JPH07101195B2 - カラーフィルタの検査方法 - Google Patents
カラーフィルタの検査方法Info
- Publication number
- JPH07101195B2 JPH07101195B2 JP3022778A JP2277891A JPH07101195B2 JP H07101195 B2 JPH07101195 B2 JP H07101195B2 JP 3022778 A JP3022778 A JP 3022778A JP 2277891 A JP2277891 A JP 2277891A JP H07101195 B2 JPH07101195 B2 JP H07101195B2
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- color
- defect
- color filter
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば液晶カラー
表示パネルにおけるカラーフィルタの欠陥、特に、赤、
緑、青などの色画素の形成材料が、フィルタの基体の必
要な部分以外に付着した混色による欠陥を検出する上で
有効な技術に関する。
表示パネルにおけるカラーフィルタの欠陥、特に、赤、
緑、青などの色画素の形成材料が、フィルタの基体の必
要な部分以外に付着した混色による欠陥を検出する上で
有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術およびその問題点】一般に、この種のカラ
ーフィルタは、基本的に、ガラス基板等の光透過性の基
体の一面に、赤、緑、青などの互いに異なる分光特性を
もつ複数色の色画素を備え、そして、多くの場合に、各
色画素の境界部分に遮光パターンを備えている。遮光パ
ターンは、表示パネルによる表示画像の鮮明度を高める
上で効果があるといわれる。こうしたカラーフィルタに
は、図３に示すように、３種類の欠陥が見られる。一つ
は、異物による欠陥１０であり、基体１２の一面の赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色画素２０の中に少なく
とも一部が埋め込まれた形態で存在する。また一つは、
白抜けの欠陥３０であり、あるべき所に色画素２０ある
いは遮光パターン４０がないパターン欠陥である。さら
に一つは、混色による欠陥５０であり、たとえば赤
（Ｒ）の色画素２０の上に青（Ｂ）の色画素２０が一部
載るように、必要な部分以外に他の色画素材料が付着し
た欠陥である。異物による欠陥１０は高さがあるので、
対向基板とのショートを生じるし、また、白抜けおよび
混色の他の欠陥３０，５０も表示品質の低下をもたら
す。
ーフィルタは、基本的に、ガラス基板等の光透過性の基
体の一面に、赤、緑、青などの互いに異なる分光特性を
もつ複数色の色画素を備え、そして、多くの場合に、各
色画素の境界部分に遮光パターンを備えている。遮光パ
ターンは、表示パネルによる表示画像の鮮明度を高める
上で効果があるといわれる。こうしたカラーフィルタに
は、図３に示すように、３種類の欠陥が見られる。一つ
は、異物による欠陥１０であり、基体１２の一面の赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色画素２０の中に少なく
とも一部が埋め込まれた形態で存在する。また一つは、
白抜けの欠陥３０であり、あるべき所に色画素２０ある
いは遮光パターン４０がないパターン欠陥である。さら
に一つは、混色による欠陥５０であり、たとえば赤
（Ｒ）の色画素２０の上に青（Ｂ）の色画素２０が一部
載るように、必要な部分以外に他の色画素材料が付着し
た欠陥である。異物による欠陥１０は高さがあるので、
対向基板とのショートを生じるし、また、白抜けおよび
混色の他の欠陥３０，５０も表示品質の低下をもたら
す。
【０００３】そこで、それらの欠陥の有無を検査するこ
とが必要であり、従来一般には、目視による方法を採っ
ている。また、検査の効率および精度を高めた、機械化
したカラーフィルタの検査方法を適用することもでき
る。たとえば、異物による欠陥１０を検出する場合、特
開昭５９−１４８８０９号の公報が示すように、異物か
らの散乱光が他の部分よりも大きいことを利用し、散乱
光を検出することによって、異物による欠陥１０を検出
することができる。また、白抜けの欠陥３０を検出する
場合、特開昭５１−９７３８０号の公報が示す、透過光
を利用したマスクの検査方法を適用することができる。
図４が示すように、白抜けの欠陥３０の部分は、色画素
２０および遮光パターン４０の部分に比べて透過光の光
強度が大きい。そのため、ラインＴｈの所に判定基準を
設けることによって、白抜けの欠陥３０を検出すること
ができる。
とが必要であり、従来一般には、目視による方法を採っ
ている。また、検査の効率および精度を高めた、機械化
したカラーフィルタの検査方法を適用することもでき
る。たとえば、異物による欠陥１０を検出する場合、特
開昭５９−１４８８０９号の公報が示すように、異物か
らの散乱光が他の部分よりも大きいことを利用し、散乱
光を検出することによって、異物による欠陥１０を検出
することができる。また、白抜けの欠陥３０を検出する
場合、特開昭５１−９７３８０号の公報が示す、透過光
を利用したマスクの検査方法を適用することができる。
図４が示すように、白抜けの欠陥３０の部分は、色画素
２０および遮光パターン４０の部分に比べて透過光の光
強度が大きい。そのため、ラインＴｈの所に判定基準を
