JPH0698293B2 - 真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ - Google Patents
真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダInfo
- Publication number
- JPH0698293B2 JPH0698293B2 JP25073186A JP25073186A JPH0698293B2 JP H0698293 B2 JPH0698293 B2 JP H0698293B2 JP 25073186 A JP25073186 A JP 25073186A JP 25073186 A JP25073186 A JP 25073186A JP H0698293 B2 JPH0698293 B2 JP H0698293B2
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- JP
- Japan
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- cylinder
- vacuum chamber
- guide
- piston shaft
- double cylinder
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- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/02—Feed or outlet devices therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Actuator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は真空槽内の被処理物を移動する場合に使用す
る回転防止ダブルシリンダに関するものである。
る回転防止ダブルシリンダに関するものである。
従来、真空槽内の被処理物を移動する場合に使用するダ
ブルシリンダとして、第４図に示すように、ダブルシリ
ンダ15における外側シリンダ16の開口端部を真空槽５の
壁板６に固定し、前記ダブルシリンダ15における外側ピ
ストン軸17の前部を、前記壁板６に貫通して真空槽５内
に突出させ、かつダブルシリンダ15における内側ピスト
ン軸18の前部を真空槽５内に突出させ、外側ピストン軸
17の両側においてこれと平行に配置された一対のガイド
棒19の後端部を、真空槽５内において前記壁板６に螺合
固定し、各ガイド棒19の他端部を連結部材20により連結
し、かつ真空槽５内で被処理物を支持して移動する可動
支持部材９を、各ガイド棒19に摺動自在に嵌合し、前記
内側ピストン軸18の前端の雄ねじ部を可動支持部材９の
中央部に螺合固定し、前記外側シリンダ16の底部および
外側ピストン軸17に設けられたピストン21にシリンダ伸
長用送空気孔22,23を設け、前記外側ピストン軸17の前
端の内側ピストン軸嵌合部に２つのシールリング24をピ
ストン軸長手方向に間隔をおいて設け、さらに前記外側
ピストン軸16における外側ピストン軸嵌合部に、２つの
シールリング25をシリンダ長手方向に間隔をおいて設
け、前記外側シリンダ16における外側ピストン軸嵌合部
に近い位置にシリンダ短縮用通気孔26を設けると共に、
外側ピストン軸17における外側筒体および内側筒体にも
シリンダ短縮用送気孔27,28を設け、また前記外側シリ
ンダ16の開口端部側に、各シールリング25の間において
排気孔29を設けた構造のダブルシリンダが知られてい
る。
ブルシリンダとして、第４図に示すように、ダブルシリ
ンダ15における外側シリンダ16の開口端部を真空槽５の
壁板６に固定し、前記ダブルシリンダ15における外側ピ
ストン軸17の前部を、前記壁板６に貫通して真空槽５内
に突出させ、かつダブルシリンダ15における内側ピスト
ン軸18の前部を真空槽５内に突出させ、外側ピストン軸
17の両側においてこれと平行に配置された一対のガイド
棒19の後端部を、真空槽５内において前記壁板６に螺合
固定し、各ガイド棒19の他端部を連結部材20により連結
し、かつ真空槽５内で被処理物を支持して移動する可動
支持部材９を、各ガイド棒19に摺動自在に嵌合し、前記
内側ピストン軸18の前端の雄ねじ部を可動支持部材９の
中央部に螺合固定し、前記外側シリンダ16の底部および
外側ピストン軸17に設けられたピストン21にシリンダ伸
長用送空気孔22,23を設け、前記外側ピストン軸17の前
端の内側ピストン軸嵌合部に２つのシールリング24をピ
ストン軸長手方向に間隔をおいて設け、さらに前記外側
ピストン軸16における外側ピストン軸嵌合部に、２つの
