JPH069018B2 - 半導体構造 - Google Patents

半導体構造

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JPH069018B2
JPH069018B2 JP58174037A JP17403783A JPH069018B2 JP H069018 B2 JPH069018 B2 JP H069018B2 JP 58174037 A JP58174037 A JP 58174037A JP 17403783 A JP17403783 A JP 17403783A JP H069018 B2 JPH069018 B2 JP H069018B2
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pnp
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npn
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02HEMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
    • H02H9/00Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection
    • H02H9/04Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage
    • H02H9/041Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage using a short-circuiting device
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D8/00Diodes
    • H10D8/80PNPN diodes, e.g. Shockley diodes or break-over diodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D89/00Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
    • H10D89/60Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD]
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02HEMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 この発明は広くは半導体構造に、詳しくは集積回路装置
の保護回路の構造に関するものである。
集積回路(IC)は、しばしば、その中に含まれている1個
又はそれ以上の個々の装置が過渡電圧によって過負荷状
態とされ、その結果、装置が溶融したり、短絡したりあ
るいは破壊されて、損傷することがあるということは周
知である。過去において、ICを保護して過渡電圧による
破壊を防止するために種々の装置や回路が用いられてい
た。これらの保護装置は、内部過渡現象保護の目的で半
導体チップ上に含められたダイオ−ド又はトランジスタ
回路の形をとっていた。このような装置は、それを含ん
でいるICに対してある程度の保護を与えることはできる
が、チップの大きな面積を占めるもので、このような面
積は他の回路のために用いることができ、そうすること
によって、パッキング密度を高めることが可能である。
過渡現象の一例は、例えばビデオ及び音声処理で使用さ
れる低電圧ICを備えたテレビジョン受像機で生じるよう
な高電圧スパイクである。典型的なものでは、映像管の
陽極は約25,000Vにバイアスされており、この高圧の陽
極が急速に放電すると、電源に高い過渡電圧が生じる。
さらに、映像管の陽極と1つ又はそれ以上の低電圧電極
との間で予測不能なアークが生じることもある。いずれ
の場合にも、100Vを超えるような正方向又は負方向に
向うピークを伴う高過渡電圧が、共通の電源を介して、
あるいは、プリント配線板の接続導体における静電ピッ
クアップによって、ICの端子に印加される。
テレビジョン受像機における高過渡電圧の他の原因は静
電気放電である。蓄積された静電荷は通常受像機の制御
つまみなどを通して使用者によって放電され、受像機中
のICを損傷させる可能性のある高過渡電圧を発生させ
る。
多くの高過渡電圧保護装置があるが、問題となるのは、
