JPH07100294B2 - ラッピング装置 - Google Patents
ラッピング装置Info
- Publication number
- JPH07100294B2 JPH07100294B2 JP62030543A JP3054387A JPH07100294B2 JP H07100294 B2 JPH07100294 B2 JP H07100294B2 JP 62030543 A JP62030543 A JP 62030543A JP 3054387 A JP3054387 A JP 3054387A JP H07100294 B2 JPH07100294 B2 JP H07100294B2
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- Japan
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- work
- pressing
- holding
- holding unit
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はCD用スタンパ、ハードディスク用スタンパ等の
薄円板状のワーク等をラッピングし得るラッピング装置
に関するものである。
薄円板状のワーク等をラッピングし得るラッピング装置
に関するものである。
〔従来の技術〕 従来この種のラッピング装置としてはラップ剤によるい
わゆるラップ盤やバフ研摩機等が知られている。
わゆるラップ盤やバフ研摩機等が知られている。
しかしながら上記従来構造の場合充分満足し得るワーク
の仕上面状態を得ることができないことがあり、かつ装
置及び維持コストや作業性の面で不都合が生じている。
の仕上面状態を得ることができないことがあり、かつ装
置及び維持コストや作業性の面で不都合が生じている。
本発明はこれらの不都合を解消することを目的とするも
ので、その要旨は、平板状のワークを載置可能な回転板
を有するワーク駆動部と、走行するラッピングテープを
保持しこのラッピングテープを前記ワーク駆動部の回転
板に載置したワークに押圧可能な押圧体を有するテープ
保持部と、供給リールから巻取リールへと走行させて前
記テープ保持部にラッピングテープを連続的に走行供給
し、前記テープ保持部と一体に移動するテープ巻取装置
と、前記テープ保持部を昇降せしめてテーウ保持部の前
記押圧体によりラッピングテープをワークに所定圧で押
圧並びに退避移動し得る保持部移動機構と、この保持部
移動機構により移動する取付部にバネを介存して保持体
を設け、この保持体に前記押圧体を垂設して前記バネの
保持体を弾圧する作用により前記押圧体を弾圧付勢し前
記ラッピングテープをこの押圧体によりワークに弾圧当
接し得るように構成し、このバネを伸縮調整する弾圧調
整機構を設けて、ラッピングテープの押圧体によるワー
クへの押圧度合を微調整し得るように構成した研摩圧微
調整機構と、このテープ保持部をラッピングテープの走
行方向と交差する方向に振動させる振動機構とを備え
て、平板状のワークを振動しながら且つ所定の押圧度合
で弾圧当接しながら走行するラッピングテープによりラ
ッピングするように構成したことを特徴とするラッピン
グ装置にある。
ので、その要旨は、平板状のワークを載置可能な回転板
を有するワーク駆動部と、走行するラッピングテープを
保持しこのラッピングテープを前記ワーク駆動部の回転
板に載置したワークに押圧可能な押圧体を有するテープ
保持部と、供給リールから巻取リールへと走行させて前
記テープ保持部にラッピングテープを連続的に走行供給
し、前記テープ保持部と一体に移動するテープ巻取装置
と、前記テープ保持部を昇降せしめてテーウ保持部の前
記押圧体によりラッピングテープをワークに所定圧で押
圧並びに退避移動し得る保持部移動機構と、この保持部
移動機構により移動する取付部にバネを介存して保持体
を設け、この保持体に前記押圧体を垂設して前記バネの
保持体を弾圧する作用により前記押圧体を弾圧付勢し前
記ラッピングテープをこの押圧体によりワークに弾圧当
接し得るように構成し、このバネを伸縮調整する弾圧調
整機構を設けて、ラッピングテープの押圧体によるワー
クへの押圧度合を微調整し得るように構成した研摩圧微
調整機構と、このテープ保持部をラッピングテープの走
行方向と交差する方向に振動させる振動機構とを備え
て、平板状のワークを振動しながら且つ所定の押圧度合
で弾圧当接しながら走行するラッピングテープによりラ
ッピングするように構成したことを特徴とするラッピン
グ装置にある。
ワーク駆動部の回転板に平板状のワークを載置し、保持
部移動機構によりテープ保持部をワークへ接近移動し、
このテープ保持部の押圧体によりテープ巻取装置によっ
て走行するラッピングテープをワークに押圧してラッピ