シールリング25をシリンダ長手方向に間隔をおいて設
け、前記外側シリンダ16における外側ピストン軸嵌合部
に近い位置にシリンダ短縮用通気孔26を設けると共に、
外側ピストン軸17における外側筒体および内側筒体にも
シリンダ短縮用送気孔27,28を設け、また前記外側シリ
ンダ16の開口端部側に、各シールリング25の間において
排気孔29を設けた構造のダブルシリンダが知られてい
る。
しかるに、前記従来の真空槽内被処理物移動用ダブルシ
リンダの場合は、シールリング24のシール性が高い圧力
差に対して完全でないので、外側ピストン軸17内の圧力
空気が外側ピストン軸17と内側ピストン軸18との間を通
つて微量ずつ侵入し、そのため超高真空を維持する必要
のある真空槽には不適当であり、また真空槽５内に可動
支持部材９の回転を防止するための一対のガイド棒19と
各ガイド棒19を連結する連結杆20とを設けねばならない
ので、真空槽５内のスペースが狭くなるという問題があ
る。
リンダの場合は、シールリング24のシール性が高い圧力
差に対して完全でないので、外側ピストン軸17内の圧力
空気が外側ピストン軸17と内側ピストン軸18との間を通
つて微量ずつ侵入し、そのため超高真空を維持する必要
のある真空槽には不適当であり、また真空槽５内に可動
支持部材９の回転を防止するための一対のガイド棒19と
各ガイド棒19を連結する連結杆20とを設けねばならない
ので、真空槽５内のスペースが狭くなるという問題があ
る。
この発明は前述の問題を有利に解決できる真空槽内被処
理物移動用回転防止ダブルシリンダを提供することを目
的とするものであつて、この発明の要旨とするところ
は、空気圧式ダブルシリンダ１とガイドシリンダ２とが
平行状態で前後方向に延長するように配置され、ダブル
シリンダ１における外側シリンダ３の前端開口部とガイ
ドシリンダ２を摺動自在に嵌挿した外側ガイド部材４と
が真空槽５の壁板６に固定され、前記ダブルシリンダ１
における内側ピストン軸７の前端部と前記ガイドシリン
ダ２の前端部に摺動自在に嵌挿されたガイド軸８の前端
部とは、真空槽５内に配置された可動支持部材９に連結
され、ダブルシリンダ１における外側ピストン軸10の前
端の内側ピストン軸嵌合部に、環状排気室11とその両側
に位置するシールリング12とが設けられ、その環状排気
室11とダブルシリンダ２内の前端部とは、真空槽５内に
配置された排気管13を介して接続され、前記ガイドシリ
ンダ２の後端部に吸引口14が設けられていることを特徴
とする真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ
にある。
理物移動用回転防止ダブルシリンダを提供することを目
的とするものであつて、この発明の要旨とするところ
は、空気圧式ダブルシリンダ１とガイドシリンダ２とが
平行状態で前後方向に延長するように配置され、ダブル
シリンダ１における外側シリンダ３の前端開口部とガイ
ドシリンダ２を摺動自在に嵌挿した外側ガイド部材４と
が真空槽５の壁板６に固定され、前記ダブルシリンダ１
における内側ピストン軸７の前端部と前記ガイドシリン
ダ２の前端部に摺動自在に嵌挿されたガイド軸８の前端
部とは、真空槽５内に配置された可動支持部材９に連結
され、ダブルシリンダ１における外側ピストン軸10の前
端の内側ピストン軸嵌合部に、環状排気室11とその両側
に位置するシールリング12とが設けられ、その環状排気
室11とダブルシリンダ２内の前端部とは、真空槽５内に
配置された排気管13を介して接続され、前記ガイドシリ
ンダ２の後端部に吸引口14が設けられていることを特徴
とする真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ
にある。
次にこの発明を図示の例によつて詳細に説明する。
第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示すもので
あつて空気圧式ダブルシリンダ１とガイドシリンダ２と
が平行状態で前後方向に延長するように配置され、ダブ
ルシリンダ１における外側シリンダ３の前端開口部の端
面に設けられた環状溝とガイドシリンダ２を摺動自在に
嵌挿した外側ガイド部材４の前端面に設けられた環状溝
とに、それぞれシールリング31が嵌合され、かつ外側シ
リンダ３の前端部および外側ガイド部材４は真空槽５に
おける壁板６に当接されてボルト（図示を省略した）に
より固定され、前記ダブルシリンダ１における外側ピス
トン軸10とガイドシリンダ２とは前記壁板６に対し気密
状態で摺動自在に嵌挿され、さらにダブルシリンダ１に
おける内側ピストン軸７の前端部に設けられた螺杆と、
ガイドシリンダ２の前端部に摺動自在に嵌挿されたガイ
ド軸８の前端部に設けられている螺杆とは、真空槽５内
