JPH0711465Y2 - クリーンルーム内のワーク置板の塵埃舞上り防止構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、クリーンルーム内において使用されるワーク
置板の周囲からの塵埃の舞上りを防止するための塵埃舞
上り防止構造に関する。

従来技術及びその課題 従来、例えば、半導体製造工場のクリーンルーム内にお
けるワーク（例えば、半導体ウエハー）置板10は、第４
図に示すように、制御機器11を内部に具えたたワーク搬
送車12の天板と兼用した平板が使用されている。又、ク
リーンルーム内は、天井から床に向けて常時吹き出され
る清浄なクリーンエアーＡによって、クリーンルーム内
を浮遊する塵埃の除去が行われる。

ところが、このようなワーク置板10によると、上方から
のクリーンエアーＡがワーク置板10に当たって跳ね返る
とき、クリーンエアーＡとともに流れてきた塵埃もワー
ク置板10上で跳ね返り、ワーク置板10上に置いてあるワ
ークＷにその塵埃が付着するという問題点を有してい
る。

課題を解決するための手段 本考案は、クリーンルーム内の発熱体の上方に設けられ
且つ上面にワークが置かれるワーク置板と、前記ワーク
置板と前記発熱体との間に設けられた遮断板とを有し、
前記ワーク置板に複数の孔が形成されている構成の塵埃
舞上り防止構造により、前記の課題を解決したものであ
る。

作用 本考案によると、ワーク置板の上方から流れてくるクリ
ーンエアーと、クリーンエアーに含まれている塵埃は、
ワーク置板の孔を通り抜け下方に流れる。又、遮断板に
は孔が明いていないので、発熱体の熱によって下方から
舞上って来る塵埃を遮断することができる。

従って、上方から流れてくる塵埃の跳ね返り量が少なく
なるとともに、塵埃の下方からの舞上りも防止すること
ができる。

実施例 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

ワーク（例えば、半導体ウエハー）Ｗを置くワーク置板
20は、半導体製造工場のクリーンルーム内を走行するワ
ーク搬送車31の上部に設置されている。

ワーク置板20は、側板21によって遮断板22上に支持さ
れ、複数の孔23が形成されている。ワーク置板20と遮断
板22の間には隙間がある。側板21にも複数の孔24が形成
されている。遮断板22はワーク搬送車31の天板と兼用さ
れている。なお、この実施例のワーク置板20は縦横に孔
が整列して明けられている、いわゆるパンチングメタル
製である。

ワーク搬送車31は、モータ32によって回転するピニオン
33がレールＲの下面に設けられたラック34に噛合して、
レールＲ上を走行してワークＷを搬送するものである。
そして、内部には制御機器35と、ワーク搬送車31内部で
発生する熱を外部に放出するファン36とが設けられてい
る。さらに、ワーク搬送車31のハウジング37は密閉され
ている。

ワーク置板20の上方から流れてくるクリーンエアーＡ
と、クリーンエアーＡに含まれている塵埃は、ワーク置
板20の孔23を通り抜けて、ワーク置板20の下側に流れ込
み、その後、側板21の孔24から外部に流れ出て下方に流
れていく。

又、孔の明いていない遮断板22は、制御機器（発熱体）
35等の熱によってワーク搬送車31内から上昇して来る塵
埃を遮断する。

従って、クリーンエアーＡの流れを阻害することなく、
上方から流れてくる塵埃の跳ね返り量を少なくすること
でき、ワークＷに付着する塵埃が少なくなる。又、下方
から舞上ってくる塵埃は遮断板22によって遮断される。

なお、ワーク置板20は、クリーンエアーＡが通り抜ける
ようになっていればよく、格子状の板、或いは、網（何
れも図示省略）であってもよい。又、側板21は、ワーク
置板20を支持して遮断板22との間に隙間を設けるための
ものであるから、支柱（図示省略）であってもよい。

さらに、以上の塵埃舞上り防止構造は、ワーク搬送車上
のワーク置板に適用した場合について説明したが、下方
に制御機器を具えた固定式作業台（図示省略）上のワー
ク置板に対しても適用することができることはいうまで
もない。

考案の効果 本考案の塵埃舞上り防止構造によると、クリーンエアー
とともにワーク置板の上方から流れてくる塵埃は、ワー
ク置板の孔を通過して下方に流れるので、ワーク置板上
で跳ね返ってワークに付着する塵埃を少なくすることが
できる。

又、遮断板は、発熱体の熱によって下方から舞上がって
来る塵埃を遮断するので、下方からの塵埃の付着を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の塵埃舞上り防止構造を具えたワーク置
板を有する搬送車の正面図、第２図は一部分破断した第
１図の右側面図、第３図は第１図の平面図である。第４
図は塵埃舞上り防止構造を具えていない従来のワーク置
板を有する搬送車の側面図である。 20…ワーク置板、22…遮断板、23…孔、35…制御機器
（発熱体）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルーム内の発熱体の上方に設けら
   れ且つ上面にワークが置かれるワーク置板と、前記ワー
   ク置板と前記発熱体との間に設けられた遮断板とを有
   し、前記ワーク置板に複数の孔が形成されていることを
   特徴とする、クリーンルーム内のワーク置板の塵埃舞上
   り防止構造。