かさばった保護装置を形成するには貴重なチップ空間を
用いねばならないということである。多数のピンを持っ
た装置では保護装置がかなりのスペースをとってしま
い、チップが不必要に大きくなって好ましくない。
発明の概要 この発明は共通のN−ウェル中に形成された相補導電型
トランジスタの第1の対と第2の対で構成されたIC保護
回路に実施される。1つの実施例では、抵抗性素子が半
導体構造と一体とされて感知素子を構成している。ここ
で説明するすべての実施例において、相補導電型トラン
ジスタの各対(及び共通の感知抵抗)は共通の分離領域
中に配置され、各対のトランジスタは、過渡電圧(正で
あれ負であれ)が予め定められている値を超過する時に
高電流を流通させることのできる2端子装置を構成する
ように接続されている。
実施例の詳細な説明 第1図には回路10により負の過渡電圧から、また回路12
により正の過渡電圧からある回路を保護する構成が示さ
れている。これらの負と正の過渡電圧保護回路10と12は
両方共、共通の分離領域すなわち分離ボート中に形成さ
れている。
回路10は端子14と保護されるべき回路(図示せず)との
間で信号伝送を行うための導体にエミッタが接続された
NPNトランジスタQを備えている。トランジスタQ
のコレクタはPNPトランジスタQのベースに接続され
ており、一方、トランジスタQのベースはトランジス
タQのコレクタに接続されている。トランジスタQ
のエミッタは基板又はアースのような基準電位源16に接
続されている。このように、負の過渡電圧からの保護
は、相互接続され、2端子シリコン制御整流器(SCR)
として働く一対のトランジスタによって与えられる。
正の過渡電圧保護回路12は、端子14と被保護回路間で信
号伝送を行うための上述した導体にエミッタが接続され
ているPNPトランジスタQを備えている。トランジス
タQのコレクタはNPNトランジスタQのベースに、
また、ベースはトランジスタQのコレクタとトランジ
スタQのベースとに接続されている。トランジスタQ
のベースは低抵抗値の抵抗18を介して基板16に接続さ
れており、そのエミッタも基板16に接続されている。
端子14に負の過渡パルスが発生した時の回路10の動作
は、回路10が2端子装置として構成されていることを除
けば、SCRの動作と類似している。従来のSCRは陽極−陰
極間の電圧により、あるいは、その陽極−陰極間電圧の
変動に基づいてトリガされることがないように設計され
た3端子装置であるという点において異なる。この発明
の過渡電圧保護回路は端子14と16の間に現われる高過渡
電圧か、あるいは、これらの両端子間の電圧の高変化率
(dv/dt)の変化によってトリガされる。実際には、端
子16は基板あるいはアースのような基準電位源であり、
端子14は保護されるべき回路に接続されている。従っ
て、端子14がアースに対して高速度で負方向に変化する
と、保護回路10がターンオンされ(端子14と16が電気的
に接続され)過剰電流をアースに流す。この発明の回路
とは異なり、従来のSCRでは、トランジスタQのベー
ス・エミッタ間及び/又はトランジスタQのベース・
エミッタ間に接続された低抵抗を持っており、それが上
記のようなターンオンを阻止する。端子14における電圧
変化の速度が低い場合は、ピコアンペア代の非常に小さ
な電流がトランジスタQを流れるが、全体のループ利
得が1以下に選ばれているために、回路はラッチされな
い。しかし、端子14に現われる負方向電圧が充分負にな
ると、トランジスタQが深い導通状態となり、それに
よって充分なループ利得が与えられて、全体のループ利
得が1以上になる。保護回路全体が再び導通状態となっ
て過剰電流をアースへ流す。
正過渡電圧保護回路12は、トランジスタQとQの相
互接続が、従来の3端子SCR装置を2端子間の電圧が所
定の正の閾値を超えた時に導通状態にされる2端子装置
に変換するよなものとされている点において、従来のSC
Rと異なる。その動作においては、トランジスタQ
は初め非導通状態にある。抵抗18は電気的雑音及び
熱的雑音が誤ってトランジスタQとQを導通状態に
することがないようにする。基本的には、保護回路12の
動作は、正方向の過渡電圧の振れの期間中の抵抗18の両
端間に電圧降下を生じさせるトランジスタQのコレク
タ・ベース降状によってトリガされる。抵抗18の電圧降
下が1VBE(約0.7V)を超えると、トランジスタQ
導通する。これによって、トランジスタQを導通状態
に駆動して両方のトランジスタQとQを飽和させて
端子14を実効的にアースにクランプする正帰還効果を生
じさせるに充分なベース電流が与えられる。