に配置された可動支持部材９に螺合固定され、またガイ
ドシリンダ２の前端部と外側ピストン軸10の前端部とは
連結板32により連結されている。
あつて空気圧式ダブルシリンダ１とガイドシリンダ２と
が平行状態で前後方向に延長するように配置され、ダブ
ルシリンダ１における外側シリンダ３の前端開口部の端
面に設けられた環状溝とガイドシリンダ２を摺動自在に
嵌挿した外側ガイド部材４の前端面に設けられた環状溝
とに、それぞれシールリング31が嵌合され、かつ外側シ
リンダ３の前端部および外側ガイド部材４は真空槽５に
おける壁板６に当接されてボルト（図示を省略した）に
より固定され、前記ダブルシリンダ１における外側ピス
トン軸10とガイドシリンダ２とは前記壁板６に対し気密
状態で摺動自在に嵌挿され、さらにダブルシリンダ１に
おける内側ピストン軸７の前端部に設けられた螺杆と、
ガイドシリンダ２の前端部に摺動自在に嵌挿されたガイ
ド軸８の前端部に設けられている螺杆とは、真空槽５内
に配置された可動支持部材９に螺合固定され、またガイ
ドシリンダ２の前端部と外側ピストン軸10の前端部とは
連結板32により連結されている。
ダブルシリンダ１における外側ピストン軸10の前端の内
側ピストン軸嵌合部に、環状排気室11とその前後両側に
位置する環状溝とが設けられ、その環状溝にＯリングか
らなるシールリング12が嵌合され、前記ガイドシリンダ
２内の前端部と環状排気室11とは真空槽５内に配置され
た排気管13を介して接続され、かつガイドシリンダ２の
後端部に吸気口14が設けられ、さらに前記外側シリンダ
３の前端の外側ピストン軸嵌合部に、環状排気室33とそ
の環状排気室33に接続された排気孔34と環状排気室33の
前後両側に位置する環状溝とが設けられ、その環状溝に
シールリング35が嵌合されている。
側ピストン軸嵌合部に、環状排気室11とその前後両側に
位置する環状溝とが設けられ、その環状溝にＯリングか
らなるシールリング12が嵌合され、前記ガイドシリンダ
２内の前端部と環状排気室11とは真空槽５内に配置され
た排気管13を介して接続され、かつガイドシリンダ２の
後端部に吸気口14が設けられ、さらに前記外側シリンダ
３の前端の外側ピストン軸嵌合部に、環状排気室33とそ
の環状排気室33に接続された排気孔34と環状排気室33の
前後両側に位置する環状溝とが設けられ、その環状溝に
シールリング35が嵌合されている。
前記外側ガイド部材４におけるガイドシリンダ嵌合部
に、環状排気室36とその環状排気室36に接続された排気
孔37と環状排気室36の前後両側に位置する環状溝とが設
けられ、その環状溝にシールリング38が嵌合され、かつ
前記吸引口14および排気孔34,37は真空ポンプ等の真空
吸引源に接続される。
に、環状排気室36とその環状排気室36に接続された排気
孔37と環状排気室36の前後両側に位置する環状溝とが設
けられ、その環状溝にシールリング38が嵌合され、かつ
前記吸引口14および排気孔34,37は真空ポンプ等の真空
吸引源に接続される。
シリンダ短縮用送気管39は、外側シリンダ３の底部と内
側ピストン軸７に設けられた内側ピストン40とに気密状
態で摺動自在に嵌挿され、かつシリンダ短縮用送気管39
は外側ピストン軸10に設けられた外側ピストン41に挿通
されて溶接により気密に固定され、さらに前記内側ピス
トン軸７の後端部にシリンダ短縮用送気孔42が設けられ
ると共に、外側シリンダ３の前端側にシリンダ短縮用送
気孔43が設けられ、また外側シリンダ３の底部および外
側ピストン41にシリンダ伸長用送気孔44,45が設けられ
ている。
側ピストン軸７に設けられた内側ピストン40とに気密状
態で摺動自在に嵌挿され、かつシリンダ短縮用送気管39
は外側ピストン軸10に設けられた外側ピストン41に挿通
されて溶接により気密に固定され、さらに前記内側ピス
トン軸７の後端部にシリンダ短縮用送気孔42が設けられ
ると共に、外側シリンダ３の前端側にシリンダ短縮用送
気孔43が設けられ、また外側シリンダ３の底部および外
側ピストン41にシリンダ伸長用送気孔44,45が設けられ
ている。
第１図はダブルシリンダ１が最小限に短縮している状態
を示している。次にシリンダ短縮用送気管39およびシリ
ンダ短縮用送気孔43を大気に連通させた状態でシリンダ
伸長用送気孔44から圧縮空気を供給すると、第２図に示
すように、空気圧により外側ピストン軸10および内側ピ
ストン軸７により可動支持部材９が前進移動され、かつ
外側ピストン軸10により連結板32を介してガイドシリン
ダ２が前進移動されると共に、内側ピストン軸７により
可動支持部材９を介してガイド軸８が前進移動されてい
く。第３図はダブルシリンダ１が最大限に伸長した状態
を示している。
を示している。次にシリンダ短縮用送気管39およびシリ
