JPH0694695B2 - 搬送用グレ−チング - Google Patents
搬送用グレ−チングInfo
- Publication number
- JPH0694695B2 JPH0694695B2 JP60194344A JP19434485A JPH0694695B2 JP H0694695 B2 JPH0694695 B2 JP H0694695B2 JP 60194344 A JP60194344 A JP 60194344A JP 19434485 A JP19434485 A JP 19434485A JP H0694695 B2 JPH0694695 B2 JP H0694695B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- clean room
- flat plate
- transport
- grating structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Panels For Use In Building Construction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、クリーンルーム内のグレーチング構造の床
面上の搬送車が無振動で搬送できるようにした搬送用グ
レーチングに関するものである。
面上の搬送車が無振動で搬送できるようにした搬送用グ
レーチングに関するものである。
半導体製造工場等のクリーンルームでは、第３図の側断
面図に示すように、床面１がグレーチング構造となつて
いるのが一般的である。このようなクリーンルーム内で
は物を運搬するのに手動または自動の搬送車を使用し、
前記グレーチング構造の床面１上を搬送している。
面図に示すように、床面１がグレーチング構造となつて
いるのが一般的である。このようなクリーンルーム内で
は物を運搬するのに手動または自動の搬送車を使用し、
前記グレーチング構造の床面１上を搬送している。
上記のようなクリーンルーム内において、グレーチング
構造の床面１上を通過する搬送車は、第３図に車輪２の
中心軌跡を矢印で示すように振動が多く、また自動搬送
においては、搬送車の誘導マークを付けにくいため搬送
する部分全面、つまり搬送車の幅でその通路上を平板に
するのが一般的であつた。しかしながらこの場合、通路
部の平板の部分でクリーンルームの気流を乱して、クリ
ーンルームの清浄度に悪影響を及ぼすという欠点があつ
た。
構造の床面１上を通過する搬送車は、第３図に車輪２の
中心軌跡を矢印で示すように振動が多く、また自動搬送
においては、搬送車の誘導マークを付けにくいため搬送
する部分全面、つまり搬送車の幅でその通路上を平板に
するのが一般的であつた。しかしながらこの場合、通路
部の平板の部分でクリーンルームの気流を乱して、クリ
ーンルームの清浄度に悪影響を及ぼすという欠点があつ
た。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたので、手動または自動搬送時の搬送車の振動をなく
し、かつ自動搬送時の搬送車の誘導マークを施工し易く
し、さらにクリーンルームの清浄度に悪影響を与えない
搬送用グレーチングを得ることを目的とする。
れたので、手動または自動搬送時の搬送車の振動をなく
し、かつ自動搬送時の搬送車の誘導マークを施工し易く
し、さらにクリーンルームの清浄度に悪影響を与えない
搬送用グレーチングを得ることを目的とする。
この発明に係る搬送用グレーチングは、搬送車の車輪が
通過する部分にのみ所定幅の平板を配設し、その他の部
分は従来通りのグレーチング構造にしたものである。
通過する部分にのみ所定幅の平板を配設し、その他の部
分は従来通りのグレーチング構造にしたものである。
この発明においては、搬送車が平板上を通過するため振
動を生じることがなく、またその他の部分はグレーチン
グ構造になつているため、クリーンルーム内の気流を乱
すこともなく、クリーンルームに悪影響を与えることも
ない。
動を生じることがなく、またその他の部分はグレーチン
グ構造になつているため、クリーンルーム内の気流を乱
すこともなく、クリーンルームに悪影響を与えることも
ない。
第１図はこの発明によるクリーンルーム内のグレーチン
グ構造の床面を示す平面図であり、第２図は第１図のＡ
−Ａ線による断面図である。第１図，第２図において、
第３図と同一符号は同一部分を示し、３は前記グレーチ
ング構造の床面１上の搬送車の車輪２が通過する部分に
のみ配設された所要幅の振動防止用の平板である。
グ構造の床面を示す平面図であり、第２図は第１図のＡ
−Ａ線による断面図である。第１図，第２図において、
第３図と同一符号は同一部分を示し、３は前記グレーチ
ング構造の床面１上の搬送車の車輪２が通過する部分に
のみ配設された所要幅の振動防止用の平板である。
手動あるいは自動ほ搬送車は、グレーチング構造の床面
１上に設けた平板３上を通過するため、車輪２の上下に
よる振動は、第２図にその中心軌跡を矢印で示すように
生じない。また第１図に示すように、平板３の部分以外
はグレーチング構造になつているので、クリーンルーム
内の気流を乱すことがない。
１上に設けた平板３上を通過するため、車輪２の上下に
よる振動は、第２図にその中心軌跡を矢印で示すように
