JPH07103262A - 軸受けブレーキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 回転軸に対する複数のブレーキパッドの押圧
力を均一にし、ブレーキ精度を向上すること。 【構成】 回転軸３の軸方向に対して垂直な方向に当接
し、内面の中央部に軸受け部１２が形成された一対のブ
レーキパッド１３、１４を前記回転軸３に押圧するた
め、各ブレーキパッドの両端部に押圧装置１７Ａ、１７
Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄが設けれており、少なくともこれら
一対の押圧装置の押圧力Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄを同時
に調整する調整装置５７Ａ、５７Ｂが設けられた軸受け
ブレーキ装置６０である。 【効果】 各ブレーキパッドの回転軸を押さえ込む力に
均一性が取れ、押さえ込み力の精度を向上することがで
き、また、調整箇所も少なくなって、作業の能率が向上
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、半導体装置
の製造設備の一つである半導体ウエハの表面処理装置に
対して半導体ウエハを搬入、搬出する搬送装置がある
が、その搬送装置に組み込まれている軸受けブレーキ装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】先ず、従来技術の半導体ウエハの搬送装
置及びそれに組み込まれている軸受けブレーキ装置を図
４乃至図６を用いて説明する。図４は現用の半導体ウエ
ハの搬送装置の一部分を示した概念的斜視図であり、図
５は図４の矢視Ａで示した部分の軸受けブレーキ装置の
斜視図であり、そして図６は図５の軸受けブレーキ装置
の作用効果を説明するための原理図である。

【０００３】図４において、符号１は半導体ウエハの搬
送装置（以下、単に「搬送装置」と記す）を指す。この
搬送装置１は、筐体２内に組み込まれたパルスモーター
（図示していない）によって駆動される回転軸３と、こ
の上端に水平に固定され、両端部に半導体ウエハ（図示
していない）を支持する支持部５Ａ、５Ｂが形成された
搬送アーム４と、前記支持部５Ａに近接して設置され、
半導体ウエハを支持部５Ａに搬入する搬入ベルト７と、
前記支持部５Ｂに近接して設置され、半導体ウエハを支
持部から搬出する搬出ベルト８と、前記回転軸３の中間
部の周りに設けられた、矢視Ａの軸受けブレーキ装置１
０などから構成されている。

【０００４】この軸受けブレーキ装置１０は、図５に示
したように、一対の支柱１１Ａが周辺部に植立され、前
記筐体２の一部に固定された円板状のベース１１と、前
記回転軸３の軸方向に対して垂直な方向に当接し、内面
の中央部にＶ字形の溝状の軸受け部１２が形成された一
対のブレーキパッド１３及び１４と、これらを保持する
ブレーキホルダー１５、１６と、前記各ブレーキパッド
１３、１４を前記回転軸３に押圧するための、各ブレー
キパッドの両端部に設けた押圧装置１７Ａ、１７Ｂ、１
７Ｃ、１７Ｄと、これらの各押圧装置１７Ａ、１７Ｂ、
１７Ｃ、１７Ｄの押圧力を個々に調節し、前記各ブレー
キパッド１３、１４の回転軸３に対するブレーキ力を個
々に調整する調整装置１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ
とから構成されている。

【０００５】前記押圧装置１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１
７Ｄは、前記各支柱１１Ａに貫通して固定され、同一寸
法で突出したシャフト１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄ
と、これらの各シャフト１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９
Ｄに、それぞれの前記ブレーキホルダー１５、１６側の
付け根に装着、固定された押し当て金具２０Ａ（図５で
は隠れて見えない）、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄと、これ
らの押し当て金具２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄに一
端が当接するように装着された圧縮バネ２１Ａ、２１
Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄとから構成されている。なお、各シ
ャフト１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄの少なくとの自
由端部には雌ねじが施されている。

【０００６】また、前記調整装置１８Ａ、１８Ｂ、１８
Ｃ、１８Ｄは、前記各圧縮バネ２１Ａ、２１Ｂ、２１
Ｃ、２１Ｄの他端を押圧する、例えば、止め金付きナッ
ト２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄで構成されており、
前記各シャフト１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄの自由
端部に施されている雌ねじと螺合して調整する。

