JPH068492B2 - 高耐食アモルファスアルミニウム合金 - Google Patents
高耐食アモルファスアルミニウム合金Info
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- JPH068492B2 JPH068492B2 JP63260020A JP26002088A JPH068492B2 JP H068492 B2 JPH068492 B2 JP H068492B2 JP 63260020 A JP63260020 A JP 63260020A JP 26002088 A JP26002088 A JP 26002088A JP H068492 B2 JPH068492 B2 JP H068492B2
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- amorphous
- alloys
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超高耐食性、耐摩耗性などの優れた特性と共
にさや靱性を備え、化学プラントをはじめ産業および民
生上の種々の分野に利用可能な新しいアモルファスアル
ミニウム合金に関するものである。
にさや靱性を備え、化学プラントをはじめ産業および民
生上の種々の分野に利用可能な新しいアモルファスアル
ミニウム合金に関するものである。
［従来の技術］ Ａｌに多量のＴｉを添加した単相の合金およびＡｌ−Ｔ
ｉ合金に更に、高融点金属であるＴａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ
を含む合金は溶融を伴うような通常の方法では得難い。
ｉ合金に更に、高融点金属であるＴａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ
を含む合金は溶融を伴うような通常の方法では得難い。
［発明が解決しようとする課題］ Ｔｉは耐食性が高い金属であって、Ａｌに添加して得ら
れる合金には高い耐食性が期待される。しかし、通常の
方法で作られる結晶質合金には幾種類かの化合物相があ
るため、固溶体となる合金組成はきわめて狭い。更にＴ
ａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗは共に高融点金属であってＡｌの沸
点でも溶融しないため、溶融を伴うような通常の方法で
は、Ａｌ−Ｔｉ合金にＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂを加え
た合金を作製することは困難である。この様な合金を、
不均一な結晶質合金としてではなく、アモルファス合金
として作製に成功することは、未知の性質を備えた新合
金を提供するものとして期待されている。
れる合金には高い耐食性が期待される。しかし、通常の
方法で作られる結晶質合金には幾種類かの化合物相があ
るため、固溶体となる合金組成はきわめて狭い。更にＴ
ａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗは共に高融点金属であってＡｌの沸
点でも溶融しないため、溶融を伴うような通常の方法で
は、Ａｌ−Ｔｉ合金にＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂを加え
た合金を作製することは困難である。この様な合金を、
不均一な結晶質合金としてではなく、アモルファス合金
として作製に成功することは、未知の性質を備えた新合
金を提供するものとして期待されている。
一方穏やかな環境では金属材料を保護し得る不働態皮膜
も塩素イオンを含む溶液中では容易に破壊されるため塩
素イオンを含む溶液は特に腐食性が激しく、安全に使用
し得るアルミニウム合金がなく、実用アルミニウム合金
などは当然考慮の対象外である。したがって、通常のア
ルミニウム合金の使用が極めて困難なこのような腐食性
環境において、使用に耐える新しいアルミニウム合金の
出現が切望されてきた。
も塩素イオンを含む溶液中では容易に破壊されるため塩
素イオンを含む溶液は特に腐食性が激しく、安全に使用
し得るアルミニウム合金がなく、実用アルミニウム合金
などは当然考慮の対象外である。したがって、通常のア
ルミニウム合金の使用が極めて困難なこのような腐食性
環境において、使用に耐える新しいアルミニウム合金の
出現が切望されてきた。
［課題を解決するための手段］ 本発明の目的は、Ａｌに多量のＴｉを含むために結晶質
では２相となる合金および通常の溶融法ではＡｌ合金に
添加が困難なＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂのすくなくとも
１種を含むＡｌ−Ｔｉ合金を不均一な結晶質合金として
ではなく、高耐食性、高耐摩耗性と共に靱性を備えたア
モルファス合金として提供することにある。
では２相となる合金および通常の溶融法ではＡｌ合金に
添加が困難なＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂのすくなくとも
