JPH0697679B2 - 半導体ウエハブレ−ク装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウェハを自動的に、かつ、均一にブレ
ークすることを可能とする半導体ウェハブレーク装置に
関するものである。

従来例の構成とその問題点 拡散工程が完了した半導体ウェハを微小片にブレークす
るにあたり、従来は、表面にまず罫書線（スクライブラ
イン）をスクライバで引き、次いで、第１図に示すよう
ステージ１の上にウレタンでできたブレーク台２を固定
し、さらに、この上に半導体ウェハ３を載せたのち、ブ
レークローラー４を半導体ウェハ３に当て、鉄等ででき
た押板５で人間がブレークローラーを押えながら、か
つ、回転させ、半導体ウェハ３をスクライブラインに沿
って分断して微小片にしていた。

このような従来の方法では、半導体ウェハのブレーク作
業が手動で行われているため、ブレークローラーへの加
圧力が不均一となることが避けられず分断が不完全とな
る、所謂、ブレーク不良の生じる問題があった。

また、ブレークローラーの加圧が人力によるものである
ため作業者の疲労が激しく能率を高めることが困難であ
った。

さらに、分断される微小片（ダイス）が0.35mm角以下の
小さなものであると、半導体ウェハに対して１回だけの
ローラー作業を施したのでは完全なブレークがなされ
ず、２回以上のローラー作業を施すこと、あるいは、方
向を変えてローラー作業を施すことなどが必要となり、
作業者の疲労が倍加する不都合も生じる。

発明の目的 本発明の目的は、上記の不都合を排除することができる
半導体ウェハブレーク装置、すなわち、上面に半導体ウ
ェハを載せた半導体ウェハ載置台を駆動装置により水平
に移動させるとともに、この移動過程でブレークローラ
ーを半導体ウェハ上に均一な加圧力で当接させ、半導体
ウェハを微小片にブレークさせる半導体ウェハブレーク
装置を提供することにある。

発明の構成 本発明の半導体ウェハブレーク装置は、シリンダに直結
した支持手段の下面に回動可能な状態で並設されたｎ＋
１個の加圧ローラーと、同加圧ローラーの下方に位置し
往復移動が可能なステージと、同ステージに回転自在に
取り付けられ、半導体ウェハ載置面が前記支持手段の下
面と対向する半導体ウェハ載置台と、前記加圧ローラー
の下部に配置されるとともに前記加圧ローラー間に一部
が嵌入し、さらに上下方向に移動可能なｎ個のブレーク
ローラーとを具備し、前記ステージの往復運動により半
導体ウェハを前記ブレークローラーに当接させ、半導体
ウェハをブレークさせる装置である。

この装置によれば、ブレークローラーを通して半導体ウ
ェハに均一な圧力が加わるため半導体ウェハのブレーク
状態にばらつきが発生せず、したがって、ブレーク不良
のない半導体ウェハのブレーク作業を自動的に行うこと
ができる。

実施例の説明 本発明の半導体ウェハブレーク装置の一実施例を第２図
を参照にして説明する。

本発明の半導体ウェハブレーク装置は、上下に動かすこ
とができるシリンダー６の下端にとりつけられた支持手
段の下面にステンレス製の加圧ローラー７が４個水平方
向に並置されて構成される加圧部と、この加圧部の直下
で、しかも、加圧ローラー７と対向する位置に並置され
るとともに、それぞれが上下に移動可能な３個のブレー
クローラー８で構成されるブレーク部と、ステージ９お
よびこの上面に取りつけられたウレタン等からなるブレ
ーク台２とステージ９を回転させるための駆動モーター
10とからなる半導体ウェハ載置部と、側面に直線ギア11
が設けられるとともにステージ９を回転自在に関係で支
承し、さらに水平移動が可能なステージ支承部12と、直
線ギア11と噛合する回転ギア13およびこれを回転させる
駆動モーター14とからなるステージ支承部用の駆動部と
で構成されている。