ングする。この際、保持部移動機構による接近移動制御
によって押圧体によりラッピングテープは所定圧で押圧
されるが、更に研摩圧微調整機構により押圧体を弾圧付
勢しているバネの伸縮度を弾圧調整機構により調整する
ことで押圧体によるラッピングテープのワークへの弾圧
押圧度合が微調整され、しかもワークにこの微調整され
た押圧度合でラッピングテープが弾圧当接され、この状
態で振動機構によりテープ保持部がラッピングテープの
走行方向と交差する方向に振動し、ワークはワークの回
転、ラッピングテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧
当接した状態での振動の複合作用でラッピングされる。
部移動機構によりテープ保持部をワークへ接近移動し、
このテープ保持部の押圧体によりテープ巻取装置によっ
て走行するラッピングテープをワークに押圧してラッピ
ングする。この際、保持部移動機構による接近移動制御
によって押圧体によりラッピングテープは所定圧で押圧
されるが、更に研摩圧微調整機構により押圧体を弾圧付
勢しているバネの伸縮度を弾圧調整機構により調整する
ことで押圧体によるラッピングテープのワークへの弾圧
押圧度合が微調整され、しかもワークにこの微調整され
た押圧度合でラッピングテープが弾圧当接され、この状
態で振動機構によりテープ保持部がラッピングテープの
走行方向と交差する方向に振動し、ワークはワークの回
転、ラッピングテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧
当接した状態での振動の複合作用でラッピングされる。
第1図乃至第6図は本発明の実施例を示し、1はワーク
駆動部であって、機台2の中央部に回転軸3を設け、回
転軸3に板状のワークW、この場合薄円板状のスタンパ
を載置可能な回転板4を取付け、回転軸3を回転させる
回転機構(図示省略)を設けたものである。
駆動部であって、機台2の中央部に回転軸3を設け、回
転軸3に板状のワークW、この場合薄円板状のスタンパ
を載置可能な回転板4を取付け、回転軸3を回転させる
回転機構(図示省略)を設けたものである。
5はテープ保持部であって、テープ保持部5を回動板4
の半径方向に進退可動せしめると共に、上下方向に昇降
可動せしめる保持部移動機構を介して機台2に取り付け
られている。具体的には機台2にブラケット6によりガ
イド軸7を上下2段に回転板4の半径方向に横設し、ガ
イド軸7にスライド台8をベアリング9により摺動可能
に設け、かつガイド軸7に連結台10を図外のベアリング
により摺動可能に設け、機台2にブラケット11により移
動用シリンダ12を取付け、移動用シリンダ12のロッドを
ブラケット11を介して連結台10に連結し、前記スライド
台8に取付部材14を支点軸15により装着し、取付部材14
を調節長穴16、調節ボルト17及びナット18により前後傾
動可能に設け、取付部材14に取付台15をガイド軸20によ
り上下動可能に設け、取付部19を上下動させる上下動シ
リンダ21を設け、取付部19にガイド軸22により押圧体34
を垂下配設する部材としての保持体23を上下動可能に設
け、ガイド軸22に保持体23の下限用バネ24を設け、かつ
取付部19に調節ねじ部25を設け、保持体23の中央部にク
ッションバネ26を設け、クッションバネ26の上方にプラ
ンジャ体27を設け、プランジャ体27に調節ねじ部25の調
節押圧杆28を当接し、保持体23の前部に保持軸29をキー
30により回り止め状態でかつナット31により上下方向に
調節可能に設け、保持軸29に保持枠32を固定し、保持枠
32に中央部にはゴム等の弾性材33を被覆したローラ状の
押圧体34、両側部には案内ローラ35を設け、保持体23に
取付ベース36を取付け、取付ベース36の両側位置にラッ
ピングテープTを巻付けた供給リール37及び巻取リール
38を設け、ラッピングテープTを供給リール37、案内ロ
ーラ35、押圧体34、案内ローラ35及び巻取リール38に掛
渡し、ラッピングテープTをテープ巻取装置により低速
走行可能に構成したものである。
の半径方向に進退可動せしめると共に、上下方向に昇降
可動せしめる保持部移動機構を介して機台2に取り付け
られている。具体的には機台2にブラケット6によりガ
イド軸7を上下2段に回転板4の半径方向に横設し、ガ
イド軸7にスライド台8をベアリング9により摺動可能
に設け、かつガイド軸7に連結台10を図外のベアリング
により摺動可能に設け、機台2にブラケット11により移
動用シリンダ12を取付け、移動用シリンダ12のロッドを
ブラケット11を介して連結台10に連結し、前記スライド
台8に取付部材14を支点軸15により装着し、取付部材14
を調節長穴16、調節ボルト17及びナット18により前後傾
動可能に設け、取付部材14に取付台15をガイド軸20によ