【０００７】このような構成の搬送装置１は、次のよう
な作業を行う。即ち、図４において、搬送アーム４は搬
入ベルト７から搬入された半導体ウエハをその支持部５
Ａで受け取り、その搬入ベルト７及び搬出ベルト８を避
けるため一度上昇し、加熱、スパッタリングなどの表面
処理を行う場所まで、例えば、９０°の角度回動し、表
面処理が終了すると、再度９０°の角度回動して下降
し、搬出ベルト８上へその表面処理済みの半導体ウエハ
を搬出するという動作を繰り返す。

【０００８】前記搬送アーム４の動作は電子制御回路で
制御される前記パルスモーターによって行われ、従っ
て、前記回転軸３の動作もこの搬送アーム４の動作と同
様の動きをする。即ち、回転軸３の動作は搬送アーム４
が搬入ベルト７から半導体ウエハを受け取るために上昇
し、９０°回動、停止し、表面処理後、９０°回動、停
止し、そして下降、停止する。

【０００９】この回転軸３を２個のブレーキパッド１
３、１４で２方向から押さえ込むような構造に構成した
のは、この回転軸３が前記の上昇、下降、回動の停止時
に、その惰性回転によって搬送アーム４がオーバーラン
することを防止し、また、回転軸３の芯振れ（回転軸３
の垂直方向の倣い）を防止するためである。

【００１０】前記惰性回転の防止は前記各シャフト１９
Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄに装着されたそれぞれの圧
縮バネ２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄを前記の調整装
置１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄであるナット２２
Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄをそれぞれ調整することに
より、４方向からブレーキパッド１３、１４を押圧力Ｐ
ａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄで押圧し、回転軸３に均一な制動
力が加わるようにしている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような構
造の軸受けブレーキ装置１０では、各ブレーキホルダー
１５、１６から延びた２本のシャフト１９Ａ、１９Ｂ、
１９Ｃ、１９Ｄと圧縮バネ２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２
１Ｄを個々に締め付けて調整しなければならず、１個の
ブレーキパッドに対して２本のナットを締め付けるた
め、図６に示したように、回転軸３へ４方向からそれぞ
れの押さえ込み力Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄが加わること
になる。

【００１２】これらの押さえ込み力Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、
Ａｄは均一であることが望ましいが、各調整装置１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄでこれら４方向の押さえ込
み力を均一に締め付けることは困難なことであった。

【００１３】また、各ブレーキパッド１３、１４は常に
回転軸３を押さえ込むように作用しているため、この制
動部分で回転軸３との間に摩擦が発生し、各ブレーキパ
ッドに偏摩耗が生じ、前記押さえ込み力Ａａ、Ａｂ、Ａ
ｃ、Ａｄはどうしても均一にすることが困難であった。

【００１４】そのため、搬送アーム４の前記上昇、下
降、回動の停止の精度が出ず、搬送アーム４が僅かであ
るがオーバーランし、半導体ウエハの加熱ムラや半導体
ウエハへのスパッタリングムラなど、表示処理上の不具
合が発生した。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明の軸受けブレーキ装置は、前記各ブレーキ
パッドの両端部に設けた一対の押圧装置に共通の調整装
置を設け、各ブレーキパッドの押圧力を同時に調整でき
るように構成して、前記課題を解決した。

【００１６】

【作用】従って、各ブレーキパッドの回転軸を押さえ込
む力に均一性が取れ、押さえ込み力の精度を向上するこ
とができ、また、調整箇所も少なくなって、作業の能率
が向上した。

【００１７】

【実施例】次に、図１乃至図３を用いて、この発明の軸
受けブレーキ装置を説明する。図１はこの発明の軸受け
ブレーキ装置の第１の実施例の斜視図であり、図２は図
１の軸受けブレーキ装置の作用効果を説明するための原
理図であり、図３はこの発明の軸受けブレーキ装置の第
２の実施例の斜視図である。なお、従来技術の軸受けブ
レーキ装置と同一の構成部分には同一の符号を付し、そ
れらの説明を省略する。