設けることによって、白抜けの欠陥３０を検出すること
ができる。
【０００４】しかし、混色による欠陥５０の部分につい
ては、散乱光あるいは透過光を用いる前記の方法では、
各光強度が他の部分と大きなちがいを生じないため、欠
陥を有効に検出することができない。たとえば、散乱光
では、色画素２０の部分と混色による欠陥５０の部分と
を区別することが困難であり、また、透過光では、図２
の中に鎖線で示すように、混色による欠陥５０の部分の
透過光の光強度は極端に低く、遮光パターン４０の部分
のそれのレベルに近く、判定基準を適正に設定すること
が困難である。その点、カラーフィルタの色画素２０お
よび遮光パターン４０の各パターンに規則性があること
を利用し、画像処理することによって、混色による欠陥
５０の部分をそれらの規則性のある各パターンから区別
するようにすることが考えられる。ところが、画像処理
にはそれなりの処理装置が必要であり、コストを増すと
いう問題を生じる。
ては、散乱光あるいは透過光を用いる前記の方法では、
各光強度が他の部分と大きなちがいを生じないため、欠
陥を有効に検出することができない。たとえば、散乱光
では、色画素２０の部分と混色による欠陥５０の部分と
を区別することが困難であり、また、透過光では、図２
の中に鎖線で示すように、混色による欠陥５０の部分の
透過光の光強度は極端に低く、遮光パターン４０の部分
のそれのレベルに近く、判定基準を適正に設定すること
が困難である。その点、カラーフィルタの色画素２０お
よび遮光パターン４０の各パターンに規則性があること
を利用し、画像処理することによって、混色による欠陥
５０の部分をそれらの規則性のある各パターンから区別
するようにすることが考えられる。ところが、画像処理
にはそれなりの処理装置が必要であり、コストを増すと
いう問題を生じる。
【０００５】
【発明の目的】この発明の目的は、画像処理をすること
なく、混色による欠陥を有効に検出することができる技
術を提供することにある。
なく、混色による欠陥を有効に検出することができる技
術を提供することにある。
【０００６】
【そのための手段および作用】この発明では、カラーフ
ィルタの基体１０のある部分を通過した透過光のほか、
その基体の同じ部分の色画素２０および遮光パターン４
０からの反射光をも検出し、それら透過光と反射光とを
プラスした検出光を基に欠陥を検出する。遮光パターン
４０の形成材料として、クロム、アルミニウム、ニッケ
ル等の金属材料が多用されており、それらのパターン形
成材料は、色画素２０の形成材料に比べて高い光反射性
を示す。そこで、その高い反射性を利用して、何ら画像
処理することなく、混色による欠陥５０を遮光パターン
４０の部分と明確に区別するようにすることができる。
透過光だけでは、混色による欠陥５０を遮光パターン４
０から識別することが困難であるが、反射光を加えるこ
とによって、図２に実線で示すように、遮光パターン４
０の部分の光強度を判定基準Ｔｈよりも大きくすること
ができ、それによって、混色による欠陥５０のみを検出
することができる。
ィルタの基体１０のある部分を通過した透過光のほか、
その基体の同じ部分の色画素２０および遮光パターン４
０からの反射光をも検出し、それら透過光と反射光とを
プラスした検出光を基に欠陥を検出する。遮光パターン
４０の形成材料として、クロム、アルミニウム、ニッケ
ル等の金属材料が多用されており、それらのパターン形
成材料は、色画素２０の形成材料に比べて高い光反射性
を示す。そこで、その高い反射性を利用して、何ら画像
処理することなく、混色による欠陥５０を遮光パターン
４０の部分と明確に区別するようにすることができる。
透過光だけでは、混色による欠陥５０を遮光パターン４
０から識別することが困難であるが、反射光を加えるこ
とによって、図２に実線で示すように、遮光パターン４
０の部分の光強度を判定基準Ｔｈよりも大きくすること
ができ、それによって、混色による欠陥５０のみを検出
することができる。
【０００７】
【実施例】図１は、この発明を適用した検査装置の光学
系を示している。検査の対象であるカラーフィルタ１０
０に対し、２つの検出系が用意されている。一つは、カ
ラーフィルタ１００の背後の第１の光源Ｌ１を用いた透
過光による検出系であり、もう一つは、第２の光源Ｌ２
およびハーフミラー２００を用いた反射光による検出系
である。各光源としては、ハロゲンランプあるいは白色
レーザなどを用いることができる。カラーフィルタ１０
０の上部のカメラ３００が、カラーフィルタ１００から
の透過光および反射光を受光する。カメラ３００として
は、光−電気変換の通常のカメラ、あるいは色強度補正
が可能な３板式カラーカメラなどの公知のものを用いる
ことができる。通常のカメラを用いる場合には、色強度
補正フィルタ４００を挿入することによって、色に基づ
く光強度のちがいを補正するようにするのが好ましい。
なお、欠陥５０として検出すべきものの大きさは、たと
えば２０〜１００μｍ以上であるが、カメラ３００の画
素の大きさは、最小検出面積の１／４以下にすることが
望ましい。こうした検査装置を用いることによって、カ
ラーフィルタ１００の同じ部分からの透過光および反射
光を同時に検出し、混色による欠陥５０を有効に検出す
ることができる。
系を示している。検査の対象であるカラーフィルタ１０
０に対し、２つの検出系が用意されている。一つは、カ
ラーフィルタ１００の背後の第１の光源Ｌ１を用いた透
過光による検出系であり、もう一つは、第２の光源Ｌ２
およびハーフミラー２００を用いた反射光による検出系
