JPH07105598B2 - 多層基板の積層方法 - Google Patents
多層基板の積層方法Info
- Publication number
- JPH07105598B2 JPH07105598B2 JP12082490A JP12082490A JPH07105598B2 JP H07105598 B2 JPH07105598 B2 JP H07105598B2 JP 12082490 A JP12082490 A JP 12082490A JP 12082490 A JP12082490 A JP 12082490A JP H07105598 B2 JPH07105598 B2 JP H07105598B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- laminating
- hot plate
- standard
- work
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 複数枚のグリーンシートを積層して成る多層基板の積層
方法に関し、 基板積層工程の効率向上と信頼性向上を目的とし、 前記多層基板を金型の外側から挟持する形で配置された
熱板の温度を標準積層温度より高い急速加熱用温度に設
定すると共に、該熱板の加圧力を標準積層圧力よりも低
い伝熱用圧力に設定して第一次の積層工程を実施し、そ
の後,この熱板を一旦金型から離してその温度を標準積
層温度まで下げると共に、当該熱板の加圧力を前記標準
積層圧力に設定して第二次の積層工程を実施するように
したことを特徴とする。
方法に関し、 基板積層工程の効率向上と信頼性向上を目的とし、 前記多層基板を金型の外側から挟持する形で配置された
熱板の温度を標準積層温度より高い急速加熱用温度に設
定すると共に、該熱板の加圧力を標準積層圧力よりも低
い伝熱用圧力に設定して第一次の積層工程を実施し、そ
の後,この熱板を一旦金型から離してその温度を標準積
層温度まで下げると共に、当該熱板の加圧力を前記標準
積層圧力に設定して第二次の積層工程を実施するように
したことを特徴とする。
本発明は、複数枚のグリーンシートを積層して成る多層
基板の積層方法に関する。
基板の積層方法に関する。
〔従来の技術〕 第2図は多層基板(以下ワークと呼ぶ)の構成を示す模
式的斜視図、第3図はワークの積層工程の一例を示す模
式図、第4図はワーク積層工程における熱板の作用を示
すグラフである。
式的斜視図、第3図はワークの積層工程の一例を示す模
式図、第4図はワーク積層工程における熱板の作用を示
すグラフである。
第2図に示すように、複数枚のグリーンシート1より成
るこのワーク10は、グリーンシート1を順次積層してこ
れを矢印方向から押圧しながら加熱することによって各
グリーンシート1が互いに接着されて独立した一個のワ
ーク10として完成する。第3図はワークの積層工程の一
例を示す模式図であって、8は上型8aと下型8bより成る
金型、5はこの金型8を上下から挟持する形で配置され
た一対の熱板、15はの熱板5の温度を制御する温度制御
装置、20は熱板5の加圧力を制御する加圧力制御装置で
ある。
るこのワーク10は、グリーンシート1を順次積層してこ
れを矢印方向から押圧しながら加熱することによって各
グリーンシート1が互いに接着されて独立した一個のワ
ーク10として完成する。第3図はワークの積層工程の一
例を示す模式図であって、8は上型8aと下型8bより成る
金型、5はこの金型8を上下から挟持する形で配置され
た一対の熱板、15はの熱板5の温度を制御する温度制御
装置、20は熱板5の加圧力を制御する加圧力制御装置で
ある。
以下ワーク10の製造工程について述べる(第3図参
照)。
照)。
.先ず、金型8の上型8aと下型8bの間に複数枚のグリ
ーンシート1を積み重ねる形で収容する。
ーンシート1を積み重ねる形で収容する。
.熱板5によってこの金型8を上下方向(矢印F−
F′方向)から押圧する。この金型8が押圧されること
によって、金型8内に収容されているグリーンシート1
は互いに圧接状態となる。なお、この時の押圧力は加圧
力制御装置20によって制御される。
F′方向)から押圧する。この金型8が押圧されること
によって、金型8内に収容されているグリーンシート1
は互いに圧接状態となる。なお、この時の押圧力は加圧
力制御装置20によって制御される。
.金型8を両側面から押圧した状態で熱板5の温度を
上げ、この金型8を加熱する。加熱を所定時間継続する
ことによって、これらグリーンシート1は互いに接合さ
れて一個の独立したワーク10となる。なお、この時の熱
板5の温度は温度制御装置15によって制御される。
上げ、この金型8を加熱する。加熱を所定時間継続する
ことによって、これらグリーンシート1は互いに接合さ