【００１８】先ず、図１及び図２を用いて、この発明の
軸受けブレーキ装置の第１の実施例を説明する。この第
１の実施例の軸受けブレーキ装置５０は、そのベース５
１の周辺部に、図５に示した軸受けブレーキ装置１０の
ベース１１に設けた相対向する一対の支柱１１Ａの他
に、これらの中間部にそれぞれ支柱５２Ａ（図１には表
れていない）、５２Ｂが植設されており、このベース５
１上で、図５に示した軸受けブレーキ装置１０のブレー
キホルダー１５のそれぞれのシャフト１９Ａ、１９Ｂ
（ただし、雌ねじは施されていない）とブレーキホルダ
ー１６のそれぞれのシャフト１９Ｃ、１９Ｄ（ただし、
雌ねじは施されていない）に、それぞれ共通の短冊状の
押さえプレート５３Ａ、５３Ｂを、それらの両端部に開
けた貫通孔５４に挿通し、これらの押さえプレート５３
Ａ、５３Ｂのそれぞれの内面に前記圧縮バネ２１Ａ、２
１Ｂ及び圧縮バネ２１Ｃ、２１Ｄを当接させ、また、そ
れら押さえプレート５３Ａ、５３Ｂの中央部に開けた貫
通孔５５（図１では押さえプレート５３Ｂ側の貫通孔５
５は表れていない）にシャフト５６Ａ、５６Ｂの一端を
摺動自在に挿通し、各シャフト５６Ａ、５６Ｂの他端を
前記支柱５１Ａ、５１Ｂにそれぞれ固定して、前記各押
さえプレート５３Ａ、５３Ｂを貫通した各シャフト５６
Ａ、５６Ｂの先端部（少なくともこの部分に雌ねじを施
してある）から調整装置であるナット５７Ａ（図１には
表れていない）、５７Ｂを装着した構造で構成されてい
る。

【００１９】この発明の軸受けブレーキ装置５０はこの
ような構造で構成したので、図２に示したように、前記
各ブレーキパッド１３、１４による前記回転軸３を押さ
え込む押圧力Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄは、前記ナット５
７Ａを締め付けることによって押圧力Ｐａ、Ｐｂを同時
に調整することができ、また、前記ナット５７Ｂを締め
付けることによって押圧力Ｐｃ、Ｐｄを同時に調整する
ことができる。

【００２０】つまり、押圧力Ｐａ、Ｐｂを１個のナット
５７Ａを締め付ける力Ｆａで一対の圧縮バネ２１Ａ、２
１Ｂを均一に調整することができ、また、押圧力Ｐｃ、
Ｐｄを１個のナット５７Ｂを締め付ける力Ｆｂで一対の
圧縮バネ２１Ｃ、２１Ｄを均一に調整することができ、
従って、回転軸３に対する押さえ込み力Ａａ、Ａｂ、Ａ
ｃ、Ａｄを容易に均一に調整することができる。

【００２１】次に、図３に示したこの発明の第２の実施
例の軸受けブレーキ装置６０を説明する。この軸受けブ
レーキ装置６０は、ベース１１の一対の支柱１１Ａの直
径方向に、一方の支柱１１Ａに、その外方に延在するよ
うにスライドシャフト６１を設け、他方の支柱１１Ａに
もその外方に延在するように調整ボルト６２を設け、一
方、貫通孔６４をそれぞれ備え、同一の長さの４枚の押
さえプレート６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃ、６３Ｄが用意さ
れていて、その内の押さえプレート６３Ａはシャフト１
９Ａに、押さえプレート６３Ｂはシャフト１９Ｂに、押
さえプレート６３Ｃはシャフト１９Ｃに、そして押さえ
プレート６３Ｄはシャフト１９Ｄに斜めに装着されてい
る。