ンダ短縮用送気孔43を大気に連通させた状態でシリンダ
伸長用送気孔44から圧縮空気を供給すると、第２図に示
すように、空気圧により外側ピストン軸10および内側ピ
ストン軸７により可動支持部材９が前進移動され、かつ
外側ピストン軸10により連結板32を介してガイドシリン
ダ２が前進移動されると共に、内側ピストン軸７により
可動支持部材９を介してガイド軸８が前進移動されてい
く。第３図はダブルシリンダ１が最大限に伸長した状態
を示している。
またシリンダ伸長用送気孔44を大気に連通した状態で、
シリンダ短縮用送気管39およびシリンダ短縮用送気孔43
から圧縮空気を供給すると、空気圧により内側ピストン
軸７が後退移動されると共に、その内側ピストン軸７に
より可動支持部材９が後退移動され、かつ外側ピストン
軸10により連結板32を介してガイドシリンダ２が後退移
動されると共に、内側ピストン軸７により可動支持部材
９を介してガイド軸８が後退移動されていく。
シリンダ短縮用送気管39およびシリンダ短縮用送気孔43
から圧縮空気を供給すると、空気圧により内側ピストン
軸７が後退移動されると共に、その内側ピストン軸７に
より可動支持部材９が後退移動され、かつ外側ピストン
軸10により連結板32を介してガイドシリンダ２が後退移
動されると共に、内側ピストン軸７により可動支持部材
９を介してガイド軸８が後退移動されていく。
この場合、前記外側ガイド部材4,ガイドシリンダ２およ
びガイド軸８からなる回転防止装置により内側ピストン
軸７および可動支持部材９の回転が防止され、かつ外側
ピストン軸10と内側ピストン軸７との嵌合部から真空槽
５内に漏出しようとする空気は、ガイドシリンダ２内を
通つて吸引口14から吸引排出される。
びガイド軸８からなる回転防止装置により内側ピストン
軸７および可動支持部材９の回転が防止され、かつ外側
ピストン軸10と内側ピストン軸７との嵌合部から真空槽
５内に漏出しようとする空気は、ガイドシリンダ２内を
通つて吸引口14から吸引排出される。
この発明によれば、真空槽５の壁板６に固定された外側
ガイド部材４とその外側ガイド部材４に嵌挿されたガイ
ドシリンダ２とそのガイドシリンダ２の前端部に嵌挿さ
れたガイド軸８とからなる回転防止装置により、真空槽
５内の可動支持部材９の回転を防止することができ、そ
のための前記従来の真空槽内被処理物移動用ダブルシリ
ンダにおいて真空槽内に設けていた一対のガイド棒およ
び各ガイド棒を連結する連結部材とを省略することがで
きるので、真空槽５内のスペースを広くすることがで
き、かつダブルシリンダ１における内側ピストン軸７と
外側ピストン軸10との嵌合部から真空槽５内に漏出しよ
うとする空気は、環状排気室11に侵入したのち排気管13
およびガイドシリンダ２内を通つて吸気口14から吸引排
出されるので、外側ピストン軸10内の空気が真空槽５内
に漏出するのを確実に防止することができ、そのため超
高真空層であつても、真空層５内を超高真空状態に保ち
ながら、真空圧式ダブルシリンダ１による可動支持部材
９の移動を行なうことができ、さらに前記環状排気室11
内に侵入した空気を排気管13と回転防止装置におけるガ
イドシリンダ２とガイド軸８との間の空間を利用して容
易にかつ確実に吸引排出することができる等の効果が得
られる。
ガイド部材４とその外側ガイド部材４に嵌挿されたガイ
ドシリンダ２とそのガイドシリンダ２の前端部に嵌挿さ
れたガイド軸８とからなる回転防止装置により、真空槽
５内の可動支持部材９の回転を防止することができ、そ
のための前記従来の真空槽内被処理物移動用ダブルシリ
ンダにおいて真空槽内に設けていた一対のガイド棒およ
び各ガイド棒を連結する連結部材とを省略することがで
きるので、真空槽５内のスペースを広くすることがで
き、かつダブルシリンダ１における内側ピストン軸７と
外側ピストン軸10との嵌合部から真空槽５内に漏出しよ
うとする空気は、環状排気室11に侵入したのち排気管13
およびガイドシリンダ２内を通つて吸気口14から吸引排
出されるので、外側ピストン軸10内の空気が真空槽５内
に漏出するのを確実に防止することができ、そのため超
高真空層であつても、真空層５内を超高真空状態に保ち
ながら、真空圧式ダブルシリンダ１による可動支持部材
９の移動を行なうことができ、さらに前記環状排気室11
内に侵入した空気を排気管13と回転防止装置におけるガ
イドシリンダ２とガイド軸８との間の空間を利用して容
易にかつ確実に吸引排出することができる等の効果が得
られる。
第１図ないし第３図はこの発明の一実施例を示すもので
あつて、第１図は回転防止ダブルシリンダが短縮した状
態を示す縦断側面図、第２図は回転防止ダブルシリンダ
の伸長状態を示す縦断側面図、第３図は回転防止ダブル
シリンダが全ストローク伸長した状態を示す縦断側面図