れて一個の独立したワーク10となる。なお、この時の熱
板5の温度は温度制御装置15によって制御される。
第4図はワーク積層工程における熱板5の作用を示すグ
ラフであるが、従来の積層工程においては、全工程を通
じて熱板5の加圧力と積層温度が常に一定となるように
(加圧力は標準積層圧力P≒500kg/cm2をキープするよ
うに、そして積層温度は標準積層温度T≒180℃をキー
プするように)それぞれ制御されていた。図中、Kは積
層工程に要する時間(以下積層所要時間と呼ぶ)、Pは
標準積層圧力、Tは標準積層温度、Aは積層開始点、B
は熱板の標準積層温度到達点、Cは熱板の加熱終了点、
Dは積層工程終了点、αは熱板の温度プロファイル、β
は熱板の圧力プロファイルをそれぞれ示す。
ラフであるが、従来の積層工程においては、全工程を通
じて熱板5の加圧力と積層温度が常に一定となるように
(加圧力は標準積層圧力P≒500kg/cm2をキープするよ
うに、そして積層温度は標準積層温度T≒180℃をキー
プするように)それぞれ制御されていた。図中、Kは積
層工程に要する時間(以下積層所要時間と呼ぶ)、Pは
標準積層圧力、Tは標準積層温度、Aは積層開始点、B
は熱板の標準積層温度到達点、Cは熱板の加熱終了点、
Dは積層工程終了点、αは熱板の温度プロファイル、β
は熱板の圧力プロファイルをそれぞれ示す。
この従来の方式は、第4図に示すように、金型8と熱板
5を互いに接触させた状態で熱板5の温度制御を行って
いるので熱質量が大きくなっており、従ってワーク10の
温度を適正に保つことが難しく、ワーク10の温度が暴走
状態になる現象(温度が異常に上下動する現象をいう)
が屡々発生していた。特にワーク10の温度が上昇し過ぎ
るとグリーンシートに含まれているバインダーが蒸発し
て無くなってしまうので、各グリーンシート1間の接着
力が低下して剥離し易くなる上,グリーンシート自体も
脆くなる。
5を互いに接触させた状態で熱板5の温度制御を行って
いるので熱質量が大きくなっており、従ってワーク10の
温度を適正に保つことが難しく、ワーク10の温度が暴走
状態になる現象(温度が異常に上下動する現象をいう)
が屡々発生していた。特にワーク10の温度が上昇し過ぎ
るとグリーンシートに含まれているバインダーが蒸発し
て無くなってしまうので、各グリーンシート1間の接着
力が低下して剥離し易くなる上,グリーンシート自体も
脆くなる。
本発明はこの問題を解決するためになされたもので、積
層工程を一次と二次に分割すると共に、一次工程と二次
工程におけるワーク10の加熱条件と加圧条件をそれぞれ
変えて積層を行う構成になっている。
層工程を一次と二次に分割すると共に、一次工程と二次
工程におけるワーク10の加熱条件と加圧条件をそれぞれ
変えて積層を行う構成になっている。
本発明による多層基板の積層方法は第1図に示すよう
に、ワーク10を金型8の外側から挟持する形で配置され
た熱板5の温度を積層標準温度Tより高い急速加熱用温
度T1に設定すると共に、該熱板5の加圧力を標準積層圧
力Pよりも低い伝熱用圧力P1に設定して第一次の積層工
程を実施し、ワーク10の温度が所定温度に到達した時点
でこの熱板5を一旦金型8から離して温度を前記標準積
層温度Tまで下げると共に、当該熱板5の加圧力を前記
標準積層圧力Pに設定して第二次の積層工程を実施する
ことによってワーク10の積層を行うようになっている。
に、ワーク10を金型8の外側から挟持する形で配置され
た熱板5の温度を積層標準温度Tより高い急速加熱用温
度T1に設定すると共に、該熱板5の加圧力を標準積層圧
力Pよりも低い伝熱用圧力P1に設定して第一次の積層工
程を実施し、ワーク10の温度が所定温度に到達した時点
でこの熱板5を一旦金型8から離して温度を前記標準積
層温度Tまで下げると共に、当該熱板5の加圧力を前記
標準積層圧力Pに設定して第二次の積層工程を実施する
ことによってワーク10の積層を行うようになっている。
本発明は、熱板5の温度を標準積層温度Tよりも高い温
度,即ち急速加熱用温度T1に設定して先ず第一次の積層
工程を実施し、その後,一旦この熱板5を金型8から離
して熱板5の温度を標準積層温度Tに設定し直して第二
次の積層工程を実施する構成になっているため、ワーク
10の温度が異常に上昇する温度暴走現象が発生しないの
で、ワークの品質が安定し、ワークの積層工程が著しく
効率化される。
度,即ち急速加熱用温度T1に設定して先ず第一次の積層
工程を実施し、その後,一旦この熱板5を金型8から離
して熱板5の温度を標準積層温度Tに設定し直して第二
次の積層工程を実施する構成になっているため、ワーク
10の温度が異常に上昇する温度暴走現象が発生しないの
で、ワークの品質が安定し、ワークの積層工程が著しく
効率化される。
以下実施例図に基づいて本発明を詳細に説明する。