り上下動可能に設け、取付部19を上下動させる上下動シ
リンダ21を設け、取付部19にガイド軸22により押圧体34
を垂下配設する部材としての保持体23を上下動可能に設
け、ガイド軸22に保持体23の下限用バネ24を設け、かつ
取付部19に調節ねじ部25を設け、保持体23の中央部にク
ッションバネ26を設け、クッションバネ26の上方にプラ
ンジャ体27を設け、プランジャ体27に調節ねじ部25の調
節押圧杆28を当接し、保持体23の前部に保持軸29をキー
30により回り止め状態でかつナット31により上下方向に
調節可能に設け、保持軸29に保持枠32を固定し、保持枠
32に中央部にはゴム等の弾性材33を被覆したローラ状の
押圧体34、両側部には案内ローラ35を設け、保持体23に
取付ベース36を取付け、取付ベース36の両側位置にラッ
ピングテープTを巻付けた供給リール37及び巻取リール
38を設け、ラッピングテープTを供給リール37、案内ロ
ーラ35、押圧体34、案内ローラ35及び巻取リール38に掛
渡し、ラッピングテープTをテープ巻取装置により低速
走行可能に構成したものである。
39は振動機構であって、スライド台8に振動用モータ40
を取付け、振動用モータ40の主軸41に連結片42を取付
け、連結片42に主軸41の軸線に対し偏心するカムローラ
43を取付け、前記連結台10にカムローラ43に係合する凹
溝44を有するガイド片45を取付けて構成したものであ
る。
を取付け、振動用モータ40の主軸41に連結片42を取付
け、連結片42に主軸41の軸線に対し偏心するカムローラ
43を取付け、前記連結台10にカムローラ43に係合する凹
溝44を有するガイド片45を取付けて構成したものであ
る。
46は他のラッピング装置であって、上記実施例とほぼ同
様に構成されており、ラッピングテープTの幅及び粗さ
等の種類を異ならせたものである。
様に構成されており、ラッピングテープTの幅及び粗さ
等の種類を異ならせたものである。
この実施例は上記構成であるから、薄円板状のワークW
を回転板4上に人為的又は自動的に載置し、回転板4を
図外の回転機構により回転し、ラッピングテープTを低
速走行し、移動用シリンダ12により連結台10、ガイド片
45及びカムローラ43、振動用モータ40を経る力によりス
ライド台8を前進し、テープ保持部5の上下用シリンダ
21により取付部19を下降し、押圧体34によりラッピング
テープTをワークWに押圧し、振動機構39の振動用モー
タ40により連結片42を回転し、カムローラ43と凹溝44と
の偏心係合作用によりスライド台8を振動し、取付部材
14を介してラッピングテープTを走行方向と交差する方
向に振動すると、ワークWはワークWの回転、ラッピン
グテープTの走行及び振動の複合作用でラッピングされ
る。
を回転板4上に人為的又は自動的に載置し、回転板4を
図外の回転機構により回転し、ラッピングテープTを低
速走行し、移動用シリンダ12により連結台10、ガイド片
45及びカムローラ43、振動用モータ40を経る力によりス
ライド台8を前進し、テープ保持部5の上下用シリンダ
21により取付部19を下降し、押圧体34によりラッピング
テープTをワークWに押圧し、振動機構39の振動用モー
タ40により連結片42を回転し、カムローラ43と凹溝44と
の偏心係合作用によりスライド台8を振動し、取付部材
14を介してラッピングテープTを走行方向と交差する方
向に振動すると、ワークWはワークWの回転、ラッピン
グテープTの走行及び振動の複合作用でラッピングされ
る。
このラッピングが終わると上下用シリンダ21及び移動用
シリンダ12の作動により原位置に復帰する。
シリンダ12の作動により原位置に復帰する。
この場合次いで他のラッピング装置46によりラッピング
される。
される。
このためワークWの仕上面を良好にできるとともに構造
の簡素化により装置コスト及び維持コストを低減でき、
かつ作業性を向上できる。
の簡素化により装置コスト及び維持コストを低減でき、
かつ作業性を向上できる。
この場合取付部材14は前後傾動可能なため、ラッピング
テープTとワークWとの傾き圧接状態を適正にできる。
テープTとワークWとの傾き圧接状態を適正にできる。
本発明は上述の如く、ワークをワークの回転、ラッピン
グテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧当接した状態
での振動の複合作用でラッピングでき、ワークの仕上面
を良好にできるとともに構造の簡素化により装置コスト
及び維持コストを低減でき、かつ作業性を向上できる。
グテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧当接した状態
での振動の複合作用でラッピングでき、ワークの仕上面