１種を含むＡｌ−Ｔｉ合金を不均一な結晶質合金として
ではなく、高耐食性、高耐摩耗性と共に靱性を備えたア
モルファス合金として提供することにある。
通常、合金は固体状態では結晶化しているが合金組成を
限定して溶融状態から超急冷凝固させるなど、固体形成
の過程で原子配列に長期間的規則性を形成させない方法
を適用すると、結晶構造を持たず、液体に類似したアモ
ルファス構造が得られ、このような合金をアモルファス
合金という。アモルファス合金は、多くは過飽和固溶体
の均一な単相合金であって、従来の実用金属に比べて著
しく高い強度を保有し、かつ組成に応じて異常に高い耐
食性をはじめ種々の特性を示す。
限定して溶融状態から超急冷凝固させるなど、固体形成
の過程で原子配列に長期間的規則性を形成させない方法
を適用すると、結晶構造を持たず、液体に類似したアモ
ルファス構造が得られ、このような合金をアモルファス
合金という。アモルファス合金は、多くは過飽和固溶体
の均一な単相合金であって、従来の実用金属に比べて著
しく高い強度を保有し、かつ組成に応じて異常に高い耐
食性をはじめ種々の特性を示す。
本発明者らは、未知のアモルファス合金についてその特
性に関する研究を広く行った結果、作製が困難なＡｌと
Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗなどの高融点金属との合金を、合
金の形成のために溶融による混合の必要がないスパッタ
ー法を活用することによって、アモルファス合金として
作製し得ることを見出し、ＮｂおよびＴａの何れか１種
または２種を必須元素として含むアモルファスＡｌ−高
融点金属合金およびＭｏおよびＷの何れか１種または２
種を必須元素として含むアモルファスＡｌ−高融点金属
合金を作成することに成功し、更にこれらが、塩酸のよ
うな過酷な腐食性酸中でも安定な保護皮膜を形成して自
己不働態化する高耐食性を備えたアモルファス合金であ
ることを見出し、先に特願昭63-51568号および特願昭63
-51567号として出願した。この中、特願昭63-51568号は
以下の二つの発明からなる。
性に関する研究を広く行った結果、作製が困難なＡｌと
Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗなどの高融点金属との合金を、合
金の形成のために溶融による混合の必要がないスパッタ
ー法を活用することによって、アモルファス合金として
作製し得ることを見出し、ＮｂおよびＴａの何れか１種
または２種を必須元素として含むアモルファスＡｌ−高
融点金属合金およびＭｏおよびＷの何れか１種または２
種を必須元素として含むアモルファスＡｌ−高融点金属
合金を作成することに成功し、更にこれらが、塩酸のよ
うな過酷な腐食性酸中でも安定な保護皮膜を形成して自
己不働態化する高耐食性を備えたアモルファス合金であ
ることを見出し、先に特願昭63-51568号および特願昭63
-51567号として出願した。この中、特願昭63-51568号は
以下の二つの発明からなる。
（１）ＴａおよびＮｂのいずれか１種または２種の合計
で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐食
性アモルファスアルミニウム合金。
で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐食
性アモルファスアルミニウム合金。
（２）ＴａおよびＮｂのいずれか１種または２種の合計
で５原子％以上とＴｉおよびＺｒの何れか１種または２
種との合計で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌから
なる高耐食アモルファスアルミニウム合金。
で５原子％以上とＴｉおよびＺｒの何れか１種または２
種との合計で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌから
なる高耐食アモルファスアルミニウム合金。
また、特願昭63-51567号は次の４つの発明からなる。
（１）ＭｏおよびＷのいずれか１種または２種の合計で
７〜50原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐食ア
モルファスアルミニウム合金。
７〜50原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐食ア
モルファスアルミニウム合金。
（２）ＭｏおよびＷのいずれか１種または２種の５原子
％以上とＴｉおよびＺｒの何れか１種または２種との合
計で７〜50原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐
食アモルファスアルミニウム合金。
％以上とＴｉおよびＺｒの何れか１種または２種との合
計で７〜50原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐
食アモルファスアルミニウム合金。
（３）ＭｏおよびＷのいずれか１種または２種の50原子