第1図は本発明による多層基板の積層方法の一実施例を
示す図であるが、前記第2図,第3図,第4図と同一部
分には同一符号を付している。
示す図であるが、前記第2図,第3図,第4図と同一部
分には同一符号を付している。
第1図に示すように、本発明による多層基板の積層方法
は、ワーク10を金型8の外側から挟持する形で配置され
た熱板5の温度を標準積層温度Tより高い急速加熱用温
度T1(≒2T)に設定すると共に、該熱板5の加圧力,即
ち第3図に示す矢印F方向と矢印F′方向の力を標準積
層圧力Pよりも低い伝熱用圧力P1(50kg/cm2以下)に設
定して第一次の積層工程を実施し、ワーク10の熱プロフ
ァイルγで示すように、ワーク10の温度が所定温度,即
ち標準温度より若干低い温度に到達した時点でこの熱板
5を一旦金型8から離して熱板温度を前記標準積層温度
Tに下げると共に、当該熱板5の加圧力を前記標準積層
圧力Pに設定し直して第二次の積層工程を実施する2段
積層構成になっている。図中、B1は熱板の標準積層温度
到達点、C1は第一次工程における熱板の加熱終了点、D1
は第二次工程における熱板の標準積層温度到達点、D2は
第二次工程における熱板の加熱終了点、D3は第二次工程
の終了点、α1は熱板の温度プロファイル、β1は熱板
の圧力プロファイル、K1は積層所要時間をそれぞれ示
す。
は、ワーク10を金型8の外側から挟持する形で配置され
た熱板5の温度を標準積層温度Tより高い急速加熱用温
度T1(≒2T)に設定すると共に、該熱板5の加圧力,即
ち第3図に示す矢印F方向と矢印F′方向の力を標準積
層圧力Pよりも低い伝熱用圧力P1(50kg/cm2以下)に設
定して第一次の積層工程を実施し、ワーク10の熱プロフ
ァイルγで示すように、ワーク10の温度が所定温度,即
ち標準温度より若干低い温度に到達した時点でこの熱板
5を一旦金型8から離して熱板温度を前記標準積層温度
Tに下げると共に、当該熱板5の加圧力を前記標準積層
圧力Pに設定し直して第二次の積層工程を実施する2段
積層構成になっている。図中、B1は熱板の標準積層温度
到達点、C1は第一次工程における熱板の加熱終了点、D1
は第二次工程における熱板の標準積層温度到達点、D2は
第二次工程における熱板の加熱終了点、D3は第二次工程
の終了点、α1は熱板の温度プロファイル、β1は熱板
の圧力プロファイル、K1は積層所要時間をそれぞれ示
す。
本方法は、熱板5の温度を積層標準温度Tよりも高い急
速加熱用温度T1に設定して第一次の積層を行うことか
ら、ワーク10が所定の積層温度に達する迄の時間が短い
ので効率的である。また、この積層方法は、ワーク10の
温度が所定の積層温度に到達した時点で一旦この熱板5
を金型8から離し、熱板5の温度が標準積層温度Tまで
下がった時点で再びこの熱板5を金型8に接触させてワ
ーク10を加熱する構成になっているので、ワーク10の温
度が上昇し過ぎることが無い。
速加熱用温度T1に設定して第一次の積層を行うことか
ら、ワーク10が所定の積層温度に達する迄の時間が短い
ので効率的である。また、この積層方法は、ワーク10の
温度が所定の積層温度に到達した時点で一旦この熱板5
を金型8から離し、熱板5の温度が標準積層温度Tまで
下がった時点で再びこの熱板5を金型8に接触させてワ
ーク10を加熱する構成になっているので、ワーク10の温
度が上昇し過ぎることが無い。
さらにこの積層方法は、ワーク10が所定温度に達するま
では熱板5を標準積層圧力Pよりも小さい伝熱用圧力
(この伝熱用圧力は熱板5の熱が各グリーンシート1に
伝わるだけの圧力であれば充分である)P1で押圧する構
成になっているので、積層前のワーク10がこの圧力によ
って内部組織に変化を生じる危険性は全く無い。なお、
この積層方法は、グリーンシート1を接合する第二次積
層工程において標準積層圧力Pでワーク10を圧迫するよ
うになっているので、グリーンシート1相互間の接着強
度に関する信頼性は充分保証される。
では熱板5を標準積層圧力Pよりも小さい伝熱用圧力
(この伝熱用圧力は熱板5の熱が各グリーンシート1に
伝わるだけの圧力であれば充分である)P1で押圧する構
成になっているので、積層前のワーク10がこの圧力によ
って内部組織に変化を生じる危険性は全く無い。なお、
この積層方法は、グリーンシート1を接合する第二次積
層工程において標準積層圧力Pでワーク10を圧迫するよ
うになっているので、グリーンシート1相互間の接着強
度に関する信頼性は充分保証される。
この積層方法は、標準積層温度Tよりも高い急速加熱用
温度T1で第一の積層工程を実施することから、グリーン
シート1が所定温度に到達するまでの時間を短縮するこ
とができるので、積層所要時間K1が従来の積層所要時間
K(第4図参照)に比して短い。
温度T1で第一の積層工程を実施することから、グリーン
