置の全体
の動作の一例につき説明する。図１において、ペリクル
フレーム収納部６から搬送アーム７により任意の１個の
フレームケースを取り出し、搬送アーム７はスライダー
８に沿ってそのフレームケースを図示省略した開閉機構
に運び、この開閉機構はそのフレームケースを開けて中
のペリクル付きのペリクルフレームを取り出し、このペ
リクルフレームを搬送アーム７が支持する。そのペリク
ル付きのペリクルフレームが搬送アーム７によりライナ
ー剥離部９に搬送され、ライナー剥離部１４にてそのペ
リクルフレームからライナーが剥離される。次いで、ペ
リクル検査部１０にてペリクル表面の異物等の欠陥状態
が検査され、その結果が通信ラインを介して検査結果判
定部１１に入力される。

【００３５】検査結果判定部１１では、例えば異物が１
個でも検出された場合は不良とするか、又は決められた
サイズ以下の小さい異物は許容するが、それを超える大
きい異物が付着している場合は不良とする等の判定基準
に基づいて、ペリクルの良又は不良を判定する。「良」
と判定した場合は、検査結果判定部１１は通信ラインを
介してペリクルフレーム貼着部１３にペリクルの貼り付
け指令を発する。貼り付け実行前までに、レチクル収納
部１４からレチクル用の搬送アーム１５及びスライダー
１６を介してペリクルフレーム貼着部１３にレチクルを
搬送しておく。これにより、レチクルに異物の無いペリ
クル付きのペリクルフレームが貼着される。

【００３６】一方、検査結果判定部１１で「不良」と判
定した場合は、通信ラインを介してペリクルリジェクト
部１２にリジェクト指令が発せられ、このペリクルリジ
ェクト部１２で搬送アーム７に保持されているペリクル
フレームをリジェクトする。この場合、ペリクルフレー
ム収納部６及びレチクル収納部１４にそれぞれ収納され
るペリクルフレーム及びレチクルは複数枚でもよい。更
に、レチクル収納部１４とペリクルフレーム貼着部１３
との間に、レチクルへの異物の付着の有無を検査するレ
チクル検査部を設けて、レチクルの異物検査の結果の良
否に従って、そのレチクルへのペリクルフレームの貼り
付けを実行するか、又はもう一度レチクル収納部１４に
そのレチクルを戻すかを判定するようにしてもよい。

【００３７】次に、図１のペリクルリジェクト部１２の
他の例につき図８を参照して説明する。図８において、
６３はペリクルの粘着層への粘着力が小さいデルリン等
よりなる回転プレートを示し、この回転プレート６３を
駆動モーター６４でθ３方向に回転できるように支持す
る。そして、不良ペリクル１Ｄが張設されたペリクルフ
レーム２Ｄを搬送アーム７で回転プレート６３の一端上
に載置し、回転プレート６３の他端上の不良ペリクル１
Ｅが張設されたペリクルフレーム２Ｅを図１のクリーン
ルーム５の外部へ取り出す。その後、回転プレート６３
をθ３方向に１８０°回転してから、そのペリクルフレ
ーム２Ｄをも外部へ取り出す。この図８の例では比較的
構成が簡略であり、且つ不良ペリクル付きのペリクルフ
レームと共に廃棄されるプレートが無いので経済的でも
ある。

【００３８】なお、図５のペリクル検査部１０では単に
ペリクル１に異物が付着しているかどうかを調べている
が、その異物がペリクル１の表面（外側）又は裏面（レ
チクル側の面）の何れに付着しているのかを検出する表
裏検出手段を併設してもよい。このように、ペリクル１
に付着している異物がペリクル１の表面又は裏面の何れ
に付着しているのかを検出するためには、例えば特開平
３−５７９４５号公報に開示されているように、検出用
の照明光として白色光を用いる。

【００３９】そして、ペリクル１の異物からの散乱光を
光軸がペリクル１の法線方向から大きく傾斜した受光レ
ンズで受光して、この受光した散乱光を例えば３種類程
度の波長帯別に光電変換する。この場合、ペリクル１に
よる波長選択性によりペリクル１の表面の異物からの散
乱光の波長帯別の強度の割合と、ペリクル１の裏面の異
物からの散乱光の波長帯別の強度の割合とは異なるの
で、その波長帯別の強度の割合を調べることにより、そ
の異物の表裏判定を行うことができる。

【００４０】この場合、ペリクル１の裏面に付着してい
る所定の大きさ以上の異物は、ペリクルフレーム２をレ
チクルに貼着した場合にそのレチクル面に移動して転写
像を乱す虞があるので、そのようなペリクル１は確実に
不良と判定する必要がある。一方、ペリクル１の表面に
比較的小さな異物が付着していても、その異物はレチク
ル側の移動することがなく、転写像に悪い影響を与える
ことがない。そこで、図１のペリクル検査部１０が更
に、異物がペリクル１の表裏面の何れに付着しているか
を検査できるものとすると、図１の検査結果判定部１１
は、ペリクル１の裏面に所定の大きさ以上の異物が付着
している場合には、そのペリクル１をリジェクトするべ
きであると判定する。逆に、ペリクル１の表面に異物が
付着している場合には、図１の検査結果判定部１１はそ
の異物の大きさに応じてリジェクトすべきかどうかを判
定する。これにより、リジェクトされるペリクルの個数
が減ってペリクルを有効に活用できる。