第2図は別の負方向過渡電圧保護回路10と正方向過渡電
圧保護回路12を示す。第1図と同じ素子には同じ参照符
号を付けてある。第2図の負方向過渡電圧保護回路10は
第1図の回路10と同様の回路接続であり、正方向過渡電
圧保護回路12においては、トランジスタQとQは第
1図と同じように接続されている。しかし、この実施例
においては、端子14と被保護回路の間に感知抵抗20が直
列に接続されており、負方向過渡電圧保護回路10のトラ
ンジスタQのエミッタと正方向過渡電圧保護回路12の
トランジスタQのエミッタとが抵抗20の端子14への接
続端に接続されている。一方、トランジスタQとQ
のベースはトランジスタQとQのコレクタと共に抵
抗20の被保護回路側端部に接続されている。さらに、ダ
イオ−ド22が被保護回路と本構造に特有の基準電位点16
との間に接続されている。
動作を説明すると、端子14に現われる負方向の過渡高電
圧によって、抵抗20とダイオ−ド22を通してダイオ−ド
22を順バイアスする方向に電流が流れる。このバイアス
電位はトランジスタQとQのベースの共通接続点を
介してトランジスタQのエミッタ・ベース接合に結合
される。従って、ダイオ−ド22とトランジスタQの組
合わせは実効的に電流ミラーを形成することになる。ト
ランジスタQのベース電流はトランジスタQにコレ
クタ電流を流れさせ、そのコレクタ電流はトランジスタ
のベースに流れ込む。これにより、トランジスタQ
にコレクタ電流が流れ、トランジスタQのベース電
流を増大させる。これらのことの結果、トランジスタQ
とQを飽和させて、これらのトランジスタQとQ
のSCR機能によって端子14をアース電位に実効的にク
ランプする正帰還回路が出来ることになる。過渡電圧が
消えるかあるいは所定値より小さくなるかすると、端子
14の電位はその通常動作電位に帰えり、ダイオ−ド22と
負方向過渡電圧保護回路10とを流れていた電流が停止し
て、回路10は開放状態に復帰する。
正向きの過渡電圧が生じると、抵抗20を通って電流が被
保護回路の方向かアースの方向かに流れる。どちらの方
向に流れるかはトランジスタQのコレクタ・ベース間
降状電圧によって決まる。抵抗20を流れる電流によって
その端子間に1VBE(約0.7V)の電圧が発生すると、そ
の電圧が実効的にトランジスタQのベース・エミッタ
間に加えられるために、トランジスタQはターンオン
される。トランジスタQのコレクタ電流は抵抗18を流
れてその両端間に電圧を生じさせる。この電圧が1VBE
(約0.7V)を超えるとトランジスタQが導通する。ト
ランジスタQのコレクタ電流はトランジスタQの初
めのベース電流を増大させて正帰還効果を生じさせる。
それによって、トランジスタQとQが飽和状態に駆
動されて端子14がトランジスタQとQのSCR動作に
よってアース電位に実効的にクランプされる。正方向の
電圧過渡が終わるかあるいは所定レベル以下になると、
トランジスタQに対する1VBEを維持するに充分な電
流が抵抗20に流れないために、回路12は被導通となる。
注意すべきは、回路12は端子14から保護されるべき回路
へ電流が流れる時にはクランプ動作を行うが、電流が保
護される回路から端子14に向けて流れる時は抵抗20の両
端間に現われる電圧の極性がトランジスタQのエミッ
タ・ベース接合を逆バイアスしてトランジスタQを非
導通とするような極性となるために、クランプ動作は生
じないことである。
このことは従来のSCR保護回路に比して大きな利点とな
る。なぜなら、この発明によって保護されるNPNエミッ
タホロワ出力回路は、この発明の保護回路にラッチアッ
プを生じさせる過渡現象がある間は、アースにクランプ
され、それによって過大電流が被保護エミッタホロワを
流れてそれに損傷を与えることが防止できるからであ
る。
第3図は第2図の実施例の平面図で、負方向過渡電圧保
護回路10(第1図と第2図)と正方向過渡電圧保護回路
12(第1図と第2図)とが、ボンドパッドすなわち信号
端子14と共に共通のN−分離領域26中に形成されてい
る。第3図において、破線44は、入力ボンドパッド14の
表面を形成する金属層とトランジスタQとQのエミ
ッタをパッド14及び抵抗20の一端に接続している接続体
との輪郭を示す。実線26は共通N−の分離された領域26
の輪郭であり、線24はN+埋込ポケットすなわちN+埋
込領域24の境界を示す。28はN−領域26を囲むP+分離
領域で、点線は種々のP領域30、34、36、20等を表わし
ている。点線内の実線はP拡散領域中に形成されたN+
拡散領域を示し、例えば、N+領域32はP領域30内に形