％未満とＴａおよびＮｂの何れか１種または２種との合
計で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐
食アモルファスアルミニウム合金。
％未満とＴａおよびＮｂの何れか１種または２種との合
計で７〜75原子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐
食アモルファスアルミニウム合金。
（４）ＭｏおよびＷのいずれか１種または２種の50原子
％未満とＴａおよびＮｂの何れか１種または２種との合
計で５原子％以上とさらにこれらとＴｉおよびＺｒの何
れか１種または２種との合計で７〜75原子％含み残部は
実質的にＡｌからなる高耐食アモルファスアルミニウム
合金。
％未満とＴａおよびＮｂの何れか１種または２種との合
計で５原子％以上とさらにこれらとＴｉおよびＺｒの何
れか１種または２種との合計で７〜75原子％含み残部は
実質的にＡｌからなる高耐食アモルファスアルミニウム
合金。
本発明者らはさらに研究を継続した結果、スパッター法
を用いることによってＡｌはＴｉと共にアモルファス合
金を作製することができること、またＴｉを主たる合金
元素として含むＡｌ合金は更にＴａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗの
ような高融点金属をも含む合金をアモルファス合金とし
て作製することができ、これらの合金はいずれも塩素イ
オンを含む溶液のような過酷な腐食性環境中でも安定な
保護皮膜を形成して自己不働態化する高耐食性を備えた
アモルファス合金であることを見出し、下記本発明を達
成した。
を用いることによってＡｌはＴｉと共にアモルファス合
金を作製することができること、またＴｉを主たる合金
元素として含むＡｌ合金は更にＴａ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗの
ような高融点金属をも含む合金をアモルファス合金とし
て作製することができ、これらの合金はいずれも塩素イ
オンを含む溶液のような過酷な腐食性環境中でも安定な
保護皮膜を形成して自己不働態化する高耐食性を備えた
アモルファス合金であることを見出し、下記本発明を達
成した。
（１）Ｔｉを25〜60原子％含み残部は実質的にＡｌから
なる高耐食アモルファスアルミニウム合金。
なる高耐食アモルファスアルミニウム合金。
（２）Ｍｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂの何れか１種または２
種以上を５原子％未満とＴｉとの合計で25〜60原子％含
み残部は実質的にＡｌからなる高耐食アモルファスアル
ミニウム合金。
種以上を５原子％未満とＴｉとの合計で25〜60原子％含
み残部は実質的にＡｌからなる高耐食アモルファスアル
ミニウム合金。
第１表にこの本発明の構成元素および含有率を表にして
示す。
示す。
スパッター法はアモルファス合金を作る一つの方法であ
って、作製しようとするアモルファス合金と平均組成が
等しいが単相ではない複数の結晶相からなるターゲット
を焼結や溶融によって作製して用いたり、作製しようと
するアモルファス合金の主成分からなる金属板に合金化
しようとする元素を載せたり埋め込んだりしたものを用
いたりしてアモルファス合金は作られる。
って、作製しようとするアモルファス合金と平均組成が
等しいが単相ではない複数の結晶相からなるターゲット
を焼結や溶融によって作製して用いたり、作製しようと
するアモルファス合金の主成分からなる金属板に合金化
しようとする元素を載せたり埋め込んだりしたものを用
いたりしてアモルファス合金は作られる。
本発明は、この方法を活用ならびに改良することによっ
て得られたものであって以下の通りである。Ａｌ板にＴ
ｉを載せたり埋め込んだりしたターゲットあるいはＡｌ
板の上にＴｉと共にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの少なくも１
種を載せたり埋め込んだりしたターゲットを用いるスパ
ッター法によって、高耐食性を備えたアモルファスＡｌ
−Ｔｉ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｗ、Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｎｂ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ、
Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｎｂ、Ａ
ｌ−Ｔｉ−Ｗ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｗ−Ｎｂ、Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｎｂおよ
びＡｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｔａ−Ｎｂ合金を得ることが