シート1が所定温度に到達するまでの時間を短縮するこ
とができるので、積層所要時間K1が従来の積層所要時間
K(第4図参照)に比して短い。
以上の説明から明らかなように、本発明による積層方法
は、積層時におけるグリーンシートの温度暴走が無いの
で、ワークが品質的に著しく安定する上,グリーンシー
トが所定温度に到達するまでの時間が短いので、積層工
程が著しく効率化される。
は、積層時におけるグリーンシートの温度暴走が無いの
で、ワークが品質的に著しく安定する上,グリーンシー
トが所定温度に到達するまでの時間が短いので、積層工
程が著しく効率化される。
第1図は本発明によるワーク積層方法の一実施例を示す
グラフ、 第2図はワークの構成を示す模式的斜視図、 第3図はワークの積層工程の一例を示す模式図、 第4図はワーク積層工程における熱板の作用を示すグラ
フである。 図において、1はグリーンシート、5は熱板、8は金
型、8aは上型、8bは下型、10はワーク(多層基板)、15
は温度制御装置、20は加圧力制御装置、Pは標準積層圧
力、P1は伝熱用圧力、Tは標準積層温度、T1は急速加熱
用温度、KとK1は積層工程所要時間、 をそれぞれ示す。
グラフ、 第2図はワークの構成を示す模式的斜視図、 第3図はワークの積層工程の一例を示す模式図、 第4図はワーク積層工程における熱板の作用を示すグラ
フである。 図において、1はグリーンシート、5は熱板、8は金
型、8aは上型、8bは下型、10はワーク(多層基板)、15
は温度制御装置、20は加圧力制御装置、Pは標準積層圧
力、P1は伝熱用圧力、Tは標準積層温度、T1は急速加熱
用温度、KとK1は積層工程所要時間、 をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項1】複数枚のグリーンシート(1)を積層して
成る多層基板(10)の積層方法であって、 前記多層基板(10)を金型(8)の外側から挟持する形
で配置された熱板(5)の温度を積層標準温度(T)よ
り高い急速加熱用温度(T1)に設定すると共に、該熱板
(5)の加圧力を標準積層圧力(P)よりも低い伝熱用
圧力(P1)に設定して第一次の積層工程を実施し、その
後,この熱板(5)を一旦金型(8)から離して温度を
前記標準積層温度(T)まで下げると共に、当該熱板
(5)の加圧力を前記標準積層圧力(P)に設定して第
二次の積層工程を実施するようにしたことを特徴とする
多層基板の積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12082490A JPH07105598B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 多層基板の積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12082490A JPH07105598B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 多層基板の積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415995A JPH0415995A (ja) | 1992-01-21 |
| JPH07105598B2 true JPH07105598B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=14795873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12082490A Expired - Lifetime JPH07105598B2 (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 | 多層基板の積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105598B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109618507A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-04-12 | 江苏博敏电子有限公司 | 一种电路板层压方法 |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP12082490A patent/JPH07105598B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0415995A (ja) | 1992-01-21 |
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