である。第４図は従来の真空槽内被処理物移動用ダブル
シリンダを示す縦断側面図である。 図において、１はダブルシリンダ、２はガイドシリン
ダ、３は外側シリンダ、４は外側ガイド部材、５は真空
槽、６は壁板、７は内側ピストン軸、８はガイド軸、９
は可動支持部材、10は外側ピストン軸、11は環状排気
室、12はシールリング、13は排気管、14は吸引口、32は
連結板、33は環状排気室、34は排気孔、35はシールリン
グ、36は環状排気室、37は排気孔、38はシールリングで
ある。
あつて、第１図は回転防止ダブルシリンダが短縮した状
態を示す縦断側面図、第２図は回転防止ダブルシリンダ
の伸長状態を示す縦断側面図、第３図は回転防止ダブル
シリンダが全ストローク伸長した状態を示す縦断側面図
である。第４図は従来の真空槽内被処理物移動用ダブル
シリンダを示す縦断側面図である。 図において、１はダブルシリンダ、２はガイドシリン
ダ、３は外側シリンダ、４は外側ガイド部材、５は真空
槽、６は壁板、７は内側ピストン軸、８はガイド軸、９
は可動支持部材、10は外側ピストン軸、11は環状排気
室、12はシールリング、13は排気管、14は吸引口、32は
連結板、33は環状排気室、34は排気孔、35はシールリン
グ、36は環状排気室、37は排気孔、38はシールリングで
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】空気圧式ダブルシリンダ１とガイドシリン
ダ２とが平行状態で前後方向に延長するように配置さ
れ、ダブルシリンダ１における外側シリンダ３の前端開
口部とガイドシリンダ２を摺動自在に嵌挿した外側ガイ
ド部材４とが真空槽５の壁板６に固定され、前記ダブル
シリンダ１における内側ピストン軸７の前端部と前記ガ
イドシリンダ２の前端部に摺動自在に嵌挿されたガイド
軸８の前端部とは、真空槽５内に配置された可動支持部
材９に連結され、ダブルシリンダ１における外側ピスト
ン軸10の前端の内側ピストン軸嵌合部に、環状排気室11
とその両側に位置するシールリング12とが設けられ、そ
の環状排気室11とダブルシリンダ２内の前端部とは、真
空槽５内に配置された排気管13を介して接続され、前記
ガイドシリンダ２の後端部に吸引口14が設けられている
ことを特徴とする真空槽内被処理物移動用回転防止ダブ
ルシリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25073186A JPH0698293B2 (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25073186A JPH0698293B2 (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63104640A JPS63104640A (ja) | 1988-05-10 |
| JPH0698293B2 true JPH0698293B2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=17212202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25073186A Expired - Lifetime JPH0698293B2 (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 真空槽内被処理物移動用回転防止ダブルシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0698293B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8857404B2 (en) | 2008-02-28 | 2014-10-14 | Douglas K. Furr | High efficiency internal explosion engine |
-
1986
- 1986-10-23 JP JP25073186A patent/JPH0698293B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8857404B2 (en) | 2008-02-28 | 2014-10-14 | Douglas K. Furr | High efficiency internal explosion engine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63104640A (ja) | 1988-05-10 |
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