成されており、N+領域38はP領域36の一部分中に形成
されている。図中「×」印を施した部分40、47、48、56
及び58は絶縁層42中に設けられら接触用開口を示す。
第3図、第3A図〜第3D図に、負及び正の過渡電圧保
護機能を行うこの発明の種々の構成素子を単一の分離さ
れたボート即ち分離領域上及びその中に形成する方法を
示す。例えば、第1図と第2図に示すPNPトランジスタ
とNPNトランジスタQで構成された負の過渡電圧
保護回路10は第3図、第3A図及び第3C図に示されて
おり、N+領域32はトランジスタQのエミッタ、P領
域30はベース、N−領域26はコレクタである。一方、ト
ランジスタQは第3図と第3C図に示されたP領域36
をエミッタとし、N−領域26をベースに、また、P領域
30をコレクタとしている。N−領域26はトランジスタQ
のベースとトランジスタQのコレクタとして共通に
使用されているので、これらのベースとコレクタは電気
的に接続されたものと考えられる。同様に、P領域30は
トランジスタQのコレクタとトランジスタQのベー
スとして共通であるから、これらのコレクタとベースも
互いに接続されている。トランジスタQのエミッタ
(N+領域32)は絶縁層42中の接触開口48を介してボン
ドパッド14に接続されており、また、トランジスタQ
のエミッタ(P領域36)は金属化層46を介してアースさ
れているから、負方向過渡電圧保護回路10(第1図と第
2図示)を形成するための回路条件はすべて満足され
る。
第3図、第3A図及び第3D図には、正の過渡電圧保護
回路12(第1図、第2図)を構成している。PNPトラン
ジスタQ及びNPNトランジスタQの相互接続関係が
示されている。第3A図と第3D図において、P領域34
はエミッタ、N−領域26はベース、P領域36はコレクタ
で、これらはPNPトランジスタQの構成要素である。
同じく、NPNトランジスタQが第3A図と第3D図に
示されており、N+領域38がエミッタ、P領域36がベー
ス、N−領域26がそのコレクタである。従って、N−領
域26がトランジスタQのベースとトランジスタQ
コレクタとして共通に使用されているので、これらのベ
ースとコレクタは電気的に接続されていることになる。
同様に、P領域36はトランジスタQのコレクタとトラ
ンジスタQのベースに共通に使用されているから、こ
れらも互いに接続されていることになる。正過渡電圧保
護回路12の接続は、トランジスタQのエミッタを接触
開口40を介してボンドパッド14に接続し、トランジスタ
のエミッタを接触開口47を介して接地金属化層46に
接続して完成する。
N+ポケット領域24はトランジスタQとQのベース
とトランジスタQとQのコレクタを共通に接続する
ための低抵抗接続体を形成しており、N−epi層26と電
気接触している。以上の接続によって第1図の装置が完
成する。
第2図の実施例について言えば、ボンドパッド14と出力
接続金属化層54の間に更に別のP拡散層20が設けられ
る。第3図、第3B図及び第3D図に示すように、第2
図の実施例の場合は、トランジスタQのエミッタとト
ランジスタQのエミッタとが接触開口58を介してP領
域20の一方の側に接続されているボンドパッド14に接続
されている。このP拡散領域20は第2図に示した感知抵
抗20である。N+ポケット領域24、即ち、トランジスタ
のベース、トランジスタQのコレクタ、トランジ
スタQのベース及びトランジスタQのコレクタのそ
れぞれを共通接続する接続体がP拡散領域20(感知抵抗
20の他方の側)にN+拡散領域52と金属化部分54とを介
して接続されている。保護されるべき回路への接続は開
口56を通して金属化部分54によって行われる。
この発明の新規な構造の説明を閉じるにあたって、ダイ
オ−ド22について述べると、このダイオ−ド22はN拡散
領域52とP+分離領域28(第3B図)との間に形成さ
れ、抵抗18はP領域36中の接地金属層46と、N+領域38
とN−epi領域26との間のP領域36の部分との間に形成
されている。
上述のように、この発明の一実施例によれば、負及び正
の過渡電圧保護回路の双方をボンドパッドと共に単一の
分離領域中に形成してチップにスペースを残すことがで
きる。また、もう一つの実施例では感知抵抗もあわせて
形成される。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施である2極性過渡電圧保護回
路の概略図、第2図はこの発明の別の実施例による2極
性過渡電圧保護回路の概略図、第3図は第2図の2極性
過渡電圧保護回路の構造を示す平面図、第3A図は第3