である。各光源としては、ハロゲンランプあるいは白色
レーザなどを用いることができる。カラーフィルタ１０
０の上部のカメラ３００が、カラーフィルタ１００から
の透過光および反射光を受光する。カメラ３００として
は、光−電気変換の通常のカメラ、あるいは色強度補正
が可能な３板式カラーカメラなどの公知のものを用いる
ことができる。通常のカメラを用いる場合には、色強度
補正フィルタ４００を挿入することによって、色に基づ
く光強度のちがいを補正するようにするのが好ましい。
なお、欠陥５０として検出すべきものの大きさは、たと
えば２０〜１００μｍ以上であるが、カメラ３００の画
素の大きさは、最小検出面積の１／４以下にすることが
望ましい。こうした検査装置を用いることによって、カ
ラーフィルタ１００の同じ部分からの透過光および反射
光を同時に検出し、混色による欠陥５０を有効に検出す
ることができる。
【０００８】
【発明の効果】この発明によれば、遮光パターン４０の
部分からの反射光が混色による欠陥５０の部分からのそ
れに比べてはるかに大きいことに着目し、カラーフィル
タ１００側の同じ部分からの透過光と反射光とを検出
し、それらをプラスした検出光を基に欠陥を検出するよ
うにしているため、画像処理をすることなく、混色によ
る欠陥５０を有効に検出することができる。
部分からの反射光が混色による欠陥５０の部分からのそ
れに比べてはるかに大きいことに着目し、カラーフィル
タ１００側の同じ部分からの透過光と反射光とを検出
し、それらをプラスした検出光を基に欠陥を検出するよ
うにしているため、画像処理をすることなく、混色によ
る欠陥５０を有効に検出することができる。
【図１】この発明を適用した検査装置の一例を示す図で
ある。
ある。
【図２】この発明による検出原理を示す特性図である。
【図３】カラーフィルタにおける各種の欠陥を示す断面
図である。
図である。
【図４】白抜きの欠陥の検出原理を示す特性図である。
１２ 基体 ２０ 色画素 ４０ 遮光パターン ５０ 混色による欠陥 １００ カラーフィルタ ３００ カメラ Ｌ１，Ｌ２ 光源
Claims (2)
- 【請求項１】 光透過性の基体の一面に、互いに異なる
分光特性をもつ複数色の色画素と、各色画素の境界部分
に位置する遮光パターンとを備え、この遮光パターンが
前記色画素の形成材料に比べて高い光反射性を示す材料
からなるカラーフィルタの欠陥を検出するカラーフィル
タの検査方法において、前記基体のある部分を通過した
透過光のほか、その基体の同じ部分の色画素および遮光
パターンからの反射光をも検出し、それら透過光と反射
光とをプラスした検出光を基に欠陥を検出することを特
徴とする、カラーフィルタの検査方法。 - 【請求項２】 前記欠陥は、前記色画素の形成材料が前
記基体の必要な部分以外に付着した混色による欠陥であ
る、請求項１のカラーフィルタの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022778A JPH07101195B2 (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | カラーフィルタの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022778A JPH07101195B2 (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | カラーフィルタの検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240538A JPH04240538A (ja) | 1992-08-27 |
| JPH07101195B2 true JPH07101195B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=12092128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3022778A Expired - Fee Related JPH07101195B2 (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | カラーフィルタの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101195B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4918800B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-04-18 | 凸版印刷株式会社 | 外観検査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61256241A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 色分解フイルタの検査装置 |
-
1991
- 1991-01-23 JP JP3022778A patent/JPH07101195B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04240538A (ja) | 1992-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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