JPH0686343U - ウエハキャリアハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案はウエハキャリアハンドラーに関す
る。 【構成】 挟持片１の一端に爪部２を設け、他端にはほ
ぼ垂直方向に把手３を設け、且つ把手３の胴部４に挟持
片１を設けた反対側面に把手３の長手方向に凹部５を設
けてなる把手挟持部Ａと、挟持片６の一端に爪部７を設
け、他端には爪部７側にやゝ傾斜させて胴部８を立設
し、該胴部８の端部に該胴部８よりさらに傾斜角度を大
きくした押え片９を延設し、前記胴部８の挟持片６を設
けて反対側面の長手方向に凹部１０を設けてなる押え片
挟持部Ｂとからなり、前記把手挟持部Ａの凹部５と押え
片挟持部Ｂの凹部１０とを芯部１１を介して接合させ且
つ胴部４と胴部７とをスプリング１２で挟着したウエハ
キャリアハンドラー。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はウエハキャリアのハンドラーに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来ウエハキャリアのハンドラーとしては種々のものが開発されているが構造 が複雑であったりハンドラーの材質に問題があり、発塵性があったり、高価であ ると云う欠点があった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案者は、これら従来の欠点を解消すべく種々検討を重ねた結果極めて簡単 な構造で且つ使用に際しても発塵の発生がないハンドラーの開発に成功し本考案 を完成するに至った。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案は挟持片１の一端に爪部２を設け、他端にはほぼ垂直方向に 把手３を設け、且つ把手３の胴部４に挟持片１を設けた反対側面に把手３の長手 方向に凹部５を設けてなる把手挟持部Ａと、挟持片６の一端に爪部７を設け、他 端には爪部７側にやゝ傾斜させて胴部８を立設し、該胴部８の端部に該胴部８よ りさらに傾斜角度を大きくした押え片９を延設し、前記胴部８の挟持片６を設け た反対側面の長手方向に凹部１０を設けてなる押え片挟持部Ｂとからなり、前記 把手挟持部Ａの凹部５と、押え片挟持部Ｂの凹部１０とを芯部１１を介して接合 させ且つ胴部４と胴部７とをスプリング１２で挟着することを特徴とするウエハ キャリアハンドラーに関する。

【０００５】 次に本考案を図面を参照しながら説明する。 図１は本考案に係るウエハキャリアハンドラーの把手挟持部Ａを示す傾斜図で ある。把手挟持部Ａは挟持片１の一端にウエハキャリアーの縁部を挟持するため にｕ字形を横にした溝状の爪部２を有し、他端にはほぼ垂直方向に把手３を設け 、且つ把手３の胴部４に挟持片１を設けた反対側面に把手３の長手方向に凹部５ を設けて構成されている。

【０００６】 前記把手３は手を差し込んで握りやすいようにするために、中央部が中空にな っている。そして把手３の下部にあたる胴部４の挟持片１が設けられている反対 側面に半円状をした凹部５が把手３の長手方向に対し設けられている。そして図 ２は把手挟持部Ａの側面図を示したものである。

【０００７】 図３は本考案に係るウエハキャリアハンドラーの押え片挟持部Ｂを示す傾視図 であり、図４はその側面図である。押え片挟持部Ｂは挟持片６の一端にウエハキ ャリアーの縁部を挟持するためにｕ字形を横にした溝状の爪部７を設け他端には 爪部７側にやゝ傾斜させて胴部８を立設する。この胴部８の傾斜角度はウエハキ ャリアハンドラーを構成してときの挟持片６の開口角度に関係する。すなわち胴 部８の傾斜角度を大きくすれば挟持片６の開口角度が大きくなる。

【０００８】 また押え片挟持部Ｂは胴部８の端部に該胴部８よりさらに傾斜角度を大きくし た押え片９を延設する。この押え片９は胴部８のどちらの端部に設けても良いが 図３に示したものは右ききの人が使用するに適している。

【０００９】 また前記胴部８には挟持片６を設けた反対側面の長手方向に半円状をした凹部 １０を設ける。この凹部１０は前記把手挟持部Ａと押え片挟持部Ｂとを接合させ るときに凹部５と凹部１０により構成される溝に円柱状の芯部１１を介すること によって押え片挟持部Ｂの動きをスムーズにすることができる。 また把手挟持部Ａと押え片挟持部Ｂに設けられた各爪部にはその端部の少なく とも一方にストッパー（図示せず）を設けてウエハキャリアを挟持したときに抜 け落ちないようにすることが好ましい。

【００１０】 そして把手挟持部Ａと押え片挟持部Ｂとは芯部１１を介して接合された状態で 前記把手挟持部Ａと押え片挟持部Ｂの両端部をスプリング１２で挟着することに より一体に構成され図５に示すウエハキャリアハンドラーが完成する。

【００１１】

【考案の効果】

本考案のウエハキャリアハンドラーは極めて簡単な構造なため故障するような こともなく長期間の使用にも充分耐えることができる。

【００１２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の把手挟持部Ａの斜視図。

【図２】図１に示した把手挟持部Ａの側面図。

【図３】押え片挟持部Ｂの斜視図。

【図４】図３に示した押え片挟持部Ｂの側面図。

【図５】本考案に係るウエハキャリアハンドラーの側面
図。

【符号の説明】

１ 挟持片 ２ 爪部 ３ 把手 ４ 胴部 ５ 凹部 ６ 挟持片 ７ 爪部 ８ 胴部 ９ 押え片 １０ 凹部 １１ 芯部 １２ スプリング

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 挟持片１の一端に爪部２を設け、他端に
   はほぼ垂直方向に把手３を設け、且つ把手３の胴部４に
   挟持片１を設けた反対側面に把手３の長手方向に凹部５
   を設けてなる把手挟持部Ａと、挟持片６の一端に爪部７
   を設け、他端には爪部７側にやゝ傾斜させて胴部８を立
   設し、該胴部８の端部に該胴部８よりさらに傾斜角度を
   大きくした押え片９を延設し、前記胴部８の挟持片６を
   設けた反対側面の長手方向に凹部１０を設けてなる押え
   片挟持部Ｂとからなり、前記把手挟持部Ａの凹部５と押
   え片挟持部Ｂの凹部１０とを芯部１１を介して接合させ
   且つ胴部４と胴部７とをスプリング１２で挟着すること
   を特徴とするウエハキャリアハンドラー。