図の線A−Aに沿う断面図、第3B図は第3図の線A−
Aに沿う断面図、第3C図は第3図の線C−Cに沿う断
面図、第3D図は第3図の線D−Dに沿う断面図であ
る。 14…端子、10…負方向過渡電圧保護回路(第1の回路手
段)、12…正方向過渡電圧保護回路(第2の回路手
段)、26…第1の半導体領域、Q、Q…第1の対の
トランジスタ、Q、Q…第2の対のトランジスタ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】集積回路を負方向および正方向の過渡電圧
    から保護するための半導体構造であって、 第1の導電型の半導体材料の基板と、 前記基板の表面部分に設けられた第2の導電型の半導体
    領域と、 前記半導体領域の中に形成された、負の電圧過渡に対す
    る保護を行うための第1の対の互いに逆の導電型のトラ
    ンジスタと、 前記半導体領域の中に形成された、正の電圧過渡に対す
    る保護を行うための第2の対の互いに逆の導電型のトラ
    ンジスタと、 前記基板の表面上に形成された端子と、 前記端子を前記集積回路に接続する導電性手段と、 基準電位源と、を有し、 前記の第1および第2のトランジスタ対が前記導電性手
    段と前記基準電位源との間に接続されている半導体構
    造。
  2. 【請求項2】前記第1のトランジスタ対が第1のNPN
    トランジスタと第1のPNPトランジスタとよりなり、
    該第1のNPNトランジスタのベースが該第1のPNP
    トランジスタのコレクタに接続され、該第1のPNPト
    ランジスタのベースが該第1のNPNトランジスタのコ
    レクタに接続され、該第1のNPNトランジスタのエミ
    ッタが前記導電性手段に接続され、該第1のPNPトラ
    ンジスタのエミッタが前記基準電位源に接続されている
    特許請求の範囲第1項記載の半導体構造。
  3. 【請求項3】前記第2のトランジスタ対が第2のNPN
    トランジスタと第2のPNPトランジスタとよりなり、
    該第2のNPNトランジスタのベースが該第2のPNP
    トランジスタのコレクタと前記基準電位源とに接続さ
    れ、該第2のNPNトランジスタのコレクタが該第2の
    PNPトランジスタのベースと前記第1のPNPトラン
    ジスタのベースとに接続され、該第2のPNPトランジ
    スタのエミッタが前記導電性手段に接続され、該第2の
    NPNトランジスタのエミッタが前記基準電位源に接続
    されている特許請求の範囲第2項記載の半導体構造。
  4. 【請求項4】前記端子と前記集積回路との間に前記導電
    性手段と直列に感知抵抗が接続されており、前記第1の
    NPNトランジスタのエミッタおよび前記第2のPNP
    トランジスタのエミッタが、前記端子に接続された該感
    知抵抗の一方の端に接続されており、前記第1および第
    2のPNPトランジスタのそれぞれのベースならびに前
    記第1および第2のNPNトランジスタのそれぞれのコ
    レクタが該感知抵抗の他方の端に接続されている特許請
    求の範囲第3項記載の半導体構造。
JP58174037A 1982-09-22 1983-09-20 半導体構造 Expired - Lifetime JPH069018B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US421517 1982-09-22
US06/421,517 US4484244A (en) 1982-09-22 1982-09-22 Protection circuit for integrated circuit devices

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5990120A JPS5990120A (ja) 1984-05-24
JPH069018B2 true JPH069018B2 (ja) 1994-02-02

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JP (1) JPH069018B2 (ja)
CA (1) CA1195432A (ja)
DE (1) DE3333896C2 (ja)
FR (1) FR2533369B1 (ja)
GB (1) GB2128829B (ja)
IT (1) IT1171088B (ja)

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