【００４１】なお、本発明は上述実施例に限定されず本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得るこ
とは勿論である。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、保護シート（ライナ
ー）の剥離後に防塵用の薄膜（ペリクル）に異物が検出
された場合に簡単な機構で迅速にフレーム（ペリクルフ
レーム）をリジェクトできる利点がある。また、そのリ
ジェクト手段が、第１の平坦部材とそのフレームとを一
体的に除去する場合には他端に貼着部を有するそのフレ
ームを容易に外部に搬出できる利点がある。

【００４３】また、そのリジェクト手段が、貼着性の弱
い第２の平坦部材を介してそのフレームを除去する場
合、又は表面に凹凸がある凹凸部材を介してそのフレー
ムを除去する場合には、それら第２の平坦部材又は凹凸
部材を繰り返し使用できるので経済的である。

【００４４】更に、異物検査手段が、そのフレームの防
塵用の薄膜の表面に付着した異物がその薄膜の外側又は
内側の何れに付着しているのかを検出する表裏検出手段
を有し、判定手段が、その防塵用の薄膜に付着した異物
がその薄膜の内側の表面に付着しているときには、その
フレームをマスク基板に貼着しないと判定する場合に
は、異物が付着している防塵用の薄膜の全てが一律に不
良と判定されることがなくなるので、その薄膜付きのフ
レームを有効に使用できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるフレームの貼着装置の一実施例の
全体の構成を示すブロック図である。

【図２】図１の搬送アームの構成を示す平面図である。

【図３】図１のライナー剥離部９の構成を示す側面図で
ある。

【図４】図１のペリクルフレーム貼着部１３の構成を示
す斜視図である。

【図５】図１のペリクル検査部１０の構成を示す斜視図
である。

【図６】図１のペリクルリジェクト部１２の構成を示す
斜視図である。

【図７】リジェクトプレートの変形例を示す側面図であ
る。

【図８】図１のペリクルリジェクト部１２の他の構成例
の要部を示す斜視図である。

【図９】ペリクル付きのペリクルフレームを示す斜視図
である。

【符号の説明】

１ペリクル２ペリクルフレーム３粘着層４ライナー４ａライナーの耳部５クリーンルーム７，１５搬送アーム８，１６スライダー６ペリクルフレーム収納部９ライナー剥離部１０ペリクル検査部１１検査結果判定部１２ペリクルリジェクト部１３ペリクルフレーム貼着部１４レチクル収納部５２ロード側キャリア５３Ａ，５３Ｂ，‥‥，５３Ｆリジェクトプレート５４，５９駆動部５５アンロード側キャリア６２リジェクトプレート６３回転板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一端に防塵用の薄膜が張設され他端の貼
着部に保護シートが貼着されたフレームを収納するフレ
ーム用の収納ケースと、マスク基板を収納するマスク用の収納ケースと、前記フレーム用の収納ケースから前記フレームを取り出
して保持するフレーム取り出し手段と、前記マスク用の収納ケースから前記マスク基板を取り出
すマスク取り出し手段と、前記フレーム取り出し手段に保持された前記フレームか
ら前記保護シートを剥離する剥離手段と、前記保護シートが剥離されたフレームを前記マスク取り
出し手段により取り出された前記マスク基板に貼着する
貼着手段と、を有し、前記保護シートが剥離された前記
フレームを前記マスク基板に貼着する装置において、前記保護シートが剥離された後の前記フレームに張設さ
れた前記防塵用の薄膜の表面に付着した異物を検出する
異物検査手段と、該異物検査手段による検査結果に基づいて前記保護シー
トが剥離された後の前記フレームを前記マスク基板に貼
着するか否かを判定する判定手段と、該判定手段により前記保護シートが剥離された後の前記
フレームを前記マスク基板に貼着しないと判定された際
に、前記フレーム取り出し手段から前記フレームを除去
するリジェクト手段と、を設けた事を特徴とするフレー
ムの貼着装置。
【請求項２】前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部に第１の平坦部
材を貼着し、該第１の平坦部材と前記フレームとを一体
的に除去する事を特徴とする請求項１記載のフレームの
貼着装置。
【請求項３】前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部を貼着性の弱い
第２の平坦部材上に載置し、該第２の平坦部材を介して
前記フレームを除去する事を特徴とする請求項１記載の
フレームの貼着装置。
【請求項４】前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部を表面に凹凸が
ある凹凸部材上に載置し、該凹凸部材を介して前記フレ
ームを除去する事を特徴とする請求項１記載のフレーム
の貼着装置。
【請求項５】前記異物検査手段は、前記フレームの前
記防塵用の薄膜の表面に付着した異物が前記防塵用の薄
膜の外側又は内側の何れに付着しているのかを検出する
表裏検出手段を有し、前記判定手段は、前記防塵用の薄膜に付着した異物が前
記防塵用の薄膜の内側の表面に付着しているときには、
前記フレームを前記マスク基板に貼着しないと判定する
事を特徴とする請求項１、２、３又は４記載のフレーム
の貼着装置。