できる。この場合、生成するアモルファス合金に場所に
よる不均一性の発生を避けるために、例えば第１図に示
すように、スパッター装置チャンバー６内で複数のサブ
ストレイト２をチャンバーの中心軸１の回りに回転させ
る公転と共にサブストレイト自体も自転させることが望
ましい。更に、生成するアモルファス合金の組成を広い
範囲で変化させるために、例えば第２図に示すように、
一つのターゲット４はＡｌ板にＴｉを埋め込んだものと
し、もう一つのターゲット５はＭｏ、ＷおよびＡｌの何
れかとして、これら２つのターゲットを互いに傾斜させ
て２つのターゲットの垂線の交わる付近にサブストレイ
ト２を置くように設置し、これら２つのターゲットを２
つの電源で出力を互いに制御しながら同時に作動させ
る。
て得られたものであって以下の通りである。Ａｌ板にＴ
ｉを載せたり埋め込んだりしたターゲットあるいはＡｌ
板の上にＴｉと共にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの少なくも１
種を載せたり埋め込んだりしたターゲットを用いるスパ
ッター法によって、高耐食性を備えたアモルファスＡｌ
−Ｔｉ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｗ、Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｎｂ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ、
Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｎｂ、Ａ
ｌ−Ｔｉ−Ｗ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｗ−Ｎｂ、Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｔａ、Ａｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｎｂおよ
びＡｌ−Ｔｉ−Ｍｏ−Ｗ−Ｔａ−Ｎｂ合金を得ることが
できる。この場合、生成するアモルファス合金に場所に
よる不均一性の発生を避けるために、例えば第１図に示
すように、スパッター装置チャンバー６内で複数のサブ
ストレイト２をチャンバーの中心軸１の回りに回転させ
る公転と共にサブストレイト自体も自転させることが望
ましい。更に、生成するアモルファス合金の組成を広い
範囲で変化させるために、例えば第２図に示すように、
一つのターゲット４はＡｌ板にＴｉを埋め込んだものと
し、もう一つのターゲット５はＭｏ、ＷおよびＡｌの何
れかとして、これら２つのターゲットを互いに傾斜させ
て２つのターゲットの垂線の交わる付近にサブストレイ
ト２を置くように設置し、これら２つのターゲットを２
つの電源で出力を互いに制御しながら同時に作動させ
る。
この方法によって生成するアモルファス合金中の合金元
素の濃度を自由に変えたり、更にこのバリエーションと
してＡｌとＴｉと共にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂなどを埋め
込んだターゲットを用いるなどいろいろなターゲットと
方法を組合せることによって、上述の種々の高耐食アモ
ルファスアルミニウム合金が得られる。２つのターゲッ
トを用いる方法においては均一なアモルファス合金を作
製するために特にサブストレイトの公転と自転が必要で
ある。
素の濃度を自由に変えたり、更にこのバリエーションと
してＡｌとＴｉと共にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂなどを埋め
込んだターゲットを用いるなどいろいろなターゲットと
方法を組合せることによって、上述の種々の高耐食アモ
ルファスアルミニウム合金が得られる。２つのターゲッ
トを用いる方法においては均一なアモルファス合金を作
製するために特にサブストレイトの公転と自転が必要で
ある。
スパッター法で作製した本発明の組成の合金は前記各元
素が均一に固溶した単相のアモルファス合金である。均
一固溶体である本発明のアモルファス合金には、きわめ
て均一で高耐食性を保証する保護皮膜が形成される。
素が均一に固溶した単相のアモルファス合金である。均
一固溶体である本発明のアモルファス合金には、きわめ
て均一で高耐食性を保証する保護皮膜が形成される。
塩素イオンを含む溶液中でアルミニウム合金は、容易に
侵されるため、このような環境でアルミニウム合金を使
用するためには、安定な保護皮膜を形成する能力をアル
ミニウム合金に付与する必要がある。これは、有効元素
を必要量含む合金を作ることによって実現される。しか
し結晶質金属の場合、多種多量の合金元素を添加する
と、しばしば化学的性質の異なる多相構造となり、所定
の耐食性が実現し得ないことがある。また、化学的不均
一性の発生はむしろ耐食性に有害である。
侵されるため、このような環境でアルミニウム合金を使
用するためには、安定な保護皮膜を形成する能力をアル