を良好にできるとともに構造の簡素化により装置コスト
及び維持コストを低減でき、かつ作業性を向上できる。
しかも、本発明は保持部移動機構によりテープ保持部を
昇降制御せしめてテープ保持部の前記押圧体によりラッ
ピングテープをワークに所定圧で押圧並びに退避移動で
き、この保持部移動機構の作動制御におり研摩度を自由
に調整設定できると共に、不要時には退避させることも
でき、且つ該テープ保持部をラッピングテープの走行方
向と交差する方向に振動させる振動機構をも設けたか
ら、単なるラッピング研摩ではなく、所定圧での押圧に
加えてその状態で振動するために極めて良好なラッピン
グ面を得ることができる極めて秀れたラッピング装置と
なる。
昇降制御せしめてテープ保持部の前記押圧体によりラッ
ピングテープをワークに所定圧で押圧並びに退避移動で
き、この保持部移動機構の作動制御におり研摩度を自由
に調整設定できると共に、不要時には退避させることも
でき、且つ該テープ保持部をラッピングテープの走行方
向と交差する方向に振動させる振動機構をも設けたか
ら、単なるラッピング研摩ではなく、所定圧での押圧に
加えてその状態で振動するために極めて良好なラッピン
グ面を得ることができる極めて秀れたラッピング装置と
なる。
しかも、本発明は上述のように単に前記保持部移動機構
により研摩圧を大まかに調整できるだけでなく、保持部
移動機構により移動する取付部にバネを介存して保持体
を設け、この保持体に前記押圧体を垂設して、前記バネ
の保持体を弾圧する作用により前記押圧体を弾圧付勢し
前記ラッピングテープをこの押圧体によりワークに弾圧
当接し得るように構成し、このバネを伸縮調整する弾圧
調整機構を設けて、ラッピングテープの押圧体によるワ
ークへの押圧度合を微調整し得るように構成した研摩圧
微調整機構を有するから、押圧体を弾圧付勢している保
持体に設けたバネの伸縮度を弾圧調整機構により調整す
ることで押圧体によるラッピングテープのワークへの弾
性押圧度合が微調整でき、しかもワークにこの微調整さ
れた押圧度合でラッピングテープが弾圧当接し、この状
態で振動機構によりラッピングテープが走行方向と交差
する方向に振動するから、ワークはワークの回転、ラッ
ピングテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧当接した
状態での振動の複合作用でラッピングされる精度の高い
平坦研摩が可能となる。
により研摩圧を大まかに調整できるだけでなく、保持部
移動機構により移動する取付部にバネを介存して保持体
を設け、この保持体に前記押圧体を垂設して、前記バネ
の保持体を弾圧する作用により前記押圧体を弾圧付勢し
前記ラッピングテープをこの押圧体によりワークに弾圧
当接し得るように構成し、このバネを伸縮調整する弾圧
調整機構を設けて、ラッピングテープの押圧体によるワ
ークへの押圧度合を微調整し得るように構成した研摩圧
微調整機構を有するから、押圧体を弾圧付勢している保
持体に設けたバネの伸縮度を弾圧調整機構により調整す
ることで押圧体によるラッピングテープのワークへの弾
性押圧度合が微調整でき、しかもワークにこの微調整さ
れた押圧度合でラッピングテープが弾圧当接し、この状
態で振動機構によりラッピングテープが走行方向と交差
する方向に振動するから、ワークはワークの回転、ラッ
ピングテープの走行及び適切な弾圧度合で弾圧当接した
状態での振動の複合作用でラッピングされる精度の高い
平坦研摩が可能となる。
従って、本発明は、所謂テープ巻取装置を一体に備えた
テープ保持部を移動自在に設けると共に振動機構により
往復微動するように構成し、しかも保持部移動機構によ
って押圧体によりテープをワークに単に押圧当接するだ
けでなく、バネの弾圧付勢によって押圧体によりラッピ
ングテープをワークに弾圧当接し、この弾圧押圧度を押
圧体を弾圧付勢しているバネの伸縮度を弾圧調整機構に
より調整することにより微調整もできるため極めて精度
の高いラッピング装置となる。
テープ保持部を移動自在に設けると共に振動機構により
往復微動するように構成し、しかも保持部移動機構によ
って押圧体によりテープをワークに単に押圧当接するだ
けでなく、バネの弾圧付勢によって押圧体によりラッピ
ングテープをワークに弾圧当接し、この弾圧押圧度を押
圧体を弾圧付勢しているバネの伸縮度を弾圧調整機構に
より調整することにより微調整もできるため極めて精度
の高いラッピング装置となる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は全体平
面図、第2図はその側面図、第3図はその要部の側面
図、第4図はその平断面図、第5図はその正面図、第6
図はその部分断面図である。 1……ワーク駆動部、4……回転板、5……テープ保持
部、24,26……バネ、34……押圧体、37……供給リー
