JPH07109850B2 - 半導体のボンディング装置 - Google Patents

半導体のボンディング装置

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JPH07109850B2
JPH07109850B2 JP1010502A JP1050289A JPH07109850B2 JP H07109850 B2 JPH07109850 B2 JP H07109850B2 JP 1010502 A JP1010502 A JP 1010502A JP 1050289 A JP1050289 A JP 1050289A JP H07109850 B2 JPH07109850 B2 JP H07109850B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体のボンディング装置に関し、特にボン
ディング後に異常検出機能に関するものである。
〔従来の技術〕
従来この種の半導体ボンディング装置は、第３図
（ａ），（ｂ）に示すように、ボンディング時のワイヤ
変形の異常が検出できる機能が備わっていなかった。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の半導体のボンディング装置は、ボンディ
ング時の不具合を検出する機能が備わっていなかったの
でワイヤ形状不良が生じた場合、後工程で除去しなけれ
ばならないという欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体のボンディング装置は、半導体ペレット
の各電極と外部リードのボンディングワイヤによって接
続させるボンディング装置において、前記半導体ペレッ
トのボンディングワイヤが形成されている面の上方から
前記外部リードの上方まで前記ペレットと前記外部リー
ドとの間を跨ぐように延在するプローブを前記ボンディ
ングワイヤのワイヤループ規格上限と同一の高さに配置
し、かつ前記プローブと前記外部リードとの間に電圧を
印加して前記プローブと前記ボンディングワイヤとの導
通を検出する手段を備えたことを特徴とする。
上述した従来の半導体のボンディング装置に対し、本発
明のボンディング装置においては、ボンディング後、プ
ローブによりワイヤ形状の異常を検出できる。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例を示したものであ
る。プローブ１の位置をワイヤループ高さ規格上限と同
一にし、プローブ１とリードフレーム２間に電圧を印加
しておけば、ボンディング後プローブ１をワイヤ４上に
移動させることによりテスター部５によって電流を検出
し、ワイヤループ高さ異常を判定できる。すなわち、プ
ルーブ１は図示のとおりペレット３とリード２との間を
跨ぐように延在して配置されているので、ワイヤループ
高さ規定上限を越えた異常突出ボンディングワイヤを確
実に検出することができる。
第２図（ａ），（ｂ）は、本発明の他の実施例を示した
ものである。同図に示す様にプローブ１の形状を変える
ことによりワイヤ４の高さ方向のみでなく、横方向への
変形の異常を検出することが可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、半導体ボンディング装置
に本発明プローブを使用することにより、ワイヤ形状の
異常を検出できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例の断
面図及び平面図、第２図（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発
明の他の実施例の正面図及び側面図、第３図（ａ），
（ｂ）はそれぞれ従来のボンディング装置で生じる可能
性のある不具合の例を示す断面図及び平面図である。 １……プローブ、２……リードフレーム、３……ペレッ
ト、４……ボンディングワイヤ、５……テスタ部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】半導体ペレットの各電極と外部リードとを
    ボンディングワイヤによって接続させるボンディング装
    置において、前記半導体ペレットのボンディングワイヤ
    が形成されている面の上方から前記外部リードの上方ま
    で前記ペレットと前記外部リードとの間を跨ぐように延
    在するプローブを前記ボンディングワイヤのワイヤルー
    プ規格上限と同一の高さに配置し、かつ前記プローブと
    前記外部リードとの間に電圧を印加して前記プローブと
    前記ボンディングワイヤとの導通を検出する手段を備え
    たことを特徴とする半導体のボンディング装置。
JP1010502A 1989-01-18 1989-01-18 半導体のボンディング装置 Expired - Fee Related JPH07109850B2 (ja)

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JPH02189948A JPH02189948A (ja) 1990-07-25
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS53117979A (en) * 1977-03-25 1978-10-14 Hitachi Ltd Tab short detector
JPS5863144A (ja) * 1981-10-12 1983-04-14 Nec Home Electronics Ltd ボンデイングワイヤ姿勢検査方法

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