ミニウム合金に付与する必要がある。これは、有効元素
を必要量含む合金を作ることによって実現される。しか
し結晶質金属の場合、多種多量の合金元素を添加する
と、しばしば化学的性質の異なる多相構造となり、所定
の耐食性が実現し得ないことがある。また、化学的不均
一性の発生はむしろ耐食性に有害である。
これに対し、本発明のアモルファス合金は均一固溶体で
あり、安定な保護皮膜を形成させ得る所要量の有効元素
を均一に含むものであるため、このようなアモルファス
合金には、均一な保護皮膜が生じ、十分に高い耐食性を
発揮する。
あり、安定な保護皮膜を形成させ得る所要量の有効元素
を均一に含むものであるため、このようなアモルファス
合金には、均一な保護皮膜が生じ、十分に高い耐食性を
発揮する。
すなわち、塩素イオンのような腐食性イオンを含む溶液
中で耐食性を発揮するアルミニウム合金が備えるべき条
件は、安定な保護皮膜が材料に均一に生じる高い保護皮
膜形成能力を持つことである。これは本発明の合金組成
で実現され、また合金がアモルファス構造を有すること
は、複雑な組成の合金を単相固溶体として作成すること
を可能にし、均一な保護皮膜形成を保証するものであ
る。
中で耐食性を発揮するアルミニウム合金が備えるべき条
件は、安定な保護皮膜が材料に均一に生じる高い保護皮
膜形成能力を持つことである。これは本発明の合金組成
で実現され、また合金がアモルファス構造を有すること
は、複雑な組成の合金を単相固溶体として作成すること
を可能にし、均一な保護皮膜形成を保証するものであ
る。
次に、本発明における各成分組成を限定する理由を述べ
る。
る。
ＴｉはＡｌと共にアモルファス構造を形成する元素であ
って、スパッター法でアモルファス構造を形成するため
には、本発明の第１項において25-60原子％含む必要が
ある。また、更にＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂは共にＡｌ
と共存するとアモルファス構造を形成する元素であっ
て、Ｔｉを主たる合金元素として含むＡｌ合金に添加し
てスパッター法でアモルファス構造を形成する組成範囲
は極めて広いが、Ａｌ−Ｔｉ合金にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎ
ｂの少なくとも１種を５原子％以上含む合金は上記特願
昭63-51568号および特願昭63-51567号に含まれるので、
本発明の第２項においてＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの少なく
とも１種は５原子％未満とし、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの
少なくとも１種５原子％未満とＴｉとの合計で25〜60原
子％とする必要がある。
って、スパッター法でアモルファス構造を形成するため
には、本発明の第１項において25-60原子％含む必要が
ある。また、更にＭｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂは共にＡｌ
と共存するとアモルファス構造を形成する元素であっ
て、Ｔｉを主たる合金元素として含むＡｌ合金に添加し
てスパッター法でアモルファス構造を形成する組成範囲
は極めて広いが、Ａｌ−Ｔｉ合金にＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎ
ｂの少なくとも１種を５原子％以上含む合金は上記特願
昭63-51568号および特願昭63-51567号に含まれるので、
本発明の第２項においてＭｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの少なく
とも１種は５原子％未満とし、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ、Ｎｂの
少なくとも１種５原子％未満とＴｉとの合計で25〜60原
子％とする必要がある。
また、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗはいずれも非
酸化性の酸中で保護皮膜を形成して耐食性を担う元素で
あり、本発明の合金は何れも塩素イオンを含む溶液中で
十分な耐食性を示す。
酸化性の酸中で保護皮膜を形成して耐食性を担う元素で
あり、本発明の合金は何れも塩素イオンを含む溶液中で
十分な耐食性を示す。
［実施例］ 実施例１ 直径100mm、厚さ6mmのＡｌ円板上の中心から半径29mmの
円周上に、直径20mm、厚さ1mmのＴｉ円板を５〜８個載
せたものをターゲットとし、第１図に示した装置を用
い、Ａｒを5ml／minの速度で流しながら２×10-4Torrの
真空に保ち、自転ならびに公転しているアルミニウムお
よびガラスのサブストレイトに240〜200Ｗの出力でスパ
ッターデポジションを行った。Ｘ線回折の結果、生じた
合金はアモルファスであることが確認され、またＸ線マ
イクロアナライザーを用いた分析によってその組成はＡ