【００２２】そして前記押さえプレート６３Ａと６３Ｂ
とはヒンジ６５で連結され、押さえプレート６３Ｃと６
３Ｄとはヒンジ６６で連結されている。また、押さえプ
レート６３Ａと６３Ｄとはスライド金具６７で連結さ
れ、押さえプレート６３Ｂと６３Ｃとは雌ネジ付きスラ
イド金具６８で連結されている。

【００２３】このような構造で構成することにより、こ
の軸受けブレーキ装置６０は前記調整ボルト６２を調整
することによりスライド金具６７との間で前記４枚の押
さえプレート６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃ、６３Ｄが構成す
る四辺形の形状を変え、ヒンジ６５、６６の部分の両押
さえプレート６３Ａと６３Ｂとがなす角度、及び６３Ｃ
と６３Ｄとがなす角度が鋭角であると角圧縮バネ２１
Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄは緩み、前記両角度が鈍角
になるにつれて各押さえプレート６３Ａ、６３Ｂ、６３
Ｃ、６３Ｄで各圧縮バネ２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１
Ｄが同時に圧縮され、このようにして前記押圧力Ｐａ、
Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄを、そして回転軸３に対する押さえ込
み力Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄを容易に均一に調整するこ
とができる。

【００２４】

【発明の効果】ウエハ搬送用の回転軸３に対するブレー
キパッド１３、１４の押圧力Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ
（トルク）を均一に調整することができることから、押
さえ込み力の均一性が向上し、ブレーキ精度が向上し
た。従って、このブレーキ精度の向上により、回転軸３
の回転、停止時のオーバーランを減少させることがで
き、半導体ウエハの搬送装置に応用した場合、前記オー
バーランで生じていた加熱ムラや半導体ウエハへのスパ
ッタリングムラなどの作業上の不具合を減少させること
ができる。また、調整箇所も少なくなって、作業の能率
が向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の軸受けブレーキ装置の第１の実施
例の斜視図である。

【図２】 図１の軸受けブレーキ装置の作用効果を説明
するための原理図である。

【図３】 この発明の軸受けブレーキ装置の第２の実施
例の斜視図である。

【図４】 現用の半導体ウエハの搬送装置の一部分を示
した概念的斜視図である。

【図５】 図４の矢視Ａで示した部分の回転軸３受けブ
レーキ装置の斜視図である。

【図６】 図５の回転軸３受けブレーキ装置の作用効果
を説明するための原理図である。

【符号の説明】

３ 回転軸 １１Ａ 支柱 １３ ブレーキパッド １４ ブレーキパッド １５ ブレーキホルダー １６ ブレーキホルダー １７Ａ 押圧装置 １７Ｂ 押圧装置 １７Ｃ 押圧装置 １７Ｄ 押圧装置 ５０ 第１の実施例の軸受けブレーキ装置 ５１ ベース ５２Ａ 支柱 ５２Ｂ 支柱 ５３Ａ 押さえプレート ５３Ｂ 押さえプレート ５６Ａ シャフト ５６Ｂ シャフト ５７Ａ 調整装置（ナット） ５７Ｂ 調整装置（ナット） ６０ 第２の実施例の軸受けブレーキ装置 ６１ スライドシャフト ６２ ボルト ６３Ａ 押さえプレート ６３Ｂ 押さえプレート ６３Ｃ 押さえプレート ６３Ｄ 押さえプレート ６５ ヒンジ ６６ ヒンジ ６７ スライド金具 ６８ 雌ネジ付きスライド金具

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転軸と、この回転軸の軸方向に対して
   垂直な方向に当接した、内面の中央部に軸受け部が形成
   された一対のブレーキパッドと、これらの各ブレーキパ
   ッドを前記回転軸に押圧するための、各ブレーキパッド
   の両端部に設けた押圧装置と、少なくとも前記各ブレー
   キパッドに設けた一対の押圧装置の押圧力を同時に調整
   する調整装置とから構成されていることを特徴とする軸
   受けブレーキ装置。