ル、38……巻取リール、39……振動機構、T……ラッピ
ングテープ、W……ワーク。
面図、第2図はその側面図、第3図はその要部の側面
図、第4図はその平断面図、第5図はその正面図、第6
図はその部分断面図である。 1……ワーク駆動部、4……回転板、5……テープ保持
部、24,26……バネ、34……押圧体、37……供給リー
ル、38……巻取リール、39……振動機構、T……ラッピ
ングテープ、W……ワーク。
Claims (1)
- 【請求項1】平板状のワークを載置可能な回転板を有す
るワーク駆動部と、走行するラッピングテープを保持し
このラッピングテープを前記ワーク駆動部の回転板に載
置したワークに押圧可能な押圧体を有するテープ保持部
と、供給リールから巻取リールへと走行させて前記テー
プ保持部にラッピングテープを連続的に走行供給し、前
記テープ保持部と一体に移動するテープ巻取装置と、前
記テープ保持部を昇降せしめてテープ保持部の前記押圧
体によりラッピングテープをワークに所定圧で押圧並び
に退避移動し得る保持部移動機構と、この保持部移動機
構により移動する取付部にバネを介存して保持体を設
け、この保持体に前記押圧体を垂設して前記バネの保持
体を弾圧する作用により前記押圧体を弾圧付勢し前記ラ
ッピングテープをこの押圧体によりワークに弾圧当接し
得るように構成し、このバネを伸縮調整する弾圧調整機
構を設けて、ラッピングテープの押圧体によるワークへ
の押圧度合を微調整し得るように構成した研摩圧微調整
機構と、このテープ保持部をラッピングテープの走行方
向と交差する方向に振動させる振動機構とを備えて、平
板状のワークを振動しながら且つ所定の押圧度合で弾圧
当接しながら走行するラッピングテープによりラッピン
グするように構成したことを特徴とするラッピング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030543A JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030543A JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200958A JPS63200958A (ja) | 1988-08-19 |
| JPH07100294B2 true JPH07100294B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=12306706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62030543A Expired - Lifetime JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07100294B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022172588A (ja) * | 2021-05-06 | 2022-11-17 | 本田技研工業株式会社 | 研磨装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01164055U (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-15 | ||
| JP2975785B2 (ja) * | 1992-11-11 | 1999-11-10 | 三菱化学株式会社 | テキスチャー装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5362296A (en) * | 1976-11-13 | 1978-06-03 | Kondo Gizaburou | Super finishing machine |
| JPS61146465A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Y A Shii Kk | フロツピ−デイスク研磨装置 |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP62030543A patent/JPH07100294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022172588A (ja) * | 2021-05-06 | 2022-11-17 | 本田技研工業株式会社 | 研磨装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63200958A (ja) | 1988-08-19 |
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