ｌ−25原子％Ｔｉ、Ａｌ−36原子％Ｔｉ、Ａｌ−49原子
％Ｔｉ、およびＡｌ−60原子％Ｔｉ合金であることが明
らかになった。これらの合金は0.5M／の塩素イオンを
含む25℃の硫酸−硼砂溶液中で自己不働態化しており、
孔食電位は第２表のようであって、これらの合金が高耐
食アモルファス合金であることが判明した。
円周上に、直径20mm、厚さ1mmのＴｉ円板を５〜８個載
せたものをターゲットとし、第１図に示した装置を用
い、Ａｒを5ml／minの速度で流しながら２×10-4Torrの
真空に保ち、自転ならびに公転しているアルミニウムお
よびガラスのサブストレイトに240〜200Ｗの出力でスパ
ッターデポジションを行った。Ｘ線回折の結果、生じた
合金はアモルファスであることが確認され、またＸ線マ
イクロアナライザーを用いた分析によってその組成はＡ
ｌ−25原子％Ｔｉ、Ａｌ−36原子％Ｔｉ、Ａｌ−49原子
％Ｔｉ、およびＡｌ−60原子％Ｔｉ合金であることが明
らかになった。これらの合金は0.5M／の塩素イオンを
含む25℃の硫酸−硼砂溶液中で自己不働態化しており、
孔食電位は第２表のようであって、これらの合金が高耐
食アモルファス合金であることが判明した。
第２表 25℃の0.05M/ Na2Ｂ４Ｏ７−０．３Ｍ／
Ｈ３ＢＯ３−0.5M/ NaCl中で測定したアモルファ
ス合金の孔食電位 合金 孔食電位mV(SCE) Al−25Ｔｉ ＋３００ Al−36Ｔｉ ＋６００ Al−49Ｔｉ ＋７３０ Al−60Ｔｉ ＋８００ 実施例２ 直径100mm、厚さ6mmのＡｌ円板上の中心から半径29mmの
円周上に、直径20mmのＴｉを等間隔で８個載せたターゲ
ットを始めいろいろな高融点金属をのせた種々のターゲ
ット二つ一組を第２図に示す装置に取り付け、Ａｒを5m
l/minの速度で流しながら１〜４×10-4Torrの真空に保
ち、自転ならびに公転しているアルミニウムおよびガラ
スのサブストレイトに２つのターゲットの出力をいろい
ろに変えてスパッターデポジションを行った。Ｘ線回折
の結果、生じた合金はアモルファスであることが確認さ
れた。Ｘ線マイクロアナライザーを用いた分析によって
得られた合金組成を第３表に示す。これらの合金は25℃
の0.05M/ Na2Ｂ４Ｏ７−０．３Ｍ／Ｈ３ＢＯ３−
0.5M/ NaCl中および30℃の１Ｎ ＨＣｌ中で自己不
働態化しており、孔食電位は第３表に示すとおりであ
る。従ってこれらの合金は、高耐食アモルファス合金で
あることが判明した。
Ｈ３ＢＯ３−0.5M/ NaCl中で測定したアモルファ
ス合金の孔食電位 合金 孔食電位mV(SCE) Al−25Ｔｉ ＋３００ Al−36Ｔｉ ＋６００ Al−49Ｔｉ ＋７３０ Al−60Ｔｉ ＋８００ 実施例２ 直径100mm、厚さ6mmのＡｌ円板上の中心から半径29mmの
円周上に、直径20mmのＴｉを等間隔で８個載せたターゲ
ットを始めいろいろな高融点金属をのせた種々のターゲ
ット二つ一組を第２図に示す装置に取り付け、Ａｒを5m
l/minの速度で流しながら１〜４×10-4Torrの真空に保
ち、自転ならびに公転しているアルミニウムおよびガラ
スのサブストレイトに２つのターゲットの出力をいろい
ろに変えてスパッターデポジションを行った。Ｘ線回折
の結果、生じた合金はアモルファスであることが確認さ
れた。Ｘ線マイクロアナライザーを用いた分析によって
得られた合金組成を第３表に示す。これらの合金は25℃
の0.05M/ Na2Ｂ４Ｏ７−０．３Ｍ／Ｈ３ＢＯ３−
0.5M/ NaCl中および30℃の１Ｎ ＨＣｌ中で自己不
働態化しており、孔食電位は第３表に示すとおりであ
る。従ってこれらの合金は、高耐食アモルファス合金で
あることが判明した。
第３表 25℃の0.05M／ Na2Ｂ４Ｏ７−０．３Ｍ／
Ｈ３ＢＯ３−0.5M/ NaCl中および30℃のｌＮ Ｈ
Ｃｌ中で測定したアモルファス合金の孔食電位 ［発明の効果］ 以上詳述したとおり、本発明のアモルファス合金は、ス
パッター法で容易に作製されるＴｉを必須元素として含
むＡｌ−耐熱金属合金であって、塩素イオンを含む溶液
のような激しい腐食性環境においても安定な保護皮膜を
形成して自己不働態化し、皮膜破壊電位が極めて高い高
耐食合金である。
Ｈ３ＢＯ３−0.5M/ NaCl中および30℃のｌＮ Ｈ
Ｃｌ中で測定したアモルファス合金の孔食電位 ［発明の効果］ 以上詳述したとおり、本発明のアモルファス合金は、ス
パッター法で容易に作製されるＴｉを必須元素として含
むＡｌ−耐熱金属合金であって、塩素イオンを含む溶液
のような激しい腐食性環境においても安定な保護皮膜を
形成して自己不働態化し、皮膜破壊電位が極めて高い高
耐食合金である。
第１図および第２図は本発明アモルファス合金を作製す
るスパッター装置の一例を示す概略図である。 １…サブストレイトの公転軸、 ２…自転するサブストレイト、 3,4および５…ターゲット、 ６…スパッターチャンバー。
るスパッター装置の一例を示す概略図である。 １…サブストレイトの公転軸、 ２…自転するサブストレイト、 3,4および５…ターゲット、 ６…スパッターチャンバー。