生じない。また第１図に示すように、平板３の部分以外
はグレーチング構造になつているので、クリーンルーム
内の気流を乱すことがない。
なお、上記実施例では、１枚ずつそれぞれのグレーチン
グ上に個々に平板３を設けた場合を示したものである
が、何枚かのグレーチングをまとめてこれに平板３を設
けてもよい。またグレーチングに対する平板３の配設方
向およびその幅は任意であることはいうまでもない。
グ上に個々に平板３を設けた場合を示したものである
が、何枚かのグレーチングをまとめてこれに平板３を設
けてもよい。またグレーチングに対する平板３の配設方
向およびその幅は任意であることはいうまでもない。
この発明は以上説明したとおり、クリーンルーム内のク
レーチング構造の床面の搬送車が通過する部分にのみに
所要幅の平板を配設したもので、搬送時の搬送車の振動
がなく、振動による発塵，騒音，あるいは自動搬送車に
おける故障トラブル等の防止に効果がある。また平板は
グレーチング部の一部分に配設されるので、クリーンル
ーム内の気流を乱すことなく、クリーンルームに悪影響
を与えることもない効果が得られる。
レーチング構造の床面の搬送車が通過する部分にのみに
所要幅の平板を配設したもので、搬送時の搬送車の振動
がなく、振動による発塵，騒音，あるいは自動搬送車に
おける故障トラブル等の防止に効果がある。また平板は
グレーチング部の一部分に配設されるので、クリーンル
ーム内の気流を乱すことなく、クリーンルームに悪影響
を与えることもない効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例を示す平面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ線による断面図とグレーチング構造の床面
を通過する搬送車の車輪の中心軌跡を示す断面図、第３
図は従来のグレーチング構造の床面とその上を通過する
搬送車の車輪の中心軌跡を示す断面図である。 図において、１はグレーチング構造の床面、２は搬送車
の車輪、３は搬送車の振動防止用の平板である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
１図のＡ−Ａ線による断面図とグレーチング構造の床面
を通過する搬送車の車輪の中心軌跡を示す断面図、第３
図は従来のグレーチング構造の床面とその上を通過する
搬送車の車輪の中心軌跡を示す断面図である。 図において、１はグレーチング構造の床面、２は搬送車
の車輪、３は搬送車の振動防止用の平板である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】クリーンルーム内のグレーチング構造の床
面上の搬送車が通過する経路において、前記搬送車の車
輪が通過する部分にのみ所定幅の平板が前記床面上に設
けられていることを特徴とする搬送用グレーチング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194344A JPH0694695B2 (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 搬送用グレ−チング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60194344A JPH0694695B2 (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 搬送用グレ−チング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255361A JPS6255361A (ja) | 1987-03-11 |
| JPH0694695B2 true JPH0694695B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=16323019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60194344A Expired - Lifetime JPH0694695B2 (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 搬送用グレ−チング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694695B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS636338Y2 (ja) * | 1981-05-14 | 1988-02-23 | ||
| JPS60104484U (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-16 | 株式会社 ダイクレ | 合成床板 |
-
1985
- 1985-09-02 JP JP60194344A patent/JPH0694695B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6255361A (ja) | 1987-03-11 |
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