次に、簡単に本発明の装置の一使用方法を説明する。

まず、シリンダー６の中のピストン（図示せず）を下げ
ることにより加圧ローラー７とブレークローラー８およ
び半導体ウェハ３が一体となった時、半導体ウェハ３に
ブレークに必要な最適な加圧が加わるようにシリンダー
６のピストンの位置を設定しておく。なお、ブレークロ
ーラー８には上下方向の遊びがあり、かつ、ウレタンで
できたブレーク台２の上に半導体ウェハ３を載せるため
シリンダー８のピストンの位置により半導体ウェハ３上
にはブレークするに最適な圧力が加わるように調整でき
る。

以上のように加圧調整した後、罫書線が引かれた半導体
ウェハ３をブレーク台２にセットし、駆動モーター14を
回転させて半導体ウェハ載置部およびステージ支承部12
を動かし、半導体ウェハ３をブレークローラー８の下を
通過させて半導体ウェハ３をスクライブラインに沿って
分断して微小片にする。この時、ブレークローラー８お
よび加圧ローラー７が回転するため半導体ウェハには無
理な圧力や不均一な力が加わらず均一に半導体ウェハを
ブレークすることができる。

半導体ウェハ３がブレークローラー８を通過したことを
センサーにより確認した後、ステージ支承部駆動用モー
ター14の回転を停め、ステージ回転用駆動モーター10に
よりステージ９を90°回転させる。

次に、ステージ支承部駆動モーター14を前回とは逆方向
に回転させ、再び半導体ウェハ３をブレークローラー８
の下を通過させる。復路は半導体ウェハを90°回転させ
た方向からブレークを行うので、ダイスチップが0.35mm
角以下の小さなものでも完全にブレーク状態にすること
ができる。

なお、使用方法として一往復の場合だけを説明したが、
何回往復させてもよいし、また、半導体ウェハを90°回
転させたがこの角度だけに限られたわけでなく、たとえ
ば45°回転させてもよい。

また、図面では加圧ローラーが４個、ブレークローラー
が３個の場合について説明したが、これに限られるわけ
でなく、加圧ローラーがｎ＋１個、ブレークローラーが
ｎ個の関係があればよい。

発明の効果 本発明によれば、シリンダーを使い加圧ローラーおよび
ブレークローラーを通して機械的にウェハに圧力を加え
ることができるため、半導体ウェハ全体に均一に最適な
ブレーク圧力を加えることができ、ブレーク不良の生じ
ない安定したブレーク作業ができる効果が奏される。

また、半導体ウェハを一方向でなく他方向からもブレー
ク作業ができる駆動装置がついているため効率よくブレ
ーク作業を行うこともできる。

【図面の簡単な説明】 第１図は従来の手動式による半導体ウェハブレーク装置
の斜視図、第２図は本発明の自動式の半導体ウェハブレ
ーク装置の断面構造図である。 1,9……ステージ、２……ブレーク台、３……半導体ウ
ェハ、4,8……ブレークローラー、５……押板、６……
シリンダー、７……加圧ローラー、10,14……駆動モー
ター、11……直線ギア、12……ステージ支承部、13……
回転ギア。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダに直結した支持手段の下面に回動
   可能な状態で並設されたｎ＋１個の加圧ローラと、同加
   圧ローラーの下方に位置し往復移動が可能なステージ
   と、同ステージに回転自在に取り付けられ、半導体ウェ
   ハ載置面が前記支持手段の下面と対向する半導体ウェハ
   載置台と、前記加圧ローラーの下部に配置されるととも
   に前記加圧ローラー間に一部が嵌入し、さらに上下方向
   に移動可能なｎ個のブレークローラーとを具備し、前記
   ステージの往復運動により半導体ウェハを前記ブレーク
   ローラーに当接させることを特徴とする半導体ウェハブ
   レーク装置。
2. 【請求項２】半導体ウェハ載置台が駆動装置により回転
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の半
   導体ウェハブレーク装置。
3. 【請求項３】ブレークローラの表面がウレタン、アルミ
   ニウム、ジュラコンもしくはステンレスのいずれかで形
   成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
   記載の半導体ウェハブレーク装置。