Claims (2)
- 【請求項１】Ｔｉを25〜60原子％含み残部は実質的にＡ
ｌからなる高耐食アモルファスアルミニウム合金。 - 【請求項２】Ｍｏ、Ｗ、ＴａおよびＮｂの何れか１種ま
たは２種以上を５原子％未満とＴｉとの合計で25〜60原
子％含み残部は実質的にＡｌからなる高耐食アモルファ
スアルミニウム合金。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63260020A JPH068492B2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 高耐食アモルファスアルミニウム合金 |
| CA 2000170 CA2000170C (en) | 1988-10-15 | 1989-10-05 | Amorphous aluminum alloys |
| AU42648/89A AU620155B2 (en) | 1988-10-15 | 1989-10-06 | Amorphous aluminum alloys |
| DE198989119082T DE364903T1 (de) | 1988-10-15 | 1989-10-13 | Amorphe aluminiumlegierungen. |
| US07/420,930 US5076865A (en) | 1988-10-15 | 1989-10-13 | Amorphous aluminum alloys |
| EP89119082A EP0364903B1 (en) | 1988-10-15 | 1989-10-13 | Amorphous aluminum alloys |
| DE89119082T DE68908331T2 (de) | 1988-10-15 | 1989-10-13 | Amorphe Aluminiumlegierungen. |
| KR1019890014814A KR930003109B1 (ko) | 1988-10-15 | 1989-10-14 | 비정질 알루미늄-밸브 금속 합금 |
| BR8905315-0A BR8905315A (pt) | 1988-10-15 | 1989-10-16 | Ligas de aluminio amorfo |
| US07/592,368 US5123980A (en) | 1988-10-15 | 1990-10-03 | Sputter deposited amorphous titanium aluminum alloys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63260020A JPH068492B2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 高耐食アモルファスアルミニウム合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02107750A JPH02107750A (ja) | 1990-04-19 |
| JPH068492B2 true JPH068492B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=17342194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63260020A Expired - Lifetime JPH068492B2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 高耐食アモルファスアルミニウム合金 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068492B2 (ja) |
| CA (1) | CA2000170C (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2529909B1 (fr) * | 1982-07-06 | 1986-12-12 | Centre Nat Rech Scient | Alliages amorphes ou microcristallins a base d'aluminium |
-
1988
- 1988-10-15 JP JP63260020A patent/JPH068492B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-10-05 CA CA 2000170 patent/CA2000170C/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2000170A1 (en) | 1990-04-15 |
| CA2000170C (en) | 1999-09-28 |
| JPH02107750A (ja) | 1990-04-19 |
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